專利名稱：多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù) 領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的 器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的 內(nèi)容，特別涉及一種多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管場(chǎng)致發(fā)射顯示器是一種主動(dòng)發(fā)光型的全固化的新型平板顯示器， 這種顯示器的工作原理和傳統(tǒng)的陰極射線管顯示器幾乎完全相同，都是利用電 子束轟擊熒光粉層而發(fā)出可見(jiàn)光，它保留了陰極射線管顯示器的高亮度、高顯 示圖像質(zhì)量以及響應(yīng)速度快、視角大等優(yōu)點(diǎn)，也常被稱為平板陰極射線管顯示 器。但這種顯示器采用碳納米管作為陰極材料，無(wú)需外來(lái)的熱能，僅僅依靠外 界電壓就能夠發(fā)射電子，因此無(wú)延遲時(shí)間，響應(yīng)速度更快；同時(shí)這種顯示器還 具有超薄型、完全平板化、工作溫區(qū)寬等特點(diǎn)，引起了眾多科研人員高度關(guān)注。
柵極結(jié)構(gòu)是三極結(jié)構(gòu)碳納米管場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器中的關(guān)鍵控制元件之 一，它能夠直接將外界電壓轉(zhuǎn)換為碳納米管陰極表面頂端的強(qiáng)大電場(chǎng)強(qiáng)度，迫 使碳納米管發(fā)射出大量的電子。而在目前的大多數(shù)場(chǎng)致發(fā)射顯示器中，或者是 迫使碳納米管發(fā)射大量電子所需要的柵極工作電壓居高不下，或者是柵極電流 過(guò)于偏大，或者是在較低柵極電壓下陽(yáng)極電流過(guò)小，也就是說(shuō)沒(méi)有足夠的碳納 米管陰極發(fā)射出足夠量的電子，等等，而這些因素又同時(shí)是相互影響、相互制 約的，沒(méi)有一個(gè)比較完好的解決方案，許多科研單位都是在犧牲了某一技術(shù)指 標(biāo)之后來(lái)提升了另外一個(gè)技術(shù)指標(biāo)。那么，在實(shí)際器件的制作過(guò)程中，究竟采 用何種結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)用何種結(jié)構(gòu)材料，如何降低柵極的工作電壓，如何增強(qiáng)顯 示器件的顯示亮度，都是值得考慮的問(wèn)題。在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器 件中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用前提下，還需盡可能
降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種 成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的帶有一種多同軸柱 面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周 玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備 在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐 墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管 以及多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)。
所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰 極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣槳料層形成絕緣層；絕緣層上面 的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成 柵極升高層；柵極升高層中存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；柵極升高 層小圓孔中印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層和柵極引線層是相 互連通的；柵極升高層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn) 圓臺(tái)面型形狀，底面為圓盤面型形狀，其直徑最大，坐落于柵極升高層的上表 面上，提升一層的上表面也為圓盤面型形狀，但其直徑要小于提升一層下表面 的直徑，使得提升一層的側(cè)面形成傾斜面；提升一層的中心存在小圓孔，作為 柵極延長(zhǎng)線層的通道；提升一層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層， 與柵極升高層中的柵極延長(zhǎng)線層相互連通；提升一層上面的刻蝕后的金屬層形 成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層布滿提升一層的上表面；調(diào)控柵極一層和柵極 延長(zhǎng)線層相互連通；調(diào)控柵極一層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提 升二層也是呈現(xiàn)圓臺(tái)面型形狀，其下底面的直徑與提升一層的上頂面直徑相同， 其側(cè)面的傾斜角度與提升一層的側(cè)面傾斜角度是一致的；提升二層中存在小圓 孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；提升二層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延
長(zhǎng)線層，與提升一層中的柵極延長(zhǎng)線層相互連通；提升二層上面的刻蝕后的金 屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層與柵極延長(zhǎng)線層相互連通；調(diào)控柵極二 層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升三層也是呈現(xiàn)圓臺(tái)面型形狀， 其下底面的直徑與提升二層的上頂面直徑相同，其側(cè)面的傾斜角度與提升二層 的側(cè)面傾斜角度是一致的；提升三層中存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道; 提升三層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層，與提升二層中的柵極延 長(zhǎng)線層是相互連通的；提升三層上表面的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極三層； 調(diào)控柵極三層布滿提升三層的上表面，且與柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；調(diào)控 柵極三層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；提升一層、提升二層、提 升三層側(cè)面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層要完全覆蓋住提升一層、 提升二層和提升三層的側(cè)面；隔離層的外側(cè)面也是一個(gè)傾斜面，其傾斜角度與 提升一層的傾斜角度是相同的；隔離層的外側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極 過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿隔離層的外側(cè)面；陰極過(guò)渡層上面的刻蝕后的金屬層 形成陰極導(dǎo)電層；柵極升高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引 線層、陰極過(guò)渡層以及陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的 絕緣槳料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層 為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二層和調(diào)控柵極三層為 金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過(guò)渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、 銅、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、 銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下-
1) 陰極玻璃面板[l]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；
2) 絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成絕緣層；
3) 柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成
柵極引線層；
4) 柵極升高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；
5) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在柵極升高層小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒 結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
6) 提升一層[6]的制作在柵極升高層上面印刷絕緣槳料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié) 工藝后形成提升一層；
7) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升一層小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié) 工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
8) 調(diào)控柵極一層[7]的制作在提升一層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后 形成調(diào)控柵極一層；
9) 提升二層[8]的制作在調(diào)控柵極一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成提升二層；
10) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升二層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
11) 調(diào)控柵極二層[9]的制作在提升二層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕 后形成調(diào)控柵極二層；
12) 提升三層[10]的制作在調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成提升三層；
13) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升三層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
14) 調(diào)控柵極三層[ll]的制作在提升三層的上面制備出一個(gè)金屬層，經(jīng)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成調(diào)控柵極三層；
15) 柵極覆蓋層[12]的制作在調(diào)控柵極三層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；
16) 隔離層[13]的制作在提升一層、提升二層和提升三層的側(cè)面印刷絕緣
漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；
17) 陰極過(guò)渡層[14]的制作在隔離層外側(cè)面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后 形成陰極過(guò)渡層；
18) 陰極導(dǎo)電層[15]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻 蝕后形成陰極導(dǎo)電層；
19) 陰極引線層[16]的制作在柵極升高層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕 后形成陰極引線層；
20) 陰極覆蓋層[17]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；
21) 多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu) 的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
22) 碳納米管[18]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；
23) 陽(yáng)極玻璃面板[19]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng) 極玻璃面板；
24) 陽(yáng)極導(dǎo)電層[20]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層； 刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；
25) 絕緣漿料層[21]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；
26) 熒光粉層[22]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；
27) 器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[23]和四周玻 璃圍框[24]裝配到一起，并將消氣劑[25]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。
28) 成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果
首先，在所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制作在碳納米管 陰極結(jié)構(gòu)內(nèi)側(cè)。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓后，通過(guò)柵極引線層將外界電壓 傳遞到調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二層和調(diào)控柵極三層上面，會(huì)在碳納米管陰極 表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，使碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵
極結(jié)構(gòu)的強(qiáng)有力控制作用。由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)，從碳 納米管陰極所發(fā)射的電子束不會(huì)受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，極大地減小了柵極電流。 由于調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二層和調(diào)控柵極三層的末端都可以盡可能的接近 于碳納米管陰極，縮減了二者之間的距離，有效地降低了柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。 其次，在所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了陰 極導(dǎo)電層的上面，而陰極導(dǎo)電層則是制作在了呈現(xiàn)圓臺(tái)面的側(cè)面上。極大地增 加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管都參與電子發(fā)射，有 助于提高器件的顯示亮度。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促 進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)中， 并沒(méi)有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒(méi)有采用特殊的器件制作工藝，這在很大 程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過(guò)程， 能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。
圖1給出了多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2給出了多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3給出了帶有多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃 面板[19]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[24]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻 璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[20]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[22];在陰極
玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[18]以及多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)；位于
陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[23]以及消氣劑[25]附屬元件。
所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[l]、絕緣層[2]、柵極引 線層[3]、柵極升高層[4]、柵極延長(zhǎng)線層[5]、提升一層[6]、調(diào)控柵極一層[7]、提 升二層[8]、調(diào)控柵極二層[9]、提升三層[IO]、調(diào)控柵極三層[ll]、柵極覆蓋層[12]、隔離層[13]、陰極過(guò)渡層[14]、陰極導(dǎo)電層[15]、陰極引線層[16]、陰極覆蓋層[17] 和碳納米管[18]部分。
所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉轉(zhuǎn)玻璃、硼硅玻 璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層； 絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣 槳料層形成柵極升高層；柵極升高層中存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道; 柵極升高層小圓孔中印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層和柵極引 線層是相互連通的；柵極升高層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升 一層呈現(xiàn)圓臺(tái)面型形狀，底面為圓盤面型形狀，其直徑最大，坐落于柵極升高 層的上表面上，提升一層的上表面也為圓盤面型形狀，但其直徑要小于提升一 層下表面的直徑，使得提升一層的側(cè)面形成傾斜面；提升一層的中心存在小圓 孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；提升一層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延 長(zhǎng)線層，與柵極升高層中的柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；提升一層上面的刻蝕 后的金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層布滿提升一層的上表面；調(diào)控柵 極一層和柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；調(diào)控柵極一層上面的印刷的絕緣漿料層 形成提升二層；提升二層也是呈現(xiàn)圓臺(tái)面型形狀，其下底面的直徑與提升一層 的上頂面直徑相同，其側(cè)面的傾斜角度與提升一層的側(cè)面傾斜角度是一致的； 提升二層中存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；提升二層中小圓孔內(nèi)印刷 的銀衆(zhòng)層形成柵極延長(zhǎng)線層，與提升一層中的柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；提 升二層上面的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層與柵極延長(zhǎng)線 層是相互連通的；調(diào)控柵極二層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升 三層也是呈現(xiàn)圓臺(tái)面型形狀，其下底面的直徑與提升二層的上頂面直徑相同， 其側(cè)面的傾斜角度與提升二層的側(cè)面傾斜角度是一致的；提升三層中存在小圓 孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；提升三層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延 長(zhǎng)線層，與提升二層中的柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；提升三層上表面的刻蝕 后的金屬層形成調(diào)控柵極三層；調(diào)控柵極三層布滿提升三層的上表面，且與柵
極延長(zhǎng)線層是相互連通的；調(diào)控柵極三層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆 蓋層；提升一層、提升二層、提升三層側(cè)面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層； 隔離層要完全覆蓋住提升一層、提升二層和提升三層的側(cè)面；隔離層的外側(cè)面 也是一個(gè)傾斜面，其傾斜角度與提升一層的傾斜角度是相同的；隔離層的外側(cè) 面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿隔離層的外側(cè)面；陰 極過(guò)渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；柵極升高層上面的刻蝕后的 金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層以及陰極導(dǎo)電層都是相互連 通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在 陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板 上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二 層和調(diào)控柵極三層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過(guò)渡層可以 為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、銅、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向 是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦； 陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下
1) 陰極玻璃面板[l]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻 璃面板;
2) 絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成絕緣層；
3) 柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形 成柵極引線層；
4) 柵極升高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；
5) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在柵極升高層小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒 結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
6) 提升一層[6]的制作在柵極升高層上面印刷絕緣槳料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié) 工藝后形成提升一層；
7) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升一層小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié) 工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
8) 調(diào)控柵極一層[7]的制作在提升一層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕 后形成調(diào)控柵極一層；
9) 提升二層[8]的制作在調(diào)控柵極一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成提升二層；
10) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升二層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
11) 調(diào)控柵極二層[9]的制作在提升二層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻 蝕后形成調(diào)控柵極二層；
12) 提升三層[10]的制作在調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成提升三層；
13) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升三層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；
14) 調(diào)控柵極三層[ll]的制作在提升三層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，經(jīng) 烘烤、燒結(jié)工藝后形成調(diào)控柵極三層；
15) 柵極覆蓋層[12]的制作在調(diào)控柵極三層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；
16) 隔離層[13]的制作在提升一層、提升二層和提升三層的側(cè)面印刷絕緣 漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；
17) 陰極過(guò)渡層[14]的制作在隔離層外側(cè)面上制備出一個(gè)金屬鋁層，刻蝕 后形成陰極過(guò)渡層；
18) 陰極導(dǎo)電層[15]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻 蝕后形成陰極導(dǎo)電層；19) 陰極引線層[16]的制作在柵極升高層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻 蝕后形成陰極引線層；
20) 陰極覆蓋層[17]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；
21) 多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu) 的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
22) 碳納米管[18]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；
23) 碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；
24) 陽(yáng)極玻璃面板[19]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極 玻璃面板；
25) 陽(yáng)極導(dǎo)電層[20]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；
刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；
26) 絕緣漿料層[21]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；
27) 熒光粉層[22]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；
28) 器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[23]和四周玻 璃圍框[24]裝配到一起，并將消氣劑[25]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。 在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；
29) 成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。 所述步驟26具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止
寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150°C，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在 燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580°C，保持時(shí)間IO分鐘)。
所述步驟27具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng) 中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120°C，保持時(shí)間IO分鐘)。
所述步驟29具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝將樣品器件放入烘 箱中烘烤；放入燒結(jié)爐中燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上 對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1、一種多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[19]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[24]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層[20]以及制在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[22]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[23]以及消氣劑附屬元件[25]；其特征在于在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[18]以及多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃， 即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層 上面刻蝕的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成 柵極升高層；柵極升高層中存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；柵極升 高層小圓孔中印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層和柵極引線層 相互連通；柵極升高層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈 現(xiàn)圓臺(tái)面型形狀，底面為圓盤面型形狀，坐落于柵極升高層上表面上，提升 一層的上表面為圓盤面型形狀，其直徑小于提升一層下表面直徑，提升一層 的側(cè)面形成傾斜面；提升一層中心存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道； 提升一層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層，與柵極升高層中的柵 極延長(zhǎng)線層相互連通；提升一層上面刻蝕后金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控 柵極一層布滿提升一層的上表面；調(diào)控柵極一層和柵極延長(zhǎng)線層相互連通； 調(diào)控柵極一層上面印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提升二層也是呈現(xiàn)圓臺(tái) 面型形狀，其下底面直徑與提升一層上頂面直徑相同，其側(cè)面傾斜角度與提 升一層側(cè)面傾斜角度一致；提升二層中存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通 道；提升二層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層，與提升一層中的 柵極延長(zhǎng)線層相互連通；提升二層上面刻蝕后金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào) 控柵極二層與柵極延長(zhǎng)線層相互連通；調(diào)控柵極二層上面印刷的絕緣漿料層 形成提升三層；提升三層呈現(xiàn)圓臺(tái)面型形狀，其下底面直徑與提升二層的上 頂面直徑相同，其側(cè)面傾斜角度與提升二層側(cè)面傾斜角度一致；提升三層中 存在小圓孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；提升三層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層 形成柵極延長(zhǎng)線層，與提升二層中的柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；提升三層 上表面刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極三層；調(diào)控柵極三層布滿提升三層的上 表面，且與柵極延長(zhǎng)線層相互連通；調(diào)控柵極三層上面印刷的絕緣漿料層形 成柵極覆蓋層；提升一層、提升二層、提升三層側(cè)面印刷的絕緣漿料層形成 隔離層；隔離層覆蓋住提升一層、提升二層和提升三層的側(cè)面；隔離層外側(cè) 面是傾斜面，其傾斜角度與提升一層的傾斜角度相同；隔離層外側(cè)面上刻蝕 后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿隔離層的外側(cè)面；陰極過(guò)渡層 上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；柵極升高層上面刻蝕后金屬層形成陰 極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層以及陰極導(dǎo)電層相互連通；陰極引線層 上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特 征在于所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極 引線層為金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二層和調(diào)控柵極三 層為金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過(guò)渡層為金、銀、鋁、鉬、鉻、銅、 錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層為金、 銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦；陰極導(dǎo)電層為鐵、鈷、鎳。
4、 一種多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于， 其制作工藝如下1) 陰極玻璃面板[l]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2) 絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié) 工藝后形成絕緣層；3) 柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形 成柵極引線層；4) 柵極升高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣槳料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；5) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在柵極升高層小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；'6)提升一層[6]的制作在柵極升高層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒 結(jié)工藝后形成提升一層；7) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升一層小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒 結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；8) 調(diào)控柵極一層[7]的制作在提升一層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕 后形成調(diào)控柵極一層；9) 提升二層[8]的制作在調(diào)控柵極一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成提升二層；10) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升二層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；11) 調(diào)控柵極二層[9]的制作在提升二層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻 蝕后形成調(diào)控柵極二層；12) 提升三層[10]的制作在調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成提升三層；13) 柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在提升三層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；14) 調(diào)控柵極三層[ll]的制作在提升三層的上面制備出一個(gè)金屬層，經(jīng) 烘烤、燒結(jié)工藝后形成調(diào)控柵極三層；15) 柵極覆蓋層[12]的制作在調(diào)控柵極三層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng) 烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；16) 隔離層[13]的制作在提升一層、提升二層和提升三層的側(cè)面印刷絕 緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；17) 陰極過(guò)渡層[14]的制作在隔離層外側(cè)面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕 后形成陰極過(guò)渡層；18) 陰極導(dǎo)電層[15]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層， 19) 陰極引線層[16]的制作在柵極升高層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻 蝕后形成陰極引線層；20) 陰極覆蓋層[17]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；21) 多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié) 構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；22) 碳納米管[18]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；23) 陽(yáng)極玻璃面板[19]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陽(yáng)極玻璃面板；24) 陽(yáng)極導(dǎo)電層[20]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜 層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；25) 絕緣漿料層[21]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；26) 熒光粉層[22]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；27) 器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[23]和四周 玻璃圍框[24]裝到一起，將消氣劑[25傲入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；28) 成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作 工藝，其特征在于所述步驟25具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣 漿料層，經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150°C，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒 結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度5S0。C，保持時(shí)間IO分鐘。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟26具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒 光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120°C，保持時(shí)間IO分鐘。
7、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述步驟28具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝將 樣品器件放入烘箱中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳 形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及多同軸柱面?zhèn)葨趴匦徒Y(jié)構(gòu)；能夠進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，有助于提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量。具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J9/00GK101110333SQ20071005459
公開日2008年1月23日 申請(qǐng)日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院