專利名稱：凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
作為直接進(jìn)行顯示信息的終端設(shè)備，顯示器件將不斷的向高亮度、高分辨率、大屏幕尺寸、大信息量、完全平板化以及集成化等方向發(fā)展。碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器的工作原理與傳統(tǒng)的陰極射線管顯示器相似，采用了碳納米管作為冷陰極發(fā)射材料，可以降低功耗，實現(xiàn)器件的完全平板化。這種顯示器還具有占有空間小，適用溫區(qū)廣，能夠在高濕度、惡劣環(huán)境下可靠工作等特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于壁掛大屏幕電視，軍用頭盔目視鏡，火炮瞄準(zhǔn)顯示系統(tǒng)，士兵便攜式瞄準(zhǔn)儀等各種設(shè)備當(dāng)中，是一種比較理想的平面顯示器件。
目前，在所報道的三極結(jié)構(gòu)碳納米管場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，大多數(shù)都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式，其制作工藝簡單，但柵極電壓居高不下，碳納米管陰極的有效發(fā)射面積小，器件顯示亮度不高等，都是其不利因素所在。受到柵極結(jié)構(gòu)的制約，這種結(jié)構(gòu)顯示器中的碳納米管陰極面積無法擴(kuò)大，陰極的宏觀表面形狀不可能有太多改變，因此碳納米管的有效電子發(fā)射面積小則是一個瓶頸問題。還有，在相同柵極工作條件下，碳納米管陰極發(fā)射電子的效率不高，部分發(fā)射的電子束電子被柵極結(jié)構(gòu)截留過多，既導(dǎo)致柵極電流偏大，同時也導(dǎo)致陽極電流偏小，這些也是影響器件顯示亮度的重要因素。因此，還需要眾多科研人員進(jìn)行認(rèn)真的研究，對器件結(jié)構(gòu)加以改進(jìn)，進(jìn)一步降低柵極工作電壓，提高碳納米管的發(fā)射效率，進(jìn)行高質(zhì)量的器件制作。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)。
所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層呈現(xiàn)凹面尖錐型形狀，即提升層的底面為一個圓盤面，坐落于柵極引線層的上面，提升層的最高點(diǎn)匯聚成一個頂點(diǎn)，提升層的側(cè)面呈現(xiàn)一個略向下凹陷的弧形面，環(huán)繞形成了凹面尖錐型的側(cè)面；提升層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升層的表面，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的上表面為平面，下表面要完全覆蓋住柵極引線層、柵極管制層以及提升層；間隔層中存在尖劈型孔，即尖劈型孔的縱向截面分為兩部分，上部分為長方形形狀，下部分為直角三角形形狀，其一條直角邊和長方形的底部邊長相重合，且長度相同，直角三角形的斜邊傾斜方向沿著柵極管制層的傾斜方向；間隔層中尖劈型孔環(huán)繞在柵極管制層的周圍，形成一個環(huán)形溝槽狀結(jié)構(gòu)；間隔層中尖劈型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層僅僅位于尖劈型孔的底部斜邊上面以及側(cè)面的長邊上面，尖劈型孔的側(cè)面短邊上面是沒有陰極過渡層的；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅位于尖劈型孔底部斜邊上面的陰極過渡層的上面；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉻、鉬、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)提升層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)柵極管制層[5]的制作在提升層的表面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；6)間隔層[6]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層中尖劈型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陽極玻璃面板；14)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；18)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟18具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)中，所制作的凹面柵極結(jié)構(gòu)位于環(huán)形碳納米管陰極的內(nèi)部，且被間隔層所覆蓋。當(dāng)在柵極引線層上施加適當(dāng)電壓以后，就會傳導(dǎo)到柵極管制層的上面，從而在碳納米管陰極的表面頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量電子，體現(xiàn)了柵極的強(qiáng)有力控制功能。由于柵極管制層呈現(xiàn)凹面型形狀，減小了柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)電學(xué)擊穿的幾率，提高了器件的制作成功率。由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極的下方，不會對碳納米管陰極所發(fā)射的電子束進(jìn)行截留，減小了柵極的電流。由于柵極管制層的凹面型形狀呈現(xiàn)半包圍型環(huán)繞在碳納米管陰極的側(cè)面，能夠均勻的將外界電壓施加給碳納米管陰極，確保整體器件發(fā)光的均勻性和穩(wěn)定性。
其次，在所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了環(huán)形斜面型的陰極導(dǎo)電層的上面，極大地增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射，有助于提高器件的顯示亮度。由于碳納米管陰極可以盡可能的接近于柵極管制層，縮減了二者之間的距離，有助于間接的降低柵極的工作電壓。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明，但并不局限于這些實施例。
所述的一種凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑附屬元件[18]；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[11]以及凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)。
所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線層[3]、提升層[4]、柵極管制層[5]、間隔層[6]、陰極過渡層[7]、陰極導(dǎo)電層[8]、陰極引線層[9]、陰極覆蓋層[10]和碳納米管[11]部分。
所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層呈現(xiàn)凹面尖錐型形狀，即提升層的底面為一個圓盤面，坐落于柵極引線層的上面，提升層的最高點(diǎn)匯聚成一個頂點(diǎn)，提升層的側(cè)面呈現(xiàn)一個略向下凹陷的弧形面，環(huán)繞形成了凹面尖錐型的側(cè)面；提升層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升層的表面，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的上表面為平面，下表面要完全覆蓋住柵極引線層、柵極管制層以及提升層；間隔層中存在尖劈型孔，即尖劈型孔的縱向截面分為兩部分，上部分為長方形形狀，下部分為直角三角形形狀，其一條直角邊和長方形的底部邊長相重合，且長度相同，直角三角形的斜邊傾斜方向沿著柵極管制層的傾斜方向；間隔層中尖劈型孔環(huán)繞在柵極管制層的周圍，形成一個環(huán)形溝槽狀結(jié)構(gòu)；間隔層中尖劈型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層僅僅位于尖劈型孔的底部斜邊上面以及側(cè)面的長邊上面，尖劈型孔的側(cè)面短邊上面是沒有陰極過渡層的；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅位于尖劈型孔底部斜邊上面的陰極過渡層的上面；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉻、鉬、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)提升層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)柵極管制層[5]的制作在提升層的表面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；6)間隔層[6]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層中尖劈型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；
11)凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)碳納米管的后處理對碳納米管進(jìn)行后處理，改善場致發(fā)射特性；14)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑附屬元件[18]；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[11]以及凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層呈現(xiàn)凹面尖錐型形狀，即提升層的底面為一個圓盤面，坐落于柵極引線層的上面，提升層的最高點(diǎn)匯聚成一個頂點(diǎn)，提升層的側(cè)面呈現(xiàn)一個略向下凹陷的弧形面，環(huán)繞形成了凹面尖錐型的側(cè)面；提升層上面刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升層的表面，并和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層上表面為平面，下表面完全覆蓋住柵極引線層、柵極管制層以及提升層；間隔層中存在尖劈型孔，即尖劈型孔的縱向截面分為兩部分，上部分為長方形形狀，下部分為直角三角形形狀，其一條直角邊和長方形的底部邊長相重合，且長度相同，直角三角形的斜邊傾斜方向沿著柵極管制層的傾斜方向；間隔層中尖劈型孔環(huán)繞在柵極管制層的周圍，形成一個環(huán)形溝槽狀結(jié)構(gòu)；間隔層中尖劈型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層僅僅位于尖劈型孔的底部斜邊上面以及側(cè)面的長邊上面，尖劈型孔的側(cè)面短邊上面是沒有陰極過渡層的；陰極過渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅位于尖劈型孔底部斜邊上面的陰極過渡層的上面；間隔層上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層相互連通；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉻、鉬、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)提升層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)柵極管制層[5]的制作在提升層的表面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；6)間隔層[6]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層中尖劈型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；14)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；18)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及凹面內(nèi)柵控曲型陰極結(jié)構(gòu)；能夠進(jìn)一步提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號H01J1/304GK101075531SQ200710054598
公開日2007年11月21日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院