專利名稱：斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
顯示器和顯示技術(shù)已經(jīng)越來越成為人類生活中不可缺少的一部分，顯示器件總體上是朝向完全平板化、全彩色化、低功耗以及實時顯示等方向發(fā)展。平板場致發(fā)射顯示器是一種真空微電子型平板顯示器件，具有視角寬、功耗低、響應速度快、分辨率高等特點，是一種新興的平板顯示設備。碳納米管具有獨特的幾何外形，能夠在外加電場強度的作用下發(fā)射出大量的電子，是一種相當優(yōu)秀的冷陰極發(fā)射材料，在真空顯示技術(shù)方面具有極大的應用潛力。利用碳納米管作為冷陰極材料而制作的場致發(fā)射平板顯示器已經(jīng)成為了國際平板顯示領(lǐng)域的熱門研究話題，代表著下一代顯示器件的發(fā)展方向。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動電路相聯(lián)系，制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器件已經(jīng)成為了一種必然的選擇。然而在三極結(jié)構(gòu)的平板器件中，進一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓業(yè)已成為了一個必須解決的難題，這也符合低壓平板顯示器件質(zhì)量體系的基本要求。目前，在大多數(shù)的顯示器件當中，都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式，這種結(jié)構(gòu)形式的制作工藝比較簡單，但是柵極電流比較大，柵極電壓居高不下是其不利之處。要想降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，一則可以進一步的縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)二者之間的距離，二則也可以對碳納米管陰極的表面形狀加以改變，間接降低柵極工作電壓。此外，為了進一步提高器件的顯示亮度，還需要盡可能多的碳納米管陰極來參與電子發(fā)射。這些問題都需要研究人員來加以解決，并在實際器件制作過程中加以利用。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設置在陽極玻璃面板上的陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有陰極導電層、碳納米管以及斜面平柵型結(jié)構(gòu)。
所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成本底層；本底層的底部和陰極引線層相互連通；本底層為圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極引線層相互接觸；圓柱體型本底層上表面的下部側(cè)面的印刷的銀漿層形成上部附加本底層；上部附加本底層為直角三角形形狀，一個直角邊位于本底層的側(cè)面上，另一個直角邊垂直于本底層的側(cè)面，斜邊位于垂直態(tài)直角邊的下面；上部附加本底層環(huán)繞在本底層的側(cè)面周圍，呈現(xiàn)一種三角環(huán)形形狀；在圓柱體型本底層側(cè)面的上部附加本底層的下部的印刷的銀漿層形成下部附加本底層；下部附加本底層也呈現(xiàn)直角三角型形狀，一個直角邊位于本底層的側(cè)面上，另一個直角邊垂直于本底層的側(cè)面，斜邊位于垂直態(tài)直角邊的上面，和上部附加本底層是對稱排列的；下部附加本底層也環(huán)繞在本底層的側(cè)面周圍，呈現(xiàn)一種三角環(huán)形形狀；上部附加本底層和下部附加本底層中間相互分開，暴露出呈現(xiàn)圓環(huán)狀的本底層側(cè)面；上部附加本底層要比下部附加本底層形狀小；本底層表面上的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋除了上部附加本底層和下部附加本底層及二者中間部分以外的所有本底層表面；位于上部附加本底層和下部附加本底層的表面以及二者中間部分的本底層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；絕緣層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層的高度與上部附加本底層的高度相同；間隔層的上表面大部分為平面，和柵極引線層相互接觸，但在靠近本底層附近存在一個斜面凹陷孔；間隔層中斜面凹陷孔位于本底層的周圍，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，直至到達下部附加本底層的下表面處位置為止，形成一個斜坡面；間隔層中斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層位于斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上，環(huán)繞在本底層的周圍；間隔層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要全部覆蓋住柵極引線層，但不能覆蓋住調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、錫、鉻、鉛；陰極導電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)本底層的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成本底層；5)下部附加本底層的制作在本底層的側(cè)面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成下部附加本底層；6)上部附加本底層的制作在本底層的側(cè)面上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成上部附加本底層；7)陰極覆蓋層的制作在本底層除了上部附加本底層和下部附加本底層及二者中間部分外的所有表面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝形成陰極覆蓋層；8)陰極導電層的制作在上部附加本底層和下部附加本底層的表面以及二者之間的本底層的側(cè)面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導電層；9)間隔層的制作在絕緣層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；10)調(diào)控柵極層的制作在斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；11)柵極引線層的制作在間隔層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；12)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；13)斜面平柵型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜面平柵型結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；15)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制出陽極玻璃面板；16)陽極導電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；17)絕緣漿料層的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)中，分別制作了調(diào)控柵極層和柵極引線層部分，柵極引線層用于將外部電壓傳遞到器件內(nèi)部，而調(diào)控柵極層則是用于控制碳納米管陰極的電子發(fā)射。當在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當電壓以后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。由于調(diào)控柵極層位于碳納米管陰極的旁側(cè)，且調(diào)控柵極層呈現(xiàn)斜面狀，二者大體高度相同，這樣從碳納米管陰極所發(fā)射的電子在陽極高電壓的作用下加速向陽極運動，被柵極結(jié)構(gòu)截留的幾率很小，極大地減小了柵極電流，增大陽極電流，有助于進一步提高器件的顯示亮度。
其次，在所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了陰極導電層的上面，而陰極導電層而位于本底層側(cè)面，且位于上下部附加本底層的中間。充分利用了碳納米管陰極中邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率。增大了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，有助于提高發(fā)射電子的陰極數(shù)量。調(diào)控柵極層的末端能夠盡可能的接近于碳納米管陰極，這也有助于進一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。此外，在所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了斜面平柵型結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了斜面平柵型結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有斜面平柵型結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明。
所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[14]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[19]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[15]以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層[17]；在陰極玻璃面板上有陰極導電層[8]、碳納米管[13]以及斜面平柵型結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑[20]附屬元件。
所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、本底層[4]、下部附加本底層[5]、上部附加本底層[6]、陰極覆蓋層[7]、陰極導電層[8]、間隔層[9]、調(diào)控柵極層[10]、柵極引線層[11]、柵極覆蓋層[12]和碳納米管[13]部分。
所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成本底層；本底層的底部和陰極引線層相互連通；本底層為圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極引線層相互接觸；圓柱體型本底層上表面的下部側(cè)面的印刷的銀漿層形成上部附加本底層；上部附加本底層為直角三角形形狀，一個直角邊位于本底層的側(cè)面上，另一個直角邊垂直于本底層的側(cè)面，斜邊位于垂直態(tài)直角邊的下面；上部附加本底層環(huán)繞在本底層的側(cè)面周圍，呈現(xiàn)一種三角環(huán)形形狀；在圓柱體型本底層側(cè)面的上部附加本底層的下部的印刷的銀漿層形成下部附加本底層；下部附加本底層也呈現(xiàn)直角三角型形狀，一個直角邊位于本底層的側(cè)面上，另一個直角邊垂直于本底層的側(cè)面，斜邊位于垂直態(tài)直角邊的上面，和上部附加本底層是對稱排列的；下部附加本底層也環(huán)繞在本底層的側(cè)面周圍，呈現(xiàn)一種三角環(huán)形形狀；上部附加本底層和下部附加本底層中間相互分開，暴露出呈現(xiàn)圓環(huán)狀的本底層側(cè)面；上部附加本底層要比下部附加本底層形狀小；本底層表面上的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋除了上部附加本底層和下部附加本底層及二者中間部分以外的所有本底層表面；位于上部附加本底層和下部附加本底層的表面以及二者中間部分的本底層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；絕緣層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層的高度與上部附加本底層的高度相同；間隔層的上表面大部分為平面，和柵極引線層相互接觸，但在靠近本底層附近存在一個斜面凹陷孔；間隔層中斜面凹陷孔位于本底層的周圍，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，直至到達下部附加本底層的下表面處位置為止，形成一個斜坡面；間隔層中斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層位于斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上，環(huán)繞在本底層的周圍；間隔層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要全部覆蓋住柵極引線層，但不能覆蓋住調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、錫、鉻、鉛；陰極導電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種帶有斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)本底層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成本底層；5)下部附加本底層[5]的制作在本底層的側(cè)面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成下部附加本底層；6)上部附加本底層[6]的制作在本底層的側(cè)面上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成上部附加本底層；7)陰極覆蓋層[7]的制作在本底層除了上部附加本底層和下部附加本底層及二者中間部分以外的所有表面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；8)陰極導電層[8]的制作在上部附加本底層和下部附加本底層的表面以及二者之間的本底層的側(cè)面上制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導電層；9)間隔層[9]的制作在絕緣層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；10)調(diào)控柵極層[10]的制作在斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；11)柵極引線層[11]的制作在間隔層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；12)柵極覆蓋層[12]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；13)斜面平柵型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜面平柵型結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管[13]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；15)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；16)陽極玻璃面板[14]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；17)陽極導電層[15]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；18)絕緣漿料層[16]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；19)熒光粉層[17]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；20)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[19]裝配到一起，并將消氣劑[20]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；21)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟18具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[14]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[19]所構(gòu)成的密封真空腔；設置在陽極玻璃面板上的陽極導電層[15]以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層[17]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑附屬元件[20]，其特征在于在陰極玻璃面板上有陰極導電層[8]、碳納米管[13]以及斜面平柵型結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面印刷的銀漿層形成本底層；本底層的底部和陰極引線層相互連通；本底層為圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極引線層相互接觸；圓柱體型本底層上表面下部側(cè)面的印刷的銀漿層形成上部附加本底層；上部附加本底層為直角三角形形狀，一個直角邊位于本底層的側(cè)面上，另一個直角邊垂直于本底層的側(cè)面，斜邊位于垂直態(tài)直角邊的下面；上部附加本底層環(huán)繞在本底層的側(cè)面周圍，呈現(xiàn)一種三角環(huán)形形狀；在圓柱體型本底層側(cè)面的上部附加本底層的下部的印刷的銀漿層形成下部附加本底層；下部附加本底層也呈現(xiàn)直角三角型形狀，一個直角邊位于本底層的側(cè)面上，另一個直角邊垂直于本底層的側(cè)面，斜邊位于垂直態(tài)直角邊的上面，和上部附加本底層是對稱排列的；下部附加本底層也環(huán)繞在本底層側(cè)面周圍，呈現(xiàn)一種三角環(huán)形形狀；上部附加本底層和下部附加本底層中間相互分開，暴露出呈現(xiàn)圓環(huán)狀的本底層側(cè)面；上部附加本底層要比下部附加本底層形狀小；本底層表面上的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋除了上部附加本底層和下部附加本底層及二者中間部分以外的所有本底層表面；位于上部附加本底層和下部附加本底層的表面以及二者中間部分的本底層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；絕緣層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層的高度與上部附加本底層的高度相同；間隔層的上表面大部分為平面，和柵極引線層相互接觸，在靠近本底層附近存在一個斜面凹陷孔；間隔層中斜面凹陷孔位于本底層周圍，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，直至到達下部附加本底層的下表面處位置為止，形成一個斜坡面；間隔層中斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層位于斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上，環(huán)繞在本底層周圍；間隔層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層相互連通；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層全部覆蓋住柵極引線層，但不覆蓋住調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、錫、鉻、鉛；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
4.一種斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)本底層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成本底層；5)下部附加本底層[5]的制作在本底層的側(cè)面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成下部附加本底層；6)上部附加本底層[6]的制作在本底層的側(cè)面上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成上部附加本底層；7)陰極覆蓋層[7]的制作在本底層除了上部附加本底層和下部附加本底層及二者中間部分以外的所有表面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；8)陰極導電層[8]的制作在上部附加本底層和下部附加本底層的表面以及二者之間的本底層的側(cè)面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導電層；9)間隔層[9]的制作在絕緣層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；10)調(diào)控柵極層[10]的制作在斜面凹陷孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；11)柵極引線層[11]的制作在間隔層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；12)柵極覆蓋層[12]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；13)斜面平柵型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜面平柵型結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管[13]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；15)陽極玻璃面板[14]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；16)陽極導電層[15]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；17)絕緣漿料層[16]的制作在陽極導電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[17]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[19]裝配到一起，并將消氣劑[20]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種斜面平柵型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有陰極導電層、碳納米管以及斜面平柵型結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進一步增強柵極的控制功能，降低工作電壓，同時提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率和電子發(fā)射數(shù)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/304GK101071728SQ20071005461
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院