專利名稱：慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
平板顯示器件是一種十分重要的人機(jī)交流界面，由于其質(zhì)量提高，批量生產(chǎn)使成本下降，已經(jīng)開(kāi)始成為了人機(jī)接口應(yīng)用新產(chǎn)品和換代產(chǎn)品的有吸引力的選擇。而利用碳納米管作為陰極材料的場(chǎng)致發(fā)射顯示器則是下一代新型平板器件的代表，它具有分辨率更高，顯示亮度高，體積小，功耗低等特點(diǎn)，已經(jīng)成為了國(guó)際平板顯示領(lǐng)域的熱門話題。
柵極結(jié)構(gòu)是三極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器件當(dāng)中的關(guān)鍵元件之一，它調(diào)控著碳納米管陰極的電子發(fā)射。在大多數(shù)的顯示器件當(dāng)中都采取了柵極位于碳納米管陰極上方的結(jié)構(gòu)形式，其柵控作用比較顯著，制作工藝相對(duì)比較簡(jiǎn)單，但控制柵極電壓比較高，柵極電流比較大，這是其不利之處。如果要進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，那么就需要從兩個(gè)主要方面進(jìn)行比較合適，一方面就是盡可能的縮短?hào)艠O結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，另一方面就是對(duì)碳納米管陰極的形狀加以變化，其最終的目的都是以更小的工作電壓來(lái)在碳納米管陰極表面頂端形成更為強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，從而迫使碳納米管陰極發(fā)射出更多的電子。那么，在實(shí)際器件的制作過(guò)程中，如何更進(jìn)一步的降低柵極工作電壓，如何才能夠更進(jìn)一步增強(qiáng)碳納米管陰極表面頂端的電場(chǎng)強(qiáng)度，如何有效地增強(qiáng)柵極的調(diào)控功能，等等，這些都是值得考慮的問(wèn)題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的包括由陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件。
所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在斜面孔，此斜面孔為倒置尖頂圓錐型形狀，即在隔離層的上表面為尖頂圓錐型形狀的底面，呈現(xiàn)圓型形狀，從隔離層的上表面開(kāi)始到隔離層的下表面位置，形成一個(gè)斜坡面；隔離層中斜面孔的底部要暴露出陰極引線層；隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分上的刻蝕后的金屬層形成渡越層；渡越層布滿隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分，并和底部的陰極引線層相互連通；渡越層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層的上邊緣要突出于渡越層的上邊緣，并且呈現(xiàn)一種交替慢圓花邊型形狀；陰極導(dǎo)電層的上邊緣以下的區(qū)域則是布滿且連成一體的，覆蓋在渡越層的上面；隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的上邊緣處刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層呈現(xiàn)斜面圓環(huán)型形狀，緊緊依附于斜面孔內(nèi)側(cè)壁上邊緣的位置；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部柵極引線層，但不能覆蓋調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、鉬、鉻、錫；渡越層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫。
一種帶有慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)隔離層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；隔離層中存在斜面孔；5)渡越層[5]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成渡越層；6)陰極導(dǎo)電層[6]的制作在渡越層的上面制備出一個(gè)金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；7)調(diào)控柵極層[7]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的上邊緣處制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；8)柵極引線層[8]的制作在隔離層的上表面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；13)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；14)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；18)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟16具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)中，分別制作了柵極引線層和調(diào)控柵極層結(jié)構(gòu)。這樣，柵極引線層能夠?qū)⑼饨珉妷簜鬟f到調(diào)控柵極層的上面，同時(shí)還起到像素點(diǎn)矩陣尋址的功能；而調(diào)控柵極層則是將外界電壓轉(zhuǎn)換，從而在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。調(diào)控柵極層位于斜面孔內(nèi)側(cè)壁的上邊緣位置，其調(diào)控柵極層的底部則是可以盡可能的接近于碳納米管陰極的頂端，這樣可以進(jìn)一步縮短二者之間的距離，降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)中，將碳納米管制備在上邊緣呈現(xiàn)交替慢圓花邊型形狀的陰極導(dǎo)電層上面。這樣，可以極大地增加碳納米管陰極的場(chǎng)致電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射；充分利用了碳納米管陰極中邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；
此外，在所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)中，并沒(méi)有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒(méi)有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過(guò)程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。
圖1給出了慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)中陰極導(dǎo)電層的剖面圖；圖4給出了帶有慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的、碳納米管場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽(yáng)極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層[6]、碳納米管[10]以及慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑[16]附屬元件。
所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、陰極引線層[3]、隔離層[4]、渡越層[5]、陰極導(dǎo)電層[6]、調(diào)控柵極層[7]、柵極引線層[8]、柵極覆蓋層[9]和碳納米管[10]部分。
所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在斜面孔，此斜面孔為倒置尖頂圓錐型形狀，即在隔離層的上表面為尖頂圓錐型形狀的底面，呈現(xiàn)圓型形狀，從隔離層的上表面開(kāi)始到隔離層的下表面位置，形成一個(gè)斜坡面；隔離層中斜面孔的底部要暴露出陰極引線層；隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分上的刻蝕后的金屬層形成渡越層；渡越層布滿隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分，并和底部的陰極引線層相互連通；渡越層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層的上邊緣要突出于渡越層的上邊緣，并且呈現(xiàn)一種交替慢圓花邊型形狀；陰極導(dǎo)電層的上邊緣以下的區(qū)域則是布滿且連成一體的，覆蓋在渡越層的上面；隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的上邊緣處刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層呈現(xiàn)斜面圓環(huán)型形狀，緊緊依附于斜面孔內(nèi)側(cè)壁上邊緣的位置；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部柵極引線層，但不能覆蓋調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、鉬、鉻、錫；渡越層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫。
一種帶有慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下
1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)隔離層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；隔離層中存在斜面孔；5)渡越層[5]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成渡越層；6)陰極導(dǎo)電層[6]的制作在渡越層的上面制備出一個(gè)金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；7)調(diào)控柵極層[7]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的上邊緣處制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；8)柵極引線層[8]的制作在隔離層的上表面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；13)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；14)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；18)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)；所述步驟16具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)；所述步驟18具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽(yáng)極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔、設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]、位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑附屬元件[16]，其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有陰極導(dǎo)電層[6]、碳納米管[10]以及慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃或硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在斜面孔，此斜面孔為倒置尖頂圓錐型形狀，即在隔離層的上表面為尖頂圓錐型形狀的底面，呈現(xiàn)圓型形狀，從隔離層的上表面開(kāi)始到隔離層的下表面位置，形成一個(gè)斜坡面；隔離層中斜面孔的底部要暴露出陰極引線層；隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分上的刻蝕后的金屬層形成渡越層；渡越層布滿隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分，并和底部的陰極引線層相互連通；渡越層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層的上邊緣要突出于渡越層的上邊緣，并且呈現(xiàn)一種交替慢圓花邊型形狀；陰極導(dǎo)電層的上邊緣以下的區(qū)域則是布滿且連成一體的，覆蓋在渡越層的上面；隔離層中斜面孔內(nèi)側(cè)壁的上邊緣處刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層呈現(xiàn)斜面圓環(huán)型形狀，緊緊依附于斜面孔內(nèi)側(cè)壁上邊緣的位置；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部柵極引線層，但不能覆蓋調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、鉬、鉻、錫；渡越層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫。
4.一種慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)隔離層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；隔離層中存在斜面孔；5)渡越層[5]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成渡越層；6)陰極導(dǎo)電層[6]的制作在渡越層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；7)調(diào)控柵極層[7]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的上邊緣處制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；8)柵極引線層[8]的制作在隔離層的上表面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；13)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；17)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及慢圓型陰極斜柵控結(jié)構(gòu)；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，增大碳納米管的場(chǎng)致發(fā)射面積，提高碳納米管的電子發(fā)射效率，有助于提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量，具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J29/04GK101071727SQ200710054610
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院