專利名稱：三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管是一種卷曲的石墨層管狀物質(zhì)，具有小的尖端曲率半徑，高的縱橫比率，在外加電場強(qiáng)度的作用下能夠發(fā)射出大量的電子，呈現(xiàn)出良好的場致發(fā)射特性。利用這一原理，已經(jīng)進(jìn)行了碳納米管陰極的場致發(fā)射平板顯示器器件的研制。場致發(fā)射平板顯示器是將真空微電子管應(yīng)用于顯示系統(tǒng)的技術(shù)，具有視角寬、響應(yīng)速度快、工作溫區(qū)大以及分辨率高等特點(diǎn)，它將陰極射線管顯示器的高圖像質(zhì)量，等離子體顯示器的大面積性以及液晶顯示器的超薄型等優(yōu)點(diǎn)集于一身，業(yè)已成為了新一代國際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
在目前的平板顯示器件中，大多都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的結(jié)構(gòu)模式。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會在碳納米管陰極頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管陰極發(fā)射電子，轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光，從而體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的強(qiáng)有力控制作用。但是這種結(jié)構(gòu)顯示器所需要的柵極電壓往往居高不下，很難和常規(guī)的集成驅(qū)動(dòng)電路相聯(lián)系在一起，而制作專用的驅(qū)動(dòng)電路又會使得整體器件的制作成本大幅度的上升，因此進(jìn)一步的降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓就成了首要解決的問題。其次，由于碳納米管陰極所發(fā)射的電子要經(jīng)過柵極結(jié)構(gòu)以后才能夠飛向陽極結(jié)構(gòu)，受到柵極正電壓的影響，部分電子會受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，形成所謂的柵極電流，這部分電流往往是無用的，只會增加?xùn)艠O結(jié)構(gòu)的負(fù)擔(dān)，因此減小柵極結(jié)構(gòu)的電流也是一個(gè)需要解決的問題。而對于這樣存在的問題，目前還沒有一個(gè)比較好的解決方法。那么在實(shí)際器件的制作過程中，就需要研究人員認(rèn)真的思考和設(shè)計(jì)。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)。
所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔一層；間隔一層呈現(xiàn)一個(gè)尖角向上的三角圓錐型形狀，底面和柵極引線層緊密接觸；間隔一層的上表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層布滿間隔一層的上表面，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住調(diào)控柵極層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；間隔二層要完全覆蓋住柵極引線層、柵極覆蓋層以及空余的阻滯層部分；間隔二層的上表面為平面，和陰極引線層相互接觸；間隔二層中存在一個(gè)折線型圓孔，即折線型圓孔在間隔二層的上表面所形成的截面為一個(gè)中空的圓型孔，此處的圓型孔直徑最大，從間隔二層的上表面開始，逐漸向間隔二層的內(nèi)部凹陷，側(cè)壁形成一個(gè)斜坡面，直到到達(dá)間隔二層高度的中間位置為止，形成了折線型圓孔的上半部分，從折線型圓孔的上半部分開始，繼續(xù)向下傾斜，側(cè)壁還是形成一個(gè)斜坡面，不過這個(gè)斜坡面平面要垂直于調(diào)控柵極層的平面，直至暴露出柵極覆蓋層為止，形成折線型圓孔的下半部分；間隔二層中折線型圓孔中內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿折線型圓孔的內(nèi)側(cè)壁，包括上半部分和下半部分在內(nèi)；間隔二層折線型圓孔的下半部分的陰極過渡層的上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅存在且布滿折線型圓孔的下半部分的陰極過渡層的上面；間隔二層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)間隔一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在間隔一層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)柵極覆蓋層[6]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；7)間隔二層[7]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔二層中折線型圓孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在間隔二層折線型圓孔下半部分陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔二層上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)碳納米管的后處理對碳納米管進(jìn)行后處理，改善場致發(fā)射特性；15)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；16)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，并將消氣劑[19]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)中，分別制作了調(diào)控柵極層結(jié)構(gòu)和柵極引線層部分。柵極引線層能夠?qū)⑼饨珉妷簜鬟f到器件內(nèi)部，而調(diào)控柵極層則是將外界電壓轉(zhuǎn)化為碳納米管陰極表面頂端的強(qiáng)大電場強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量電子，從而體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的強(qiáng)有力控制作用。從碳納米管所發(fā)射的電子在陽極高電壓的作用下，直接轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光；由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極的下方，因此電子束不會受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，提高了器件的顯示亮度，減小了柵極電流。調(diào)控柵極層的末端可以盡可能的接近于碳納米管陰極，從而縮短二者之間的距離，降低了柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)中，將碳納米管制備在了呈現(xiàn)斜面狀的陰極導(dǎo)電層的上面。極大的增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有利于進(jìn)一步提高器件的顯示亮度和圖像質(zhì)量。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[19]附屬元件。
所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、柵極引線層[3]、間隔一層[4]、調(diào)控柵極層[5]、柵極覆蓋層[6]、間隔二層[7]、陰極過渡層[8]、陰極導(dǎo)電層[9]、陰極引線層[10]、陰極覆蓋層[11]和碳納米管[12]部分。
所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔一層；間隔一層呈現(xiàn)一個(gè)尖角向上的三角圓錐型形狀，底面和柵極引線層緊密接觸；間隔一層的上表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層布滿間隔一層的上表面，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住調(diào)控柵極層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；間隔二層要完全覆蓋住柵極引線層、柵極覆蓋層以及空余的阻滯層部分；間隔二層的上表面為平面，和陰極引線層相互接觸；間隔二層中存在一個(gè)折線型圓孔，即折線型圓孔在間隔二層的上表面所形成的截面為一個(gè)中空的圓型孔，此處的圓型孔直徑最大，從間隔二層的上表面開始，逐漸向間隔二層的內(nèi)部凹陷，側(cè)壁形成一個(gè)斜坡面，直到到達(dá)間隔二層高度的中間位置為止，形成了折線型圓孔的上半部分，從折線型圓孔的上半部分開始，繼續(xù)向下傾斜，側(cè)壁還是形成一個(gè)斜坡面，不過這個(gè)斜坡面平面要垂直于調(diào)控柵極層的平面，直至暴露出柵極覆蓋層為止，形成折線型圓孔的下半部分；間隔二層中折線型圓孔中內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿折線型圓孔的內(nèi)側(cè)壁，包括上半部分和下半部分在內(nèi)；間隔二層折線型圓孔的下半部分的陰極過渡層的上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅存在且布滿折線型圓孔的下半部分的陰極過渡層的上面；間隔二層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)間隔一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在間隔一層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)柵極覆蓋層[6]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；7)間隔二層[7]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔二層中折線型圓孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在間隔二層折線型圓孔下半部分陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔二層上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)碳納米管的后處理對碳納米管進(jìn)行后處理，改善場致發(fā)射特性；15)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；16)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；
19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，并將消氣劑[19]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑附屬元件[19]；其特征在于在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔一層；間隔一層呈現(xiàn)一個(gè)尖角向上的三角圓錐型形狀，底面和柵極引線層緊密接觸；間隔一層的上表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層布滿間隔一層的上表面，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住調(diào)控柵極層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；間隔二層要完全覆蓋住柵極引線層、柵極覆蓋層以及空余的阻滯層部分；間隔二層的上表面為平面，和陰極引線層相互接觸；間隔二層中存在一個(gè)折線型圓孔，即折線型圓孔在間隔二層的上表面所形成的截面為一個(gè)中空的圓型孔，此處的圓型孔直徑最大，從間隔二層的上表面開始，逐漸向間隔二層的內(nèi)部凹陷，側(cè)壁形成一個(gè)斜坡面，直到到達(dá)間隔二層高度的中間位置為止，形成了折線型圓孔的上半部分，從折線型圓孔的上半部分開始，繼續(xù)向下傾斜，側(cè)壁還是形成一個(gè)斜坡面，不過這個(gè)斜坡面平面要垂直于調(diào)控柵極層的平面，直至暴露出柵極覆蓋層為止，形成折線型圓孔的下半部分；間隔二層中折線型圓孔中內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿折線型圓孔的內(nèi)側(cè)壁，包括上半部分和下半部分在內(nèi)；間隔二層折線型圓孔的下半部分的陰極過渡層的上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅存在且布滿折線型圓孔的下半部分的陰極過渡層的上面；間隔二層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)間隔一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在間隔一層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)柵極覆蓋層[6]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；7)間隔二層[7]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔二層中折線型圓孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在間隔二層折線型圓孔下半部分陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔二層上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，并將消氣劑[19]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及三角底柵控陰極結(jié)構(gòu)；能夠增強(qiáng)柵極的控制功能和控制效率，增大碳納米管的電子發(fā)射面積，提高器件顯示亮度；具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號H01J29/04GK101075537SQ20071005460
公開日2007年11月21日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院