本發(fā)明涉及一種顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板傳送裝置。

背景技術(shù)：

目前，在顯示面板的制作工藝中，所述顯示面板的基板需要經(jīng)過(guò)多次制成工藝制成，因此，需要將基板在各制成設(shè)備間進(jìn)行傳送?，F(xiàn)有技術(shù)中，所述基板的傳送過(guò)程中一般都通過(guò)機(jī)械臂進(jìn)行傳送，以完成基板的制作。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中的所述機(jī)械臂一般包括支撐件10，所述支撐件10包括多個(gè)間隔設(shè)置的支撐齒牙11，傳送所述基板20時(shí)，將所述基板20放在多個(gè)所述支撐齒牙11上，通過(guò)所述機(jī)械臂的移動(dòng)完成所述基板20的傳送。但是，所述機(jī)械臂與所述基板進(jìn)行接觸，容易在所述基板上產(chǎn)生印跡，從而進(jìn)一步影響所述基板的品質(zhì)。并且，所述機(jī)械臂在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中會(huì)由于精度異常或偏轉(zhuǎn)而不可避免的產(chǎn)生一定的震顫，從而使得支撐于所述機(jī)械臂上的基板產(chǎn)生位置偏移而破片，從而影響機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能，增加生產(chǎn)成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的提供一種基板傳送裝置，可以能夠安全有效的保證所述基板的傳送，降低生產(chǎn)成本，并保證所述基板的品質(zhì)。

所述基板傳送裝置包括傳送件、氣浮墊及固定件，所述氣浮墊設(shè)于所述傳送件上并隨所述傳送件的傳動(dòng)而移動(dòng)，所述基板浮于所述氣浮墊上，所述固定件用于固定所述基板并使所述基板沿所述傳送件的傳動(dòng)方向進(jìn)行傳送。

其中，所述氣浮墊上設(shè)有多個(gè)間隔陣列設(shè)置的氣孔，氣體從所述氣孔溢出，以使設(shè)于所述氣浮墊上的基板浮起。

其中，所述氣浮墊為多孔碳纖維墊。

其中，所述基板傳送裝置還包括鼓氣件，所述鼓氣件設(shè)于所述氣浮墊朝向所述傳送件的一側(cè)，所述鼓氣件向所述氣浮墊鼓氣，所述鼓氣件鼓出的氣體從所述氣孔溢出，且所述氣流方向?yàn)樗鰵飧|朝向所述傳送件的一側(cè)至所述氣浮墊背離所述傳送件的一側(cè)。

其中，所述基板傳送裝置包括一聯(lián)動(dòng)桿，所述聯(lián)動(dòng)桿一端與所述固定件固定連接，以控制所述固定件的移動(dòng)。

其中，所述聯(lián)動(dòng)桿為三軸聯(lián)動(dòng)桿，以控制所述固定件的x、y、z軸三個(gè)方向的移動(dòng)。

其中，所述固定件包括固定板及間隔固定于所述固定板上的多個(gè)固定部，所述聯(lián)動(dòng)桿的一端與所述固定件的固定板進(jìn)行固定連接。

其中，所述固定部為真空吸附墊或者固定夾。

其中，所述基板包括有效區(qū)及圍繞所述有效區(qū)邊緣并與所述有效區(qū)連接的無(wú)效區(qū)，所述固定件固定所述基板時(shí)固定于所述基板的無(wú)效區(qū)。

其中，所述傳送件包括驅(qū)動(dòng)部及與所述驅(qū)動(dòng)部連接的承載部，所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)所述承載部傳動(dòng)，所述氣浮墊設(shè)于所述承載部上或?qū)⑺鰵飧|作為所述承載部。

本發(fā)明提供的所述基板傳送裝置，通過(guò)將需要傳送的所述基板浮于所述氣浮墊上，通過(guò)所述氣浮墊支撐所述基板。使得所述基板與所述氣浮墊并不進(jìn)行直接接觸，因此，不會(huì)在所述基板上產(chǎn)生印跡，從而保證所述基板的品質(zhì)。并且，由于所述基板一側(cè)通過(guò)所述固定件固定。因此，在所述基板的傳送過(guò)程中，不會(huì)產(chǎn)生基板的偏移而破片的情況產(chǎn)生，從而安全有效的保證所述基板的傳送，降低生產(chǎn)成本。

附圖說(shuō)明

為更清楚地闡述本發(fā)明的構(gòu)造特征和功效，下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施例來(lái)對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中所述基板傳送裝置的結(jié)構(gòu)圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例的所述基板傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例的所述基板傳送裝置進(jìn)行基板傳動(dòng)時(shí)的截面示意圖；

圖4是本發(fā)明另一實(shí)施例的所述基板傳送裝置進(jìn)行基板傳動(dòng)時(shí)的截面示意圖。

具體實(shí)施例

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。其中，附圖僅用于示例性說(shuō)明，表示的僅是示意圖，不能理解為對(duì)本專利的限制。

請(qǐng)一并參閱圖2及圖3，本發(fā)明提供一種基板傳送裝置100，所述基板傳送裝置100可以用于顯示面板的制造工藝中實(shí)現(xiàn)需要傳送的基板20的傳送。所述顯示面板可以為液晶面板或者有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板、高分子發(fā)光二極管顯示面板。

所述基板傳送裝置100包括傳送件30、氣浮墊40及固定件50。所述氣浮墊40設(shè)于所述傳送件30上并隨所述傳送件30的傳動(dòng)而移動(dòng)。所述基板20浮于所述氣浮墊40上，通過(guò)所述氣浮墊40支撐所述基板20。所述固定件50用于固定所述基板20并使所述基板20沿所述傳送件30的傳動(dòng)方向進(jìn)行傳送。

所述傳送件30為傳送帶或者傳送導(dǎo)軌。所述傳送件30連接于所述基板20相鄰的兩個(gè)制成工序的制成設(shè)備之間，從而通過(guò)所述傳送件30將所述基板20從一個(gè)制成工序移動(dòng)至另一制成工序中。所述傳送件30包括驅(qū)動(dòng)部及與所述驅(qū)動(dòng)部連接的承載部，所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)所述承載部傳動(dòng)。本實(shí)施例中，所述氣浮墊40層疊于所述傳送件30的承載部的上方，并隨所述承載部的傳動(dòng)而進(jìn)行傳動(dòng)?？梢岳斫獾氖?，所述氣浮墊40可以作為所述承載部，與所述驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行連接。本實(shí)施例中，所述傳送件30為傳送帶，所述驅(qū)動(dòng)部為驅(qū)動(dòng)輪，所述承載部為傳動(dòng)皮帶，所述傳動(dòng)皮帶連接與所述驅(qū)動(dòng)輪上并通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)輪驅(qū)動(dòng)，所述氣浮墊40層疊于所述傳動(dòng)皮帶的上方并隨所述傳動(dòng)皮帶的傳動(dòng)進(jìn)行傳動(dòng)?？梢岳斫獾氖?，可以將所述氣浮墊40作為所述傳動(dòng)皮帶傳動(dòng)皮帶。

本實(shí)施例中，所述氣浮墊40為長(zhǎng)方形片狀結(jié)構(gòu)。片狀結(jié)構(gòu)的所述氣浮墊40固定于所述傳送件30上。所述氣浮墊40在所述傳送件30運(yùn)動(dòng)時(shí)，在所述傳送件30的帶動(dòng)下沿所述傳送件30的傳動(dòng)方向進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。所述氣浮墊40上還包括多個(gè)間隔陣列設(shè)置的氣孔41。所述氣浮墊40朝向所述傳送件30的一側(cè)設(shè)有鼓氣件(圖中未示出)，所述鼓氣件向所述氣浮墊40側(cè)進(jìn)行鼓氣，鼓出的氣體從所述氣孔41中溢出，從而形成從所述氣浮墊40背離所述傳動(dòng)件30的表面向遠(yuǎn)離該表面流動(dòng)的氣流。所述基板20設(shè)于所述氣浮墊40上時(shí)，所述氣流支撐所述基板20，使所述基板20遠(yuǎn)離所述氣浮墊40，從而使所述基板20浮于所述氣浮墊40上。所述氣孔41為上大下小的圓錐臺(tái)結(jié)構(gòu)，從而使得所述鼓氣件鼓出的氣體能夠均勻的分布于所述氣浮墊40上，從而使得所述基板20各個(gè)位置能夠得到均勻的支撐，防止所述基板20的損壞。并且，為了進(jìn)一步保證所述基板20的各個(gè)位置能夠得到均勻的支撐，所述起伏墊40的大小大于或等于所述基板20的大小。本實(shí)施例中，所述氣浮墊40為多孔碳纖維墊。所述多孔碳纖維墊由多孔碳纖維材料制成，所述多孔碳纖維材料具體多孔結(jié)構(gòu)，從而不需要人工在所述氣浮墊40設(shè)置所述氣孔41，從而降低生產(chǎn)成本。進(jìn)一步的，所述多孔碳纖維材料具有強(qiáng)度高、質(zhì)量輕的特點(diǎn)，因此，能夠在保證使用強(qiáng)度的同時(shí)盡量實(shí)現(xiàn)所述氣浮墊40的輕薄化，從而進(jìn)一步的降低傳送成本。

所述固定件50包括固定板51及間隔設(shè)于所述固定板51上的多個(gè)固定部52。所述固定板51為長(zhǎng)條狀，長(zhǎng)條狀的所述固定板51的長(zhǎng)度與所述氣浮墊40垂直所述傳送件30的傳送方向的兩條平行邊的長(zhǎng)度相同，從而保證能夠?qū)Ω∮谒鰵飧|40上的所述基板20實(shí)現(xiàn)均勻的固定。

所述固定部52一端與所述固定板51固定連接，所述固定部52另一端可拆卸固定于所述基板20的一側(cè)，從而實(shí)現(xiàn)所述固定件50對(duì)所述基板20的固定，進(jìn)而防止所述基板20剛設(shè)于所述氣浮件40上方時(shí)，所述氣浮墊40各部分的氣流不均勻而可能導(dǎo)致所述基板20位置偏移甚至破片的情況產(chǎn)生。所述基板20還包括有效區(qū)及圍繞所述有效區(qū)邊緣并與所述有效區(qū)連接的無(wú)效區(qū)，在所述基板20制作完成以后，所述無(wú)效區(qū)需要被去除。因此，本發(fā)明中，多個(gè)所述固定部52間隔固定于所述基板20一側(cè)的無(wú)效區(qū)，從而防止所述固定件固定所述基板20時(shí)，在所述基板20上留下痕跡，從而影響所述基板20的品質(zhì)。并通過(guò)多個(gè)所述固定部52間隔固定于所述基板20一側(cè)，使得所述基板20的一側(cè)受力均勻，防止所述基板20受力不均產(chǎn)生破裂。

所述固定部52可以為真空吸附墊或者固定夾。本實(shí)施例中，所述固定部52為真空吸附墊。所述真空吸附墊包括一吸盤53，所述吸盤53由橡膠材料制成。所述吸盤53底部設(shè)有一氣孔(圖中未示出)。所述吸盤53接觸所述基板20時(shí)，通過(guò)所述氣孔將所述吸盤53抽真空，從而使得所述吸盤53與所述基板20固定。

請(qǐng)參閱圖4，本發(fā)明另一實(shí)施例中，所述固定部52為固定夾。所述基板20與所述固定部52接觸時(shí)，所述固定夾夾緊所述基板20，從而實(shí)現(xiàn)所述固定夾與所述基板20的固定。進(jìn)一步的所述固定夾與所述基板20接觸的一面上還包覆有緩沖件54。本實(shí)施例中，所述緩沖件54為橡膠，通過(guò)所述緩沖件54防止所述固定夾對(duì)所述基板20的損傷。

進(jìn)一步的，請(qǐng)重新參閱圖2，所述基板傳送裝置100還包括一聯(lián)動(dòng)桿60。所述聯(lián)動(dòng)桿60一端與所述固定件50的固定板51固定連接，另一端可以根據(jù)實(shí)際需要固定于所述傳送件的任意位置。例如，固定于所述傳送件的上方，或者固定所述傳送件的兩側(cè)等。通過(guò)所述聯(lián)動(dòng)桿60與所述固定件50的固定板51固定連接，以控制所述固定件50的移動(dòng)，并通過(guò)所述固定件50的移動(dòng)進(jìn)一步控制所述基板20的移動(dòng)。本實(shí)施例中，所述聯(lián)動(dòng)桿60為三軸聯(lián)動(dòng)桿，即通過(guò)所述聯(lián)動(dòng)桿60能夠?qū)崿F(xiàn)所述固定件50的x、y、z軸三個(gè)方向移動(dòng)的控制。其中，定義所述x軸方向?yàn)樗鰝魉图?0的傳送方向；所述y軸方向?yàn)樗矫嫔洗怪彼鰝魉图?0的傳送方向；所述z軸方向?yàn)樨Q直面上垂直所述傳送件30的傳送方向。當(dāng)所述基板20位于所述氣浮墊40上方時(shí)，所述聯(lián)動(dòng)桿60控制所述固定件50沿z軸進(jìn)行移動(dòng)至所述基板20所在平面，并進(jìn)一步控制所述固定件50沿x、y軸進(jìn)行移動(dòng)至所述所述固定件50的固定部52均勻分布并固定于所述基板20一側(cè)。并通過(guò)控制所述固定件50沿x軸方向的移動(dòng)，使所述固定件50相對(duì)所述氣浮墊40靜止，從而實(shí)現(xiàn)所述基板20得到所述氣浮墊40的穩(wěn)定支撐?？梢岳斫獾氖?，所述聯(lián)動(dòng)桿60還可以為雙軸聯(lián)動(dòng)桿、四軸聯(lián)動(dòng)桿等，保證所述聯(lián)動(dòng)桿60能夠方便的實(shí)現(xiàn)所述固定件50各個(gè)方向運(yùn)動(dòng)的控制。或者，所述聯(lián)動(dòng)桿60還可以滑動(dòng)固定于一沿所述傳動(dòng)件30傳動(dòng)方向設(shè)置的滑軌上，以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述固定件50沿x方向運(yùn)動(dòng)的控制。

本發(fā)明提供的所述基板傳送裝100，通過(guò)將需要傳送的所述基板20浮于所述氣浮墊40上，通過(guò)所述氣浮墊40支撐所述基板20。使得所述基板20與所述氣浮墊40并不進(jìn)行直接接觸，因此，不會(huì)在所述基板20上產(chǎn)生印跡，從而保證所述基板20的品質(zhì)。并且，由于所述基板20一側(cè)通過(guò)所述固定件50固定，因此，在所述基板20的傳送過(guò)程中，不會(huì)使所述基板20的產(chǎn)生偏移而破片的情況產(chǎn)生，從而安全有效的保證所述基板20的傳送，降低生產(chǎn)成本。

以上所述為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。