專利名稱：圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學裝置。
背景技術：
在顯示裝置及半導體裝置的制造工序中，大多包含將在基板上堆積的膜布圖成為所需的形狀、形成膜圖案的圖案形成工序。
近幾年來，在這種圖案形成工序中，為了提高生產率，而利用使向基板噴出的液滴固化后自我整合地形成膜圖案的噴墨法。噴墨法由于能夠形成與液滴形狀對應的膜圖案，所以不需要形成旨在布圖的掩模，能夠減少圖案形成工序的工序數。
可是，利用噴墨法形成膜圖案時，如果射中的液滴不在基板表面散開后，液滴的凹凸形狀就會反映到圖案形狀中，有損于膜圖案的平坦性及膜厚均勻性。
因此，在這種現(xiàn)有技術的噴墨法中，有人提出了能夠使射中的液滴在基板表面的散開擴大的方案(例如專利文獻1)。在專利文獻1中，使液滴的噴出方向傾斜于基板的法線，賦予噴出的液滴沿著基板的反掃描方向的成分。這樣，能夠使噴出的液滴沿著基板的切線方向散開基板的法線方向和噴出方向構成的角度(傾斜角)。
專利文獻1日本國特開平2005-131498號公報 可是，在上述噴墨法中，通常使噴出液滴的液滴噴出頭與基板相對移動(掃描)，從而形成所需的圖案。因此，在形成大型的膜圖案時，需要使一個液滴噴出頭進行多次換行掃描，或者使多個液滴噴出頭連續(xù)掃描。就是說，使一個液滴噴出頭每次掃描形成的圖案(單一圖案)依次接合，從而形成大型的膜圖案。
可是，位于各單一圖案的外緣(交界)的各液滴，在各自的表面張力等的作用下，被一樣地向對應的單一圖案的內方拉過去(流動)。因此，在依次接合多個單一圖案后形成的膜圖案中，接合的單一圖案的外緣(交界)就產生膜厚的離差(換行條紋)。其結果，存在著有損于膜圖案的膜厚均勻性的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明就是為了解決上述問題而研制的，其目的在于提供提高由液滴構成的圖案的膜厚均勻性的圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學裝置。
本發(fā)明的圖案形成方法，是在向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案的圖案形成方法中，從所述基板的法線上看，向所述圖案形成區(qū)域的外緣，按照從所述圖案形成區(qū)域的內側朝著外側的噴出方向，噴出所述液滴。
采用本發(fā)明的圖案形成方法后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴從圖案形成區(qū)域的內側向著外側的速度成分。這樣，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動。其結果，能夠提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該圖案形成方法中，所述外緣，是鄰接的多個所述圖案形成區(qū)域的交界；從所述基板的法線上看，可以按照從所述圖案形成區(qū)域的內側向著所述交界的噴出方向，噴出所述液滴。

采用本發(fā)明的圖案形成方法后，對于鄰接的圖案的交界而言，能夠提高其膜厚均勻性。
另外，在該圖案形成方法中，可以從所述基板的法線方向上看，按照具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分的所述噴出方向，噴出所述液滴。
采用該圖案形成方法后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動和沿著外緣方向的流動。其結果，由于使射中的液滴沿著外緣方向流動，所以能夠使射到外緣的各液滴的接合均勻。因此，能夠進一步提高圖案的膜厚均勻性。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，是在向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案的液滴噴出裝置中，具備從所述基板的法線上看，向所述圖案形成區(qū)域的外緣，按照從所述圖案形成區(qū)域的內側朝著外側的噴出方向，噴出所述液滴的液滴噴出頭。
采用本發(fā)明的液滴噴出裝置后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴從圖案形成區(qū)域的內側向外側的速度成分。這樣，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動。其結果，能夠提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，所述基板，可以具備鄰接的多個所述圖案形成區(qū)域；所述外緣，是鄰接的多個所述圖案形成區(qū)域的交界。
采用該液滴噴出裝置后，對于連續(xù)的圖案的交界，能夠提高其膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備方向設定單元，該方向設定單元移動所述液滴噴出頭，設定所述噴出方向。
采用該液滴噴出裝置后，能夠用方向設定單元設定的噴出方向，噴出液滴。這樣，能夠與圖案形成區(qū)域的形狀及尺寸無關，用所需的噴出方向噴出液滴。其結果，能夠切實提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備方向信息生成單元，該方向信息生成單元生成與所述圖案形成區(qū)域對應的所述噴出方向有關的方向信息；控制單元，該控制單元根據所述方向信息，驅動控制所述方向設定單元。
采用該液滴噴出裝置后，能夠根據與圖案形成區(qū)域對應的方向信息，驅動控制方向設定單元。這樣，能夠與圖案形成區(qū)域的形狀及尺寸無關，更切實地提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備多個所述液滴噴出頭，和與所述多個液滴噴出頭對應的多個所述方向設定單元；所述方向信息生成單元，生成所述方向信息，以便使與所述多個液滴噴出頭對應的各噴出方向，在所述基板側交叉。
采用該液滴噴出裝置后，能夠利用多個液滴噴出頭噴出噴出方向不同的液滴。這樣，對于鄰接的圖案形成區(qū)域及多個不同的圖案形成區(qū)域，能夠用大致相同的時刻形成圖案。其結果，能夠不影響生產效率地提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備移動單元，該移動單元使所述基板與所述液滴噴出頭相對移動，以便使所述噴出方向具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分。
采用該液滴噴出裝置后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動和沿著外緣方向的流動。其結果，能夠進一步提高圖案的膜厚均勻性。
本發(fā)明的電光學裝置，具備由上述液滴噴出裝置形成的圖案。
采用本發(fā)明的電光學裝置后，能夠具備由提高了的液滴構成的圖案。


圖1是表示本實施方式中的液晶顯示裝置的立體圖。
圖2是表示本實施方式中的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖3是表示本實施方式中的液滴噴出裝置的立體圖。
圖4是表示本實施方式中的液滴噴出頭的立體圖。
圖5是表示本實施方式中的液滴噴出頭的簡要平面圖。
圖6是表示本實施方式中的液滴噴出頭的簡要側面圖。
圖7是表示本實施方式中的液滴噴出頭的主要部件側面圖。
圖8是講述本實施方式中的液滴噴出動作的說明圖。
圖9是講述本實施方式中的液滴噴出動作的說明圖。
圖10是講述本實施方式中的液滴噴出動作的說明圖。
圖11是表示本實施方式中的液滴噴出裝置的電氣結構的電氣塊方框電路圖。
具體實施例方式下面，參照圖1～圖11，講述將本發(fā)明具體化的一種實施方式。首先，講述作為電光學裝置的液晶顯示裝置10，該電光學裝置具有采用本發(fā)明的圖案形成方法形成的取向膜。圖1是液晶顯示裝置10的立體圖，，圖2是圖1的A～A線剖面圖。
在圖1中，在液晶顯示裝置10的下側，具備邊緣燈型的背景燈12，該背景燈12具有LED等光源11，四方板狀地形成。在背景燈12的上方，具備和背景燈12大致相同尺寸形成的四方板狀的液晶屏13。而且，由光源11射出的光，朝著液晶屏13照射。
在液晶屏13中，具備相對的元件基板14和相對基板15。這些元件基板14和相對基板15，如圖2所示，通過由光硬化性樹脂構成的四方框狀的密封部件16做媒介，粘貼在一起。而且，在這些元件基板14和相對基板15之間的間隙，封入液晶17。
在圖1中，在元件基板14的下面(背景燈12一側的側面)，粘貼著偏振光板及相位差板等光學基板18。光學基板18將來自背景燈12的光，作為直線偏振光射到液晶17上。在元件基板14的上面(相對基板15一側的側面元件形成面14a)，排列形成大致遍及一個方向(X箭頭方向)的全寬地延伸的多個掃描線Lx。各掃描線Lx，分別與配置在元件基板14的一側的掃描線驅動電路19電連接，同時還在規(guī)定的時刻，輸入來自掃描線驅動電路19的掃描信號。另外，在元件形成面14a上，排列形成大致遍及Y箭頭方向的全寬地延伸的多個數據線Ly。各數據線Ly，分別與配置在元件基板14的另一側的數據線驅動電路21電連接，同時還在規(guī)定的時刻，輸入根據來自數據線驅動電路21的顯示數據的數據信號。在元件形成面14a的掃描線Lx和數據線Ly的交叉的位置，形成多個象素22，這些象素22矩陣狀地排列，與對應的掃描線Lx及數據線Ly連接。在各象素22中，分別具備TFT等未圖示的控制元件及由透明導電膜等構成的光透過性的象素電極23。
在圖2中，在各象素22的整個上側，層疊經過摩擦處理等取向處理的取向膜24。取向膜24是由取向性聚酰亞胺等取向性高分子構成的薄膜圖案，在對應的象素電極23附近，將液晶17的取向設定成規(guī)定的取向。該取向膜24，采用噴墨法形成。就是說，將取向膜形成材料F(該取向膜形成材料F是將取向性高分子溶解到規(guī)定的溶劑中后構成的圖案形成材料)(參照圖7)，作為第1液滴Fa及第2液滴Fb(參照圖7)，向各象素22的整個上側噴出后，形成取向膜24。
在所述相對基板15的上面，設置著偏振光板25，該偏振光板25將和來自光學基板18的光正交的光，射到外方(圖2中的上方)。在相對基板15的下面(元件基板14一側的側面電極形成面15a)的整個面上，層疊著和各象素電極23相對地形成的、由光透過性的導電膜構成的相對電極26。相對電極26在與所述數據線驅動電路21電連接的同時，還被賦予來自該數據線驅動電路21的規(guī)定的共同電位。在相對電極26的整個下面，層疊經過摩擦處理等取向處理的取向膜27。該取向膜27，和所述取向膜24一樣，在采用噴墨法形成的同時，還在所述相對電極26的附近，將液晶17的取向設定成規(guī)定的取向。
然后，根據線依次掃描，在規(guī)定的時刻，一根一根地選擇各掃描線Lx，只在各自選擇的期間中，使各象素22的控制元件成為接通狀態(tài)。于是，向與各控制元件對應的各象素電極23，輸出根據來自對應的數據線Ly的顯示數據的數據信號。向各象素電極23輸出數據信號后，根據各象素電極23和相對電極26之間的電位差，調制對應的液晶17的取向狀態(tài)。就是說，按照象素22，調制來自光學基板18的光的偏振光狀態(tài)。而且，根據調制的光是否通過偏振光板25，在液晶屏13的上側，顯示根據顯示數據的圖象。
接著，按照圖3～11，講述旨在形成上述取向膜27(取向膜24)的液滴噴出裝置30。
在圖3中，液滴噴出裝置30在具備正方體形狀形成的基臺31的同時，還在該基臺31的上面，形成一對沿著其長度方向(X箭頭方向)延伸的導向槽32。在該基臺31的上方，具備作為移動單元的輸送臺33，該輸送臺33在與基臺31內設置的X軸電動機MX(參照圖11)的輸出軸驅動連接的同時，還沿著所述導向槽32，以規(guī)定的速度(輸送速度V)，朝著X箭頭方向及反X箭頭方向往復運動(沿著X箭頭方向輸送)。
在輸送臺33的上面，形成放置面34，可以放置將所述相對電極26作為上側的相對基板15，并且使處于放置狀態(tài)的相對基板15在輸送臺33上定位固定。此外，在本實施方式中，采用將相對基板15放置到輸送臺33上的結構，但并不局限于此，還可以采用將所述各象素電極23作為上側的元件基板14的結構。
在基臺31的Y箭頭方向的兩側，設置著門型形成的導向部件35，同時還在該導向部件35中，形成上下一對朝著Y箭頭方向延伸的導軌36。另外，在導向部件35中，還具備滑動架37，該滑動架37在與導向部件35內設置的Y軸電動機MY(參照圖11)的輸出軸驅動連接的同時，還沿著導軌36，朝著Y箭頭方向及反Y箭頭方向往復運動(沿著Y箭頭方向掃描)。在滑動架37的內部，設置著可以導出、收容所述取向膜形成材料F(參照圖7)的墨水囊38，將該墨水囊38收容的所述取向膜形成材料F，供給搭載在滑動架37下方的一對頭組件H(第1頭組件Ha及第2頭組件Hb)。
圖4是從下方(相對基板15)看第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的簡要立體圖。圖5是從滑動架37的一側看第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的平面圖。
在圖4中，在滑動架37的下側(圖4中的上側)，配置著一對頭組件H。一對頭組件H，在從Y箭頭方向看，被分別互相平行設置的同時，從X箭頭方向看，還有一部分互相重疊。此外，在本實施方式中，將反Y箭頭方向的頭組件H，稱作(第1頭組件Ha)；將Y箭頭方向的頭組件H，稱作(第2頭組件Hb)。
這些一對頭組件H，分別從滑動架37的一側，依次具備轉動臺39、導向臺40和傾動臺41。在本實施方式中，這些轉動臺39、導向臺40和傾動臺41構成方向設定單元。
各轉動臺39，立方體形狀地形成，分別向Y箭頭方向延伸的同時，還與滑動架37內設置的轉動電動機(第1轉動電動機MRa及第2轉動電動機MRb參照圖11)的輸出軸連接。各轉動臺39，分別接受對應的轉動電動機的驅動力，使對應的導向臺40以沿著相對基板15的法線方向(Z箭頭方向)的軸(旋轉軸Cr)為中心轉動。
各導向臺40，大致立方體形狀地形成，分別與各轉動臺39對應的同時，還在其下側(傾動臺41的一側)，遍及其Y箭頭方向的大致全寬地形成斷面圓弧狀的凹曲面(導向面40s)。各導向面40s，在對應的導向臺40的正下方，而且位于被放置到輸送臺33上的狀態(tài)的相對電極26上面地形成各自對應的曲率中心Cd(參照圖5及圖6)。
在本實施方式中，將如圖5的雙點劃線所示的各導向臺40的配置位置——使對應的曲率中心Cd(圖5的點劃線)和Y箭頭方向平行的配置位置，稱作“初始位置”。另外，將如圖5的實線所示的第1頭組件Ha的導向臺40(曲率中心Cd)對于Y箭頭方向而言左轉第1轉動角θra、第2頭組件Hb的導向臺40(曲率中心Cd)對于Y箭頭方向而言，右轉第2轉動角θrb的配置位置，稱作“轉動位置”。
在圖4中，各傾動臺41，半圓柱狀地形成，分別向Y箭頭方向延伸的同時，還在其導向臺40的一側，形成分別與導向面40s對應的凸曲面(滑動面41s)。另外，在各傾動臺41的一個側面——與其滑動面41s相對的側面(圖4中的上面)，形成分別沿著相對基板15的平面(安裝面41t)。各傾動臺41，分別與滑動架37內設置的傾動電動機(第1傾動電動機MDa及第2傾動電動機MDb參照圖11)的輸出軸連接的同時，接受對應的傾動電動機的驅動力，使對應的滑動面41s沿著對應的導向面40s滑動(轉動)。就是說，各傾動臺41將位于相對電極26之上的曲率中心Cd作為傾動軸，使對應的安裝面41t對于相對基板15而言傾動。
在本實施方式中，將如圖6的雙點劃線所示的各傾動臺41的配置位置——使對應的安裝面41t的法線方向(“噴出方向”)和相對基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)成為平行的配置位置，稱作“初始位置”。另外，將如圖6的實線所示的傾動臺41的配置位置——使對應的安裝面41t的法線方向(“噴出方向”)對于相對基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)而言傾斜規(guī)定的角度(“傾斜角”)的配置位置，稱作“傾斜位置”。在本實施方式中，將與第1頭組件Ha對應的“噴出方向”和“傾斜角”，分別稱作“第1噴出方向Aa”和“第1傾斜角θda”；將與第2頭組件Hb對應的“噴出方向”和“傾斜角”，分別稱作“第2噴出方向Ab”和“第2傾斜角θdb”。
此外，在本實施方式中，如圖6所示，從Z箭頭方向看，第1頭組件Ha和第2頭組件Hb的雙方的傾動臺41，分別向X箭頭方向的一側(相對基板15的輸送方向一側)傾斜。
在圖4中，各安裝面41t具備立方體形狀形成的液滴噴出頭(以下簡稱“噴出頭”)，分別沿著Y箭頭方向延伸。在本實施方式中，將與第1頭組件Ha對應的噴出頭，稱作“第1噴出頭42a”。另外，將與第2頭組件Hb對應的噴出頭，稱作“第2噴出頭42b”。
在第1噴出頭42a及第2噴出頭42b的下側(圖4中的上側)，分別具備噴嘴板43，同時還在該噴嘴板43的相對基板15的一側(圖4中的上側)，形成和對應的安裝面41t平行的噴嘴形成面43s。在各噴嘴形成面43s上，多個噴嘴分別沿著Y箭頭方向，以相等的間隔(噴嘴間距Wn)排列形成。在本實施方式中，將與第1頭組件Ha對應的噴嘴，稱作“第1噴嘴Na”。另外，將與第2頭組件Hb對應的噴出頭，稱作“第2噴嘴Nb”。
在圖6中，各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，沿著各自對應的噴嘴形成面43s的法線方向即第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab，貫通對應的噴嘴板43后形成。各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，配置成為在各自對應的傾動臺41位于“初始位置”時，位于曲率中心Cd的Z箭頭方向即第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab的相反側。此外，在本實施方式中，將曲率中心Cd而且與各第1噴嘴Na的第1噴出方向Aa對應的位置，分別稱作“第1射中位置Pa”。另外，將曲率中心Cd而且與各第2噴嘴Na的第2噴出方向Ab對應的位置，分別稱作“第2射中位置Pb”。
然后，正轉驅動各傾動電動機，將各傾動臺41從“初始位置”配置移動到“傾斜位置”。于是，如圖6所示，各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，以各自對應的曲率中心Cd即對應的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb為中心，向X箭頭方向一側傾動第1傾斜角θda及第2傾斜角θdb。傾動的各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，使各自對應的形成方向(第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab)，對于相對基板15的法線(Z箭頭方向)而言，傾斜第1傾斜角θda及第2傾斜角θdb。此外，這時，各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，在使各自的形成方向傾斜的過程中，能夠維持對應的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb，能夠將對應的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb之間的距離，維持成規(guī)定的距離(飛行距離L)。就是說，液滴噴出裝置30采用能夠在變更第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab的過程中，維持各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb噴出的第1液滴Fa及第2液滴Fb的射中精度的結構。
在圖7中，在各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)的第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的相反側，分別形成與所述墨水囊38連通的空腔諧振器44，將來自墨水囊38的取向膜形成材料F，供給對應的第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)。在各空腔諧振器44的第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的相反側，粘貼著可以朝著第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)及其相反方向振動的振動板45，從而使空腔諧振器44內的容積擴大·縮小。在振動板45的上側，設置著與各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)對應的多個第1壓電元件PZa(第2壓電元件PZb)。各第1壓電元件PZa(第2壓電元件PZb)，分別接受旨在進行驅動控制的信號(壓電元件驅動信號COM參照圖11)后收縮·伸張，使對應的振動板45朝著第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)及其相反方向振動。此外，本實施方式的壓電元件驅動信號COM，根據預先通過試驗等設定的波形數據WD(參照圖11)生成，設定成在使彎月面圓滑地振動的同時，還用規(guī)定的重量使第1液滴Fa及第2液滴Fb的重量穩(wěn)定。
然后，向各第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb，分別供給壓電元件驅動信號COM。于是，各空腔諧振器44的容積擴大·縮小，各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)內的彎月面(取向膜形成材料F的界面)振動。各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)內的彎月面振動后，與壓電元件驅動信號COM對應的規(guī)定的重量(“噴出重量”)的取向膜形成材料F，就作為第1液滴Fa(第2液滴Fb)，從對應的第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)中噴出。噴出的各第1液滴Fa(第2液滴Fb)，分別沿著第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)的形成方向即第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)，用規(guī)定的速度(噴出速度Vf)飛行。
在這里，如圖8所示，在相對電極26上的形成所述取向膜27的區(qū)域(圖8所示的雙點劃線取向膜形成區(qū)域S)中，設定旨在使第1液滴Fa及第2液滴Fb射中的多個晶格結點(目標位置T)。
更詳細的說，首先，根據取向膜27的膜厚(“目標膜厚”)和所述“噴出重量”，設定噴出的總數量即目標位置T的數量。設定目標位置T的數量后，再設定鄰接的目標位置T的X箭頭方向及Y箭頭方向的間隔(輸送間距Wx及排列間距Wy)，以便在取向膜形成區(qū)域S內，沿著X箭頭方向及Y箭頭方向，晶格狀配置所述數量的目標位置T。這時，將排列間距Wy設定成比第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)的噴嘴間距Wn短。
設定輸送間距Wx及排列間距Wy后，根據輸送間距Wx及排列間距Wy，計算與取向膜形成區(qū)域S對應的各目標位置T的位置坐標。計算出各目標位置T的位置坐標后，在各目標位置T中，將位于取向膜形成區(qū)域S的反Y箭頭方向一側的目標位置T，作為旨在分別使第1液滴Fa射中的目標位置T(第1目標位置Ta)。相反，在各目標位置T中，將位于取向膜形成區(qū)域S的Y箭頭方向一側的目標位置T，作為旨在分別使第2液滴Fb射中的目標位置T(第2目標位置Tb)。這樣，在取向膜形成區(qū)域S中，設定旨在使第1液滴Fa或第2液滴Fb射中的目標位置T(第1目標位置Ta及第2目標位置Tb)。
此外，在本實施方式中，將取向膜形成區(qū)域S內的使第1液滴Fa射中的區(qū)域，稱作“第1形成區(qū)域Sa”。另外，將取向膜形成區(qū)域S內的使第2液滴Fb射中的區(qū)域，稱作“第2形成區(qū)域Sb”。

而且，設定各目標位置T后，如圖9所示，首先驅動控制第1轉動電動機MRa，使第1頭組件Ha的導向臺40轉動第1轉動角θra(向“轉動位置”轉動)，以便從X箭頭方向看的第1噴嘴Na(第1射中位置Pa)的間隔，分別成為排列間距Wy。另外，驅動控制第2轉動電動機MRb，使第2頭組件Hb的導向臺40轉動第2轉動角θrb(向“轉動位置”轉動)，以便從X箭頭方向看的第2噴嘴Nb(第2射中位置Pb)的間隔，分別成為排列間距Wy。
接著，驅動控制各傾動電動機，傾動各傾動使臺41(向“傾動位置”傾動)，以便從X箭頭方向看的第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab，在相對基板15的一側交叉。
這樣，從相對基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)看，能夠使第1噴出方向Aa由第1形成區(qū)域Sa朝著第2形成區(qū)域Sb。另外，從相對基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)看，能夠使第2噴出方向Ab由第2形成區(qū)域Sb朝著第1形成區(qū)域Sa。就是說，能夠向第1形成區(qū)域Sa的外緣——位于其第2形成區(qū)域Sb的外緣(交界)的第1目標位置Ta，噴出具有從第1形成區(qū)域Sa的內側朝著外側的速度成分的第1液滴Fa。另外，能夠向第2形成區(qū)域Sb的外緣——位于其第1形成區(qū)域Sa的外緣(交界)的第2目標位置Tb，噴出具有從第2形成區(qū)域Sb的內側朝著外側的速度成分的第2液滴Fb。
然后，用輸送速度V，朝著X箭頭方向輸送相對基板15，在各第1射中位置Pa及第2射中位置Pb，分別位于對應的第1目標位置Ta及第2目標位置Tb的時刻，向各第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb供給壓電元件驅動信號COM。
于是，如圖10所示，來自各第1噴嘴Na的第1液滴Fa，分別沿著第1噴出方向Aa飛行，依次射到第1目標位置Ta(第1射中位置Pa)的區(qū)域。另外，來自各第2噴嘴Nb的第2液滴Fb，分別沿著第2噴出方向Ab飛行，依次射到第2目標位置Tb(第2射中位置Pb)的區(qū)域。
這時，賦予射中的各第1液滴Fa與第1噴出方向Aa對應的相對基板15的切線方向的速度成分(第1噴出切線速度Vfa)。另外，還賦予射中的各第1液滴Fa朝著相對基板15的輸送方向的相反側、與相對基板15的輸送速度V對應的相對速度成分(第1輸送切線速度Via)。因此，賦予射中的各第1液滴Fa合成這些第1噴出切線速度Vfa和第1輸送切線速度Via的方向的速度成分(第1切線速度Va)。
其結果，射中第1形成區(qū)域Sa的各第1液滴Fa，沿著第1切線速度Va流動，朝著抵抗其表面張力的方向即從第1形成區(qū)域Sa向第2形成區(qū)域Sb的方向流動。這樣，射中的各第1液滴Fa，能夠在第2形成區(qū)域Sb一側的外緣，抑制表面張力引起的流動(膜厚降低)，第1切線速度Va引起的流動，則能夠使該第2形成區(qū)域Sb一側的膜厚均勻。
另一方面，賦予射中的各第2液滴Fb與第2噴出方向Ab對應的相對基板15的切線方向的速度成分(第2噴出切線速度Vfb)。另外，還賦予射中的各第2液滴Fb朝著相對基板15的輸送方向的相反側、與相對基板15的輸送速度V對應的相對速度成分(第2輸送切線速度Vib)。因此，賦予射中的各第2液滴Fb合成這些第2噴出切線速度Vfb和第2輸送切線速度Vib的方向的速度成分(第1切線速度Vb)。
其結果，射中第2形成區(qū)域Sb的各第2液滴Fb，沿著第2切線速度Vb流動，朝著抵抗其表面張力的方向即從第2形成區(qū)域Sb向第1形成區(qū)域Sa的方向流動。這樣，射中的各第2液滴Fb，能夠在第1形成區(qū)域Sa一側的外緣，抑制表面張力引起的流動(膜厚降低)，第2切線速度Vb引起的流動，則能夠使該第1形成區(qū)域Sa一側的膜厚均勻。
這樣，能夠分別在第1形成區(qū)域Sa和第1形成區(qū)域Sb的交界，使由第1液滴Fa構成的第1液態(tài)膜LFa和由第2液滴Fb構成的第2液態(tài)膜LFb的膜厚均勻。而且，由于提高了交界區(qū)域的膜厚均勻性，所以能夠提高第1液態(tài)膜LFa和由第2液滴Fb接合后形成的取向膜27的膜厚均勻性。
接著，根據圖11，講述采用上述結構的液滴噴出裝置30的電氣性的結構。
在圖11中，控制裝置51具備構成控制單元及方向信息生成單元的CPU、RAM、ROM等。而且，控制裝置51按照RAM及ROM等存放的各種數據及各種程序，輸送輸送臺33滑動架37，在使滑動架37進行掃描的同時，還驅動控制第1頭組件Ha及第2頭組件Hb。
控制裝置51與輸入裝置52、X軸電動機驅動電路53、Y軸電動機驅動電路54、第1臺驅動電路55、第1噴出頭驅動電路56、第2臺驅動電路57及第2噴出頭驅動電路58連接。
輸入裝置52，具有起動開關、停止開關等操作開關，在將各種操作信號向控制裝置51輸入的同時，還將有關相對基板15形成的取向膜27的目標膜厚的信息，作為既定形式的膜厚信息It，向控制裝置51輸入。
然后，將膜厚信息It，由輸入裝置52向控制裝置51輸入。于是，控制裝置51接收來自輸入裝置52的膜厚信息It，計算向相對電極26噴出的取向膜形成材料F的總重量。另外，控制裝置51根據計算出的總重量和與波形數據WD對應的第1液滴Fa(第2液滴Fb)的重量，計算噴出的第1液滴Fa及第2液滴Fb的數量即各第1目標位置Ta及第2目標位置Tb的位置坐標(輸送間距Wx及排列間距Wy)。這時，排列間距Wy被設定成比第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb的噴嘴間距Wn短。
接著，控制裝置51計算出各目標位置T的位置坐標后，生成、存放旨在向第1目標位置Ta及第2目標位置Tb分別噴出第1液滴Fa及第2液滴Fb的第1描繪數據BMa及第2描繪數據BMb。進而，控制裝置51生成、存放構成方向信息的第1轉動數據RaD、第2轉動數據RbD、第1傾動數據DaD及第2傾動數據GbD。
第1描繪數據BMa及第2描繪數據BMb，是分別使包含第1目標位置Ta及第2目標位置Tb的取向膜形成區(qū)域S內的各晶格結點，與各自的各比特的值(0或1)對應的數據，按照各比特的值，分別規(guī)定第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb的接通或斷開。而且，第1描繪數據BMa規(guī)定每當第1射中位置Pa位于對應的第1目標位置Ta上時，噴出第1液滴Fa。另外，第2描繪數據BMb規(guī)定每當第2射中位置Pb位于對應的第2目標位置Tb上時，噴出第2液滴Fb。
第1轉動數據RaD及第2轉動數據RbD，是分別用第1轉動電動機MRa及第2轉動電動機MRb的轉數，規(guī)定第1轉動角θra及第2轉動角θrb的數據，根據第1形成區(qū)域Sa和第2形成區(qū)域Sb的交界位置、排列間距Wy生成。就是說，這些第1轉動數據RaD及第2轉動數據RbD，規(guī)定第1轉動電動機MRa及第2轉動電動機MRb的轉數，以便使各自對應的第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab，朝著第1形成區(qū)域Sa和第2形成區(qū)域Sb的交界一側。而且，這些第1轉動數據RaD及第2轉動數據RbD，規(guī)定第1轉動電動機MRa及第2轉動電動機MRb的轉數，以便從各自的X箭頭方向看的第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb的間隔，成為排列間距Wy。
第1傾動數據DaD及第2傾動數據DbD，是分別用第1傾動電動機MDa及第2傾動電動機MDb的轉數，規(guī)定第1傾斜角θda及第2傾斜角θdb的數據，根據輸送間距Wx和排列間距Wy生成。就是說，這些第1傾動數據DaD及第2傾動數據DbD，根據預先進行的試驗等，規(guī)定第1轉動電動機MRa及第2轉動電動機MRb的轉數，以便使射中的第1液滴Fa及第2液滴Fb的長徑及短徑，分別大于輸送間距Wx及排列間距Wy。
X軸電動機驅動電路53，應答來自控制裝置51的與X軸電動機驅動電路53對應的驅動控制信號，使X軸電動機MX正轉或反轉，從而使輸送臺33往復移動。向該X軸電動機驅動電路53被輸入來自X軸電動機MX具備的X軸電動機旋轉檢出器MEX的檢出信號。X軸電動機驅動電路53在根據來自X軸電動機旋轉檢出器MEX的檢出信號，計算輸送臺33(相對基板15)的移動方向及移動量的同時，還作為基板位置信息SPI，生成有關輸送臺33(各目標位置T)的現(xiàn)在位置的信息。而且，控制裝置51接收來自X軸電動機驅動電路53的基板位置信息SP1后，輸出各種信號。
Y軸電動機驅動電路54，應答來自控制裝置51的與Y軸電動機驅動電路54對應的驅動控制信號，使Y軸電動機MY正轉或反轉，從而使滑動架37往復移動。向該Y軸電動機驅動電路54被輸入來自Y軸電動機MY具備的Y軸電動機旋轉檢出器MEY的檢出信號。Y軸電動機驅動電路54在根據來自Y軸電動機旋轉檢出器MEY的檢出信號，計算滑動架37(第1頭組件Ha及第2頭組件Hb)的移動方向及移動量的同時，還作為滑動架位置信息CPI，生成有關滑動架37的現(xiàn)在位置的信息。而且，控制裝置51接收來自Y軸電動機驅動電路54的滑動架位置信息CPI后，輸出各種驅動信號。
更詳細的說，控制裝置51根據基板位置信息SP1及滑動架位置信息CP1，在相對基板15進入滑動架37的正下方之前，生成第1噴出控制信號SIa，以便使與相對基板15的輸送量(往動或復動)對應的第1描繪數據BMa，與規(guī)定的時鐘脈沖信號同步。另外，控制裝置51生成第2噴出控制信號SIb，以便使與相對基板15的輸送量(往動或復動)對應的第2描繪數據BMb，與規(guī)定的時鐘脈沖信號同步。而且，控制裝置51每當掃描滑動架37時，將生成的第1噴出控制信號SIa及第2噴出控制信號SIb，分別依次串行傳輸給第1噴出頭驅動電路56及第2噴出頭驅動電路58。
另外，控制裝置51根據基板位置信息SP1，每當第1射中位置Pa位于第1目標位置Ta時，生成旨在驅動對應的第1壓電元件PZa的信號(第1噴出時刻信號LPa)。另外，控制裝置51根據基板位置信息SP1，每當第2射中位置Pb位于第2目標位置Tb時，生成旨在驅動對應的第2壓電元件PZb的信號(第2噴出時刻信號LPb)。而且，控制裝置51將生成的第1噴出時刻信號LPa及第2噴出時刻信號LPb，分別逐次向第1噴出頭驅動電路56及第2噴出頭驅動電路58輸出。
第1臺驅動電路55，應答來自控制裝置51的第1轉動數據RaD，使驅動第1頭組件Ha的轉動臺39的第1轉動電動機MRa正轉或反轉。另外，第1臺驅動電路55，應答來自控制裝置51的第1傾動數據DaD，使傾動第1頭組件Ha的傾動臺41的第1傾動電動機MDa正轉或反轉。
第1噴出頭驅動電路56，與多個所述第1壓電元件PZa連接。第1噴出頭驅動電路56，被供給來自控制裝置51的波形數據WD、第1噴出控制信號SIa及第1噴出時刻信號LPa。第1噴出頭驅動電路56，接收來自控制裝置51的第1噴出控制信號SIa后，使該第1噴出控制信號SIa與各第1壓電元件PZa對應，依次進行串行/并行變換。而且，第1噴出頭驅動電路56，每當接收來自控制裝置51的第1噴出時刻信號LPa時，根據經過串行/并行變換的第1噴出控制信號SIa，將波形數據WD產生的壓電元件驅動信號COM，供給選擇的第1壓電元件PZa。就是說，第1噴出頭驅動電路56，每當各第1射中位置Pa位于第1目標位置Ta時，就向對應的第1壓電元件PZa供給壓電元件驅動信號COM。
第2臺驅動電路57，應答來自控制裝置51的第2轉動數據RbD，使驅動第2頭組件Hb的轉動臺39的第2轉動電動機MRb正轉或反轉。另外，第2臺驅動電路57，應答來自控制裝置51的第2傾動數據DbD，使傾動第2頭組件Hb的傾動臺41的第2傾動電動機MDb正轉或反轉。
第2噴出頭驅動電路58，與多個所述第2壓電元件PZb連接。第2噴出頭驅動電路58，被供給來自控制裝置51的波形數據WD、第2噴出控制信號SIb及第2噴出時刻信號LPb。第2噴出頭驅動電路58，接收來自控制裝置51的第2噴出控制信號SIb后，使該第2噴出控制信號SIb與各第2壓電元件PZb對應，依次進行串行/并行變換。而且，第2噴出頭驅動電路58，每當接收來自控制裝置51的第2噴出時刻信號LPb時，根據經過串行/并行變換的第2噴出控制信號SIb，將波形數據WD產生的壓電元件驅動信號COM，供給選擇的第2壓電元件PZb。就是說，第2噴出頭驅動電路58，每當各第2射中位置Pb位于第2目標位置Tb時，就向對應的第2壓電元件PZb供給壓電元件驅動信號COM。
接著，講述使用上述的液滴噴出裝置30，形成取向膜27的方法。
首先，如圖3所示，將相對基板15放置到輸送臺33上。這時，輸送臺33配置在與滑動架37相比，靠近反X箭頭方向的一側。滑動架37則配置在導向部件35的最反Y箭頭方向的一側。另外，各導向臺40及傾動臺41，被分別配置在“初始位置”。
在該狀態(tài)下，操作輸入裝置52，將膜厚信息It輸入控制裝置51。于是，控制裝置51計算與膜厚信息It(目標膜厚)對應的輸送間距Wx及排列間距Wy、即第1目標位置Ta及第2目標位置Tb的位置坐標。另外，控制裝置51根據第1目標位置Ta及第2目標位置Tb的位置坐標，生成、存放第1描繪數據BMa及第2描繪數據BMb。另外，控制裝置51根據第1目標位置Ta及第2目標位置Tb的位置坐標，生成、存放第1轉動數據RaD、第2轉動數據RbD、第1傾動數據DaD及第2傾動數據GbD， 存放各種數據后，控制裝置51通過第1臺驅動電路55及第2臺驅動電路57做媒介，配置移動各導向臺40。就是說，控制裝置51根據第1轉動數據RaD及第2轉動數據RbD，分別將第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的導向臺40，從“初始位置”配置移動到“轉動位置”。配置移動各導向臺40后，控制裝置51通過第1臺驅動電路55及第2臺驅動電路57做媒介，配置移動各傾動臺41。就是說，控制裝置51根據第1傾動數據DaD及第2傾動數據DbD，分別將第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的傾動臺41，從“初始位置”配置移動到“轉動位置”。
配置移動各導向臺40及各傾動臺41后，控制裝置51驅動控制Y軸電動機MY，將相對基板15向X箭頭方向輸送時，配置移動滑動架37，以便使各第1射中位置Pa及各第2射中位置Pb分別位于對應的第1目標位置Ta及第2目標位置Tb的路線上。
這樣，控制裝置51在從對應的第1形成區(qū)域Sa的內側朝著鄰接的第2形成區(qū)域Sb的一側，固定第1噴出方向Aa。另外，控制裝置51在從對應的第2形成區(qū)域Sb的內側朝著鄰接的第1形成區(qū)域Sa的一側，固定第2噴出方向Ab。
固定第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab后，控制裝置51驅動控制X軸電動機MX，開始向輸送臺33(相對基板15)的X箭頭方向進行掃描。
這時，控制裝置51使波形數據WD和規(guī)定的時鐘脈沖信號同步，向第1噴出頭驅動電路56及第2噴出頭驅動電路58輸出。另外，控制裝置51使與相對基板15的掃描量對應的第1描繪數據BMa及第2描繪數據BMb和規(guī)定的時鐘脈沖信號同步，分別生成第1噴出控制信號SIa及第2噴出控制信號SIb。進而，控制裝置51將生成的第1噴出控制信號SIa及第2噴出控制信號SIb串行傳輸給第1噴出頭驅動電路56及第2噴出頭驅動電路58。
然后，控制裝置51根據基板位置信息SPI及滑動架位置信息CPI，每當第1射中位置Pa位于對應的第1目標位置Ta上時，向第1噴出頭驅動電路56輸出第1噴出時刻信號LPa。另外，控制裝置51每當第2射中位置Pb位于對應的第2目標位置Tb上時，向第2噴出頭驅動電路58輸出第2噴出時刻信號LPb。
輸出第1噴出時刻信號LPa后，控制裝置51通過第1噴出頭驅動電路56做媒介，實行根據第1噴出控制信號SIa的液滴噴出動作。
就是說，每當第1射中位置Pa位于對應的第1目標位置Ta上時，控制裝置51就向對應的第1壓電元件PZa供給壓電元件驅動信號COM，使對應的第1噴嘴Na噴出第1液滴Fa。噴出的各第1液滴Fa，分別向著第1噴出方向Aa飛行，依次射中對應的第1目標位置Ta。射中的各第1液滴Fa，分別沿著合成第1噴出切線速度Vfa和第1輸送切線速度Via的第1切線速度Va的方向流動。這樣，朝著抵抗其表面張力的方向、即朝著從第1形成區(qū)域Sa向第2形成區(qū)域Sb的方向流動。這樣，能夠在第1形成區(qū)域Sa形成由第1液滴Fa構成的第1液態(tài)膜LFa，能夠在第2形成區(qū)域Sb一側的外緣，抑制表面張力引起的流動(膜厚降低)。而且，第1切線速度Va引起的流動，還能夠在第1液態(tài)膜LFa的第2形成區(qū)域Sb的一側，使其膜厚均勻。
另外，輸出第2噴出時刻信號LPb后，控制裝置51通過第2噴出頭驅動電路58做媒介，實行根據第2噴出控制信號SIb的液滴噴出動作。
就是說，每當第2射中位置Pb位于對應的第2目標位置Tb上時，控制裝置51就向對應的第2壓電元件PZb供給壓電元件驅動信號COM，使對應的第2噴嘴Nb噴出第2液滴Fb。噴出的各第2液滴Fb，分別向著第2噴出方向Ab飛行，依次射中對應的第2目標位置Tb。射中的各第2液滴Fb，分別沿著合成第2噴出切線速度Vfb和第2輸送切線速度Vib的第2切線速度Vb的方向流動，朝著抵抗其表面張力的方向、即朝著從第2形成區(qū)域Sb向第1形成區(qū)域Sa的方向流動。這樣，能夠在第2形成區(qū)域Sb形成由第2液滴Fb構成的第2液態(tài)膜LFb，能夠在第1形成區(qū)域Sa一側的外緣，抑制表面張力引起的流動(膜厚降低)。而且，第2切線速度Vb引起的流動，還能夠在第2液態(tài)膜LFb的第1形成區(qū)域Sa的一側，使其膜厚均勻。
然后，能夠在由第1液滴Fa構成的第1液態(tài)膜LFa和由第2液滴Fb構成的第2液態(tài)膜LFb的交界區(qū)域，使其膜厚均勻，能夠形成提高膜厚均勻性的取向膜27。
接著，列舉采用以上結構的本實施方式的效果。
(1)采用上述實施方式后，向第1形成區(qū)域Sa噴出來自第1噴出方向Aa的第1液滴Fa，賦予射中的第1液滴Fa從第1形成區(qū)域Sa的內側向外側(第2形成區(qū)域Sb的一側)的速度成分。另外，向第2形成區(qū)域Sb噴出來自第2噴出方向Ab的第2液滴Fb，賦予射中的第2液滴Fb從第2形成區(qū)域Sb的內側向外側(第1形成區(qū)域Sa的一側)的速度成分。
而且，能夠賦予第1形成區(qū)域Sa的外緣——射到第2形成區(qū)域Sb的外緣的各第1液滴Fa，抵抗其表面張力的向外側的流動。其結果，在第1液態(tài)膜LFa的第2形成區(qū)域Sb的一側，能夠提高其膜厚均勻性。另外，能夠賦予第2形成區(qū)域Sb的外緣——射到第1形成區(qū)域Sa的外緣的各第2液滴Fb，抵抗其表面張力的向外側的流動。其結果，在第2液態(tài)膜LFb的第1形成區(qū)域Sa的一側，能夠提高其膜厚均勻性。這樣，能夠提高取向膜27的膜厚均勻性。
(2)而且，接合第1液態(tài)膜LFa和第2液態(tài)膜LFb后，形成取向膜27。這樣，能夠提高取向膜27的膜厚均勻性。
(3)采用上述實施方式后，分別賦予射中的第1液滴Fa及第2液滴Fb，沿著第1形成區(qū)域Sa及第2形成區(qū)域Sb的外緣(反X箭頭方向)的速度成分(第1輸送切線速度Via及第2輸送切線速度Vib)。這樣，能夠賦予射到第1形成區(qū)域Sa及第2形成區(qū)域Sb的外緣的第1液滴Fa及第2液滴Fb，沿著外緣流動(的力)。其結果，由于使第1液滴Fa及第2液滴Fb沿著外緣流動，所以能夠提高沿著外緣的膜厚的均勻性。進而，能夠提高取向膜27的膜厚均勻性。
(4)采用上述實施方式后，根據與取向膜形成區(qū)域S對應的目標位置T，生成第1轉動數據RaD、第2轉動數據RbD、第1傾動數據DaD及第2傾動數據GbD。而且，根據這些第1轉動數據RaD、第2轉動數據RbD、第1傾動數據DaD及第2傾動數據GbD，設定第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab。這樣，能夠分別賦予第1液滴Fa及第2液滴Fb的兩者，與取向膜形成區(qū)域S(第1取向膜形成區(qū)域Sa及第2取向膜形成區(qū)域Sb)對應的第1切線速度Va及第2切線速度Vb。其結果，能夠更加切實地提高取向膜27的膜厚均勻性。
(5)采用上述實施方式后，從相對基板15的輸送方向(X箭頭方向)看，使第1噴出方向Aa和第2噴出方向Ab交叉。而且，通過相對基板15的一次掃描，能夠使第1液滴Fa和第2液滴Fb雙雙射中。其結果，能夠不影響取向膜27的生產效率地提高其膜厚均勻性。
另外，能夠使交界區(qū)域中的第1液滴Fa和第2液滴Fb射中時刻，大致相同。因此，能夠抑制第1液滴Fa和第2液滴Fb的干燥狀態(tài)的差異引起的膜厚變動，能夠進一步提高取向膜27的膜厚均勻性。
此外，上述實施方式，可以進行如下變更。
·在上述實施方式中，接合第1液態(tài)膜LFa和第2液態(tài)膜LFb后形成取向膜27。但并不局限于此，既可以采用形成只由第1液態(tài)膜LFa構成的圖案的結構，或者還可以采用形成只由第2液態(tài)膜LFb構成的圖案的結構。這樣，至少對于由第1液態(tài)膜LFa構成的圖案而言，能夠提高第1切線速度Va一側的外緣的膜厚均勻性?；蛘邔τ谟傻?液態(tài)膜LFb構成的圖案而言，能夠提高第2切線速度Vb一側的外緣的膜厚均勻性。
·在上述實施方式中，采用使來自第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的第1液滴Fa(第2液滴Fb)射到整個第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)中的結構。但并不局限于此，例如可以采用使來自第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的第1液滴Fa(第2液滴Fb)只射到第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的外緣——其第2形成區(qū)域Sb一側(第1形成區(qū)域Sa一側)的外緣中的結構。
這樣，能夠只在第1液態(tài)膜LFa(第2液態(tài)膜LFb)的第2形成區(qū)域Sb(第1形成區(qū)域Sa)的一側的外緣，提高其膜厚均勻性，能夠保持其它的外緣的膜厚均勻性。
·或者也可以采用按照分別從第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的內側朝著外側的噴出方向，噴出向第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的外緣噴出的所有的第1液滴Fa(第2液滴Fb)的結構。這樣，能夠遍及第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的整個外緣，提高其膜厚均勻性。
·在上述實施方式中，從相對基板15的法線方向看，第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab具有輸送臺33的掃描方向的成分。但并不局限于此，也可以采用從相對基板15的法線方向看，第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab具有輸送臺33的反掃描方向的成分的結構。
·在上述實施方式中，分別向第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb供給由共同的波形數據WD構成的壓電元件驅動信號COM，噴出規(guī)定容量的第1液滴Fa及第2液滴Fb。但并不局限于此，例如可以采用向第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb供給由不同的波形數據WD構成的壓電元件驅動信號COM，噴出不同重量的第1液滴Fa及第2液滴Fb的結構。
·在上述實施方式中，采用分別只具備一個第1噴出頭42a及第2噴出頭42b的結構。但并不局限于此，可以采用具備多個第1噴出頭42a或第2噴出頭42b的結構。
·在上述實施方式中，采用分別只具備一列第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb的結構。但并不局限于此，可以采用具備多列第1噴嘴Na或第2噴嘴Nb的結構。
·在上述實施方式中，將圖案具體化成液晶顯示裝置10的取向膜27。但并不局限于此，例如可以具體化成液晶顯示裝置10及利用由電子釋放元件釋放的電子產生的熒光物質的發(fā)光的電場效應型裝置(FED及SED)設置的各種薄膜、金屬布線、彩色濾色片等。就是說，只要是由射中的液滴形成的圖案就行。
·在上述實施方式中，將基板具體化成液晶顯示裝置10的相對基板15。但并不局限于此，也可以將基板具體化成硅基板、撓性基板或金屬基板等。
·在上述實施方式中，將電光學裝置具體化成液晶顯示裝置10。但并不局限于此，也可以將電光學裝置具體化成電致發(fā)光元件裝置。
權利要求
1.一種圖案形成方法，向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案，其特征在于從所述基板的法線方向看，以從所述圖案形成區(qū)域的內側朝著外側的噴出方向，將所述液滴噴向所述圖案形成區(qū)域的外緣。
2.如權利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于所述外緣，是鄰接的多個所述圖案形成區(qū)域的交界；從所述基板的法線方向看，以從所述圖案形成區(qū)域的內側向著所述交界的噴出方向，噴出所述液滴。
3.如權利要求2所述的圖案形成方法，其特征在于從所述基板的法線方向看，以具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分的所述噴出方向，噴出所述液滴。
4.一種液滴噴出裝置，向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案，其特征在于具備從所述基板的法線方向看，以從所述圖案形成區(qū)域的內側朝著外側的噴出方向，將所述液滴噴向所述圖案形成區(qū)域的外緣的液滴噴出頭。
5.如權利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述基板，具備鄰接的多個所述圖案形成區(qū)域；所述外緣，是鄰接的多個所述圖案形成區(qū)域的交界。
6.如權利要求4或5所述的液滴噴出裝置，其特征在于具備方向設定單元，該單元移動所述液滴噴出頭，設定所述噴出方向。
7.如權利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具備方向信息生成單元，該單元生成與所述圖案形成區(qū)域對應的所述噴出方向有關的方向信息；和控制單元，該單元根據所述方向信息，驅動控制所述方向設定單元。
8.如權利要求7所述的液滴噴出裝置，其特征在于具備多個所述液滴噴出頭，和與所述多個液滴噴出頭對應的多個所述方向設定單元；所述方向信息生成單元，生成所述方向信息，以便使與所述多個液滴噴出頭對應的各噴出方向，在所述基板側交叉。
9.如權利要求4～8任一項所述的液滴噴出裝置，其特征在于具備移動單元，該單元使所述基板針對所述液滴噴出頭產生相對移動，以便使所述噴出方向具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分。
10.一種電光學裝置，其特征在于具備由權利要求4～9任一項所述的液滴噴出裝置形成的圖案。
全文摘要
向第1形成區(qū)域(Sa)噴出來自第1噴出方向(Aa)的第1液滴(Fa)，賦予射中的第1液滴(Fa)從第1形成區(qū)域(Sa)的內側向外側(第2形成區(qū)域(Sb)的一側)的速度成分(第1切線速度(Va))。另外，向第2形成區(qū)域(Sb)噴出來自第2噴出方向(Ab)的第2液滴(Fb)，賦予射中的第2液滴(Fb)從第2形成區(qū)域(Sb)的內側向外側(第1形成區(qū)域(Sa)的一側)的速度成分(第2切線速度(Vb))。提供提高由液滴構成的圖案的膜厚均勻性的圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學裝置。
文檔編號H01L51/00GK101024332SQ20071000585
公開日2007年8月29日 申請日期2007年2月25日 優(yōu)先權日2006年2月22日
發(fā)明者巖田裕二 申請人:精工愛普生株式會社