專利名稱：液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出裝置。
背景技術(shù)：
以往，在液晶顯示裝置或有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光顯示裝置(有機(jī)EL顯示裝置)等光電裝置中，具備用于顯示圖像的透明玻璃基板(以下，簡(jiǎn)稱為基板)。在此種基板上，以質(zhì)量管理或制造管理為目的，形成使其制造單位或制品號(hào)碼等信息代碼化的識(shí)別代碼(例如，二維代碼)。如此的識(shí)別代碼，在配列的多個(gè)數(shù)據(jù)單元的一部分上具備圓點(diǎn)(例如，有色的薄膜或凹部)，根據(jù)該圓點(diǎn)的有無(wú)，使所述基板的信息代碼化。
關(guān)于該識(shí)別代碼的形成方法，提出了對(duì)金屬箔照射激光，濺射成膜標(biāo)記的激光濺射法，或?qū)鍑娚浜醒心┑乃?，刻印?biāo)記的噴水法。參照特開(kāi)平11-77340號(hào)公報(bào)及特開(kāi)2003-127537號(hào)公報(bào)。
但是，在上述激光濺射法中，為得到所希望的尺寸的標(biāo)記，必須將金屬箔和基板的間隙調(diào)整到幾微米～幾十微米。即，對(duì)基板及金屬箔的表面要求非常高的平坦性，而且必須以為微米(μm)級(jí)的精度調(diào)整它們的間隙。其結(jié)果，能夠形成識(shí)別代碼的基板受到限制，存在其通用性低的問(wèn)題。此外，在噴水法中，在刻印基板時(shí)，因水或塵埃、研磨劑等的飛散，存在污染基板的問(wèn)題。
近年來(lái)，作為解決如此問(wèn)題的識(shí)別代碼形成方法，逐漸關(guān)注噴墨法。在噴墨法中，從液滴噴出裝置噴出含有金屬微粒的微小液滴，通過(guò)使該液滴干燥形成圓點(diǎn)。因此，能夠擴(kuò)大形成識(shí)別代碼的基板的選擇范圍，能夠避免基板的污染地形成識(shí)別代碼。
但是，在上述噴墨法中，由于通過(guò)干燥落在基板上的微小的液滴來(lái)形成圓點(diǎn)，所以根據(jù)基板的表面狀態(tài)或微小液滴的表面張力等，出現(xiàn)以下問(wèn)題。
即，如果落下的微小液滴在基板表面上潤(rùn)濕擴(kuò)展，圓點(diǎn)就從對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)單元溢出，擴(kuò)展到不需要形成圓點(diǎn)的相鄰數(shù)據(jù)單元內(nèi)。其結(jié)果，存在誤讀識(shí)別代碼，損失基板信息的問(wèn)題。
如此的問(wèn)題，認(rèn)為能夠通過(guò)在微小液滴落下時(shí)，對(duì)該微小液滴照射激光，使落下的微小液滴瞬間干燥加以避免。
但是，如圖12所示，一般情況下，由于在噴出微小液滴的噴頭90上，具備液體F的流路91、或儲(chǔ)存該液體F的腔室92、以及加壓該腔室92內(nèi)的液體F的加壓機(jī)構(gòu)93，所以必須通過(guò)上述各構(gòu)成要件的布局或加工，將噴出微小液滴Fb的噴出口94配設(shè)在噴頭90的中央附近。因此，在基板95上，微小液滴Fb落下的位置(落點(diǎn)位置Pa)和激光頭96照射的激光B的位置(照射位置Pb)，分開(kāi)將噴出口94形成在中央附近的量。其結(jié)果，在從落點(diǎn)位置Pa將落下的微小液滴Fb輸送到照射位置Pb的期間，微小液滴Fb再次潤(rùn)濕擴(kuò)展，出現(xiàn)導(dǎo)致圓點(diǎn)的溢出的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明，是為解決上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種液滴噴出裝置，其能夠按所要求的尺寸控制通過(guò)干燥液滴形成的圓點(diǎn)的尺寸。
根據(jù)本發(fā)明的一方式，提供一種液滴噴出裝置，其具備具有向基板噴出含有圓點(diǎn)形成材料的液滴的噴出口的噴頭、和激光輸出機(jī)構(gòu)，該激光輸出機(jī)構(gòu)用于輸出激光，干燥落在所述基板上的所述液滴，由所述圓點(diǎn)形成材料形成圓點(diǎn)。該液滴噴出裝置，其特征在于所述噴頭，以從所述噴出口向所述基板上的激光的照射位置噴出液滴的方式配置。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出裝置，能夠按向照射位置噴出液滴的程度使落下的液滴接近激光的照射位置。其結(jié)果，能夠相應(yīng)地以使液滴接近照射位置的量更快地向液滴照射激光。因此，能夠避免落下的液滴的潤(rùn)濕擴(kuò)展，能夠?qū)A點(diǎn)的尺寸控制在所希望的尺寸。
在該液滴噴出裝置中，也可以所述噴頭相對(duì)于所述基板上的通過(guò)落點(diǎn)位置的法線傾斜。在此種情況下，能夠以傾斜噴頭的量，更快地對(duì)落下的液滴照射激光。
在該液滴噴出裝置中，所述噴出口，也可以具備相對(duì)于所述基板的法線向所述照射位置傾斜的流路。在此種情況下，能夠以傾斜流路的量更快地對(duì)落下的液滴照射激光。
也可以具備輸送機(jī)構(gòu)，用于向所述激光的照射位置輸送落在所述基板上的液滴。在這種情況下，能夠以通過(guò)輸送機(jī)構(gòu)輸送落下的液滴的程度，更快地對(duì)液滴照射激光。因此，能夠避免落下的液滴的潤(rùn)濕擴(kuò)展或球形化，能夠?qū)A點(diǎn)的尺寸控制在所希望的尺寸。
也可以所述噴頭從所述基板的輸送方向的后側(cè)噴出液滴，所述激光輸出機(jī)構(gòu)從所述基板的輸送方向的前側(cè)輸出激光。在此種情況下，能夠以從與液滴的飛行方向相反的方向輸出激光的程度，擴(kuò)大其照射條件。其結(jié)果，能夠照射與落下的液滴相對(duì)應(yīng)的照射角度的激光，能夠?qū)A點(diǎn)的尺寸更確實(shí)地控制在所希望的尺寸。
也可以由半導(dǎo)體激光器構(gòu)成所述激光輸出機(jī)構(gòu)。在此種情況下，能夠使激光輸出機(jī)構(gòu)的尺寸小型化，能夠使激光的照射位置進(jìn)一步接近液滴的落點(diǎn)位置。其結(jié)果，能夠?qū)A點(diǎn)的尺寸更確實(shí)地控制在所希望的尺寸。


圖1是表示液晶顯示模塊的主視圖。
圖2是表示本實(shí)施方式的識(shí)別代碼的主視圖。
圖3是表示識(shí)別代碼及基板的側(cè)視圖。
圖4是用于說(shuō)明識(shí)別代碼的構(gòu)成的說(shuō)明圖。
圖5是液滴噴出裝置的主要部位立體圖。
圖6是用于說(shuō)明液滴噴出裝置的簡(jiǎn)要剖視圖。
圖7是用于說(shuō)明噴頭及激光頭的簡(jiǎn)要立體圖。
圖8是用于說(shuō)明噴頭及激光頭的要部剖視圖。
圖9是液滴噴出裝置的電路框圖。
圖10是用于說(shuō)明壓電元件和半導(dǎo)體激光器的驅(qū)動(dòng)定時(shí)的時(shí)間圖。
圖11是用于說(shuō)明變更例中的噴頭及激光頭的簡(jiǎn)要剖視圖。
圖12是用于說(shuō)明以往例中的噴頭及激光頭的簡(jiǎn)要剖視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照?qǐng)D1～圖10，說(shuō)明使本發(fā)明具體化為在基板上形成點(diǎn)陣狀的識(shí)別代碼的裝置的一實(shí)施方式。
首先，說(shuō)明具有使用本發(fā)明的液滴噴出裝置形成的識(shí)別代碼的液晶顯示裝置的顯示模塊。圖1是表示液晶顯示模塊的主視圖，圖2是表示液晶顯示模塊及識(shí)別代碼的主視圖，圖3是表示液晶顯示模塊及識(shí)別代碼的側(cè)視圖。
在圖1中，液晶顯示模塊1，具備作為光透射性的顯示用基板的透明玻璃基板2(以下簡(jiǎn)稱為基板2)。在該基板2的表面2a的大致中央形成封入液晶分子的四邊形狀的顯示部3，在該顯示部3的外側(cè)，形成掃描線驅(qū)動(dòng)電路4及數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路5。另外，液晶顯示模塊1，基于掃描線驅(qū)動(dòng)電路4供給的掃描信號(hào)及數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路5供給的數(shù)據(jù)信號(hào)，控制所述液晶分子的取向狀態(tài)，通過(guò)根據(jù)所述液晶分子的取向狀態(tài)，調(diào)制從未圖示的照明裝置照射的平面光，在顯示部3顯示所希望的圖像。
在基板2的背面2b的右角上，形成該液晶分子模塊1的識(shí)別代碼10。識(shí)別代碼10，如圖2所示，由形成在代碼形成區(qū)域S內(nèi)的矩陣狀的多個(gè)圓點(diǎn)D構(gòu)成。
代碼形成區(qū)域S，如圖4所示，被均等地假設(shè)分割成由16行×16列構(gòu)成的256個(gè)數(shù)據(jù)單元(以下簡(jiǎn)稱為單元C。)。如果詳細(xì)說(shuō)明，代碼形成區(qū)域S是邊長(zhǎng)1.12mm的正方形的區(qū)域，一邊的長(zhǎng)度(單元寬度Ra)假設(shè)分割為70μm的正方形的單元C。另外，對(duì)于16行×16列的各單元C，有選擇地形成圓點(diǎn)D，通過(guò)各圓點(diǎn)D，形成用于識(shí)別液晶顯示模塊1的制品號(hào)碼或批量號(hào)碼的識(shí)別代碼10。
在本實(shí)施方式中，將在分割的單元C中的形成圓點(diǎn)D的單元C稱為黑色單元C1，將未形成圓點(diǎn)D的單元C稱為白色單元C0。此外，在圖4中，從上側(cè)依次規(guī)定為第1行單元C、第2行單元C、…、第16行單元C，在圖4中，從左側(cè)依次稱為第1列單元C、第2列單元C、…、第16列單元C。
形成在黑色單元C1上的圓點(diǎn)D，如圖2及圖3所示，形成半球狀。以該狀態(tài)與基板2密接。該圓點(diǎn)D利用噴墨法形成。
按以下的順序形成圓點(diǎn)D。首先，從圖5、圖6所示的液滴噴出裝置20的噴出口、即噴嘴N(以下簡(jiǎn)稱為噴嘴N)，向單元C(黑色單元C1)噴出含有作為圓點(diǎn)形成材料的金屬微粒(例如，鎳微粒)的微小液滴Fb，干燥落在單元C上的微小液滴Fb，燒結(jié)金屬微粒。通過(guò)對(duì)落在基板2(黑色單元C1)上的微小液滴Fb照射激光進(jìn)行干燥。
下面，說(shuō)明用于在基板2的背面2b上形成識(shí)別代碼10的液滴噴出裝置20。圖5是表示液滴噴出裝置20的構(gòu)成的立體圖。圖6是沿著圖5的6-6的簡(jiǎn)要剖視圖。
在圖5中，液滴噴出裝置20，具備以長(zhǎng)方體形狀形成的基座21。在本實(shí)施方式中，將該基座21的縱向規(guī)定為Y方向，將與Y方向正交的方向規(guī)定為X方向。
在基座21的上面，在基座21的全長(zhǎng)上形成向Y方向延伸的1對(duì)導(dǎo)向凹槽22。在該基座21的上側(cè)，安裝基板載置臺(tái)23，其具有與1對(duì)導(dǎo)向凹槽22對(duì)應(yīng)的未圖示的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。基板載置臺(tái)23的直動(dòng)機(jī)構(gòu)，是具備沿著導(dǎo)向凹槽22向Y方向延伸的絲杠軸(驅(qū)動(dòng)軸)、和與絲杠軸螺合的滾珠螺母的旋轉(zhuǎn)式直動(dòng)機(jī)構(gòu)，其驅(qū)動(dòng)軸與由步進(jìn)電動(dòng)機(jī)構(gòu)成的Y軸電機(jī)MY(參照?qǐng)D9)連接。另外，如果向Y軸電機(jī)MY輸入相對(duì)于規(guī)定步長(zhǎng)數(shù)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，Y軸電機(jī)MY就正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，基板載置臺(tái)23以相當(dāng)于該步長(zhǎng)數(shù)的程度，沿著Y方向，以規(guī)定的速度(掃描速度Vy)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。由所述基板載置臺(tái)23、Y軸電機(jī)及所述直動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成輸送機(jī)構(gòu)或輸送裝置。
本實(shí)施方式的基板載置臺(tái)23，如圖5中實(shí)線所示，在基座21的最面前側(cè)的往動(dòng)端位置、和如圖5中2點(diǎn)虛線所示，在最內(nèi)側(cè)的復(fù)動(dòng)端位置的之間移動(dòng)。
在基板載置臺(tái)23的上面形成載置面24，在該載置面24上，設(shè)置未圖示的吸引式的吸盤(pán)機(jī)構(gòu)。另外，如果以背面2b(代碼形成區(qū)域S)為上側(cè)，將基板2載置在載置面24上，可通過(guò)該吸盤(pán)機(jī)構(gòu)在基板載置臺(tái)23的載置面24上定位固定基板2。此時(shí)，在代碼形成區(qū)域S，沿著Y方向排列各列的單元C，沿著X方向排列各行的單元C。此外，在Y方向的前側(cè)配置第1行的單元C。
在基座21的兩側(cè)立設(shè)一對(duì)支持架25a、25b，在該一對(duì)支持架25a、25b上架設(shè)向X方向延伸的導(dǎo)向部件26。比基板載置臺(tái)23沿X方向的寬度加長(zhǎng)地形成導(dǎo)向部件26的長(zhǎng)度，該導(dǎo)向部件26的一端以從支持架25a向側(cè)方伸出的方式配置。在該支持架25a向側(cè)方伸出部分的正下方，配設(shè)用于進(jìn)行噴頭30的清洗等維護(hù)的未圖示的維護(hù)裝置。
在導(dǎo)向部件26的上側(cè)設(shè)置收容罐27，在該收容罐27中，如圖8所示，可導(dǎo)出地收容液體F。該液體F，是通過(guò)在相對(duì)于所述基板2的背面2b具有親合性的分散劑中分散所述金屬微粒而成的。另外，在導(dǎo)向部件26的下側(cè)，在導(dǎo)向部件26的全長(zhǎng)上凸設(shè)向X方向延伸的上下一對(duì)導(dǎo)軌28。在該導(dǎo)軌28上，安裝具有未圖示的直動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑架29?；?9的直動(dòng)機(jī)構(gòu)，是具有沿著導(dǎo)軌28向X方向延伸的絲杠軸(驅(qū)動(dòng)軸)、和與絲杠軸螺合并固定在滑架29上的滾珠螺母的旋轉(zhuǎn)式直動(dòng)機(jī)構(gòu)，其驅(qū)動(dòng)軸與接收規(guī)定脈沖信號(hào)并以步進(jìn)單位正逆轉(zhuǎn)的X軸電機(jī)MX(參照?qǐng)D9)連接。另外，如果向X軸電機(jī)MX輸入相對(duì)于規(guī)定步進(jìn)數(shù)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，X軸電機(jī)MX就正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，滑架29以相當(dāng)于該步進(jìn)數(shù)的程度，沿著X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
如圖6所示，在該滑架29的下側(cè)設(shè)置噴頭30。圖7是使該噴頭30的下面30a(基板載置臺(tái)23側(cè)的面)向上方時(shí)的立體圖，圖8是用于說(shuō)明噴頭30的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主要部位剖視圖。
如圖7及圖8所示，噴頭30，以從基板2分開(kāi)的量其下面30a的后邊緣比前邊緣多的方式傾斜規(guī)定的角度(噴出角θ1)地配設(shè)在滑架29上。在其下面30a具備平板狀的噴嘴板31，在該噴嘴板31上，沿著X方向(所述單元C的行方向)按等間隔貫通形成用于形成微小液滴Fb的構(gòu)成16個(gè)噴出口的一列噴嘴N。各噴嘴N為圓形孔，其排列間距與單元C的排列間距相同。在基板2(代碼形成區(qū)域S)沿著Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，各噴嘴N能夠與一列的各單元C對(duì)置。如圖8所示，各噴嘴N，相對(duì)于下面30a垂直地延伸。即，噴嘴N的軸線即形成方向，相對(duì)于基板2(表面2a)的法線(Z方向)傾斜所述噴出角θ1。
在本實(shí)施方式中，與該噴嘴N的形成方向相同，將從噴嘴N向基板2的方向稱為噴出方向J1。此外，將噴嘴N對(duì)置的背面2b上的位置稱為噴嘴配設(shè)位置PN。
如圖8所示，在各噴嘴N的相反側(cè)，在噴頭30上形成作為壓力室的腔室32。各腔室32，與所述收容罐27連通，分別向?qū)?yīng)的噴嘴N供給收容罐27內(nèi)的液體F。關(guān)于各腔室32，在噴嘴N的相反側(cè)，配設(shè)通過(guò)向噴出方向J1及噴出方向J1的相反方向振動(dòng)，擴(kuò)大或縮小各腔室32內(nèi)的容積的振動(dòng)板33、和同樣通過(guò)向噴出方向J1及噴出方向J1的相反方向伸縮，使各振動(dòng)板33振動(dòng)的壓電元件PZ。
另外，如果噴頭30收到用于驅(qū)動(dòng)控制壓電元件PZ的信號(hào)(壓電元件驅(qū)動(dòng)電壓VDP)，對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ就伸縮，擴(kuò)大或縮小腔室32內(nèi)的容積，從對(duì)應(yīng)的各噴嘴N，噴出縮小的容積程度的液體F。另外，噴出的液體F，作為微小液滴Fb沿著噴出方向J1飛行，落在背面2b上。
因此，微小液滴Fb落下的位置(落點(diǎn)位置Pa)，通過(guò)噴頭30傾斜噴出角θ1，從噴嘴配設(shè)位置PN向Y方向偏移。在本實(shí)施方式中，將根據(jù)該噴出角θ1的微小液滴Fb的落點(diǎn)位置Pa稱為第1偏移量L1。
另外，如果使噴頭30傾斜噴出角θ1，可根據(jù)該噴出角θ1延長(zhǎng)微小液滴Fb的飛行距離。因此，在本實(shí)施方式中，基于各種試驗(yàn)，在能夠維持微小液滴的落點(diǎn)位置的精度的范圍內(nèi)，設(shè)定噴出角θ1的尺寸。
如圖6所示，在滑架29的下側(cè)、且所述噴頭30的后方(Y方向前方)，并排設(shè)有作為激光照射部的激光頭35。如圖7及圖8所示，激光頭35，傾斜規(guī)定的角度(照射角θ2)地配設(shè)在滑架29上，以使其下面35a的前邊緣從基板分開(kāi)的量比后邊緣從基板分開(kāi)的量多。在激光頭35的下面35a，形成與各噴嘴N對(duì)應(yīng)的16個(gè)出射口36。在該激光頭35的內(nèi)部具備與所述各出射口36對(duì)應(yīng)的作為激光輸出機(jī)構(gòu)或裝置的半導(dǎo)體激光器LD。另外，如果各半導(dǎo)體激光器LD從電源電路(參照?qǐng)D9)收到驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)(激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL)，就向出射口36出射能夠干燥微小液滴Fb的分散劑的波長(zhǎng)(例如，800nm)的激光B。
在該半導(dǎo)體激光器LD和出射口36的之間具備由準(zhǔn)直器37和聚光鏡38構(gòu)成的光學(xué)系。準(zhǔn)直器37，將從半導(dǎo)體激光器LD出射的激光B形成平行光束，導(dǎo)入聚光鏡38。聚光鏡38對(duì)經(jīng)由準(zhǔn)直器37的激光B聚光。另外，激光頭35，通過(guò)準(zhǔn)直器37和聚光鏡38，形成相對(duì)于Z方向傾斜所述照射角θ2的光軸ALD。
通過(guò)激光頭35(光軸ALD)傾斜照射角θ2，照射在背面2b上的激光B的位置(照射位置)，從聚光鏡38的正下方(激光出射位置PL)向前方(反Y方向)移動(dòng)。換句話講，激光頭35，相應(yīng)地使落點(diǎn)位置Pa相對(duì)照射位置靠近照射角θ2的傾斜程度，。在本實(shí)施方式中，將根據(jù)該照射角θ2的照射位置的偏移量，稱為第2偏移量L2。
另外，通過(guò)該照射位置的第2偏移量L2和所述落點(diǎn)位置的第1偏移量L1，能夠使微小液滴Fb的落點(diǎn)位置Pa位于照射位置上。
另外，激光頭35，從噴嘴N的后方即從基板2和噴頭30(噴嘴板31)的之間的距離分開(kāi)較大的一側(cè)，照射該激光B。因此，與從與液體F的噴出方向J1相同的一側(cè)照射時(shí)相比，能夠減小該照射角θ2。換句話講，能夠抑制光束徑相對(duì)于落下的微小液滴Fb的擴(kuò)大，能夠維持激光B的照射精度。
下面，根據(jù)圖9說(shuō)明如此構(gòu)成的液滴噴出裝置20的電構(gòu)成。
在圖9中，在控制裝置40中，具備，從外部計(jì)算機(jī)等的輸入裝置41接收各種數(shù)據(jù)的第1接口(I/F)部42、由CPU等構(gòu)成的控制部43、存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的RAM44、存儲(chǔ)各種控制程序的ROM45。此外，在控制裝置40中，具備驅(qū)動(dòng)波形生成電路46、生成用于使各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)同步的時(shí)鐘信號(hào)CLK的振蕩電路47、發(fā)送各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)的第2接口(I/F)部49。另外，在控制裝置40中，經(jīng)由總線50連接上述第1接口部42、控制部43、RAM44、ROM45、驅(qū)動(dòng)波形生成電路46、振蕩電路47、電源電路48及第2接口部49。
第1接口部42，從輸入裝置41，作為既定形式的描繪數(shù)據(jù)Ia，接收按公知的方法使基板2的制品號(hào)碼或批量號(hào)碼等識(shí)別數(shù)據(jù)二維代碼化的識(shí)別代碼10的圖像。
控制部43，基于在第1接口部42接收的描繪數(shù)據(jù)Ia，執(zhí)行識(shí)別代碼制作處理工作。即，控制部43，以RAM44作為處理區(qū)域，按照存儲(chǔ)在ROM45中的控制程序(例如，識(shí)別代碼制作程序)，移動(dòng)基板載置臺(tái)23，進(jìn)行基板2的輸送，通過(guò)驅(qū)動(dòng)噴頭30的各壓電元件PZ，進(jìn)行液滴噴出處理工作。此外，控制部43，按照識(shí)別代碼制作程序，驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體激光器LD，進(jìn)行干燥微小液滴Fb的干燥處理工作。
如果詳細(xì)說(shuō)明，控制部43，對(duì)通過(guò)第1接口部42接收的描繪數(shù)據(jù)Ia，實(shí)施規(guī)定的展開(kāi)處理，在二維描繪平面(圖形形成區(qū)域S)上的各單元C，生成表示是否噴出微小液滴Fb的位圖數(shù)據(jù)BMD，存儲(chǔ)在RAM44中。該位圖數(shù)據(jù)BMD，是與所述壓電元件PZ對(duì)應(yīng)，具有16×16位的位長(zhǎng)的串行數(shù)據(jù)，根據(jù)各位的值(0或1)，規(guī)定壓電元件PZ的接通或斷開(kāi)。
此外，控制部43，對(duì)描繪數(shù)據(jù)Ia實(shí)施與所述位圖數(shù)據(jù)BMD的展開(kāi)處理不同的展開(kāi)處理，生成施加給所述壓電元件PZ的驅(qū)動(dòng)電壓VDP的波形數(shù)據(jù)，輸出給驅(qū)動(dòng)波形生成電路46。驅(qū)動(dòng)波形生成電路46，具備存儲(chǔ)控制部43生成的波形數(shù)據(jù)的波形存儲(chǔ)器46a、數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換該波形數(shù)據(jù)并作為模擬信號(hào)輸出的D/A轉(zhuǎn)換部46b、放大從D/A轉(zhuǎn)換部輸出的模擬的波形信號(hào)的信號(hào)放大部46c。另外，驅(qū)動(dòng)波形生成電路46，通過(guò)D/A轉(zhuǎn)換部46b，數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換存儲(chǔ)在波形存儲(chǔ)器46a的波形數(shù)據(jù)，利用信號(hào)放大部46c放大模擬信號(hào)的波形信號(hào)，生成所述壓電元件的驅(qū)動(dòng)電壓VDP。
另外，控制部43，經(jīng)由第2接口部49，作為與振蕩電路47的時(shí)鐘信號(hào)CLK同步的噴出控制信號(hào)SI，依次向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51(移位寄存器56)串行轉(zhuǎn)送位圖數(shù)據(jù)BMD。此外，控制部43，向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51輸出用于閂鎖轉(zhuǎn)送的噴出控制信號(hào)SI的閂鎖信號(hào)LAT。另外，控制部43，與振蕩電路47的時(shí)鐘信號(hào)CLK同步地向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51輸出所述壓電元件的驅(qū)動(dòng)電壓VDP(開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16)。
在該控制裝置40中，經(jīng)由第2接口部49，連接噴頭驅(qū)動(dòng)電路51、基板檢測(cè)裝置53、X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54及Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路55。
在噴頭驅(qū)動(dòng)電路51上，具有移位寄存器56、閂鎖電路57、電平移位器58及開(kāi)關(guān)電路59。移位寄存器56，與時(shí)鐘信號(hào)CLK同步地對(duì)應(yīng)于16個(gè)壓電元件PZ(PZ1～PZ16)串行/并行轉(zhuǎn)換控制裝置40(控制部43)轉(zhuǎn)送的噴出控制信號(hào)SI。閂鎖電路57，與從控制裝置40(控制部43)輸入的閂鎖信號(hào)LAT同步地閂鎖由移位寄存器56并行轉(zhuǎn)換的16位的噴出控制信號(hào)SI，將閂鎖的噴出控制信號(hào)SI輸出給電平移位器58及激光驅(qū)動(dòng)電路52。
電平移位器58，將閂鎖電路57閂鎖的噴出控制信號(hào)SI升壓到開(kāi)關(guān)電路59驅(qū)動(dòng)的電壓，生成與16個(gè)壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1。在開(kāi)關(guān)電路59上，具備與各壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16，在各開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16的輸入側(cè)，輸入共通的所述驅(qū)動(dòng)電壓VDP，在輸出側(cè)，分別與各對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ(PZ1～PZ16)連接。另外，在各開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16上，從電平移位器58輸入對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1，根據(jù)該開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1，控制是否向壓電元件PZ供給驅(qū)動(dòng)電壓VDP。
即，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置20，經(jīng)由各開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16，共通地向?qū)?yīng)的各壓電元件PZ施加由驅(qū)動(dòng)波形生成電路46生成的驅(qū)動(dòng)電壓VDP，同時(shí)通過(guò)由控制裝置40(控制部43)供給的噴出控制信號(hào)SI(開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1)，控制該開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16的開(kāi)關(guān)。另外，如果關(guān)閉各開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16，就向與該開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ1～PZ16供給驅(qū)動(dòng)電壓VDP，從與該壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的噴嘴N噴出微小液滴Fb。
圖10表示閂鎖信號(hào)LAT、噴出控制信號(hào)SI及開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1的脈沖波形，和響應(yīng)開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1，施加給壓電元件PZ的驅(qū)動(dòng)電壓VDP的波形。
如圖10所示，如果輸入給噴頭驅(qū)動(dòng)電路51的閂鎖信號(hào)LAT下降，就基于16位程度的噴出控制信號(hào)SI，生成開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1，在升高開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1時(shí)，向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給驅(qū)動(dòng)電壓VDP。另外，壓電元件PZ隨著驅(qū)動(dòng)電壓VDP的上升而收縮，向腔室32內(nèi)引入液體F，壓電元件PZ隨著驅(qū)動(dòng)電壓VDP的下降而伸長(zhǎng)，擠出腔室32內(nèi)的液體F，即噴出微小液滴Fb。如果噴出微小液滴Fb，各壓電元件的驅(qū)動(dòng)電壓VDP返回到初期電壓，結(jié)束利用壓電元件PZ的驅(qū)動(dòng)噴出微小液滴Fb的動(dòng)作。
如圖9所示，在激光驅(qū)動(dòng)電路52上，具備延遲脈沖生成電路61和開(kāi)關(guān)電路62。延遲脈沖生成電路61，生成使閂鎖電路57閂鎖的噴出控制信號(hào)S1延遲規(guī)定時(shí)間(待機(jī)時(shí)間T)的脈沖信號(hào)(開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2)，向開(kāi)關(guān)電路62輸出該開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2。
另外，本實(shí)施方式中的所述待機(jī)時(shí)間T，是預(yù)先基于試驗(yàn)設(shè)定的時(shí)間，是從開(kāi)始?jí)弘娫Z的噴出動(dòng)作時(shí)，具體是從驅(qū)動(dòng)電壓VDP的升高時(shí)到微小液滴Fb落下的時(shí)間。
在開(kāi)關(guān)電路62上，具備與各半導(dǎo)體激光LD對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16。向各開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16的輸入側(cè)輸入電源電路48生成的共通的激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL，在輸出側(cè)連接對(duì)應(yīng)的各半導(dǎo)體激光器LD(LD1～LD16)。另外，在各開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16上，從延遲脈沖生成電路61輸入對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2，根據(jù)該開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2，控制激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL向半導(dǎo)體激光器LD的供給。
即，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置20，經(jīng)由各開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16，共通地向?qū)?yīng)的各半導(dǎo)體激光器LD施加電源電路48生成的激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL，同時(shí)根據(jù)控制裝置40(控制部43)供給的噴出控制信號(hào)SI(開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2)，控制該開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16的開(kāi)關(guān)。另外，如果關(guān)閉各開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16，就向與該開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器LD1～LD16供給激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL，從對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器LD出射激光B。
另外，在本實(shí)施方式中的延遲脈沖生成電路61上，將開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2的脈沖時(shí)間幅度設(shè)定為與1個(gè)單元C通過(guò)激光B的光軸ALD的時(shí)間(脈沖時(shí)間幅度Tsg＝Ra/Vy)相等，但也不局限于此。
另外，如圖10所示，如果向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51輸入閂鎖信號(hào)LAT，在待機(jī)時(shí)間T經(jīng)過(guò)后，生成開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2。另外，在開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2升高時(shí)，向?qū)?yīng)的半導(dǎo)體激光器LD施加激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL，從該半導(dǎo)體激光器LD出射激光B。另外，如果單元C通過(guò)激光B的光束點(diǎn)(如果經(jīng)過(guò)脈沖幅度Tsg)，開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2就下降，遮斷激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL的供給，利用半導(dǎo)體激光器LD的干燥處理動(dòng)作結(jié)束。
在控制裝置40上，經(jīng)由第2接口部49連接基板檢測(cè)裝置53?；鍣z測(cè)裝置53，用于檢測(cè)基板2的端緣，利用控制裝置40計(jì)算沿著噴頭30(噴嘴N)的正下方通過(guò)的基板2的位置。
在控制裝置40上，經(jīng)由第2接口部49連接X(jué)軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54，控制裝置40向X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54輸出驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)。X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54，響應(yīng)來(lái)自控制裝置40的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，使所述滑架29用的X軸電機(jī)MX正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。如果使X軸電機(jī)MX正轉(zhuǎn)，滑架29就向X方向移動(dòng)，如果使其反轉(zhuǎn)，滑架29就向反X方向移動(dòng)。
在控制裝置40上，經(jīng)由X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54，連接X(jué)軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器54a，向控制裝置40輸入來(lái)自X軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器54a的檢測(cè)信號(hào)?？刂蒲b置40，基于該檢測(cè)信號(hào)，檢測(cè)X軸電機(jī)MX的旋轉(zhuǎn)方向及旋轉(zhuǎn)量，運(yùn)算噴頭30(滑架29)的X方向的移動(dòng)量和移動(dòng)方向。
在控制裝置40上，經(jīng)由第2接口部49連接Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路55，控制裝置40向Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路55輸出驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)。Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路55，響應(yīng)來(lái)自控制裝置40的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，使所述基板載置臺(tái)23用的Y軸電機(jī)MY正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，以掃描速度Vy移動(dòng)該基板載置臺(tái)23。如果使Y軸電機(jī)MY正轉(zhuǎn)，基板載置臺(tái)23(基板2)就以掃描速度Vy向Y方向移動(dòng)，如果使其反轉(zhuǎn)，基板載置臺(tái)23(基板2)就以掃描速度Vy向反Y方向移動(dòng)。
在控制裝置40上，經(jīng)由Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路55，連接Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器55a，向控制裝置40輸入來(lái)自Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器55a的檢測(cè)信號(hào)。控制裝置40，基于來(lái)自Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器55a的該檢測(cè)信號(hào)，檢測(cè)Y軸電機(jī)MY的旋轉(zhuǎn)方向及旋轉(zhuǎn)量，運(yùn)算相對(duì)于噴頭30的基板2的移動(dòng)方向和移動(dòng)量。
下面，說(shuō)明采用液滴噴出裝置20，在基板2的背面2b上形成識(shí)別代碼的方法。
首先，如圖5所示，在配置在往動(dòng)端位置上的基板載置臺(tái)23上，以背面2b為上側(cè)地固定基板2。此時(shí)，基板2的后端緣，如圖6所示，配置在導(dǎo)向部件26的近前。此外，滑架29上的噴頭30，以在基板2向Y方向移動(dòng)時(shí)，識(shí)別代碼10的形成區(qū)域S沿著該滑架29的正下方通過(guò)的方式配置。
從此狀態(tài)，控制裝置40，控制Y軸電機(jī)MY驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由基板載置臺(tái)23，以掃描速度Vy向Y方向輸送基板2。不久，如果基板檢測(cè)裝置53檢測(cè)出基板2的后端緣，控制裝置40就基于來(lái)自Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器55a的檢測(cè)信號(hào)，運(yùn)算是否將第1行的單元C(黑色單元C1)輸送到落點(diǎn)位置Pa。
此期間，控制裝置40，按照代碼制作程序，向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51輸出基于存儲(chǔ)在RAM44的位圖數(shù)據(jù)的噴出控制信號(hào)SI、和在驅(qū)動(dòng)波形生成電路46生成的壓電元件的驅(qū)動(dòng)電壓VDP。此外，控制裝置40，向激光驅(qū)動(dòng)電路52輸出在電源電路48生成的激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL。另外，控制裝置40，具有輸出閂鎖信號(hào)LAT的定時(shí)。
如果第1行的單元C(黑色單元C1)被輸送到落點(diǎn)位置Pa，控制裝置40就向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51輸出閂鎖信號(hào)LAT。如果噴頭驅(qū)動(dòng)電路51，收到來(lái)自控制裝置40的閂鎖信號(hào)LAT，就基于噴出控制信號(hào)SI，生成開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1，向開(kāi)關(guān)電路59輸出該開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1。另外，向與關(guān)閉狀態(tài)的開(kāi)關(guān)元件Sa1～Sa16對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ供給驅(qū)動(dòng)電壓，從對(duì)應(yīng)的噴嘴N，一齊沿著噴出方向J1噴出相對(duì)于驅(qū)動(dòng)電壓VDP的微小液滴Fb。另外，如果在收到閂鎖信號(hào)LAT后經(jīng)過(guò)待機(jī)時(shí)間T，微小液滴Fb就從噴嘴配設(shè)位置PN向Y方向偏移第1偏移量L1，落在落點(diǎn)位置Pa上。
另外，此期間，如果向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51輸入閂鎖信號(hào)LAT，激光驅(qū)動(dòng)電路52(延遲脈沖生成電路61)，接收閂鎖電路57閂鎖的噴出控制信號(hào)SI，開(kāi)始開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2的生成，在待機(jī)時(shí)間T經(jīng)過(guò)時(shí)，向開(kāi)關(guān)電路62輸出生成的開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2。另外，激光驅(qū)動(dòng)電路52，向開(kāi)關(guān)電路62輸出由延遲脈沖生成電路61生成的開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2，向與關(guān)閉狀態(tài)的開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器LD供給激光器驅(qū)動(dòng)電壓VDL。即，激光頭35，在微小液滴Fb落在落點(diǎn)位置Pa時(shí)，一齊從對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器LD，向從激光出射位置PL向反Y方向偏移第2偏移量L2的位置即落點(diǎn)位置Pa，以相當(dāng)于脈沖幅度Tsg的時(shí)間出射激光B。
因此，對(duì)于一齊噴出到第1行的黑色單元C內(nèi)的微小液滴Fb，在其落下時(shí)，一齊從對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器LD照射激光B。由此，微小液滴Fb的分散劑在落下時(shí)蒸發(fā)，該微小液滴Fb干燥，固定在背面2b上。即，能夠避免微小液滴Fb的潤(rùn)濕擴(kuò)展，形成不從單元C(黑色單元C1)溢出的第1行的圓點(diǎn)D。
以后，同樣，控制裝置40，一邊以掃描速度Vy移動(dòng)基板2，一邊每當(dāng)各行單元C到達(dá)落點(diǎn)位置Pa，從與該黑色單元C1對(duì)應(yīng)的噴嘴N，一齊噴出微小液滴Fb，在其落下時(shí)，一齊對(duì)微小液滴Fb照射激光B。
另外，如果形成在代碼形成區(qū)域S上的識(shí)別代碼10的全部圓點(diǎn)D都形成，控制裝置40就控制Y軸電機(jī)MY，使基板從噴頭30的下方退出。
下面，說(shuō)明如上所述構(gòu)成的本實(shí)施方式的效果。
(1)根據(jù)上述實(shí)施方式，傾斜噴出角θ1地在滑架29上配設(shè)噴頭30，噴出的微小液滴Fb，沿著相對(duì)于基板2(表面2a)的法線(Z方向)傾斜噴出角θ1的方向J1飛行。然后，落在背面2b上的微小液滴Fb的落點(diǎn)位置Pa，向激光B的照射位置偏移第1偏移量L1。
因此，能夠以落點(diǎn)位置的第1偏移量L1的程度，加快用于照射落下的微小液滴Fb的激光B的照射定時(shí)，能夠抑制微小液滴Fb的潤(rùn)濕擴(kuò)展。
(2)傾斜噴出角θ2地在滑架29上配置激光頭35，激光B的光軸ALD，相對(duì)于基板2(表面2a)的法線(Z方向)，傾斜照射角θ2。另外，激光B的照射位置，從激光出射位置向落點(diǎn)位置Pa偏移第2偏移量L2。
因此，能夠以照射位置的第2偏移量L2的程度，使微小液滴Fb的落點(diǎn)位置Pa接近照射位置。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步加快用于照射微小液滴Fb的激光B的照射定時(shí)，能夠瞬間干燥微小液滴Fb。進(jìn)而能夠抑制微小液滴Fb的潤(rùn)濕擴(kuò)展，能夠形成不從單元C(黑色單元C1)溢出的圓點(diǎn)D。
(3)夾隔落點(diǎn)位置Pa從噴嘴N的相反側(cè)照射激光頭35的激光B，即從基板2和噴頭30(噴嘴板31)之間的距離分開(kāi)較大的一側(cè)照射激光B。
因此，與從與噴嘴N相同的一側(cè)照射激光B時(shí)相比，能夠減小照射角θ2，能夠抑制相對(duì)于落下的微小液滴Fb的光束徑的擴(kuò)大，維持激光B的照射精度。
(4)在上述實(shí)施方式中，設(shè)定照射角θ2以使照射位置和落點(diǎn)位置Pa為同一位置。
因此，在微小液滴Fb的落下時(shí)，能夠?qū)υ撐⑿∫旱蜦b照射激光B，能夠使微小液滴Fb的潤(rùn)濕擴(kuò)展的時(shí)間最短。
(5)在上述實(shí)施方式中，如果控制裝置40輸出的閂鎖信號(hào)LAT下降，就輸出規(guī)定壓電元件PZ的噴出動(dòng)作的開(kāi)始的開(kāi)關(guān)信號(hào)GS1，在從該輸出時(shí)開(kāi)始經(jīng)過(guò)待機(jī)時(shí)間T時(shí)，輸出規(guī)定激光B的照射開(kāi)始的開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2。即，在從微小液滴Fb的噴出動(dòng)作開(kāi)始經(jīng)過(guò)待機(jī)時(shí)間T時(shí)，確實(shí)照射激光B。
因此，能夠與微小液滴Fb的落下時(shí)對(duì)應(yīng)地確實(shí)照射激光B，能夠確實(shí)形成不從單元C(黑色單元C1)溢出的圓點(diǎn)D。
另外，也可以按以下變更上述實(shí)施方式。
在上述實(shí)施方式中，形成傾斜噴出角θ1地在滑架29上配設(shè)噴頭30的構(gòu)成。但也不局限于此，例如，如圖11所示，也可以形成與基板2的背面2b平行地配設(shè)噴頭30的下面30a，相對(duì)于基板的法線以噴出角θ1的程度只傾斜噴嘴N的流路，或以噴出角θ1的程度傾斜滑架29。在該構(gòu)成中，也能夠得到與上述實(shí)施方式相同的效果。
在上述實(shí)施方式中，形成使光軸ALD傾斜照射角θ2的構(gòu)成。但也不局限于此，也可以形成與基板2(表面2a)的法線平行地配置激光B的光軸ALD，只基于噴頭30的噴出角θ1的設(shè)定，加快激光B的照射定時(shí)的構(gòu)成。
在上述實(shí)施方式中，以照射位置和落點(diǎn)位置Pa為同一位置的方式設(shè)定噴出角θ1及照射角θ2。但也不局限于此，也可以照射位置和落點(diǎn)位置Pa相互分離地設(shè)定噴出角θ1及照射角θ2。另外，此時(shí)，提高基板載置臺(tái)23的掃描速度，縮短從微小液滴Fb的落點(diǎn)位置Pa到照射位置的輸送時(shí)間。由此，能夠以縮短輸送時(shí)間的程度補(bǔ)償因照射位置和落點(diǎn)位置Pa的分離造成的照射定時(shí)的延遲。
在上述實(shí)施方式中，噴出對(duì)基板2的背面2b具有親合性的微小液滴Fb，但也不局限于此，也可以適用于對(duì)微小液滴Fb具有疏水性的基板2。
由此，即使在落下的微小液滴Fb因基板的疏水性慢慢變化為球形狀時(shí)，也能夠確實(shí)按所要求的尺寸形成圓點(diǎn)D的尺寸。
在上述實(shí)施方式中，通過(guò)對(duì)在基板2上潤(rùn)濕擴(kuò)展的微小液滴Fb照射激光B，形成圓點(diǎn)D。但也不局限于此，例如，也可以對(duì)浸透在多孔性基板(例如陶瓷多層基板或印刷電路基板)中的微小液滴Fb照射激光B，形成金屬布線的圖形。
據(jù)此，能夠降低落下的微小液滴Fb向基板內(nèi)的浸透，形成所要求的尺寸的金屬布線。
在上述實(shí)施方式中，基于噴出控制信號(hào)SI生成開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2，但也不局限于此，也可以基于例如基板檢測(cè)裝置53的檢測(cè)信號(hào)或Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器55a等的檢測(cè)信號(hào)，生成開(kāi)關(guān)信號(hào)GS2，只要能夠?qū)Φ竭_(dá)照射位置的微小液滴Fb照射激光B就可以。
在上述實(shí)施方式中，固定激光B的照射位置，但也不局限于此，也可以在激光頭35內(nèi)，設(shè)置多面反射鏡等掃描光學(xué)系，使激光B的照射位置與微小液滴Fb的移動(dòng)對(duì)應(yīng)，從落點(diǎn)位置Pa向Y方向掃描。
據(jù)此，能夠以掃描照射位置的程度延長(zhǎng)激光B對(duì)微小液滴Fb的照射時(shí)間，能夠確實(shí)干燥微小液滴Fb，能夠更確實(shí)地控制圓點(diǎn)D的外徑。
在上述實(shí)施方式中，使激光輸出機(jī)構(gòu)具體化為半導(dǎo)體激光器LD，但也不局限于此，例如也可以是CO2激光器或YAG激光器，只要是輸出能夠干燥落下的微小液滴Fb的波長(zhǎng)的激光B的激光器就可以。
在上述實(shí)施方式中，形成按噴嘴N的數(shù)量設(shè)置半導(dǎo)體激光器LD的構(gòu)成，但也不局限于此，也可以由通過(guò)衍射元件等分支元件將從激光源出射的單一激光B分割為16份的光學(xué)系構(gòu)成。
在上述實(shí)施方式中，通過(guò)與各半導(dǎo)體激光器LD對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)元件Sb1～Sb16的開(kāi)關(guān)，控制激光B的照射。但也不局限于此，也可以在激光B的光路上設(shè)置開(kāi)關(guān)自如地構(gòu)成的快門(mén)，根據(jù)該快門(mén)的開(kāi)關(guān)定時(shí)控制激光B的照射。
在上述實(shí)施方式中，通過(guò)干燥微小液滴Fb形成圓點(diǎn)D，但也不局限于此，例如也可以通過(guò)干燥微小液滴Fb，形成絕緣膜或金屬布線。在此種情況下，也能夠?qū)⒔^緣膜或金屬布線的尺寸控制在所希望的尺寸。
在上述實(shí)施方式中，將基板具體化為透明玻璃基板，但也不局限于此，例如也可以是硅基板或柔性基板、或金屬基板。
在上述實(shí)施方式中，通過(guò)壓電元件PZ的伸縮運(yùn)動(dòng)噴出微小液滴Fb，但是，也可以用壓電元件PZ以外的方法，例如，利用在腔室32內(nèi)生成氣泡并使其破裂的方法，加壓腔室32內(nèi)，噴出微小液滴Fb。
在上述實(shí)施方式中，將本發(fā)明具體化為用于形成圓點(diǎn)D的液滴噴出裝置20，但是，例如，也可以用于形成所述絕緣膜或金屬布線所用的液滴噴出裝置。在此種情況下，也能夠?qū)A點(diǎn)的尺寸控制在所希望的尺寸。
在上述實(shí)施方式中，將圓點(diǎn)D(識(shí)別代碼10)用于液晶顯示模塊1。但也不局限于此，例如也可以是有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光顯示裝置的顯示模塊，或者也可以是具有平面狀的電子放出元件，具備通過(guò)從該元件放出的電子利用熒光物質(zhì)的發(fā)光的場(chǎng)效應(yīng)型裝置(FFD或SED等)的顯示模塊。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，具備具有向基板噴出含有圓點(diǎn)形成材料的液滴的噴出口的噴頭、和輸出激光的激光輸出機(jī)構(gòu)，通過(guò)該激光輸出機(jī)構(gòu)輸出的激光干燥落在所述基板上的所述液滴，而由所述圓點(diǎn)形成材料形成圓點(diǎn)，其特征在于所述噴頭，配置成從所述噴出口向所述基板上的激光的照射位置噴出液滴。
2.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述噴頭相對(duì)于所述基板的法線傾斜。
3.如權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述噴出口，具備相對(duì)于所述基板的法線向所述照射位置傾斜的流路。
4.如權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于還具備輸送機(jī)構(gòu)，其用于向所述激光的照射位置輸送落在所述基板上的液滴。
5.如權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述噴頭，從所述基板的輸送方向的后側(cè)噴出液滴；所述激光輸出機(jī)構(gòu)，從所述基板的輸送方向的前側(cè)輸出激光。
6.如權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于p所述激光輸出機(jī)構(gòu)是半導(dǎo)體激光器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴噴出裝置，其在滑架上傾斜噴出角(θ1)地配置噴頭(30)，噴出的微小的液滴(Fb)，沿著相對(duì)于基板(2)的法線傾斜噴出角θ1的噴出方向(J1)飛行。然后，落在背面(2b)上的微小液滴Fb的落點(diǎn)位置(Pa)，從噴嘴配置位置(PN)向激光(B)的照射側(cè)接近偏移第1偏移量(L1)。由此，能夠?qū)⒏稍镆旱涡纬傻膱A點(diǎn)的尺寸控制在所希望的尺寸。
文檔編號(hào)G06K19/00GK1836791SQ200610068030
公開(kāi)日2006年9月27日 申請(qǐng)日期2006年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月23日
發(fā)明者巖田裕二 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社