專(zhuān)利名稱(chēng)：液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
噴墨打印機(jī)的液滴噴頭能以點(diǎn)狀噴出微小的墨滴，在墨滴的大小或間距(pitch)的均勻性方面精度極高。該技術(shù)被應(yīng)用在各種產(chǎn)品的制造領(lǐng)域。例如，也可以應(yīng)用在形成液晶裝置的濾色器或有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光部等的情況。具體而言有如下的技術(shù)，即在液滴噴頭中包含特殊的墨水或感光性的樹(shù)脂液等(功能液)，對(duì)電光學(xué)裝置用的基板噴出該功能液的液滴(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。由于在由該方法形成的濾色器或發(fā)光部上大多形成多種顏色，所以將多種功能液通過(guò)不同的裝置一次一種地噴在基板上。
在由這樣的方法形成的膜狀的濾色層或發(fā)光部上，大多形成多種顏色。在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的裝置中，由于通過(guò)不同的裝置在基板上一次噴出多種功能液的一種，所以噴出時(shí)間變長(zhǎng)。在以縮短時(shí)間為目的由1個(gè)裝置在一次掃描過(guò)程中欲同時(shí)噴出所有種類(lèi)的液體材料的情況，例如考慮到如下的方法等，即將設(shè)有噴出各種液體材料的噴嘴的噴頭(head)以使噴嘴的配置一致的方式在掃描方向上排列，通過(guò)一次掃描從各噴頭同時(shí)噴出液體材料。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)2004-267927號(hào)公報(bào)但是，在從噴頭噴出液體材料時(shí)，從在噴頭的兩端部設(shè)置的噴嘴噴出的液體材料中產(chǎn)生覆蓋不均勻線(xiàn)條的情況很多，所以若各噴頭的兩端位于與掃描方向平行的同一列上，則從各噴頭噴出的液體材料的不均勻線(xiàn)條的位置重疊，從而導(dǎo)致在基板整體上，液體材料的不均勻線(xiàn)條更顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而做成的發(fā)明，其目的在于提供能使在基板整體上功能液的不均勻不明顯的液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所涉及的液滴噴出方法，多個(gè)噴頭在基板上設(shè)置的被噴出部上進(jìn)行相對(duì)掃描的同時(shí)，從在所述噴頭上設(shè)置的多個(gè)噴嘴將功能液的液滴噴出到所述被噴出部上，其特征在于，由與所述掃描的方向正交的正交方向上的所述多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴出區(qū)域的尺寸，比所述正交方向上的所述被噴出部的尺寸大，當(dāng)所述被噴出部整體包含于所述噴出區(qū)域時(shí)，從所述多個(gè)噴嘴將所述功能液的液滴噴出到所述被噴出部；當(dāng)所述被噴出部的至少一部分不包含于所述多個(gè)噴嘴的噴出區(qū)域時(shí)，不將所述功能液的液滴從所述多個(gè)噴嘴噴出到所述被噴出部。
通過(guò)以往的結(jié)構(gòu)，會(huì)產(chǎn)生如下的情況在某個(gè)被噴出部中，該被噴出部整體包含于在噴頭上設(shè)置的噴嘴的噴出區(qū)域，而在其他的被噴出部中，只有該被噴出部的一部分包含于在噴頭上設(shè)置的噴嘴的噴出區(qū)域。在這樣的情況下，需要使噴頭自身在正交方向上錯(cuò)開(kāi)的同時(shí)進(jìn)行掃描并噴出功能液，但擔(dān)心會(huì)在1個(gè)被噴出部上帶有時(shí)間差地噴出功能液，從而所噴出的功能液產(chǎn)生不勻。
根據(jù)本發(fā)明，在被噴出部整體包含于噴嘴的噴出區(qū)域時(shí)，從該噴嘴向該被噴出部噴出功能液的液滴，在只有被噴出部的一部分包含于噴出區(qū)域的情況，或被噴出部完全沒(méi)有包含于噴出區(qū)域的情況不噴出功能液，從而不會(huì)在被噴出部上產(chǎn)生不勻。由此，能實(shí)現(xiàn)在基板整體上使液體材料的不勻不明顯。
另外，作為優(yōu)選方式，使用多個(gè)所述噴頭，在將分別在多個(gè)所述噴頭設(shè)置的所述多個(gè)噴嘴中、在所述正交方向的兩端部設(shè)置的噴嘴的所述正交方向上的位置，按每個(gè)所述噴頭錯(cuò)開(kāi)的狀態(tài)下，在所述基板上進(jìn)行相對(duì)掃描。
根據(jù)本發(fā)明，由于將各個(gè)噴頭中不均勻線(xiàn)條容易產(chǎn)生的位置、即在噴頭的兩端部設(shè)置的噴嘴的位置，按每個(gè)噴頭錯(cuò)開(kāi)，所以即使在通過(guò)本發(fā)明所涉及的噴頭單元在基板上進(jìn)行掃描的同時(shí)噴出功能液的情況，也不會(huì)出現(xiàn)從各個(gè)噴頭噴出的功能液的不均勻線(xiàn)條的位置重疊的現(xiàn)象。
本發(fā)明的其他觀點(diǎn)所涉及的電光學(xué)裝置，其特征在于，包括通過(guò)上述的液滴噴出方法來(lái)噴出功能液的基板。
根據(jù)本發(fā)明，由于通過(guò)能使在基板整體上功能液的不均勻線(xiàn)條減少的液滴噴出方法來(lái)噴出功能液的液滴，所以能得到顯示均勻、品質(zhì)良好的電光學(xué)裝置。
本發(fā)明的其他觀點(diǎn)所涉及的電子設(shè)備，其特征在于，搭載有上述的電光學(xué)裝置。
根據(jù)本發(fā)明，由于搭載有顯示均勻、品質(zhì)良好的電光學(xué)裝置，所以能得到顯示性能出色的電子設(shè)備。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是表示本實(shí)施方式所涉及的濾色器基板的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖3是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的托架的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖5是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的外部結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖6是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的配置的圖。
圖7是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的方塊圖。
圖8是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的控制部結(jié)構(gòu)的圖。
圖9是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)(a)以及向噴頭驅(qū)動(dòng)部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(b)的圖。
圖10是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(其一)。
圖11是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(其二)。
圖12是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(其三)。
圖13是表示本發(fā)明所涉及的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖中1-液晶裝置；2-有源矩陣基板；3-濾色器基板；10A-基體；16-濾色器；18(18R、18G、18B)-被噴出部；100-液滴噴出裝置(噴出裝置)；103-托架(carriage)；106-載物臺(tái)(stage)；111(111R、111G、111B)-液體材料；114(114R、114G、114B)-噴頭；114P-噴頭群；114G-噴頭；118-噴嘴；300-移動(dòng)電話(huà)。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在下面的圖中，為了將各部件做成能認(rèn)知的大小，故對(duì)比例尺進(jìn)行適當(dāng)?shù)母淖儭?br> (電光學(xué)裝置)圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的液晶裝置1的結(jié)構(gòu)的立體圖。
如該圖所示，液晶裝置1被構(gòu)成為以液晶面板40和背光燈41為主體的結(jié)構(gòu)。液晶面板40的結(jié)構(gòu)是，介由密封件26粘著有源矩陣基板2和濾色器基板3，在該源矩陣基板2和濾色器基板3及密封件26之間夾著液晶6。圖中的虛線(xiàn)表示的顯示區(qū)域2a是顯示圖像或動(dòng)畫(huà)等的區(qū)域。
另外，本實(shí)施方式的液晶裝置1采用了使用雙端子型非線(xiàn)性元件即薄膜二極管(TFD)元件來(lái)作為開(kāi)關(guān)元件的有源矩陣方式的液晶裝置，但當(dāng)然也可以例如使用薄膜晶體管(TFT)來(lái)作為開(kāi)關(guān)元件的液晶裝置、或無(wú)源矩陣方式的液晶裝置。另外，液晶面板40是通過(guò)將兩張大張的母板粘合、切斷而形成的(即，從一對(duì)母板得到多個(gè)面板)。作為兩張母板，有生成濾色器基板3的濾色器側(cè)母板、和生成有源矩陣基板2的有源矩陣側(cè)母板。
圖2是表示濾色器基板3的結(jié)構(gòu)的圖。圖2(a)是表示濾色器基板3的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖2(b)是放大表示濾色器基板3的一部分的圖。
如圖2(a)所示，濾色器基板3是通過(guò)例如玻璃或塑料等透明的材料形成的矩形的基板。在濾色器基板3上設(shè)有遮光層13，與由遮光層13圍成的區(qū)域(像素)相對(duì)應(yīng)而設(shè)置具有紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B的濾色器16。另外，在濾色器基板3上形成有覆蓋層(未圖示)，以覆蓋該濾色器16，在覆蓋層上形成有取向膜(未圖示)。該取向膜是例如由聚酰亞胺等構(gòu)成，表面經(jīng)過(guò)研磨處理的水平取向膜。
另外，如圖2(b)所示，關(guān)于一個(gè)紅色層16R(或綠色層16G、藍(lán)色層16B)，設(shè)置成短邊的長(zhǎng)度S例如為170μm左右，長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度L例如為510μm左右的矩形。另外，關(guān)于相鄰的濾色器基板16之間的間隔，行方向的間隔T1約為20μm左右，列方向的間隔T2約為40μm左右。
(液滴噴出裝置)接著，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置(以下稱(chēng)作“噴出裝置”)100進(jìn)行說(shuō)明。
如圖3所示，噴出裝置100被構(gòu)成為以保持液體材料111的箱101、介由管110從箱101供給液體材料111的噴出掃描部102為主體的結(jié)構(gòu)。
在液體材料111中，有構(gòu)成例如上述的液晶裝置1的濾色器16的紅色層16R的材料(以下稱(chēng)作“紅色材料”)111R、構(gòu)成綠色層16G的材料(以下稱(chēng)作“綠色材料”)111G、和構(gòu)成藍(lán)色層16B的材料(以下稱(chēng)作“藍(lán)色材料”)111B這三種。
箱101具有保持紅色材料111R的紅色材料箱101R、保持綠色材料111G的綠色材料箱101G、和保持藍(lán)色材料111B的藍(lán)色材料箱101B，來(lái)分別保持上述的三種液體材料111。在各箱101中，例如安裝有未圖示的壓力泵。通過(guò)驅(qū)動(dòng)該壓力泵而對(duì)箱101內(nèi)部施加壓力，從而液體材料111從箱101向噴出掃描部102供給。
這里，作為紅色材料111R，例如使用如下的溶液，即將紅色的無(wú)機(jī)顏料(例如紅色氧化鐵(III)或鎘紅等)分散在聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，而且添加非離子系界面活性劑來(lái)作為分散劑，在規(guī)定的范圍內(nèi)調(diào)整粘度而得到的溶液。
另外，作為綠色材料111G，例如使用如下的溶液，即將綠色的無(wú)機(jī)顏料(例如，氧化鉻綠或鈷綠等)分散在聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加環(huán)乙酮以及乙酸丁酯作為溶劑，添加非離子系界面活性劑作為分散劑，在規(guī)定的范圍內(nèi)調(diào)整粘度而得到的溶液。
另外，作為藍(lán)色材料111B，例如使用如下的溶液，即將藍(lán)色的無(wú)機(jī)顏料(例如，群藍(lán)或普魯士藍(lán)等)分散在聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，添加非離子系界面活性劑作為分散劑，在規(guī)定的范圍內(nèi)調(diào)整粘度而得到的溶液。
噴出掃描部102具有保持多個(gè)噴頭114(參照?qǐng)D4)的托架103、控制托架103的位置的托架位置控制裝置104、對(duì)構(gòu)成濾色器側(cè)母板的基板10A進(jìn)行保持的載物臺(tái)106、控制載物臺(tái)106的位置的載物臺(tái)位置控制裝置108、和控制部112。另外，實(shí)際上在噴出裝置100上設(shè)有多個(gè)(例如10個(gè))托架103。在圖3中，為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，圖示了1個(gè)托架103來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
托架位置控制裝置104具有根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)而使托架103沿著X軸方向或Z軸方向移動(dòng)的功能，并且還具有在以Z軸為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方向上使托架103旋轉(zhuǎn)的功能。載物臺(tái)位置控制裝置108具有根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)而使載物臺(tái)106沿著Y軸方向移動(dòng)的功能，并且還具有在以Z軸為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方向上使載物臺(tái)106旋轉(zhuǎn)的功能。
如上所述，托架103通過(guò)托架位置控制裝置104的控制而在X軸方向上移動(dòng)。另一方面，載物臺(tái)106通過(guò)載物臺(tái)位置控制裝置108的控制而在Y軸方向上移動(dòng)。即，通過(guò)托架位置控制裝置104以及載物臺(tái)位置控制裝置108，使得噴頭114相對(duì)于載物臺(tái)106的相對(duì)位置發(fā)生改變。
即，通過(guò)使托架103以及載物臺(tái)106中的兩方或任一方移動(dòng)，從而托架103可以?huà)呙栎d物臺(tái)106(或由載物臺(tái)106保持的基體10A)。下面，對(duì)在本實(shí)施方式中，通過(guò)使托架103靜止、使載物臺(tái)106移動(dòng)來(lái)進(jìn)行掃描的情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖4是從載物臺(tái)106一側(cè)觀察1個(gè)托架103的圖，與圖4的紙面垂直的方向是Z軸方向。另外，圖4的紙面的左右方向是X軸方向，紙面的上下方向是Y軸方向。
如該圖所示，托架103保持分別具有相同結(jié)構(gòu)·尺寸的多個(gè)噴頭114。在噴頭114上，有噴出液體材料111中紅色材料111R的噴頭114R、噴出綠色材料111G的噴頭114G、噴出藍(lán)色材料111B的噴頭114B這三種。
在本實(shí)施方式中，在1個(gè)托架103上，分別設(shè)有4個(gè)噴頭114R、4個(gè)噴頭114G、4個(gè)噴頭114B，噴頭114的數(shù)量總計(jì)為12個(gè)。另外，關(guān)于噴頭114之間的位置關(guān)系在后面敘述。另外，在本說(shuō)明書(shū)中，在Y軸方向上相鄰的6個(gè)噴頭114被標(biāo)記為“噴頭群114P”。
圖5是表示噴頭114的底面114a的圖。底面114a的形狀是具有相對(duì)向的2個(gè)長(zhǎng)邊以及相對(duì)向的2個(gè)短邊的矩形。該底面114a朝載物臺(tái)106一側(cè)(圖中的Z軸方向)。噴頭114的長(zhǎng)邊方向和圖中的X軸方向平行，另外噴頭114的短邊方向與圖中Y軸方向平行。
另外，在該底面114a上，在X軸方向上配置兩列(列116A和列116B)噴嘴118，每列例如為90個(gè)。另外，各噴嘴118的噴嘴直徑r約為30μm。列116A側(cè)的噴嘴118和列116B側(cè)的噴嘴118分別在各列中以規(guī)定的間距LNP(LNP約為140μm)配置。另外，噴嘴列116B的各噴嘴118的位置相對(duì)于噴嘴列116A的各噴嘴118被配置成僅以噴嘴間距LNP的一半的長(zhǎng)度(約為70μm)在X軸方向的負(fù)方向(圖5的下方向)錯(cuò)位。另外，在噴頭114上設(shè)置的噴嘴列也可以不是兩列?？梢栽黾恿袛?shù)，例如為3列、4列、…M列(M為自然數(shù))，或可以是1列。
由于噴嘴列116A以及噴嘴列116B分別由90個(gè)噴嘴構(gòu)成，所以在1個(gè)噴頭114上設(shè)有180個(gè)噴嘴。其中設(shè)置成從噴嘴列116A的兩端至第五個(gè)噴嘴不噴出液體材料111(中止噴嘴圖5中被虛線(xiàn)包圍的部分)。同樣，從噴嘴列116B的兩端至第五個(gè)噴嘴也不噴出液體材料111，是中止噴嘴(圖5中被虛線(xiàn)包圍的部分)。因此，在噴頭114上的180個(gè)噴嘴118中，除了兩端的20個(gè)噴嘴以外的160個(gè)噴嘴118，被設(shè)置成噴出液體材料111(噴出噴嘴)。
在本說(shuō)明書(shū)中，以說(shuō)明噴頭114的位置關(guān)系為目的，在噴嘴列116A所包含的90個(gè)噴嘴118中，將從端部數(shù)第六個(gè)噴嘴、例如從圖中的上端數(shù)第六個(gè)噴嘴118標(biāo)記為噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。即，噴嘴列116A的80個(gè)噴出噴嘴中，位于圖中最上部的噴出噴嘴是噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。另外，對(duì)于所有的噴頭，由于只要“基準(zhǔn)噴嘴118R”的指定方法相同即可，所以“基準(zhǔn)噴嘴118R”的位置不是上述位置也可以。
接著，對(duì)噴頭群114P中的6個(gè)噴頭114的位置關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。
圖6是表示噴頭114的相對(duì)位置關(guān)系的圖。另外，在該圖中，關(guān)于圖4所示的兩組噴頭114R、114G、114B，分別標(biāo)記為114R1、114G1、114B1以及114R2、114G2、114B2，來(lái)進(jìn)行區(qū)別。
如圖6所示噴頭群114P被配置成相鄰的噴頭114之間在X軸方向上錯(cuò)位。與噴頭114R1相鄰的噴頭114G1被設(shè)置成相對(duì)于噴頭114R1例如向圖中X方向下側(cè)錯(cuò)位。另外與噴頭G1相鄰的噴頭B1也同樣被設(shè)置成相對(duì)于相鄰的噴頭G1例如向圖中X方向下側(cè)錯(cuò)位。關(guān)于與噴頭114B1相鄰的噴頭114R2、另外與該噴頭114R2相鄰的噴頭114G2、另外與該噴頭114G2相鄰的噴頭114B2，同樣被設(shè)置成分別相對(duì)于相鄰的噴頭114向圖中X方向下側(cè)錯(cuò)位。
另外，在圖中，設(shè)置在114R1上的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向的位置是“1-a”以及“1-b”(用實(shí)線(xiàn)表示)。設(shè)置在114G1上的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向的位置是“2-a”以及“2-b”(用虛線(xiàn)表示)。設(shè)置在114B1上的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向的位置是“3-a”以及“3-b”(用單點(diǎn)劃線(xiàn)表示)。設(shè)置在114R2上的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向的位置是“4-a”以及“4-b”(用實(shí)線(xiàn)表示)。設(shè)置在114G2上的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向的位置是“5-a”以及“5-b”(用虛線(xiàn)表示)。設(shè)置在114B2上的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向的位置是“6-a”以及“6-b”(用單點(diǎn)劃線(xiàn)表示)。
通過(guò)將同樣結(jié)構(gòu)的各噴頭114彼此配置成在X方向上錯(cuò)位，使得設(shè)置在自身上的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向的位置(1-a)～(6-b)相互錯(cuò)位。其結(jié)果，使得當(dāng)托架103進(jìn)行掃描(scan)時(shí)，從噴嘴118的最端部即基準(zhǔn)噴嘴118R噴出的液體材料111的不均勻線(xiàn)條不重疊。
接著，說(shuō)明噴頭114的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。如圖7(a)以及圖7(b)所示，各個(gè)噴頭114都是噴墨式噴頭。更具體而言，各個(gè)噴頭114具有振動(dòng)板126和噴嘴板128。在振動(dòng)板126和噴嘴板128之間設(shè)有存液部129，在其中始終填充經(jīng)由孔131從箱101供給來(lái)的液體材料111。
另外，在振動(dòng)板126和噴嘴板128之間設(shè)有多個(gè)隔壁122。而且，通過(guò)振動(dòng)板126、噴嘴板128和一對(duì)隔壁122圍成的部分是腔120。腔120被設(shè)置在每個(gè)噴嘴118中，腔120的數(shù)量和噴嘴118的數(shù)量相同。在腔120中，經(jīng)由在一對(duì)隔壁122之間設(shè)置的供給口130而從存液部129供給液體材料111。
在振動(dòng)板126上，振動(dòng)件124位于與各個(gè)腔120相對(duì)應(yīng)的位置。振動(dòng)件124具有壓電元件124C、夾著壓電元件124C的一對(duì)電極124A和124B。通過(guò)在該一對(duì)壓電元件124A和124B之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，而從對(duì)應(yīng)的噴嘴118噴出液體材料。另外，調(diào)整噴嘴118的形狀，以從噴嘴118在Z軸方向上噴出液狀的材料。另外，也可以具有電熱變換元件來(lái)取代壓電元件。即，可以具有利用由電熱變換元件帶來(lái)的材料的熱膨脹來(lái)噴出液體材料111的結(jié)構(gòu)。
接著，以圖8為基準(zhǔn)來(lái)說(shuō)明控制部112的結(jié)構(gòu)。
控制部112，是與噴出液體材料111的時(shí)刻、托架103的固定位置、載物臺(tái)106的移動(dòng)(移動(dòng)速度、移動(dòng)距離等)等、噴出裝置100的動(dòng)作相關(guān)地進(jìn)行總括控制的部位。
如圖8所示，控制部112具有輸入緩沖存儲(chǔ)器200、存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202、處理部204、掃描驅(qū)動(dòng)部206和噴頭驅(qū)動(dòng)部208，各部分之間被連接成能進(jìn)行通信。
輸入緩沖存儲(chǔ)器200從與外部連接的例如信息處理裝置等取得用于進(jìn)行液體材料111的液滴的噴出的噴出數(shù)據(jù)。輸入緩沖存儲(chǔ)器200向處理部204供給噴出數(shù)據(jù)，處理部204將噴出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202中。作為存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202，例如使用RAM等。
處理部204訪(fǎng)問(wèn)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202中存儲(chǔ)的噴出數(shù)據(jù)，基于該噴出數(shù)據(jù)，向掃描驅(qū)動(dòng)部206以及噴頭驅(qū)動(dòng)部208供給必要的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
掃描驅(qū)動(dòng)部206基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向托架位置控制裝置104以及載物臺(tái)位置控制裝置108供給規(guī)定的位置控制信號(hào)。另外，噴頭驅(qū)動(dòng)部208基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向各噴頭114供給噴出液體材料111的噴出信號(hào)。
噴頭驅(qū)動(dòng)部208如圖9(a)所示，具有1個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203和多個(gè)模擬開(kāi)光AS。模擬開(kāi)關(guān)AS與噴頭114內(nèi)的振動(dòng)件124連接(具體而言與電極124A連接，但電極124A在圖9(a)中沒(méi)有表示)。該模擬開(kāi)關(guān)AS被設(shè)置成與噴嘴118的每一個(gè)對(duì)應(yīng)，其數(shù)量設(shè)置得與噴嘴118的個(gè)數(shù)相同。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203生成圖9(b)所示那樣的驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS被獨(dú)立地供給到模擬開(kāi)關(guān)AS的各自的輸入端子。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS的電位相對(duì)于基準(zhǔn)電位L隨時(shí)間變化。即，驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS是多個(gè)噴出波形P以噴出周期EP進(jìn)行反復(fù)的信號(hào)。噴出周期EP例如通過(guò)處理部204而被調(diào)節(jié)成所期望的值。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203可以?xún)H對(duì)規(guī)定的模擬開(kāi)關(guān)AS輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS，可以?xún)H對(duì)噴出液體材料111的噴嘴118進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。另外，按照可以適宜調(diào)節(jié)該噴出周期EP，以規(guī)定的順序從多個(gè)噴嘴118噴出液體材料111的方式來(lái)生成噴出信號(hào)。
(液晶裝置的制造方法(液滴噴出方法))接著，對(duì)如上述方式構(gòu)成的液晶裝置1的制造工序進(jìn)行說(shuō)明。
在本實(shí)施方式中，以使用大面積的母板一并形成多個(gè)液晶裝置，通過(guò)切斷分離成一個(gè)一個(gè)的液晶裝置1的方法為例子進(jìn)行說(shuō)明。
首先，對(duì)濾色器側(cè)母板的形成工序簡(jiǎn)單地進(jìn)行說(shuō)明。
在噴出裝置100的載物臺(tái)106上保持基體10A。在該基體10A上形成對(duì)濾色器16的各色層進(jìn)行保持的被噴出部18(18R、18G、18B參照?qǐng)D10)。在被噴出部18R上保持紅色層16R，在被噴出部18G上保持綠色層16G，在被噴出部18B上保持藍(lán)色層16B。另外，在將基體10A保持在載物臺(tái)106上時(shí)，進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，以使基體10A的短邊方向與X軸方向一致，長(zhǎng)邊方向與Y軸方向一致。
在該狀態(tài)下，如圖10所示，將載物臺(tái)106從圖中的左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)。托架103例如從圖中右側(cè)向左側(cè)掃描基體10A。此時(shí)，托架103掃描基體10A的同時(shí)，從各噴頭114噴出液體材料111。
這里，在各噴頭114的噴出用噴嘴118(在兩端的基準(zhǔn)噴嘴118R之間配置的噴嘴)沒(méi)有遍及與掃描方向正交的正交方向整體來(lái)覆蓋1個(gè)被噴出部18的情況，不將液體材料111噴出到該被噴出部18上。另外，在各噴頭114的噴出用噴嘴118覆蓋1個(gè)被噴出部18整體的情況，將液體材料111噴出到該被噴出部18上，在各噴頭114的噴出用噴嘴118沒(méi)有覆蓋1個(gè)被噴出部18整體的情況，不將液體材料111噴出到該被噴出部18上。
基于圖11具體地進(jìn)行說(shuō)明。圖11是模式表示從各噴頭114噴出液體材料111的狀態(tài)的圖。另外，在該圖中，為了容易理解說(shuō)明，基準(zhǔn)噴嘴118R位于噴頭114的端部來(lái)進(jìn)行表示。
圖11中，若例如著眼于噴頭114R，該噴頭114R的噴嘴118(包括基準(zhǔn)噴嘴118R)覆蓋圖中最上段的被噴出部18R的一部分，覆蓋從圖中上方數(shù)第二段的被噴出部18R的全部，完全沒(méi)有覆蓋從圖中上方數(shù)第三段的被噴出部18R。在該情況下，僅對(duì)通過(guò)噴嘴118覆蓋全部的區(qū)域的被噴出部18R、即從圖中上方數(shù)第二段的被噴出部18R，噴出液體材料111(紅色材料111R)。
另外，若著眼于噴頭114G，該噴頭114G的噴嘴118覆蓋圖中最上段的被噴出部18G的一部分，覆蓋從圖中上方數(shù)第二段的被噴出部18G的全部，覆蓋從圖中上方數(shù)第三段的被噴出部18G的一部分。在該情況下，僅對(duì)通過(guò)噴嘴118覆蓋全部的區(qū)域的被噴出部18G、即從圖中上方數(shù)第二段的被噴出部18G，噴出液體材料111(綠色材料111G)。
另外，若著眼于噴頭114B，該噴頭114B的噴嘴118沒(méi)有覆蓋圖中最上段的被噴出部18B，覆蓋從圖中上方數(shù)第二段的被噴出部18B的一部分，覆蓋從圖中上方數(shù)第三段的被噴出部18B的全部。在該情況下，僅對(duì)通過(guò)噴嘴118覆蓋全部的區(qū)域的被噴出部18B、即從圖中上方數(shù)第三段的被噴出部18B，噴出液體材料111(藍(lán)色材料111B)。
在由這樣的方法進(jìn)行噴出的情況，如圖10所示，例如在圖中最上行的各被噴出部18上噴出綠色材料111G，在從圖中上方數(shù)第二段的各被噴出部18上噴出藍(lán)色材料111B，在從圖中上方數(shù)第三段的各被噴出部18上噴出紅色材料111R，在圖中最下段的各被噴出部18上噴出綠色材料111G。
在第二次以后的掃描中，移動(dòng)托架103，使得想要噴出的液體材料111的噴嘴118覆蓋沒(méi)有噴出液體材料111的被噴出部18的整體，如圖12所示，反復(fù)上述的掃描，直至所有的被噴出部18上都噴出了液體材料111。
對(duì)此以后的工序進(jìn)行簡(jiǎn)單的說(shuō)明。在形成有濾色器16的基材10A上，形成未圖示的電極或布線(xiàn)等，形成平坦化膜。另外，在基材10A的表面形成間隙控制用的未圖示的隔板或隔壁。形成取向膜，以覆蓋在該基材10A上形成的布線(xiàn)或?yàn)V色器，對(duì)該取向膜實(shí)行研磨處理。取向膜可以通過(guò)涂覆或印刷例如聚酰亞胺來(lái)形成。另外，由環(huán)氧樹(shù)脂等構(gòu)成的密封件被形成為矩形環(huán)狀，在由密封件圍成的區(qū)域涂覆液晶。
接著，關(guān)于有源矩陣側(cè)的母板的形成，在由玻璃或塑料等的透光性材料構(gòu)成的大張的基材上形成布線(xiàn)、電極等，在形成有該布線(xiàn)、電極等的區(qū)域形成平坦化膜。形成平坦化膜之后，形成由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜，對(duì)該取向膜實(shí)行研磨處理。
接著，以面板狀粘合濾色器側(cè)母板和有源矩陣側(cè)母板。使兩基板靠近，將有源矩陣側(cè)母板粘接在濾色器側(cè)母板上的密封件上。其后，在粘接后的兩母板上形成劃線(xiàn)，沿著該劃線(xiàn)切斷面板，對(duì)切斷后的各面板進(jìn)行清洗，在各面板上實(shí)裝驅(qū)動(dòng)器等。在各液晶面板的外側(cè)表面上粘合偏光板，安裝背光燈41，從而完成液晶裝置1。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，由于將各個(gè)噴頭114的不均勻線(xiàn)條容易產(chǎn)生的位置、即各噴頭114的基準(zhǔn)噴嘴118R的X方向上的位置，按每個(gè)噴頭114錯(cuò)開(kāi)，所以即使在如上所述托架103掃描基體10A的同時(shí)，噴出液體材料111的情況，由各個(gè)噴頭114噴出的液體材料111的不均勻線(xiàn)條的位置不會(huì)重疊，從而可以在整體上難以使液體材料的不均勻線(xiàn)條明顯。
另外，在使噴頭114如上述錯(cuò)開(kāi)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生如下的情況在某個(gè)被噴出部18中，通過(guò)噴嘴118覆蓋該被噴出部18的正交方向整體，但在其他的被噴出部18中，通過(guò)噴嘴118僅覆蓋了該被噴出部18的正交方向的一部分。在這樣的情況下，需要連同托架103在正交方向上運(yùn)動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行掃描來(lái)噴出液體材料111，但擔(dān)心會(huì)在1個(gè)被噴出部18上帶有時(shí)間差地噴出液體材料111，從而所噴出的液體材料111產(chǎn)生不勻。
對(duì)此，根據(jù)本實(shí)施方式，由于當(dāng)通過(guò)噴嘴118遍及正交方向整體覆蓋被噴出部18時(shí)，從與該被噴出部18平面重疊的噴嘴118噴出液體材料111，所以在只覆蓋例如被噴出部18的一部分的情況不噴出液體材料111，所噴出的液體材料111不會(huì)產(chǎn)生不勻。由此，能實(shí)現(xiàn)在基板整體上使液體材料111的不勻不明顯。
(電子設(shè)備)接著，關(guān)于本發(fā)明所涉及的電子設(shè)備，以移動(dòng)電話(huà)為例進(jìn)行說(shuō)明。
圖13是表示移動(dòng)電話(huà)300的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
攜帶電話(huà)300具有框體301、設(shè)有多個(gè)操作按鈕的操作部302、顯示圖像或動(dòng)畫(huà)和文字等的顯示部303。在顯示部303上搭載了本發(fā)明所涉及的液晶裝置1。
這樣，由于搭載了顯示均勻的品質(zhì)良好的液晶裝置1，所以能得到顯示性能出色的電子設(shè)備(移動(dòng)電話(huà)300)。
本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施方式，在沒(méi)有脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行適宜的變更。
另外，關(guān)于上述實(shí)施方式的說(shuō)明，是將本發(fā)明適用于在液晶裝置1的濾色器基板3上形成濾色器層16的情況，但并不僅限于此，例如也可以將本發(fā)明適用于在有機(jī)EL裝置用基板上形成有機(jī)層(發(fā)光層等)的情況。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出方法，多個(gè)噴頭在基板上進(jìn)行相對(duì)掃描的同時(shí)，從在所述噴頭上設(shè)置的多個(gè)噴嘴將功能液的液滴噴出到在所述基板上設(shè)置的被噴出部上，由與所述掃描的方向正交的正交方向上的所述多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴出區(qū)域的尺寸，比所述正交方向上的所述被噴出部的尺寸大，當(dāng)所述被噴出部整體包含于所述噴出區(qū)域時(shí)，從所述多個(gè)噴嘴將所述功能液的液滴噴出到所述被噴出部；當(dāng)所述被噴出部的至少一部分不包含于所述多個(gè)噴嘴的噴出區(qū)域時(shí)，不將所述功能液的液滴從所述多個(gè)噴嘴噴出到所述被噴出部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出方法，其中，使用多個(gè)所述噴頭，在將分別在多個(gè)所述噴頭設(shè)置的所述多個(gè)噴嘴中、在所述正交方向的兩端部設(shè)置的噴嘴的所述正交方向上的位置，按每個(gè)所述噴頭錯(cuò)開(kāi)的狀態(tài)下，在所述基板上進(jìn)行相對(duì)掃描。
3.一種電光學(xué)裝置，其包括通過(guò)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出方法來(lái)噴出功能液的基板。
4.一種電子設(shè)備，其搭載有權(quán)利要求3所述的電光學(xué)裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供能縮短整體描繪時(shí)間、并且能防止可在所形成的膜上產(chǎn)生不勻的現(xiàn)象的液滴噴出方法、噴頭單元、液滴噴出裝置、電光學(xué)裝置以及電子設(shè)備。在通過(guò)噴嘴(118)遍及整體來(lái)覆蓋各噴出部(18)時(shí)，從與該被噴出部(18)平面重疊的噴嘴(118)噴出液體材料(111)的液滴，而在只覆蓋例如被噴出部(18)的一部分的情況不噴出液體材料(111)，從而可以防止在被噴出部(18)上產(chǎn)生不勻。由此，能實(shí)現(xiàn)在基板整體上使液體材料的不勻不明顯。
文檔編號(hào)H01L21/3205GK1876245SQ200610091240
公開(kāi)日2006年12月13日 申請(qǐng)日期2006年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月10日
發(fā)明者長(zhǎng)江信明, 有賀和巳 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社