壓電基板以及使用其的組件、液體噴出頭和記錄裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種壓電基板的電極尤其是公共電極用電極與外部的接合強(qiáng)度較強(qiáng)的壓電基板、以及使用了該壓電基板的組件、液體噴出頭和記錄裝置。本發(fā)明的壓電基板是一種平板狀的壓電基板，包含：壓電陶瓷層(21b)；配置于壓電陶瓷層(21b)的一個(gè)主面的多個(gè)第1電極(24)以及第2電極(28)；在壓電陶瓷層(21b)的另一個(gè)主面，配置為與多個(gè)第1電極(25)對(duì)置的第3電極(24)；和將第2電極(28)與第3電極(24)電連接的貫通導(dǎo)體(34)，其特征在于，俯視該壓電基板時(shí)，第2電極(28)包含與貫通導(dǎo)體(34)連接的連接部(28a)、和寬度比連接部(28a)窄的窄幅部(28b)，第2電極(28)與外部在窄幅部(28b)電連接。
【專利說明】
壓電基板以及使用其的組件、液體噴出頭和記錄裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及壓電基板以及使用該壓電基板的組件、液體噴出頭和記錄裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為液體噴出頭，例如已知一種噴墨頭，通過將液體噴出到記錄介質(zhì)上，來進(jìn)行各種印刷。液體噴出頭具備:包含多個(gè)噴出孔和多個(gè)加壓室的流路構(gòu)件；以及包含對(duì)加壓室內(nèi)的液體進(jìn)行加壓的位移元件的壓電致動(dòng)器基板。位移元件由公共電極、獨(dú)立電極和被它們夾持的壓電體構(gòu)成，公共電極經(jīng)由貫通了壓電體的貫通導(dǎo)體與配置于與獨(dú)立電極相同的面的公共電極用表面電極電連接。然后，為了驅(qū)動(dòng)位移元件，將壓電致動(dòng)器基板的獨(dú)立電極以及公共電極用表面電極與FPC(Flexible Printed Circuit，柔性印刷電路)電連接(例如參照專利文獻(xiàn)I) O
[0003]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1: JP特開2006-123519號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]在專利文獻(xiàn)I所記載的液體噴出頭中所使用的壓電致動(dòng)器基板那樣的壓電基板中，若為了驅(qū)動(dòng)位移元件，想要將獨(dú)立電極(第I電極)以及公共電極用表面電極(第2電極)與外部進(jìn)行電連接，則由于獨(dú)立電極與公共電極用表面電極的平面形狀以及剖面形狀的差異，從而連接條件發(fā)生改變，因此一方的接合強(qiáng)度會(huì)弱于另一方，存在較弱的一方的連接會(huì)脫落等問題。
[0008]特別是在使用了壓電陶瓷的壓電基板的情況下，配置貫通導(dǎo)體的通孔由于在燒成前形成很簡單，因此大多都在燒成前形成。在該情況下，因燒成收縮所引起的平面方向的尺寸偏差而導(dǎo)致通孔的位置偏移發(fā)生。為了應(yīng)對(duì)該問題，公共電極用表面電極被設(shè)為較大的平面形狀，使得即使發(fā)生該位置偏移也能夠電連接。而且，由于其影響，存在公共電極用表面電極與外部的接合強(qiáng)度變?nèi)醯那闆r。
[0009]因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種壓電基板的電極尤其是公共電極用電極(第2電極)與外部的接合強(qiáng)度較強(qiáng)的壓電基板以及使用了該壓電基板的組件、液體噴出頭和記錄裝置。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]本發(fā)明的壓電基板是一種平板狀的壓電基板，包含:壓電陶瓷層；多個(gè)第I電極以及I個(gè)以上的第2電極，配置于該壓電陶瓷層的一個(gè)主面;第3電極，其在所述壓電陶瓷層的另一個(gè)主面，配置為與所述多個(gè)第I電極對(duì)置;和貫通導(dǎo)體，其貫通所述壓電陶瓷層，將所述第2電極與所述第3電極電連接，所述壓電基板的特征在于，在俯視該壓電基板時(shí)，所述第2電極包含與所述貫通導(dǎo)體連接的連接部、和寬度比該連接部窄的窄幅部。。
[0012]本發(fā)明的組件包含:所述壓電基板;和與該壓電基板面對(duì)配置，并包含與所述多個(gè)第I電極以及所述第2電極電連接的多個(gè)布線的第I以及第2布線基板，所述組件的特征在于，所述壓電基板在一個(gè)方向上較長，在所述壓電基板的與所述一個(gè)方向正交的方向上的中央部，所述窄幅部構(gòu)成了沿著所述一個(gè)方向排列了多個(gè)的第I以及第2窄幅部行，所述第I窄幅部行和所述第2窄幅部行在與所述一個(gè)方向正交的方向上排列，屬于所述第I窄幅部行的所述窄幅部與所述第I布線基板的所述布線，在沿著該第I布線基板的外周的I條邊的位置電連接，屬于所述第2窄幅部行的所述窄幅部與所述第2布線基板的所述布線，在沿著該第I布線基板的外周的I條邊的位置電連接。
[0013]此外，本發(fā)明的組件包含:所述壓電基板;和與該壓電基板面對(duì)配置，并包含與所述多個(gè)第I電極以及所述第2電極電連接的多個(gè)布線的布線基板，所述布線基板的平面形狀在一個(gè)方向上較長，并且具有沿著所述一個(gè)方向的I對(duì)邊，所述窄幅部沿著所述I對(duì)邊的每一條邊延伸，所述第2電極與所述布線在沿著該I對(duì)邊的所述窄幅部電連接。
[0014]本發(fā)明的液體噴出頭是將包含多個(gè)噴出孔以及與該多個(gè)噴出孔分別相連的多個(gè)加壓室的流路構(gòu)件、與所述壓電基板進(jìn)行了接合的液體噴出頭，其特征在于，通過在所述第I電極與所述第2電極之間施加電壓，從而所述壓電陶瓷層發(fā)生變形，對(duì)所述加壓室內(nèi)的液體進(jìn)行加壓。
[0015]此外，本發(fā)明的液體噴出頭包含流路構(gòu)件和所述組件，并將所述流路構(gòu)件與所述壓電基板進(jìn)行了接合，所述流路構(gòu)件包含多個(gè)噴出孔以及與該多個(gè)噴出孔分別相連的多個(gè)加壓室，所述液體噴出頭的特征在于，通過在所述第I電極與所述第2電極之間施加電壓，從而所述壓電陶瓷層發(fā)生變形，對(duì)所述加壓室內(nèi)的液體進(jìn)行加壓。
[0016]本發(fā)明的記錄裝置的特征在于，具備:所述液體噴出頭;輸送部，其向所述液體噴出頭輸送記錄介質(zhì);和控制部，其對(duì)所述液體噴出頭進(jìn)行控制。
[0017]發(fā)明效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明的壓電基板，在第2電極中，與外部的電連接在窄幅部進(jìn)行，因此接合強(qiáng)度增強(qiáng)。此外，由于第2電極與第3電極的電連接在第2電極中，在寬度比窄幅部寬的連接部進(jìn)行，因此不易發(fā)生因制造時(shí)的位置偏移等而導(dǎo)致第2電極和第3電極無法連接。
【附圖說明】
[0019]圖1(a)是包含本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的液體噴出頭的記錄裝置的側(cè)視圖，(b)是俯視圖。
[0020]圖2是作為圖1的液體噴出頭的主要部分的頭主體的俯視圖。
[0021]圖3是圖2的單點(diǎn)劃線所包圍的區(qū)域的放大圖，是為了說明而省略了一部分的流路的圖。
[0022]圖4是圖2的單點(diǎn)劃線所包圍的區(qū)域的放大圖，是為了說明而省略了一部分的流路的圖。
[0023]圖5(a)是沿著圖3的V-V線的縱剖面圖，(b)是第I電極(獨(dú)立電極)附近的放大俯視圖。
[0024]圖6(a)是圖2?4所示的壓電致動(dòng)器基板的第2電極(公共電極用表面電極)的俯視圖，(b)、(c)是本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的第2電極的俯視圖。
[0025]圖7(a)、(b)是本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的第2電極的俯視圖。
[0026]圖8是本發(fā)明的其他實(shí)施方式的組件的俯視圖。
[0027]圖9是作為本發(fā)明的其他液體噴出頭的主要部分的頭主體的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]圖1(a)是作為包含本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的液體噴出頭2的記錄裝置的彩色噴墨打印機(jī)1(以下有時(shí)簡稱為打印機(jī))的概略的側(cè)視圖，圖1(b)是概略的俯視圖。打印機(jī)I通過從輸送棍80a向輸送棍80b輸送作為記錄介質(zhì)的印刷紙張P，從而使印刷紙張P相對(duì)于液體噴出頭2而相對(duì)移動(dòng)?？刂撇?8基于圖像、文字的數(shù)據(jù)，控制液體噴出頭2，使其向記錄介質(zhì)P噴出液體，使液滴命中印刷紙張P，在印刷紙張P上進(jìn)行印刷等記錄。
[0029]在本實(shí)施方式中，液體噴出頭2相對(duì)于打印機(jī)I固定，打印機(jī)I為所謂的行式打印機(jī)。作為本發(fā)明的記錄裝置的其他實(shí)施方式，可以列舉如下所謂的串行打印機(jī):交替地進(jìn)行使液體噴出頭2在與印刷紙張P的輸送方向交叉的方向例如大致正交的方向上進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)等而移動(dòng)的動(dòng)作、和印刷紙張P的輸送。
[0030]在打印機(jī)I中，固定有平板狀的頭搭載框架70(以下有時(shí)簡稱為框架)使得與印刷紙張P大致平行。在框架70上，設(shè)置有未圖示的20個(gè)孔，20個(gè)液體噴出頭2搭載于各個(gè)孔的部分，液體噴出頭2的噴出液體的部位面向印刷紙張P。液體噴出頭2與印刷紙張P之間的距離例如設(shè)為0.5?20_程度。5個(gè)液體噴出頭2構(gòu)成I個(gè)頭組72，打印機(jī)I具有4個(gè)頭組72。
[0031]液體噴出頭2具有在從圖1(a)的近前朝向內(nèi)部的方向即圖1(b)的上下方向上細(xì)長的長條形狀。有時(shí)將該較長的方向稱作長邊方向。在I個(gè)頭組72內(nèi)，3個(gè)液體噴出頭2沿著與印刷紙張P的輸送方向交叉的方向、例如大致正交的方向排列，其他2個(gè)液體噴出頭2在沿著輸送方向錯(cuò)開的位置，在3個(gè)液體噴出頭2之間分別逐一排列。液體噴出頭2配置為由各液體噴出頭2能夠印刷的范圍在印刷紙張P的寬度方向上(在與印刷紙張P的輸送方向交叉的方向上)相連或者端緣重疊，能夠?qū)崿F(xiàn)在印刷紙張P的寬度方向上無間隙的印刷。
[0032]4個(gè)頭組72沿著記錄紙張P的輸送方向而配置。從未圖示的液體盒向各液體噴出頭2供給液體，例如墨水。屬于I個(gè)頭組72的液體噴出頭2會(huì)被供給相同顏色的墨水，由4個(gè)頭組能夠印刷4色的墨水。從各頭組72噴出的墨水的顏色例如是品紅色(M)、黃色(Y)、青色(C)以及黑色(K)。只要由控制部88對(duì)這樣的墨水進(jìn)行控制來進(jìn)行印刷，便能夠印刷彩色圖像。
[0033]若是以單色對(duì)由I個(gè)液體噴出頭2能夠印刷的范圍進(jìn)行印刷，則搭載于打印機(jī)I的液體噴出頭2的個(gè)數(shù)可以是I個(gè)。頭組72所包含的液體噴出頭2的個(gè)數(shù)、頭組72的個(gè)數(shù)能夠根據(jù)所印刷的對(duì)象、印刷條件適當(dāng)變更。例如，為了進(jìn)行更多色的印刷，也可以增加頭組72的個(gè)數(shù)。此外，若配置多個(gè)以同色進(jìn)行印刷的頭組72，在輸送方向上交替地印刷，則即使使用相同性能的液體噴出頭2也能夠加快輸送速度。由此，能夠增大每單位時(shí)間的印刷面積。此夕卜，也可以準(zhǔn)備多個(gè)以同色進(jìn)行印刷的頭組72，在與輸送方向交叉的方向上錯(cuò)開配置，來提高印刷紙張P的寬度方向的分辨率。
[0034]進(jìn)而，除了印刷帶顏色的墨水以外，也可以為了進(jìn)行印刷紙張P的表面處理，印刷涂布劑等液體。
[0035]打印機(jī)I在作為記錄介質(zhì)的印刷紙張P上進(jìn)行印刷。印刷紙張P處于卷繞于供紙輥80a的狀態(tài)，通過2個(gè)導(dǎo)向輥82a之間后，通過搭載于框架70的液體噴出頭2的下側(cè)，然后通過2個(gè)輸送輥82b之間，最終被回收至回收輥80b。在進(jìn)行印刷時(shí)，通過使輸送輥82b旋轉(zhuǎn)，從而印刷紙張P以固定速度被輸送，由液體噴出頭2進(jìn)行印刷。回收輥80b對(duì)從輸送輥82b送出的印刷紙張P進(jìn)行卷繞。輸送速度例如設(shè)為75m/分鐘。各輥既可以通過控制部88來控制，也可以由人來手動(dòng)操作。
[0036]記錄介質(zhì)除了印刷紙張P以外，也可以是卷筒狀的布等。此外，打印機(jī)I也可以取代直接輸送印刷紙張P而直接輸送輸送帶，將記錄介質(zhì)置于輸送帶來進(jìn)行輸送。如此一來，能夠?qū)纹?、裁斷的布、木材、磚等設(shè)為記錄介質(zhì)。進(jìn)而，也可以使得從液體噴出頭2噴出包含導(dǎo)電性的粒子的液體，印刷電子設(shè)備的布線圖案等。此外，還可以使得從液體噴出頭2朝向反應(yīng)容器等噴出給定量的液體的化學(xué)藥劑或包含化學(xué)藥劑的液體，使其發(fā)生反應(yīng)等，來制作化學(xué)藥品。
[0037]此外，也可以在打印機(jī)I中，安裝位置傳感器、速度傳感器、溫度傳感器等，由控制部88基于根據(jù)來自各傳感器的信息而獲知的打印機(jī)I各部的狀態(tài)，來控制打印機(jī)I的各部。例如，在液體噴出頭2的溫度、液體盒的液體的溫度，液體盒的液體給液體噴出頭2施加的壓力等對(duì)所噴出的液體的噴出特性(噴出量、噴出速度等)造成了影響的情況等下，也可以根據(jù)這些信息，改變使液體噴出頭2噴出液體的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
[0038]接著，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式的液體噴出頭2進(jìn)行說明。圖2是表示作為圖1所示的液體噴出頭2的主要部分的頭主體2a的俯視圖。圖3是圖2的單點(diǎn)劃線所包圍的區(qū)域的放大俯視圖，是頭主體2a的一部分。在圖3中，為了說明而省略了一部分的流路來進(jìn)行了描繪。圖4是與圖3相同位置的放大俯視圖，省略了與圖3不同的一部分的流路來進(jìn)行了描繪。。圖5(a)是沿著圖3的V-V線的縱剖面圖，圖5(b)是作為頭主體2a中的第I電極的獨(dú)立電極25附近的放大俯視圖。圖6(a)是作為用于頭主體2a的壓電致動(dòng)器基板21中的第2電極的公共電極用表面電極28的俯視圖。另外，在圖3?6中，為了使附圖容易理解，將位于壓電致動(dòng)器基板21的下方而應(yīng)用虛線描繪的加壓室10、節(jié)流孔6以及噴出孔8等、位于獨(dú)立電極用凸塊27的下方而應(yīng)用虛線描繪的焊盤26、獨(dú)立電極25的一部分等用實(shí)線來進(jìn)行了描繪。
[0039]液體噴出頭2除了包含頭主體2a以外，還可以包含向頭主體2a供給液體的貯液器、金屬制的箱體。此外，頭主體2a包含流路構(gòu)件4、和作為嵌入了位移元件30的壓電基板的壓電致動(dòng)器基板21。
[0040]構(gòu)成頭主體2a的流路構(gòu)件4具備作為公共流路的歧管5、與歧管5相連的多個(gè)加壓室10、和與多個(gè)加壓室10分別相連的多個(gè)噴出孔8。加壓室10在流路構(gòu)件4的上表面開口，流路構(gòu)件4的上表面成為加壓室面4-2。此外，流路構(gòu)件4的上表面具有與歧管5相連的開口 5a，從該開口 5a供給液體。
[0041]此外，在流路構(gòu)件4的上表面，通過粘接劑來接合了包含位移元件30的壓電致動(dòng)器基板21，并配置為各位移元件30位于加壓室10上。此外，在壓電致動(dòng)器基板21，連接了用于向各位移元件30供給信號(hào)的FPC(Flexible Printed Circuit，柔性印刷電路)等布線基板60。將壓電致動(dòng)器基板21和布線基板60—起稱作組件。在圖2中，用點(diǎn)線示出了布線基板60的與壓電致動(dòng)器基板21連接的附近的外形，以了解布線基板60與壓電致動(dòng)器基板21相連的狀態(tài)。與壓電致動(dòng)器基板21電連接的形成于布線基板60的布線60c的電極，在布線基板60的端部，配置為矩形。布線基板60面對(duì)壓電致動(dòng)器基板21而配置，并且沿著壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向而配置，并向圖2的下方進(jìn)一步延伸(根據(jù)需要經(jīng)由其他電路基板等)而與控制部88電連接。布線基板60所包含的布線60c在與布線基板60的長邊方向交叉的方向上排列了多個(gè)，并且沿著長邊方向延伸。圖2的布線60c示意性地進(jìn)行了表示以使得理解排列的方向以及延伸方向。
[0042]頭主體2a具有一個(gè)平板狀的流路構(gòu)件4和粘接在流路構(gòu)件4上的包含位移元件30的壓電致動(dòng)器基板21。壓電致動(dòng)器基板21的平面形狀為長方形(矩形)，配置在流路構(gòu)件4的上表面使得該長方形的長邊沿著流路構(gòu)件4的長邊方向。
[0043]在流路構(gòu)件4的內(nèi)部，形成了2個(gè)歧管5。歧管5具有從流路構(gòu)件4的長邊方向的一端部側(cè)向另一端部側(cè)延伸的細(xì)長的形狀，在該兩端部，形成了在流路構(gòu)件4的上表面開口的歧管5的開口 5a。
[0044]此外，歧管5至少在作為與加壓室10相連的區(qū)域的長邊方向上的中央部分，由沿短邊方向空開間隔設(shè)置的隔板15隔開。隔板15在作為與加壓室10相連的區(qū)域的長邊方向的中央部分，具有與歧管5相同的高度，將歧管5完全隔開為多個(gè)副歧管5b。通過這樣，從而能夠設(shè)置噴出孔8以及從噴出孔8連到加壓室10的流路，使得在俯視時(shí)與隔板15重疊。
[0045]有時(shí)將被劃分為多個(gè)的部分的歧管5稱作副歧管5b。在本實(shí)施方式中，歧管5獨(dú)立設(shè)置了2條，在各自的兩端部設(shè)置有開口5a。此外，在I個(gè)歧管5中，設(shè)置了7個(gè)隔板15，劃分為8個(gè)副歧管5b。副歧管5b的寬度大于隔板15的寬度，由此能夠在副歧管5b中流動(dòng)較多的液體。
[0046]流路構(gòu)件4二維擴(kuò)展而形成了多個(gè)加壓室10。加壓室10是具有對(duì)角部實(shí)施了曲面加工的大致菱形或者橢圓形的平面形狀的中空的區(qū)域。
[0047]加壓室10經(jīng)由單獨(dú)供給流路14與I個(gè)副歧管5b相連。作為沿著I個(gè)副歧管5b并與該副歧管5b相連的加壓室10的行的加壓室行11，在副歧管5b的兩側(cè)各設(shè)置了 I行，合計(jì)設(shè)置了2行。因此，針對(duì)I個(gè)歧管5，設(shè)置了 16行的加壓室11，在整個(gè)頭主體2a中，設(shè)置了 32行的加壓室行11。各加壓室行11中的加壓室10的長邊方向的間隔相同，例如為37.5dpi的間隔。
[0048]在各加壓室行11的端部設(shè)置了 I列虛設(shè)加壓室16的列。該虛設(shè)加壓室列的虛設(shè)加壓室16雖然與歧管5相連，但不與噴出孔8相連。此外，在32行的加壓室行11的外側(cè)，設(shè)置了 I行虛設(shè)加壓室16呈直線狀排列的虛設(shè)加壓室行。該虛設(shè)加壓室行的虛設(shè)加壓室16與歧管5以及噴出孔8都不相連。通過這些虛設(shè)加壓室16，從而緊靠端緣的內(nèi)側(cè)的I個(gè)加壓室10的周圍的結(jié)構(gòu)(剛性)接近其他加壓室10的結(jié)構(gòu)(剛性)，由此能夠減小液體噴出特性的差異。另夕卜，由于周圍的結(jié)構(gòu)的差異的影響是距離較近、在長度方向上相鄰的加壓室10的影響較大，因此在長度方向上，在兩端設(shè)有虛設(shè)加壓室。關(guān)于寬度方向，由于影響比較小，因此僅靠近頭主體21a的端部進(jìn)行了設(shè)置。由此，能夠減小頭主體21a的寬度。
[0049]與I個(gè)歧管5相連的加壓室10配置為形成沿著矩形的壓電致動(dòng)器基板21的各外邊的行以及列的格子狀。由此，從壓電致動(dòng)器基板21的外邊起，等距離地配置形成在加壓室10上的作為第I電極的獨(dú)立電極25，因此在形成獨(dú)立電極25時(shí)，能夠在壓電致動(dòng)器基板21不易發(fā)生變形。在對(duì)壓電致動(dòng)器基板21與流路構(gòu)件4進(jìn)行接合時(shí)，若該變形較大則應(yīng)力施加于靠近外邊的位移元件30，在位移特性上有可能產(chǎn)生偏差，但通過減小變形，從而能夠降低該偏差。此外，由于在最靠近外邊的加壓室行11的外側(cè)設(shè)置了虛設(shè)加壓室16的虛設(shè)加壓室行，因此能夠更不易受到變形的影響。屬于加壓室行11的加壓室10等間隔地配置，與加壓室行11對(duì)應(yīng)的獨(dú)立電極25也等間隔地配置。加壓室行11在短邊方向上等間隔地配置，與加壓室行11對(duì)應(yīng)的獨(dú)立電極25的行也在短邊方向上等間隔地配置。由此，特別能夠消除串?dāng)_的影響增大的部位。
[0050]在本實(shí)施方式中，加壓室10配置為格子狀，但也可以配置為鋸齒狀使得相鄰的加壓室列11的加壓室10位于彼此之間。這樣一來，屬于相鄰加壓室行11的加壓室10之間的距離變得更長，因此能夠進(jìn)一步抑制串?dāng)_。
[0051]不管如何排列加壓室行11，通過配置為在俯視流路構(gòu)件4時(shí)，屬于I個(gè)加壓室行11的加壓室10與屬于相鄰的加壓室行11的加壓室10在液體噴出頭2的長邊方向上不重疊，從而能夠抑制串?dāng)_。另一方面，若增大加壓室行11之間的距離，則液體噴出頭2的寬度變大，因此液體噴出頭2相對(duì)于打印機(jī)I的設(shè)置角度的精度、使用多個(gè)液體噴出頭2時(shí)的液體噴出頭2的相對(duì)位置的精度給印刷結(jié)果帶來的影響變大。因此，通過將隔板15的寬度設(shè)為比副歧管5b小，從而能夠減小這些精度給印刷結(jié)果帶來的影響。
[0052]與I個(gè)副歧管5b相連的加壓室10形成了2列的加壓室行11，與屬于I個(gè)加壓室行11的加壓室10相連的噴出孔8形成了 I個(gè)噴出孔行9。與屬于2行的加壓室行11的加壓室10相連的噴出孔8分別在副歧管5b的不同側(cè)開口。在圖4中在隔板15上，設(shè)置了2行的噴出孔行9，但屬于各噴出孔行9的噴出孔8經(jīng)由加壓室10與靠近噴出孔8的一側(cè)的副歧管5b相連。若配置為和經(jīng)由加壓室行11與相鄰的副歧管5b相連的噴出孔8在液體噴出頭2的長邊方向上不重疊，則能夠抑制將加壓室10與噴出孔8相連的流路間的串?dāng)_，因此能夠進(jìn)一步減少串?dāng)_。若將連接加壓室10與噴出孔8的流路整體配置為在液體噴出頭2的長邊方向上不重疊，則能夠進(jìn)一步減少串?dāng)_。
[0053]由與I個(gè)歧管5相連的多個(gè)加壓室10構(gòu)成加壓室組(是與位移元件組31相同的范圍)，由于歧管5有2個(gè)，因此加壓室組有2個(gè)。各加壓室組內(nèi)的與噴出相關(guān)的加壓室10的配置相同，配置于在短邊方向上進(jìn)行了平行移動(dòng)的位置。這些加壓室10在流路構(gòu)件4的上表面的與壓電致動(dòng)器基板21對(duì)置的區(qū)域，存在加壓室組間等間隔稍大的部分，但大致遍及整個(gè)表面進(jìn)行了排列。即，由這些加壓室10所形成的加壓室組占據(jù)了與壓電致動(dòng)器基板21大致相同的形狀的區(qū)域。此外，各加壓室10的開口通過將壓電致動(dòng)器基板21接合于流路構(gòu)件4的上表面而被堵塞。
[0054]從加壓室10的與單獨(dú)供給流路14所連接的角部對(duì)置的角部起，延伸出與在流路構(gòu)件4的下表面的噴出孔面4-1開口的噴出孔8相連的流路。該流路在俯視時(shí)，向遠(yuǎn)離加壓室10的方向延伸。更具體來說，一邊在沿著加壓室10的長對(duì)角線的方向上離開，一邊相對(duì)于該方向左右偏離并延伸。由此，加壓室10能夠配置為各加壓室行11內(nèi)的間隔成為37.5dpi的格子狀，并且噴出孔8能夠整體以1200dpi的間隔而配置。
[0055]換言之，若對(duì)噴出孔8進(jìn)行投影使得相對(duì)于與流路構(gòu)件4的長邊方向平行的虛擬直線正交，則在圖4所示的虛擬直線的R的范圍內(nèi)，與各歧管5相連的16個(gè)噴出孔8、一共是32個(gè)噴出孔8成為1200dpi的等間隔。由此，通過向所有的歧管5供給相同顏色的墨水，從而作為整體能夠在長邊方向上以1200dpi的分辨率形成圖像。此外，與I個(gè)歧管5相連的I個(gè)噴出孔8在虛擬直線的R的范圍內(nèi)成為600dpi的等間隔。由此，通過向各歧管5供給不同顏色的墨水，從而作為整體能夠在長邊方向上以600dpi的分辨率形成2色的圖像。在該情況下，若使用2個(gè)液體噴出頭2，則能夠以600dp i的分辨率形成4色的圖像，與使用4個(gè)能夠以600dp i印刷的液體噴出頭的情況相比，印刷精度增高，還能夠使印刷的設(shè)定(setting)變得簡單。此時(shí)，通過將存在2個(gè)的歧管5隔開配置，從而由噴出相同色的墨水的噴出孔8構(gòu)成的組彼此也被隔開配置，因擦拭(wiping)等而有可能發(fā)生的墨水的混合變得難以發(fā)生。另外，由從屬于沿頭主體2a的短邊方向排列的I列加壓室列的加壓室10連接出的噴出孔8，覆蓋了虛擬直線的R的范圍。
[0056]在壓電致動(dòng)器基板21的上表面的與各加壓室10對(duì)置的位置，分別形成了作為第I電極的獨(dú)立電極25。獨(dú)立電極25包含比加壓室10小一圈并具有與加壓室10大致相似的形狀的獨(dú)立電極主體25a、和從獨(dú)立電極主體25a引出的引出電極25b，獨(dú)立電極25與加壓室10相同地，構(gòu)成了獨(dú)立電極列以及獨(dú)立電極組。此外，在壓電致動(dòng)器基板21的上表面，形成了作為第2電極的公共電極用表面電極28。公共電極用表面電極28經(jīng)由貫通了壓電陶瓷層21b的貫通導(dǎo)體34與作為第3電極的公共電極24電連接。在壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向的中央部，沿著長邊方向配置了多個(gè)(參照?qǐng)D3)。公共電極用表面電極28包含:進(jìn)行了與貫通導(dǎo)體34的連接的連接部28a、和寬度比連接部28a窄的窄幅部28b。另外，在此所說的寬度，是指包含相應(yīng)部分的直徑的長度中的最短的直徑的長度。在圖6(a)中，連接部28a的寬度為Wl，窄幅部28b的寬度為W2。
[0057]噴出孔8配置于避開了與配置在流路構(gòu)件4的下表面?zhèn)鹊钠绻?對(duì)置的區(qū)域的位置。進(jìn)而，噴出孔8配置在流路構(gòu)件4的下表面?zhèn)鹊呐c壓電致動(dòng)器基板21對(duì)置的區(qū)域內(nèi)。這些噴出孔8作為I個(gè)組而占據(jù)了與壓電致動(dòng)器基板21大致相同的形狀的區(qū)域，通過使相對(duì)應(yīng)的壓電致動(dòng)器基板21的位移元件30產(chǎn)生位移從而能夠從噴出孔8噴出液滴。
[0058]頭主體2a中包含的流路構(gòu)件4具有層疊了多個(gè)板的層疊結(jié)構(gòu)。這些板從流路構(gòu)件4的上表面起依次是空腔板4a、底板(base plate)4b、孔(節(jié)流孔)板4c、供給板4d、歧管板4e?j、蓋板4k以及噴嘴板41。在這些板上形成了許多孔。各板的厚度為10?300μηι程度，由此能夠提高所形成的孔的形成精度。流路構(gòu)件4的厚度為500μπι?2mm程度。將各板對(duì)準(zhǔn)位置進(jìn)行層疊以使得這些孔彼此連通而構(gòu)成單獨(dú)流路12以及歧管5。頭主體2a具有如下構(gòu)成:加壓室10位于流路構(gòu)件4的上表面，歧管5位于內(nèi)部的下表面?zhèn)?，噴出?位于下表面，構(gòu)成單獨(dú)流路12的各部分彼此接近地配設(shè)在不同的位置，歧管5和噴出孔8經(jīng)由加壓室10相連。
[0059]關(guān)于形成于各板的孔進(jìn)行說明。在這些孔中，存在如下的孔。第I是形成于空腔板4a的加壓室10。第2是構(gòu)成從加壓室10的一端連接到歧管5的單獨(dú)供給流路14的連通孔。該連通孔形成于從底板4b(詳細(xì)來說是加壓室10的入口)到供給板4c(詳細(xì)來說是歧管5的出口)的各板。另外，在該單獨(dú)供給流路14中，包含形成于孔板4c的流路的剖面積變小的部位即節(jié)流孔6。
[0060]第3是構(gòu)成從加壓室10的與單獨(dú)供給路14所連接的一端相反的另一端向噴出孔8連通的流路的連通孔。該連通孔在以下記載中有時(shí)被稱作下行路(descender)(部分流路)。下行路形成于從底板4b(詳細(xì)來說是加壓室10的出口)到噴嘴板41(詳細(xì)來說是噴出孔8)的各板。
[0061]第4是構(gòu)成副歧管5a的連通孔。該連通孔形成于歧管板4e?j。在歧管板4e?j上，形成了孔使得成為隔板15的分隔部殘留以構(gòu)成副歧管5b。各歧管板4e?j上的分隔部處于由半蝕刻得到的支撐部(圖中省略)與各歧管板4e?j相連的狀態(tài)。
[0062]第I?4的連通孔彼此相連，構(gòu)成了從來自歧管5的液體的流入口(歧管5的出口)到噴出孔8的單獨(dú)流路12。供給到歧管5的液體通過以下路徑從噴出孔8噴出。首先，從歧管5朝向上方，進(jìn)入到單獨(dú)供給流路14，至Ij達(dá)節(jié)流孔6的一端部。接著，沿著節(jié)流孔6的延伸方向水平前進(jìn)，到達(dá)節(jié)流孔6的另一端部。從該處朝向上方，到達(dá)加壓室10的一端部。進(jìn)而，沿著加壓室10的延伸方向水平前進(jìn)，到達(dá)加壓室10的另一端部。從加壓室10進(jìn)入到下行路的液體一邊也沿水平方向移動(dòng)，一邊主要朝向下方前進(jìn)，到達(dá)在下表面開口的噴出孔8，向外部噴出。
[0063]壓電致動(dòng)器基板21具有由作為壓電體的2片壓電陶瓷層21a、21b構(gòu)成的層疊結(jié)構(gòu)。這些壓電陶瓷層21a、21b分別具有20μπι程度的厚度。從壓電致動(dòng)器基板21的壓電陶瓷層21a的下表面到壓電陶瓷層21b的上表面的厚度為40μπι程度。壓電陶瓷層21a、21b的任意一層都跨越多個(gè)加壓室10地延伸。這些壓電陶瓷層21a、21b例如由具有強(qiáng)介電性的鋯鈦酸鉛(PZT)系、NaNbO3系、BaT13系、(BiNa)NbO3系、BiNaNb5O15系等陶瓷材料構(gòu)成。另外，壓電陶瓷層21a作為振動(dòng)板而工作，不必一定是壓電體，作為替代，也可以使用非壓電體的其他陶瓷層、金屬。
[0064]壓電致動(dòng)器基板21具有由Ag-Pd系等金屬材料構(gòu)成的公共電極24以及由Au系等金屬材料構(gòu)成的獨(dú)立電極25。如上所述，獨(dú)立電極25包含:配置在壓電致動(dòng)器基板21的上表面的與加壓室10對(duì)置的位置的獨(dú)立電極主體25a;和從此引出的引出電極25b。在引出電極25b的一端的被引出到與加壓室10對(duì)置的區(qū)域外的部分，作為引出電極25b的一部分，還形成了焊盤26ο焊盤26例如由包含玻璃粉的Ag-Pd構(gòu)成，呈厚度為15μπι程度的圓形狀，形成于引出電極25b的端部。若通過與焊盤26相同的工序來形成公共用表面電極28，則能夠簡化工序。另外，在本實(shí)施方式中，由于將獨(dú)立電極25設(shè)為了Au，因此成為這樣的構(gòu)成，但也可以將獨(dú)立電極25設(shè)為Ag-Pd導(dǎo)體，通過相同工序來形成獨(dú)立電極25和公共電極用表面電極28。此外在該情況下，也可以不形成焊盤26。
[0065]此外，在焊盤26上形成了獨(dú)立電極用凸塊27。此外，在作為公共電極用表面電極28的一部分的窄幅部28b上，形成了公共電極用凸塊32。以下，有時(shí)將獨(dú)立電極用凸塊27和公共電極用凸塊32—起簡稱為凸塊。凸塊例如是包含銀粒子等導(dǎo)電性粒子的導(dǎo)電性樹脂，高度為50μπι程度且形成為凸?fàn)睢Ｍ箟K與設(shè)置于布線基板60的電極電接合。詳細(xì)內(nèi)容在后面敘述，但從控制部88通過布線基板60向獨(dú)立電極25供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)。驅(qū)動(dòng)信號(hào)與印刷介質(zhì)P的輸送速度同步而以固定的周期被供給。
[0066]公共電極24在壓電陶瓷層21a與壓電陶瓷層21b之間的區(qū)域遍布面方向的大致整個(gè)面而形成。即，公共電極24延伸為覆蓋與壓電致動(dòng)器基板21對(duì)置的區(qū)域內(nèi)的所有的加壓室10。公共電極24的厚度為2μπι程度。公共電極24與在壓電陶瓷層21b上形成在避開由獨(dú)立電極25構(gòu)成的電極組的位置的公共電極用表面電極28的連接部28a，經(jīng)由嵌入在貫通壓電陶瓷層21b形成的通孔中的貫通電極34而相連，并被接地，保持為接地電位。公共電極用表面電極28與大多的獨(dú)立電極25同樣地，與控制部88直接或者間接地連接。
[0067]壓電陶瓷層21b的獨(dú)立電極25與公共電極24所夾的部分在厚度方向上被極化，成為若對(duì)獨(dú)立電極25施加電壓則產(chǎn)生位移的單壓電晶片(unimorph)結(jié)構(gòu)的位移元件30。更具體來說，將獨(dú)立電極25設(shè)為與公共電極24不同的電位而對(duì)壓電陶瓷層21b在其極化方向上施加了電場(chǎng)時(shí)，被施加了該電場(chǎng)的部分作為由于壓電效應(yīng)而變形的活性部來工作。在該構(gòu)成中，若由控制部88將獨(dú)立電極25相對(duì)于公共電極24設(shè)為正或負(fù)的給定電位以使得電場(chǎng)和極化為相同方向，則壓電陶瓷層21b的電極所夾的部分(活性部)在面方向上收縮。另一方面，由于非活性層的壓電陶瓷層21a不受電場(chǎng)的影響，因此其不會(huì)主動(dòng)地收縮，而試圖限制活性部的變形。結(jié)果，在壓電陶瓷層21a與壓電陶瓷層21b之間在向極化方向的變形上產(chǎn)生差異，壓電陶瓷層21a發(fā)生變形(單壓電晶片變形)使得向加壓室10側(cè)凸出。
[0068]接下來，說明液體的噴出動(dòng)作。通過在來自控制部88的控制下經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器IC等而供給到獨(dú)立電極25的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從而使位移元件30驅(qū)動(dòng)(位移)。在本實(shí)施方式中，能夠通過各種各樣的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來使液體噴出，但在此，對(duì)所謂的推拉驅(qū)動(dòng)方法進(jìn)行說明。
[0069]預(yù)先將獨(dú)立電極25設(shè)為比公共電極24高的電位(以下稱作高電位)，每當(dāng)有噴出請(qǐng)求時(shí)將獨(dú)立電極2暫時(shí)設(shè)為與公共電極24相同的電位(以下稱作低電位)，然后在給定的定時(shí)再次設(shè)為高電位。由此，在獨(dú)立電極25成為低電位的定時(shí)，壓電陶瓷層21a、21b(開始)返回至原來的(平坦的)形狀，加壓室10的容積相比于初始狀態(tài)(兩電極的電位不同的狀態(tài))而增加。由此，向加壓室1內(nèi)的液體給予負(fù)壓。這樣一來，加壓室1內(nèi)的液體按照固有振動(dòng)周期開始振動(dòng)。具體來說，最初，加壓室10的體積開始增加，負(fù)壓逐漸減小。接著加壓室10的體積達(dá)到最大，壓力大致為零。接著加壓室10的體積開始減少，壓力漸漸升高。然后，在壓力達(dá)到大致最大的定時(shí)，將獨(dú)立電極25設(shè)為高電位。這樣一來，最初施加的振動(dòng)與接著施加的振動(dòng)重疊，更大的壓力施加給液體。該壓力在下行路內(nèi)傳播，使液體從噴出孔8噴出。
[0070]S卩，通過以高電位為基準(zhǔn)，向獨(dú)立電極25供給設(shè)為一定期間低電位的脈沖的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從而能夠噴出液滴。若該脈沖寬度設(shè)為作為壓力室10的液體的固有振動(dòng)周期的一半時(shí)間的AUAcoustic Length)，則在原理上，能夠使液體的噴出速度以及噴出量成為最大。壓力室10的液體的固有振動(dòng)周期受液體的物性、壓力室10的形狀的影響較大，但除此以外，還會(huì)受到來自壓電致動(dòng)器基板21的物性、與加壓室10相連的流路的特性的影響。
[0071]另外，由于還存在使所噴出的液滴匯成I個(gè)等其他加以考慮的主要因素，因此實(shí)際上，脈沖寬度被設(shè)為0.5AL?1.5AL程度的值。此外，脈沖寬度通過設(shè)為AL以外的值，從而能夠減少噴出量，因此為了減少噴出量而設(shè)為A L以外的值。
[0072]在壓電致動(dòng)器基板21中，為了高分辨率化而配置了許多獨(dú)立電極25。若液體噴出頭2的尺寸變大，則存在需要提高在進(jìn)行設(shè)置時(shí)所需的位置對(duì)準(zhǔn)精度等問題，因此獨(dú)立電極25在盡可能窄的范圍內(nèi)進(jìn)行配置，配置公共電極用表面電極28的面積也減少為好。
[0073]因此，引出電極25b在被引出到加壓室10的外部最近的位置(與其他加壓室10相比更靠近引出基礎(chǔ)的加壓室10的位置)，形成焊盤26以及凸塊27而與外部電連接。另外，在本實(shí)施方式中，是在引出電極25b中包含焊盤26的概念。引出電極25b、焊盤26以及獨(dú)立電極用凸塊27與公共電極34之間的壓電陶瓷層21b也在向獨(dú)立電極主體25a施加電壓時(shí)發(fā)生壓電變形。該部分的變形由于會(huì)使位移元件30的位移量下降，或者因向相鄰的加壓室10傳遞其振動(dòng)而導(dǎo)致串?dāng)_產(chǎn)生，因而不太優(yōu)選。因此，引出電極25b、焊盤26以及獨(dú)立電極用凸塊27在能夠電連接或者機(jī)械接合的范圍內(nèi)被設(shè)得較細(xì)或者較小，使得通過它們來減小發(fā)生壓電變形的區(qū)域。關(guān)于公共電極用凸塊32，雖然沒有伴隨這樣的壓電變形的制約，但多數(shù)情況下優(yōu)選在進(jìn)行與布線基板60的連接時(shí)成為與獨(dú)立電極用凸塊27相同的高度，因此其被設(shè)為與獨(dú)立電極用凸塊27大致相同的大小、高度。
[0074]若考慮壓電致動(dòng)器基板21的制造工序，則獨(dú)立電極25、焊盤26以及凸塊優(yōu)選在壓電陶瓷層21b的燒成后形成。在通過燒成來形成獨(dú)立電極25、公共電極用表面電極28的情況下，獨(dú)立電極25以及公共電極用表面電極28與壓電致動(dòng)器基板21難以使基于燒成的收縮量、基于溫度的收縮曲線完全一致，因此若同時(shí)進(jìn)行燒成，則在有獨(dú)立電極25、公共電極用表面電極28的部分和沒有獨(dú)立電極25以及公共電極用表面電極28的部分，在收縮過程中大小產(chǎn)生差異，在燒成后的壓電致動(dòng)器基板21，會(huì)產(chǎn)生翹曲或變形。此外，貫通導(dǎo)體34優(yōu)選在燒成前的壓電陶瓷層21b開設(shè)貫通孔而形成通孔，在其中填入導(dǎo)體來形成。這是因?yàn)樵跓汕伴_設(shè)貫通孔很容易，若在燒成后加工則還有可能會(huì)發(fā)生破損等。
[0075]根據(jù)以上內(nèi)容，作為壓電致動(dòng)器基板21的制造工序，優(yōu)選在燒成前的壓電陶瓷層21b形成通孔，進(jìn)行燒成后，涂敷并燒成成為獨(dú)立電極25、公共電極用表面電極28以及焊盤26的膏劑等。另外，針對(duì)關(guān)聯(lián)性低的部位、工序，省略來進(jìn)行了說明。
[0076]在這樣的工序中，對(duì)于通孔而言，由于壓電陶瓷層21b的燒成尺寸偏差，從而產(chǎn)生位置偏移。為了不會(huì)由于該位置偏移而導(dǎo)致公共電極用表面電極28與公共電極24無法被電連接，將進(jìn)行連接的部分的公共電極用表面電極28的平面形狀設(shè)得較大。
[0077]具體來說，公共電極用表面電極28的大小優(yōu)選設(shè)為壓電致動(dòng)器基板21的尺寸的I %以上，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為1.5%以上。例如，在壓電致動(dòng)器基板21的尺寸為4cmX IIcm的情況下，公共電極用表面電極28的大小優(yōu)選設(shè)為400μηιΧ IlOOym以上，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為600μηιX 1650μπι以上。進(jìn)而，為了提高電連接的可靠性，公共電極用表面電極28和貫通導(dǎo)體34優(yōu)選不僅是重疊，公共電極用表面電極28還形成為覆蓋貫通導(dǎo)體34。為此，公共電極用表面電極28的大小優(yōu)選設(shè)為將上述尺寸與貫通導(dǎo)體34的尺寸例如100?300μπι相加而得到的值。另夕卜，使公共電極用表面電極28的長邊方向與壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向一致。
[0078]另一方面，引出電極25b、焊盤26為了如上所述減少不需要的壓電變形，引出電極25b被設(shè)得較細(xì)，焊盤26被設(shè)得較小。引出電極25b的寬度優(yōu)選設(shè)為30?300μηι，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為50?200μηι。焊盤26優(yōu)選為圓形狀且直徑設(shè)為30?300卩1]1，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為50?20(^1]1。
[0079]若在壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向的長度為2cm以上的基板，將貫通導(dǎo)體34的直徑設(shè)為ΙΟΟμπι，則根據(jù)上述的條件，公共電極用表面電極28的寬度為300μπι以上，焊盤26的直徑為200μπι以下，它們的寬度會(huì)相差1.5倍以上。此外，由于上述理由，從而有將公共電極用表面電極28進(jìn)一步設(shè)計(jì)得較大，將焊盤26進(jìn)一步設(shè)計(jì)得較小的傾向，因此實(shí)際上有時(shí)會(huì)成為2倍以上的寬度的差。雖然也取決于公共電極用表面電極28以及焊盤26的形成方法、如何提供成為公共電極用表面電極28以及焊盤26的材料，但從成本方面出發(fā)涂敷液狀(包含膏劑狀)的材料很有利。但是，如此一來，由于所形成的平面形狀的差異，供給后的剖面形狀會(huì)產(chǎn)生差異。即，若寬度較窄則中央較高，成為凸形狀，若寬度較寬則成為接近于平坦的形狀。若通過絲網(wǎng)印刷等來進(jìn)行印刷，則根據(jù)在這樣的印刷中使用的膏劑的粘度、印刷時(shí)的膏劑的動(dòng)作等，該傾向升高。這樣的結(jié)果是，中央部凸出的焊盤26是中央部變高，并且剖面形狀成為中央凸起的形狀，因此與獨(dú)立電極用凸塊27的機(jī)械接合增強(qiáng)，與此相對(duì)公共電極用表面電極28與公共電極用凸塊32的機(jī)械接合比其弱。
[0080]對(duì)此，在公共電極用表面電極28，設(shè)置與貫通導(dǎo)體34連接的寬度較寬的連接部28a和寬度比連接部28a窄的窄幅部28b，與公共電極用凸塊32的連接由窄幅部28b進(jìn)行。窄幅部28b的剖面形狀是寬度方向的中央部凸出，接近于焊盤26的剖面形狀，因此與公共電極用凸塊32的機(jī)械接合增強(qiáng)。窄幅部28b的寬度優(yōu)選設(shè)為與焊盤26的大小(寬度)大致相同。在此所謂大致相同，優(yōu)選為較大的一方為較小的一方的1.4倍以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1.2倍以下，尤其優(yōu)選為在制造的偏差的范圍內(nèi)相同。
[0081]此外，窄幅部28b的厚度優(yōu)選設(shè)為與從獨(dú)立電極主體25a引出的、形成了凸塊的部分的電極的厚度大致相同的厚度。即，在如本實(shí)施方式這樣在引出電極25b形成了焊盤26的情況下，優(yōu)選將窄幅部28b的厚度設(shè)為與包含焊盤26的引出電極25b的厚度大致相同的厚度。此外，在引出電極25b未形成焊盤26的情況下，優(yōu)選將窄幅部28b的厚度設(shè)為與不包含焊盤26的引出電極25b的厚度大致相同的厚度。另外，在此所謂厚度，是指形成了凸塊的部分的電極當(dāng)中厚度最厚的部分的厚度。此外，在此所謂大致相同，優(yōu)選為較厚的一方為較薄的一方的1.2倍以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1.1倍以下，尤其優(yōu)選為在制造的偏差的范圍內(nèi)相同。另夕卜，為了減小厚度的差，減小各個(gè)平面形狀的寬度為好。此外，在設(shè)置焊盤26時(shí)，優(yōu)選減薄引出電極25b的厚度。
[0082]在公共電極用表面電極28的窄幅部28b、焊盤26的周緣部，成為坡形狀使得高度成為0(零)。在該周緣部，只要連接凸塊便能夠增加強(qiáng)度。另外，在此所說的周緣部，是指從端起50μπι以內(nèi)的部分。為了進(jìn)一步增強(qiáng)機(jī)械強(qiáng)度，將凸塊設(shè)為跨越焊盤26、公共電極用表面電極28的窄幅部28b的端部的形狀即可。如此一來，凸塊會(huì)進(jìn)入到在焊盤26或公共電極用表面電極28的窄幅部28b的端部與壓電陶瓷層21b的表面之間形成的、剖面形狀下角部比2直角窄的部分中，因此能夠機(jī)械增強(qiáng)接合強(qiáng)度。
[0083]此外，若凸塊包含樹脂，將公共電極用凸塊32與壓電陶瓷層21b進(jìn)行接合，則樹脂與壓電陶瓷層21b的粘接強(qiáng)度增高，因此公共電極用凸塊32的接合變得牢固。進(jìn)而，若公共電極用凸塊32跨越窄幅部28b，在窄幅部28b的兩側(cè)與壓電陶瓷層21b接合，則容易成為開始剝離的起點(diǎn)的端部的兩側(cè)被與壓電陶瓷層21b接合，因此能夠使公共電極用凸塊32難以剝離。另外，以往，在公共電極用表面電極28中，在寬度較寬的部分配置了公共電極用凸塊32，所以公共電極用凸塊32收于公共電極用表面電極28內(nèi)，并未與壓電陶瓷層21b接合，因此接合強(qiáng)度較低。
[0084]此外，焊盤26是圓形狀，在剖面形狀下成為中心部分更加凸出的形狀。即使在不設(shè)置焊盤26的結(jié)構(gòu)的情況下，獨(dú)立電極用凸塊27也設(shè)置于引出電極25b的端部，因此在獨(dú)立電極用凸塊27的位置，4個(gè)方向中的3個(gè)方向面向端部。對(duì)此，若在向一個(gè)方向延伸的窄幅部28b的中途配置公共電極用凸塊32，則4個(gè)方向中只有2個(gè)方向面向端部，因而中央部的凸變小。因此，只要在向一個(gè)方向延伸的窄幅部28b的端部配置公共電極用凸塊32，則4個(gè)方向中的3個(gè)方向會(huì)面向端部，公共電極用表面電極28的窄幅部28b的與公共電極用凸塊32連接的部分的剖面形狀接近于焊盤26或不設(shè)置焊盤26的結(jié)構(gòu)的情況下的引出電極25b的剖面形狀，能夠縮小接合強(qiáng)度的差。
[0085]公共電極用表面電極28優(yōu)選通過與獨(dú)立電極25或者焊盤26相同的工序來制作。獨(dú)立電極25是位移元件30進(jìn)行位移時(shí)發(fā)生變形的部分，其厚度被設(shè)得較薄，空隙率被設(shè)得較大，使得不抑制變形。在通過相同工序來制作獨(dú)立電極25和公共電極用表面電極28的情況下，公共電極用表面電極28也較薄，空隙率較大。此外，獨(dú)立電極25、焊盤26以及公共電極用表面電極28通過燒成來形成，因此與壓電陶瓷層21b的燒成無論是同時(shí)燒成、分開燒成的哪一種燒成都有可能會(huì)發(fā)生基于燒成的變形。若將公共電極用表面電極28設(shè)得較薄，將空隙率設(shè)得較大，則能夠難以發(fā)生變形。
[0086]因此，公共電極用表面電極28的空隙率優(yōu)選為15%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為20%以上，尤其優(yōu)選為25%以上。此外，空隙率優(yōu)選為55 %以下，進(jìn)一步優(yōu)選為50%以下，尤其優(yōu)選為45%以下，以使得確保作為膜的強(qiáng)度，不會(huì)產(chǎn)生局部與周圍不導(dǎo)通的部分等。
[0087]另一方面，在公共電極用表面電極28的空隙率為15%以上的情況下，如上所述設(shè)置窄幅部28b的必要性進(jìn)一步增高。這是由于，在不設(shè)置窄幅部28b的情況下，凸塊所包含的接合成分會(huì)浸入到空隙中并向公共電極用表面電極28內(nèi)擴(kuò)散，因而凸塊內(nèi)接合成分變少，接合強(qiáng)度變小。通過設(shè)置窄幅部28b，并在該部分配置凸塊，從而在公共電極用表面電極28中，接合成分浸入的范圍變窄，能夠減少凸塊內(nèi)的接合成分的減少，能夠減小接合強(qiáng)度的下降。
[0088]凸塊包含熱固化性的樹脂例如環(huán)氧樹脂，在除導(dǎo)電性粒子以外的其他成分中為主要成分的情況下，設(shè)置窄幅部28b的必要性變得特別高。這是因?yàn)椋袒暗耐箟K中包含單體，若為了使其固化而提高溫度，則粘度降低，聚合在如此短時(shí)間內(nèi)不會(huì)結(jié)束，因而進(jìn)行聚合前的單體會(huì)浸入到公共電極用表面電極28中去。
[0089]窄幅部28b優(yōu)選為沿著壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向延伸的形狀。壓電致動(dòng)器基板21由于在印刷的分辨率方向上設(shè)得較長，因此若將窄幅部28b設(shè)為在不沿著壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向的方向(例如正交的方向)上延伸的形狀，則對(duì)于相同的壓電致動(dòng)器基板21的尺寸，有效的能夠印刷的面積會(huì)變窄。即，通過將窄幅部28b設(shè)為沿著壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向延伸的形狀，從而能夠擴(kuò)大可印刷面積。此外，在本實(shí)施方式的頭主體2a中，為了抑制使用不同顏色的墨水時(shí)的混色，隔開配置了 2個(gè)歧管5，但通過在該隔開間的區(qū)域中，將窄幅部28b設(shè)為沿著壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向延伸的形狀，從而能夠有效地使用壓電致動(dòng)器基板21的面積。
[0090]接下來，說明公共電極用表面電極的其他形態(tài)。圖6(b)是其他實(shí)施方式中的作為第2電極的公共電極用表面電極128，能夠取代圖3所示的公共電極用表面電極28來使用。公共電極用表面電極128沿著壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向，交替地配置有連接部128a和窄幅部128b。通過以這樣的形狀構(gòu)成，從而在多處進(jìn)行了與公共電極24的電連接以及與外部的電連接，因此即使一部分的電連接不相連，也能夠減小該情況所導(dǎo)致的導(dǎo)通的動(dòng)作的差升。
[0091]圖6(c)是其他實(shí)施方式中的作為第2電極的公共電極用表面電極228，能夠取代圖3所示的公共電極用表面電極28來使用。在公共電極用表面電極228中，在I個(gè)連接部228a配置了多個(gè)貫通導(dǎo)體34。由此，即使一部分的貫通導(dǎo)體34不電連接，也能夠取得公共電極用表面電極228與公共電極24的導(dǎo)通。在I個(gè)窄幅部228b也配置了多個(gè)公共電極用凸塊32。由此，即使一部分的公共電極用凸塊32不電連接，也能夠取得公共電極用表面電極228與布線基板60的導(dǎo)通。此外，在I個(gè)窄幅部228b配置了 2個(gè)公共電極用凸塊32，在圖中位于右側(cè)的公共電極用凸塊32與連接部228a之間的窄幅部228b配置了圖中位于左側(cè)的另一公共電極用凸塊32。如此一來，即使位于右側(cè)的公共電極用凸塊32的連接成分向左浸入窄幅部228b，在中途位于左側(cè)的公共電極用凸塊32的連接成分也會(huì)浸入過來，因此浸入的進(jìn)展受到抑制，連接成分充分殘留在公共電極用凸塊32內(nèi)，從而能夠提高接合強(qiáng)度。
[0092]圖7(a)是其他實(shí)施方式中的作為第2電極的公共電極用表面電極328，能夠取代圖3所示的公共電極用表面電極28來使用。在公共電極用表面電極328中，在I個(gè)連接部328a配置了多個(gè)貫通導(dǎo)體34。由此，即使一部分的貫通導(dǎo)體34不電連接，也能夠取得公共電極用表面電極328與公共電極24的導(dǎo)通。此外，在I個(gè)窄幅部328b也配置了多個(gè)公共電極用凸塊32。由此，即使一部分的公共電極用凸塊32不電連接，也能夠取得公共電極用表面電極328與布線基板60的導(dǎo)通。
[0093]圖7(b)是其他實(shí)施方式中的作為第2電極的公共電極用表面電極428，能夠取代圖3所不的公共電極用表面電極28來使用。在公共電極用表面電極428的圖案中，存在未形成電極的非形成部428c。由于存在非形成部428c，因此窄幅部428b的寬度成為W3-1與W3-2的合計(jì)值，比連接部428b的寬度Wl窄。即使在這樣的形態(tài)下，通過將壓電陶瓷層21b與公共電極用凸塊32接合以及跨越窄幅部228b的周緣部來配置公共電極用凸塊32，也能夠提高接合強(qiáng)度。
[0094]圖8是本發(fā)明的其他實(shí)施方式的組件的俯視圖。頭主體2a與圖2?5所示的頭主體相同。在該形態(tài)的組件中，壓電致動(dòng)器基板21與第I布線基板160A以及第2布線基板160B電連接，并被進(jìn)行了接合。第I布線基板160A從壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向的中央部沿著左偵啲長邊延伸，左側(cè)的末端(根據(jù)需要經(jīng)由其他電路等)與控制部88相連。第2布線基板160B從壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向的中央部沿著右側(cè)的長邊延伸，右側(cè)的末端(根據(jù)需要經(jīng)由其他電路等)與控制部88相連。
[0095]在壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向的中央部，配置了 2行將窄幅部28b沿壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向排列的窄幅部行(參照?qǐng)D3)。2行窄幅部行沿著壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向排列。2行窄幅部行中，屬于在靠近圖8中的壓電致動(dòng)器基板21的左側(cè)長邊的一側(cè)配置的第I窄幅部行的窄幅部28b，在沿著第I布線基板160A的外周的I邊的位置電接合。2行窄幅部行中，屬于在靠近圖8中的壓電致動(dòng)器基板21的右側(cè)長邊的一側(cè)配置的第2窄幅部行的窄幅部28b，在沿著第2布線基板160B的外周的I邊的位置電連接。
[0096]第I布線基板160A所包含的許多布線60c排列在壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向上，并且沿著與長邊方向交叉的方向延伸。第2布線基板160B所包含的許多布線60c排列在壓電致動(dòng)器基板21的長邊方向上，并且沿著與長邊方向交叉的方向延伸。圖8的布線60c進(jìn)行了示意性表示以使得了解排列的方向以及延伸方向。
[0097]若布線60c的配置的密度較高，則布線基板的成本升高，或者布線60c間的電可靠性降低。為了減低布線60c的配置的密度，優(yōu)選使用2個(gè)布線基板，如上所述，配置為從壓電致動(dòng)器基板21的2個(gè)對(duì)置的長邊分別進(jìn)行延伸。此時(shí)，若如上所述配置窄幅部28b，則布線基板難以從端部剝離，故優(yōu)選。
[0098]圖9是作為本發(fā)明的其他實(shí)施方式的液體噴出頭2的主要部分的頭主體502a的部分俯視圖。頭主體502a的基本構(gòu)成與圖2?5中所說明的構(gòu)成大致相同，針對(duì)差異較小的部位賦予相同符號(hào)并省略說明。
[0099]在用于頭主體502a的壓電致動(dòng)器基板21中，公共電極用表面電極528配置為包圍存在多個(gè)的獨(dú)立電極25全體。
[0100]在將壓電致動(dòng)器基板21與流路構(gòu)件4進(jìn)行粘接接合的情況下，粘接劑或壓電致動(dòng)器基板21的端面保護(hù)用的樹脂等有可能會(huì)流入到壓電致動(dòng)器基板21上來。若這些粘接劑等到達(dá)位移元件30則會(huì)阻礙位移元件30的位移，從而導(dǎo)致噴出特性改變或者變得無法噴出。為了使粘接劑不到達(dá)位移元件30，如上所述，將公共電極用表面電極528配置為包圍存在多個(gè)的獨(dú)立電極25全體即可。由于公共電極用表面電極528從壓電陶瓷層21b的表面凸起，因此公共電極用表面電極528通過攔截粘接劑或者攔截粘接劑的一部分，從而能夠減少前往獨(dú)立電極25的粘接劑的量。若沿著公共電極用表面電極428的外周進(jìn)行配置，則能夠在壓電致動(dòng)器基板21的端部附近阻止從壓電致動(dòng)器基板21的外側(cè)流進(jìn)來的粘接劑。
[0101]在該情況下，連接部528a優(yōu)選在壓電致動(dòng)器基板21上設(shè)置于4個(gè)角部。連接部528a面積較大，因此有可能使周圍的壓電致動(dòng)器基板21發(fā)生變形，由于該影響，周圍的位移元件30的位移特性、由該位移元件30所噴出的液體的噴出特性有可能發(fā)生變動(dòng)，但通過設(shè)置于壓電致動(dòng)器基板21的角部，從而距位移元件30的距離變遠(yuǎn)，因此能夠減小該影響。這樣的配置特別是在壓電致動(dòng)器基板21的角部配置了 I行虛設(shè)加壓室16的行、I列虛設(shè)加壓室16的列的頭主體502a時(shí)很有效。
[0102]此外，壓電致動(dòng)器基板21的角部有時(shí)由于在燒成收縮時(shí)被燒成夾具的微小的突起等掛住而進(jìn)行收縮，從而成為被拉伸的形狀。在壓電陶瓷層21b中包含Pb、Bi等容易揮發(fā)的組成的情況下，由于存在貫通導(dǎo)體34，從而燒成收縮相比于其他部分延遲，因此上述的拉伸不易發(fā)生，能夠抑制角部的變形。
[0103]由于在布線基板60，配置許多布線60c，因此優(yōu)選布線基板60在一個(gè)方向上較長，布線60c配置為在該一個(gè)方向上延伸，在與該一個(gè)方向交叉的方向(寬度方向)上排列。公共電極用表面電極28成為所謂的接地，因此與其連接的布線60c優(yōu)選設(shè)為比其他的布線60c粗，并優(yōu)選設(shè)置于布線基板60的寬度方向的端部。因此，布線基板60與公共電極用表面電極28的電連接優(yōu)選在公共電極用表面電極28的外周部28a的位于所述寬度方向的端部的對(duì)置的2邊進(jìn)行。
[0104]以上，使用液體噴出頭2來進(jìn)行了說明，但壓電基板能夠作為用于液體噴出頭以外的致動(dòng)器例如揚(yáng)聲器或蜂鳴器、傳感器、構(gòu)成電路的濾波器等來使用。在將這些壓電基板利用粘接劑與其他構(gòu)件進(jìn)行粘接或者利用樹脂等來包覆周圍時(shí)，具有抑制它們的流入的效果。特別是將壓電基板與布線基板電接合的組件在包含許多傳感器元件的傳感器等中很有用。
[0105]以上那樣的液體噴出頭2按如下方式進(jìn)行制作。通過輥涂法、狹縫涂布法等一般的流延成型法，來進(jìn)行由壓電陶瓷原料粉末與有機(jī)組合物構(gòu)成的帶的成型，在燒成后制作成為壓電陶瓷層21a、21b的多個(gè)生片。在一部分的生片，在其表面通過印刷法等來形成成為公共電極24的Ag-Pd膏劑。此外，在生片的一部分形成將公共電極24與公共電極用表面電極28相連的貫通導(dǎo)體34被形成的通孔。
[0106]接著，將各生片進(jìn)行層疊來制作層疊體，并進(jìn)行加壓密接。將加壓密接后的層疊體在高濃度氧氣氛下進(jìn)行燒成，得到燒成體。然后，在燒成體表面使用有機(jī)金膏劑來印刷獨(dú)立電極25，并進(jìn)行燒成。進(jìn)而，使用Ag膏劑來印刷連接電極26以及公共電極用表面電極28，并進(jìn)行燒成。Ag膏劑在印刷時(shí)，會(huì)進(jìn)入到開設(shè)于生片的通孔，與公共電極24連接，進(jìn)入的Ag膏劑成為貫通電極34。由此，燒成后，公共電極用表面電極28與公共電極24被電連接。如上所述，制作壓電致動(dòng)器基板21。
[0107]接著，對(duì)于流路構(gòu)件4，在經(jīng)由粘接層對(duì)通過壓延法等而得到的板4a?I進(jìn)行層疊而制作的板4a?I中，通過蝕刻而將成為歧管5、單獨(dú)供給流路14、加壓室10以及下行路等的孔加工成給定形狀。此時(shí)，根據(jù)需要，形成成為第I的32的孔32a以及第2槽37。
[0108]這些板4a?I期望由從Fe-Cr系、Fe-Ni系、WC-TiC系的組中選擇的至少I種金屬形成，特別是在使用墨水作為液體的情況下，期望由對(duì)墨水的耐蝕性優(yōu)異的材質(zhì)構(gòu)成，因此更優(yōu)選Fe-Cr系。如上所述，制作具有多個(gè)加壓元件組的流路構(gòu)件4。
[0109]壓電致動(dòng)器基板21和流路構(gòu)件4例如能夠經(jīng)由粘接層來進(jìn)行層疊粘接。由此，加壓室10由壓電致動(dòng)器基板21堵塞。作為粘接層，能夠使用周知的粘接劑，但為了不給壓電致動(dòng)器基板21、流路構(gòu)件4帶來影響，使用從熱固化溫度為100?150°C的環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、聚苯醚樹脂的組中選擇的至少I種熱固化性樹脂系的粘接劑為宜。通過使用這樣的粘接層加熱到熱固化溫度，從而能夠?qū)弘娭聞?dòng)器基板21與流路構(gòu)件4進(jìn)行加熱接合。
[0110]然后，通過在獨(dú)立電極25與公共電極24之間施加電壓，使夾在它們之間的部位的壓電陶瓷層21b發(fā)生極化，從而能夠得到液體噴出頭2。
[0111]符號(hào)說明
[0112]I...彩色噴墨打印機(jī)
[0113]2..?液體噴出頭
[0114]2a、502a..?頭主體
[0115]4、504..?流路構(gòu)件
[0116]4a?I...(流路構(gòu)件的)板
[0117]4-1...噴出孔面
[0118]4-2..?加壓室面
[0119]5...歧管
[0120]5a...(歧管的)開口
[0121]5b..?副歧管
[0122]6...節(jié)流孔
[0123]8...噴出孔
[0124]9..?噴出孔行
[0125]10..?加壓室
[0126]11...加壓室行
[0127]12..?單獨(dú)流路
[0128]14..?單獨(dú)供給流路
[0129]15...隔壁
[0130]16..?虛設(shè)加壓室
[0131]21..?壓電致動(dòng)器基板
[0132]21a..?壓電陶瓷層(振動(dòng)板)
[0133]21b..?壓電陶瓷層
[0134]24..?公共電極(第3電極)
[0135]25..?獨(dú)立電極(第I電極)
[0136]25a..?獨(dú)立電極主體
[0137]25b...引出電極
[0138]26...焊盤
[0139]27..?獨(dú)立電極用凸塊
[0140]28、128、228、328、428、528..?公共電極用表面電極(第2電極)
[0141]28a、128a、228a、328a、428a、528a..?連接部
[0142]28b、128b、228b、328b、428b、528b..?窄幅部
[0143]30...位移元件
[0144]32..?公共電極用凸塊
[0145]34...貫通導(dǎo)體
[0146]60、160A、160B..?布線基板
[0147]60c...布線
[0148]70...頭搭載框架
[0149]72...頭組
[0150]80a...供紙棍
[0151]80b...回收棍
[0152]82a...導(dǎo)向棍
[0153]82b...輸送輥
[0154]88...控制部
[0155]P...印刷紙張
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓電基板，其為平板狀，包含: 壓電陶瓷層； 多個(gè)第I電極以及I個(gè)以上的第2電極，配置于該壓電陶瓷層的一個(gè)主面； 第3電極，其在所述壓電陶瓷層的另一個(gè)主面，配置為與所述多個(gè)第I電極對(duì)置;和 貫通導(dǎo)體，其貫通所述壓電陶瓷層，將所述第2電極與所述第3電極電連接， 所述壓電基板的特征在于， 在俯視該壓電基板時(shí)， 所述第2電極包含與所述貫通導(dǎo)體連接的連接部、和寬度比該連接部窄的窄幅部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電基板，其特征在于， 所述多個(gè)第I電極包含第I電極主體和從該第I電極主體引出的引出電極，該引出電極的寬度與所述窄幅部的寬度大致相同。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電基板，其特征在于， 所述多個(gè)第I電極包含第I電極主體和從該第I電極主體引出的引出電極，該引出電極的厚度與所述窄幅部的厚度大致相同。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的壓電基板，其特征在于， 所述多個(gè)第I電極與外部分別被電連接的部分配置于所述多個(gè)第I電極的周緣部，所述第2電極與外部被電連接的部分配置于所述窄幅部的周緣部。5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的壓電基板，其特征在于， 所述壓電基板的平面形狀在一個(gè)方向上較長，所述窄幅部從所述連接部沿著所述一個(gè)方向延伸。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電基板，其特征在于， 所述第2電極沿著所述一個(gè)方向，將所述連接部與所述窄幅部交替地配置。7.根據(jù)權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)所述的壓電基板，其特征在于， 所述壓電基板的平面形狀為矩形，所述貫通導(dǎo)體以及所述連接部配置于所述壓電基板的4個(gè)角部的至少一個(gè)角部。8.根據(jù)權(quán)利要求1?7中任一項(xiàng)所述的壓電基板，其特征在于， 在所述多個(gè)第I電極以及所述第2電極，分別配置了用于與外部進(jìn)行電連接的多個(gè)凸塊， 所述凸塊包含樹脂， 進(jìn)行俯視時(shí)，與所述第2電極接合的所述凸塊的一部分與所述壓電陶瓷層接合。9.根據(jù)權(quán)利要求1?8中任一項(xiàng)所述的壓電基板，其特征在于， 在所述多個(gè)第I電極以及所述第2電極，分別配置了用于與外部進(jìn)行電連接的多個(gè)凸塊， 所述凸塊包含樹脂， 在俯視時(shí)，與所述第2電極接合的所述凸塊跨越所述窄幅部，在該窄幅部的兩側(cè)與所述壓電陶瓷層接合。10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的壓電基板，其特征在于， 所述第2電極的空隙率為15%以上。11.根據(jù)權(quán)利要求8?10中任一項(xiàng)所述的壓電基板，其特征在于， 所述凸塊由導(dǎo)電性粒子和其他成分構(gòu)成，該其他成分的主要成分為環(huán)氧樹脂。12.根據(jù)權(quán)利要求8?11中任一項(xiàng)所述的壓電基板，其特征在于， 在I個(gè)所述窄幅部配置了 2個(gè)以上的所述凸塊，在從I個(gè)所述凸塊到所述連接部為止的所述窄幅部，配置了其他所述凸塊。13.—種組件，包含: 權(quán)利要求1?12中任一項(xiàng)所述的壓電基板;和 第I布線基板以及第2布線基板，與該壓電基板面對(duì)配置，并包含與所述多個(gè)第I電極以及所述第2電極電連接的多個(gè)布線， 所述組件的特征在于， 所述壓電基板在一個(gè)方向上較長，在所述壓電基板的與所述一個(gè)方向正交的方向上的中央部，所述窄幅部構(gòu)成了沿著所述一個(gè)方向排列了多個(gè)的第I窄幅部行以及第2窄幅部行，所述第I窄幅部行和所述第2窄幅部行在與所述一個(gè)方向正交的方向上排列， 屬于所述第I窄幅部行的所述窄幅部與所述第I布線基板的所述布線，在沿著該第I布線基板的外周的I條邊的位置電連接， 屬于所述第2窄幅部行的所述窄幅部與所述第2布線基板的所述布線，在沿著該第I布線基板的外周的I條邊的位置電連接。14.一種組件，包含: 權(quán)利要求1?12中任一項(xiàng)所述的壓電基板;和 布線基板，其與該壓電基板面對(duì)配置，并包含與所述多個(gè)第I電極以及所述第2電極電連接的多個(gè)布線， 所述布線基板的平面形狀在一個(gè)方向上較長，并且具有沿著所述一個(gè)方向的I對(duì)邊， 所述窄幅部沿著所述I對(duì)邊的每一條邊延伸，所述第2電極與所述布線在沿著該I對(duì)邊的所述窄幅部電連接。15.一種液體噴出頭，其特征在于， 將流路構(gòu)件與權(quán)利要求1?12中任一項(xiàng)所述的壓電基板進(jìn)行了接合，所述流路構(gòu)件包含多個(gè)噴出孔以及與該多個(gè)噴出孔分別相連的多個(gè)加壓室。16.一種液體噴出頭，其特征在于， 包含流路構(gòu)件和權(quán)利要求13或14所述的組件，并將所述流路構(gòu)件與所述壓電基板進(jìn)行了接合，所述流路構(gòu)件包含多個(gè)噴出孔以及與該多個(gè)噴出孔分別相連的多個(gè)加壓室。17.一種記錄裝置，其特征在于，具備: 權(quán)利要求15或16所述的液體噴出頭； 輸送部，其向所述液體噴出頭輸送記錄介質(zhì);和 控制部，其對(duì)所述液體噴出頭進(jìn)行控制。
【文檔編號(hào)】B41J2/14GK105848905SQ201480070976
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2014年12月25日
【發(fā)明人】由宇喜裕, 永德公司, 堀內(nèi)弘星
【申請(qǐng)人】京瓷株式會(huì)社