專利名稱：液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光學裝置及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光學裝置的制造方法、電光學裝置和電子機器等。
背景技術：
液滴噴出裝置被作為描繪系統(tǒng)使用，該描繪系統(tǒng)以噴墨方式將液滴相對于工件噴出。該描繪系統(tǒng)例如可以用于平板顯示器那樣的電光學元件的制造中。
以噴墨方式噴出微小的液滴的液滴噴出裝置，具有用于液滴噴出的噴墨頭。該噴墨頭需要穩(wěn)定而正確地相對于工件噴出微小的液滴。因此通過抑制噴墨頭具有的多個噴嘴發(fā)生的孔堵塞現(xiàn)象，就可以穩(wěn)定而正確地噴出微小的液滴。有如下提案根據(jù)必要吸引該噴墨頭的噴嘴面、由噴嘴噴出液滴而進行清洗處理，藉此，抑制噴嘴的孔堵塞(例如專利文獻1)。
專利文獻1特開2002-79693號公報(第10頁、圖9)這種噴墨頭的清洗方式為了削減由增加清洗次數(shù)造成的是噴出液體的墨水的使用量就需要削減清洗的次數(shù)。因此，進行噴墨頭的清洗之前，要實行非噴出噴嘴(指非動作噴嘴或者不噴出噴嘴)的檢測，僅在存在這樣的非噴出噴嘴的情況下實行清洗動作。該情況下的清洗動作以多個噴嘴組為單位實施。但是，其結(jié)局存在的問題是，由于作為噴墨頭的噴嘴的復原處理要實行清洗，所以墨水的使用量多，不能削減廢棄的墨水的量。
另外，還公開了進行清洗的情況下設定時、在某一定時間進行清洗，有在這樣的所謂定時清洗的動作前仍然進行非噴出噴嘴(漏點)的檢測以省略定時清洗動作的記載。但是，由于在發(fā)生漏點的情況下仍然要實施定時清洗，所以與墨水的使用量的削減沒有聯(lián)系。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述課題，提供與以往進行的由清洗吸引使噴墨頭的噴嘴的孔堵塞復原相比可以大幅度削減廢棄的液體、可以更有效地充分利用噴出液體的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光學裝置的制造方法、電光學裝置和電子機器。
上述目的由液滴噴出裝置達成，作為第1發(fā)明，是用于將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置，其特征在于，具備具有噴出供給的液體的上述液滴的多個噴嘴的噴墨頭；用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的吸引機構；孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時由上述吸引機構密封上述噴嘴面、從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出、以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置、使上述噴嘴面保濕的控制部。
根據(jù)第1發(fā)明的構成，噴墨頭具有噴出供給的液體的液滴的多個噴嘴。吸引機構可以密封噴墨頭的噴嘴面并進行吸引。
在孔堵塞的噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，控制部可以由吸引機構密封噴嘴面，從噴嘴向吸引機構進行液滴的噴出，以由吸引機構密封噴嘴面的狀態(tài)放置，使噴嘴面保濕。
藉此，在液滴噴出裝置噴出液滴前，孔堵塞的噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，控制部可以進行由吸引機構密封噴嘴面、從噴嘴向吸引機構的液滴的噴出。而且以吸引機構密封噴嘴面的狀態(tài)放置、使噴嘴面保濕。這樣，通過使用吸引機構、以由吸引機構使噴嘴面保濕的狀態(tài)放置，可以可靠地使噴墨頭噴嘴的孔堵塞復原。
因此，由于與以往的由清洗動作的吸引使噴墨頭的噴嘴的孔堵塞復原相比可以大幅度削減廢棄液體，所以可以更有效充分地利用噴出液滴。即，可以防止為了使孔堵塞的噴嘴復原而實行幾次清洗動作的現(xiàn)象，因而可以削減使用的液體量。
第2發(fā)明的特征在于，在第1發(fā)明的構成中，上述孔堵塞的上述噴嘴數(shù)在預定數(shù)或其以下時，上述控制部對上述吸引機構進行密封上述噴墨頭的噴嘴面并進行吸引的吸引動作。
根據(jù)第2發(fā)明的構成，孔堵塞的噴嘴數(shù)在預定數(shù)或其以下時，控制部使吸引機構進行密封噴墨頭的噴嘴面并進行吸引的吸引動作。
藉此，在孔堵塞的噴嘴數(shù)在預定數(shù)或其以下的情況下，噴墨頭的噴嘴面通過以由吸引機構密封的狀態(tài)的吸引動作，可以使噴墨頭噴嘴的孔堵塞復原。
由此，在孔堵塞的噴嘴數(shù)比預定數(shù)少的情況下，可以進行由吸引動作的噴嘴的孔堵塞的復原。
第3發(fā)明的特征在于，在第2發(fā)明的構成中，具有用于選擇上述吸引動作和以密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置并保濕的動作的選擇機構。
根據(jù)第3發(fā)明的構成，選擇機構可以選擇吸引動作和以密封噴嘴面的狀態(tài)放置并保濕的動作。
藉此，用戶使用選擇機構可以適宜地選擇由吸引機構吸引的吸引動作和以密封噴嘴面的狀態(tài)放置并保濕的動作。
第4發(fā)明的特征在于，在第1發(fā)明至第3發(fā)明的任一項構成中，具有用于通知以密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置并保濕的時間的放置時間通知機構。
根據(jù)第4發(fā)明的構成，放置時間通知機構可以向用戶通知以密封噴嘴面的狀態(tài)放置并保濕的時間。
第5發(fā)明的特征在于，根據(jù)第4發(fā)明的構成，具有檢測上述孔堵塞的上述噴嘴并通知上述控制部的非噴出噴嘴檢測部。
根據(jù)第5發(fā)明的構成，非噴出噴嘴檢測部可以檢測孔堵塞噴嘴存在的有無。
藉此，可以將非噴出噴嘴檢測部檢測的孔堵塞的噴嘴數(shù)可靠地告知控制部。
上述目的由液滴噴出方法達成，作為第6發(fā)明，是由噴墨頭將液滴噴出到工件上的液滴噴出方法，其特征在于，上述噴墨頭的噴嘴面中的噴嘴孔堵塞的情況下，孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，由用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的上述吸引機構密封上述噴嘴面，從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出，以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置，使上述噴嘴面保濕。
藉此，在液滴噴出裝置噴出液滴前，孔堵塞的噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，控制部可以進行由吸引機構密封噴嘴面、從噴嘴向吸引機構的液滴的噴出。而且以吸引機構密封噴嘴面的狀態(tài)放置，使噴嘴面保濕。這樣，通過使用吸引機構、以由吸引機構使噴嘴面保濕的狀態(tài)放置，可以可靠地使噴墨頭噴嘴的孔堵塞復原。
因此，由于與以往的由清洗動作的吸引使噴墨頭的噴嘴的孔堵塞復原相比可以大幅度削減廢棄液體，所以可以更有效充分地利用噴出液滴。即，可以防止為了使孔堵塞的噴嘴復原而實行幾次清洗動作的現(xiàn)象，因而可以削減使用的液體量。
上述目的由電光學裝置的制造方法達成，作為第7發(fā)明，是用由噴墨頭將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置進行電光學裝置的制造的電光學裝置的制造方法，其特征在于，以如下方法制造上述噴墨頭的噴嘴面中的噴嘴孔堵塞的情況下，孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，由用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的上述吸引機構密封上述噴嘴面，從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出，以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置，使上述噴嘴面保濕，其后將上述液滴噴出到上述工件上。
藉此，在液滴噴出裝置噴出液滴前，孔堵塞的噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，控制部可以進行由吸引機構密封噴嘴面、從噴嘴向吸引機構的液滴的噴出。而且以吸引機構密封噴嘴面的狀態(tài)放置、使噴嘴面保濕。這樣，通過使用吸引機構、以由吸引機構使噴嘴面保濕的狀態(tài)放置，可以可靠地使噴墨頭噴嘴的孔堵塞復原。
因此，由于與以往的由清洗動作的吸引來復原噴墨頭的噴嘴的孔堵塞相比可以大幅度削減廢棄液體，所以可以更有效充分地利用噴出液滴。即，可以防止用于使孔堵塞的噴嘴復原而實行幾次清洗動作的現(xiàn)象，因而可以削減使用的液體量。
由于用液滴噴出裝置制造電光學裝置的情況下噴出的液體更多而可以充分用于電光學裝置的制造，所以可以謀求電光學裝置制造時的成本下降。另外，可以可靠地防止噴嘴的堵塞，防止在噴嘴面出現(xiàn)非噴出噴嘴，從而提高電光學裝置制造時的質(zhì)量。
上述目的由電光學裝置達成，作為第8發(fā)明，是用由噴墨頭將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置制造的電光學裝置，其特征在于，以如下方法制造上述噴墨頭的噴嘴面中的噴嘴孔堵塞的情況下，孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，由用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的上述吸引機構密封上述噴嘴面，從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出，以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置，使上述噴嘴面保濕，其后將上述液滴噴出到上述工件上。
藉此，在液滴噴出裝置噴出液滴前，孔堵塞的噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，控制部可以進行由吸引機構密封噴嘴面、從噴嘴向吸引機構的液滴的噴出。而且吸引機構以密封噴嘴面的狀態(tài)放置、使噴嘴面保濕。這樣，通過使用吸引機構、由吸引機構以保濕噴嘴面的狀態(tài)放置，可以可靠地使噴墨頭噴嘴的孔堵塞復原。
因此，由于與以往的由清洗動作的吸引使噴墨頭的噴嘴的孔堵塞復原相比可以大幅度削減廢棄液體，所以可以更有效充分地利用噴出液滴。即，可以防止為了使孔堵塞的噴嘴復原而實行幾次清洗動作的現(xiàn)象，因而可以削減使用的液體量。
因此，由于用液滴噴出裝置制造電光學裝置的情況下噴出的液體更多而可以充分用于電光學裝置的制造，所以可以謀求電光學裝置制造時的成本下降。另外，可以可靠地防止噴嘴的堵塞，防止在噴嘴面出現(xiàn)非噴出噴嘴，從而提高電光學裝置制造時的質(zhì)量。
第9發(fā)明是一種電子機器，其特征在于，搭載第8發(fā)明所述的電光學裝置。


圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的優(yōu)選的實施方式的平面圖。
圖2是表示圖1的液滴噴出裝置的噴墨承載器、噴墨頭等的立體圖。
圖3是表示圖2的噴墨承載器和噴墨頭等的從圖2中的E方向看的主視圖。
圖4是表示噴墨頭的噴嘴面的形狀例和非噴出噴嘴檢測部的結(jié)構例的圖。
圖5是表示控制部和其周邊的要素的電連接例的圖。
圖6是表示與用于實施清洗程序的吸引機構摩擦接觸單元的例的圖。
圖7是表示給用戶的放置通知機構的例的圖。
圖8是表示進行沖洗、罩蓋放置的狀態(tài)的圖。
圖9是表示液滴噴出方法的優(yōu)選的實施方式的流程圖。
圖10是表示存儲于信息存儲部的清洗程序及在帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)和罩蓋時間的例的圖。
圖11是表示由本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的有機EL裝置的形狀的例的剖面圖。
圖12是表示由本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的液晶顯示裝置的結(jié)構例的剖面圖。
圖13是表示作為具備由本發(fā)明的實施方式制造的顯示裝置的電子機器的一例的移動電話機的立體圖。
圖14是表示作為電子機器的另一例的個人計算機的立體圖。
圖中10-液滴噴出裝置， 11-噴墨頭，70-噴嘴面，79A～79F-噴嘴列81-噴嘴， 200-控制部，390-給用戶的放置時間通知機構，600-非噴出噴嘴檢測部， 700-選擇機構，1751-帽蓋，1753-吸引泵具體實施方式
以下參照

本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式。
圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的優(yōu)選的實施方式的平面圖。圖1所示的液滴噴出裝置10例如可以作為描繪系統(tǒng)使用。該描繪系統(tǒng)可以組裝在作為平板顯示器的一種的例如有機EL(電致發(fā)光)裝置的制造生產(chǎn)線上。該液滴噴出裝置10可以形成成為有機EL裝置的各像素的發(fā)光元件。
液滴噴出裝置10例如可以作為噴墨式描繪裝置使用。液滴噴出裝置10可以用于例如以液滴噴出法(噴墨法)形成有機EL裝置的發(fā)光元件。液滴噴出裝置10的噴墨頭(也稱為功能液滴噴出頭)可以形成有機EL元件的發(fā)光元件。具體地說，在有機EL元件的制造工序中，經(jīng)過貯格圍堰部形成工序和等離子體處理工序，使導入發(fā)光功能材料的噴墨頭對形成貯格圍堰部的基板(工件的一例)相對地掃描，藉此，液滴噴出裝置10與基板的像素電極的位置相對應而形成空穴注入/輸送層和發(fā)光層的成膜部。
通過準備例如2臺液滴噴出裝置10，第1臺液滴噴出裝置10可以形成空穴注入/輸送層，另一臺液滴噴出裝置10可以形成R(紅)、G(綠)、B(藍)的3色發(fā)光層。
圖1的液滴噴出裝置10收容在室12中。室12具有另一個室13。在該室13中收容工件搬出搬入臺14。工件搬出搬入臺14是用于將工件W搬入室12內(nèi)或者將處理后的工件W從室12內(nèi)的臺30上搬出的臺。
在圖1所示的室12中收容可以進行噴墨頭11維護的維護部15。另外，在室12的外側(cè)具備回收部16。
維護部15具有吸引機構1750、摩擦接觸單元500、非噴出噴嘴檢測部600或者重量檢測單元(未圖示)等。
吸引機構1750用于從噴墨頭11的噴嘴面吸引液滴和氣泡。摩擦接觸單元500的摩擦接觸片可以擦拭附著在噴嘴面上的污物。非噴出噴嘴檢測部600可以檢查從噴墨頭11噴出的液滴的噴出狀態(tài)。重量測定單元可以測定從噴墨頭11噴出的液滴的重量。
回收部16具有例如回收液滴的液滴回收系統(tǒng)和供給摩擦接觸后所用的洗滌用溶劑的洗滌液供給系統(tǒng)。
室12和室13被一個一個地進行空氣管理，使室12和室13中的氣氛不發(fā)生變動。之所以這樣使用室12和室13是由于例如在制造有機EL元件的情況下為了忌諱大氣中的水分等而可以排除大氣的影響。向室12和室13中連續(xù)地導入干燥空氣并進行排氣，就可以維持干燥空氣的氣氛。
以下說明圖1所示的室12內(nèi)的構成要素。
在室12中收容有車架20、噴墨頭11、噴墨承載器19、液體貯存部300、第1操作部21、第2操作部22、臺30、導向基臺17。
圖1的車架20沿X軸方向水平地設置。導向基臺17沿Y軸方向設置。車架20在導向基臺17的上方。X軸與第1移動軸相當，Y軸與第2移動軸相當。X軸與Y軸垂直，也相對于Z軸垂直。Z軸是圖1中紙面垂直方向。
第1操作部21使噴墨承載器19和噴墨頭11沿車架20在X軸方向上直線往返移動和決定位置。
第2操作部22具有臺30。該臺30還可以可裝卸地搭載圖1所示的工件W。該第2操作部22的臺30在由噴墨頭11將液滴賦予工件W時保持工件W。而且第2操作部22可以使工件W沿Y軸方向在導向基臺17上直線移動并決定位置。
第1操作部21，具有用于使噴墨頭11在X軸方向直線移動并決定位置的馬達21A。該馬達21A例如通過使用送進螺旋可以使該噴墨頭11在X軸方向直線移動。馬達21A既可以是這樣的旋轉(zhuǎn)型電動馬達，也可以是線性馬達。
第2操作部22的馬達22A可以使臺30沿導向基臺17在Y軸方向上直線移動并決定位置。馬達22A例如可以使用旋轉(zhuǎn)送進螺旋的旋轉(zhuǎn)型電動馬達。作為馬達22A也可以使用除旋轉(zhuǎn)型馬達以外的線性馬達。
第2操作部22的臺30具有搭載面30A，該搭載面30A是與圖1的Z軸方向垂直的面。搭載面30A具有吸附部30B。該吸附部30B可以由真空吸附而吸附工件W。藉此，工件W可以相對于搭載面30A不偏移而確實地可裝卸地固定。
以下，參照圖2和圖3說明噴墨承載器19和噴墨頭11的結(jié)構例。
圖2是表示噴墨承載器19和噴墨頭11周圍的形狀例的立體圖，圖3是表示從圖2的E方向看的主視圖的例。
噴墨承載器19可以通過圖1所示的馬達21A在X軸方向移動并決定位置。噴墨承載器19使用夾持器61可裝卸地保持噴墨頭11。馬達62的輸出軸與送進螺旋1821連接的。送進螺旋1821與軸1823的螺母1822嚙合的。
圖2所示的馬達62動作時，送進螺旋1821旋轉(zhuǎn)，螺母1822、軸1823、噴墨頭夾持器61和噴墨頭11的單元沿Z軸方向可上下移動并決定位置。通過另一個馬達63動作，噴墨頭11以U軸作為中心在θ方向可旋轉(zhuǎn)。
如圖2和圖3所示，噴墨頭11具有噴嘴板64。噴嘴板64的下面是噴嘴面70。該噴嘴面70具有多個噴嘴的噴嘴開口65。噴墨頭11借助于管連接于液體貯存部300。液體貯存部300也稱為功能液貯藏部。液體是用于形成有機EL元件的空穴注入/輸送層和發(fā)光層的成膜部的功能液的一例。液體貯存部300內(nèi)的液體可以通過例如壓電振動器的動作以噴墨式從噴嘴開口65噴出。圖3所示的馬達62、63由控制部200控制動作。
圖4表示了圖2和圖3所示的噴墨頭11的噴嘴面70的形狀的例。噴嘴面70具有從79A至79F的多個噴嘴列。各噴嘴列79A至79F在Y軸方向上平行地形成。各噴嘴列79A至79F具有多個噴嘴81。而且噴嘴列79A至79F與X軸方向有關而以規(guī)定的間隔排列著。
各噴嘴列79A至79F具有多個噴嘴81。噴嘴列的數(shù)量在圖4的例中圖示了6列，但是不限于此，無須說，也可以是2列或其以上的數(shù)量的噴嘴列。
如圖4所示，為了檢測噴嘴81內(nèi)孔堵塞的非噴出噴嘴而設有非噴出噴嘴檢測部600。該非噴出噴嘴檢測部600也可以稱為非動作噴嘴檢測部或者不噴出噴嘴檢測部。
非噴出噴嘴檢測部600具有發(fā)光部601和受光部602。發(fā)光部601例如可以采用激光發(fā)光部。發(fā)光部601發(fā)生的光L由受光部602受光。液滴由噴嘴81噴出時，由于遮擋光L的光路，所以此時受光部602暫時中斷光L的受光。因此，只要由噴嘴81可以正常地噴出液滴，在受光部602光L就會被暫時遮光，因而控制部200就可以判斷為該噴嘴沒有孔堵塞。
另一方面，在噴嘴81的驅(qū)動期間內(nèi)，光L完全不被遮光時，控制部200可以判斷為該噴嘴81孔堵塞。另外，一滴的液滴時，由于有時不能充分可靠地檢測出光L是否被遮擋，所以在1個噴嘴81中優(yōu)選可以噴出數(shù)滴液滴。
對圖4中的噴嘴列79A的各噴嘴81完成了孔堵塞的檢查后，在X軸方向上少量移動噴墨頭11，可以對下一個噴嘴列79B的噴嘴81進行非噴出噴嘴的檢查。
這樣，通過非噴出噴嘴檢測部600檢測飛行中的液滴，就可以檢查各噴嘴列79A至79F的各噴嘴81的孔堵塞的有無(即漏點的有無)。
圖4所示的噴嘴列79A至79F也可以是可以噴出分別不同種類的液滴的結(jié)構，無須說，也可以是相鄰的2個或其以上的噴嘴列噴出相同種類的液滴的構成。
以下參照圖5說明本發(fā)明的液滴噴出裝置的各構成要素的電的連接例。
圖5所示的控制部200相對于主計算機1800借助于通信接口1801連接。通信接口1801與存儲器1802連接。存儲器1802具有數(shù)據(jù)區(qū)域1803和信息存儲部1810。
控制部200具有清洗控制部201。該清洗控制部201具有罩蓋控制部202和沖洗控制部203。
控制部200與選擇機構700、非噴出噴嘴檢測部600、放置時間通知機構390、帽蓋操作用馬達301、吸引泵的馬達302、X軸用馬達21A、Y軸用馬達22A、吸附部30B、馬達62、63、轉(zhuǎn)換部400的轉(zhuǎn)換信號生成部401和驅(qū)動信號生成部403電接通。
圖5所示的馬達21A、22A、吸附部30B、馬達62、63圖示于圖1中。圖5所示的驅(qū)動信號生成部403，根據(jù)由控制部200的信號向轉(zhuǎn)換部400的多個開關電路410供給適宜的信號。各開關電路410分別相對于壓電元件(也稱為壓電振動器)420連接。根據(jù)由控制部200賦予的信號，轉(zhuǎn)換信號生成部401控制開關電路410，藉此，將驅(qū)動信號供給所必要的壓電元件420。
噴墨頭11具有這些壓電元件420，各壓電元件420與圖4所示的各噴嘴列的各自的噴嘴81相對應而設置。壓電元件420被驅(qū)動時，由其的伸長收縮可以從噴嘴81中噴出液滴。
圖5所示的帽蓋操作用馬達301和吸引泵的馬達302示于圖6。
圖6表示吸引機構1750的結(jié)構例。吸引機構1750可以通過密封噴墨頭11的噴嘴面70并進行吸引，進行噴墨頭內(nèi)的噴嘴的清洗。吸引機構1750具有帽蓋1751、吸收材料1752、吸引泵1753、廢液罐1754和馬達301、302。馬達301是用于使帽蓋在Z1方向上升、在Z2方向下降的帽蓋操作用馬達。馬達302是用于使吸引泵1753動作的馬達。
帽蓋1751是收容吸收材料1752的構件。通過帽蓋1751的上端部1760相對于噴嘴面70進行密接，如圖6(B)所示，可以密封噴嘴面70。
吸收材料1752被收容在帽蓋1751內(nèi)，可以吸收液滴，例如是多孔質(zhì)材料。帽蓋1751的底部由吸引管1761相對于吸引泵1753連接的。
因此，吸引泵1753由馬達302的動作而動作時，在圖6(B)的狀態(tài)下的密封狀態(tài)下，由噴嘴面70的噴嘴81的液體和空氣的泡或者液體的孔堵塞物可以被吸收材料1752側(cè)吸引。也就是說，吸引泵1753通過使帽蓋1751內(nèi)形成負壓，可以強制地吸引噴嘴81側(cè)的液體而使噴嘴81進行清洗。吸引的液體借助于吸引泵1753排出到廢液罐1754側(cè)。
帽蓋操作用馬達301動作時，可以從圖6(A)所示的帽蓋1751待機的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成圖6(B)所示的帽蓋1751吸引的狀態(tài)，而且可以再次轉(zhuǎn)變?yōu)閳D6(C)所示的待機的狀態(tài)。
圖6(D)所示的是代替吸引機構1750所用的摩擦接觸片1850。該摩擦接觸片1850也稱為清掃構件或者擦拭構件。如圖6(A)至圖6(C)所示那樣吸引噴嘴面70后，摩擦接觸片1850擦拭噴嘴面70的液滴，進行清洗。該情況下，通過噴墨頭11沿X軸方向的X1方向相對于摩擦接觸片1850相對地水平移動，噴嘴面70可以由摩擦接觸片1850擦拭。摩擦接觸片1850由可彈性變形的例如橡膠和彈性物等制作。
圖6(A)至圖6(D)所示的是噴嘴面70的清洗順序。圖5的清洗控制部201的罩蓋控制部202可以控制上述的帽蓋操作用的馬達301和馬達302的動作。
以下，圖7表示圖5所示的給用戶的放置通知機構390的例。
在圖7(A)中，給用戶的放置通知機構390是液晶顯示裝置(LCD)的例，在圖7(B)中，給用戶的放置通知機構390是LED(發(fā)光二極管)顯示部的例。
圖7所示的給用戶的放置通知機構390是用于將圖8所示的向帽蓋1751內(nèi)噴出液滴(沖洗)、罩蓋放置的狀態(tài)的放置時間通知給用戶的裝置。
首先說明圖8所示的罩蓋放置狀態(tài)。
在圖6所示的帽蓋1751相對于噴嘴面70密接而密封的狀態(tài)下，帽蓋1751密封各噴嘴列的噴嘴81。在該狀態(tài)下，沖洗控制部203借助于圖5所示的轉(zhuǎn)換部400使各壓電元件420動作，進行由各噴嘴81的液體的沖洗(液體噴出)。
藉此，液體被吸收材料1752內(nèi)吸收。由吸收材料1752吸收的液體使帽蓋1751內(nèi)和噴嘴面70成為保濕的狀態(tài)。這就是沖洗、罩蓋放置的狀態(tài)。
這樣罩蓋放置的時間可以由圖7所示的給用戶的放置通知機構390向用戶顯示。在圖7(A)的例中，使用液晶顯示裝置370。液晶顯示裝置370的畫面顯示了用于通知用戶的說明371。作為該說明371的例，例如是“罩蓋時間(放置時間)需要是6小時。就這樣斷開電源，經(jīng)過6小時后可再使用液滴噴出裝置。”的內(nèi)容。
與此相對，在圖7(B)的給用戶的放置通知機構390的例中，使用LED顯示部380。該LED顯示部380例如使用液體終端(表示液體的存儲量是零)用的LED。作為給用戶的通知381，例如可以使如圖7(C)所示的墨水終端用LED383在例如閃光6次后，例如間隔2秒，再閃光6次。
通過使用這樣的給用戶的放置通知機構390可以給予用戶視覺的確實地罩蓋時間(放置時間)的通知。
圖9是表示可以由本發(fā)明的液滴噴出裝置的優(yōu)選的實施方式實施的液滴噴出方法的一例的流程圖。
圖10表示了在進行圖9液滴噴出方法的情況下，與液體的非噴出噴嘴的比例相對應進行的清洗程序的實施的必要性的有無、帽蓋內(nèi)的沖洗(FL)數(shù)和罩蓋時間(放置時間)的例。
圖10所示的表，具有表格A和表格B。表格A表示相對于液體的非噴出噴嘴的比例N的清洗程序的實施的必要性的有無。表格B表示相對于液體的非噴出噴嘴的比例N的帽蓋內(nèi)的沖洗(液滴噴出)數(shù)和罩蓋時間的例。
這樣的表格A、表格B存儲在圖5的存儲器1802的信息存儲部1810中。圖10所示的罩蓋時間(TC)可以區(qū)分為模式1、模式2和模式3的3種。其區(qū)別是，模式1中直至液體噴出操作前的罩蓋時間TC是0或其以上、不足1個月，模式2中罩蓋時間TC是1個月或其以上、不足4個月，模式3中罩蓋時間TC是4個月或其以上。
在模式1中，根據(jù)不考慮非噴出噴嘴的比例N那樣進行清洗程序的實施，并且也不考慮帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)和罩蓋時間(放置時間)。
在模式2中，區(qū)分為非噴出噴嘴的比例N在5％或其以下的情況下和超過5％的情況下。非噴出噴嘴的比例N在5％或其以下的情況下，進行清洗程序，但不考慮帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)和罩蓋時間(放置時間)。
非噴出噴嘴的比例N超過5％的情況下，不進行清洗程序，但帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)是100段，罩蓋時間(放置時間)設定為6小時。
在模式3中，非噴出噴嘴的比例N在5％或其以下的情況下，進行清洗程序，但不考慮帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)和罩蓋時間(放置時間)。非噴出噴嘴的比例N超過5％而在10％或其以下時，不進行清洗程序，但帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)是200段，罩蓋時間(放置時間)設定為12小時。非噴出噴嘴的比例N超過10％時，不進行清洗程序，但帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)是400段，罩蓋時間(放置時間)設定為24小時。
這里，非噴出噴嘴的比例N是指相對于1列的噴嘴列中的噴出用的噴嘴數(shù)的孔堵塞的噴嘴的比例。另外，沖洗數(shù)的段(segment)表示液滴的噴出次數(shù)的總數(shù)。
以下邊參照圖9邊說明液滴噴出方法的優(yōu)選的實施方式。
在圖9中，在步驟ST1中，在由圖5的控制部200的非噴出噴嘴檢測部600側(cè)具有非噴出噴嘴的檢測指示的情況下，移至步驟ST2。在步驟ST2中，圖5和圖4所示的非噴出噴嘴檢測部600進行從噴嘴列的多個噴嘴中的非噴出噴嘴的檢測。
在圖9的步驟ST3中，控制部200判斷是否具有非噴出噴嘴，無非噴出噴嘴的情況下，在步驟ST4中，控制部200對噴墨頭進行通常的噴出動作。而且在步驟ST5中，將該情況下的直至液滴噴出操作前的罩蓋時間TC取為0。藉此，該操作結(jié)束。
與此相反，在圖9的步驟ST3中，非噴出噴嘴檢測部600檢測出非噴出噴嘴時，移至步驟ST6。
在步驟ST6中，圖5的控制部200根據(jù)由圖4的受光部602的受光信號決定非噴出噴嘴的比例N。
在步驟ST7中，控制部200根據(jù)直至液滴噴出操作前的罩蓋時間TC和非噴出噴嘴的比例N判定是圖10所示的模式1、模式2和模式3中的哪一種。
在步驟ST8中，首先選擇圖10所示的表格A的處理，在步驟ST9中，控制部200判斷是否實施清洗程序CL。在步驟ST9中，如圖6所示那樣實施清洗程序CL的情況下，移至步驟ST12，由步驟ST12進行步驟ST5并結(jié)束。
在清洗程序CL中，如圖6(A)至圖6(C)所示，帽蓋1751相對于噴嘴面70密接，密封噴嘴面70的各噴嘴81。在該狀態(tài)下，吸引泵1753動作時，帽蓋1751內(nèi)成為負壓，藉此，來自各噴嘴81的液體和空氣的泡通過吸引管1761和吸引泵1753被送到廢液罐1754側(cè)。
然后，如圖6(C)所示，停止吸引泵1753，帽蓋1751在Z2方向下降，成為待機狀態(tài)。然后，如圖6(D)所示，摩擦接觸片1850擦拭噴嘴面70。
在圖9的步驟ST9中，作為實施清洗程序CL的情況是圖10的模式1的情況及模式2和模式3的非噴出噴嘴的比例N在5％或其以下的情況。
在圖9的步驟ST9中，不實施清洗程序CL的情況下，判斷是否設定步驟ST10的罩蓋時間(放置時間)。不那樣的情況下，由步驟ST11實行清洗程序，從步驟ST2實行步驟ST5而結(jié)束。
在步驟ST10中，在圖10所示的模式2的非噴出噴嘴的比例N超過5％的情況、模式3中的非噴出噴嘴的比例N超過5％而在10％或其以下的情況和超過10％的情況下，控制部200根據(jù)表格B分別設定罩蓋時間(放置時間)。
由此，在步驟ST12中，控制部200根據(jù)表格B在沖洗(液滴噴出)的實施和步驟ST13中進行罩蓋時間(放置時間)的設定。
例如在模式2中，非噴出噴嘴的比例N超過5％的情況下，帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)是100段，罩蓋時間(放置時間)是6小時。
另外，在模式3中，非噴出噴嘴的比例N超過5％而在10％或其以下的情況下，帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)是200段，罩蓋時間(放置時間)是12小時。非噴出噴嘴的比例N超過10％時，帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)是400段，罩蓋時間(放置時間)是24小時。
這樣，非噴出噴嘴的比例N增加時，帽蓋內(nèi)的沖洗數(shù)的噴出單位增加，伴隨之罩蓋時間也延長。
在圖9的步驟ST14中，將罩蓋時間(放置時間)通知用戶。該給用戶的通知可以由圖7(A)和圖7(B)所示的給用戶的放置通知機構的兩種或者任一種進行。圖7(A)的給用戶的放置通知機構390在液晶顯示裝置370的畫面上顯示說明371。例如在罩蓋時間(放置時間)是6小時的情況下，可以是圖7(A)所示那樣的顯示。
在圖7(B)的情況下，在罩蓋時間需要是6小時的情況下，使如圖7(C)所示的LED383閃光6次后，間隔2秒，再閃光6次。這樣，無論使用圖7(A)和圖7(B)的哪一種的給用戶的放置通知機構390，都可以對用戶可靠地進行罩蓋時間(放置時間)的通知381。例如經(jīng)過6小時后，液滴噴出裝置可再次進行液滴噴出操作，可以再使用。
在圖7(B)中，LED383的各閃光間隔例如可以是0.5秒間隔。在圖7的例中，例如經(jīng)過6小時后罩蓋時間(放置時間)結(jié)束，可成為可以再次噴出液滴的噴出開始。
圖7中的顯示例是罩蓋時間是6小時的情況，但是即使是12小時或者24小時，給用戶的放置通知機構390也可以用同樣的方法顯示。
返回圖9，在步驟ST15中，液滴噴出裝置的電源斷開。再根據(jù)必要通過從步驟ST1經(jīng)過步驟ST5，非噴出噴嘴由保濕作用可以使孔堵塞復原。其后可以從步驟ST1經(jīng)過步驟ST5進行通常的噴出動作。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的實施方式可以用于制造電光學裝置(器件)。作為這樣的電光學裝置(器件)是液晶顯示裝置、有機EL(electro-luminescence電致發(fā)光)裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(plasma display panel等離子顯示)裝置和電泳顯示裝置。另外，電子發(fā)射裝置是包含所謂FED(field emission display場發(fā)射顯示器)裝置的概念。另外，作為電光學裝置是包含金屬配線形成、透鏡形成、保護膜形成和光漫射(擴散)體形成等的各種裝置。在制造濾色片(CF)和液晶顯示裝置的情況下也進行液晶噴出。
圖11表示將本發(fā)明的液滴噴出裝置作為描繪裝置使用、用于作為平板顯示器的一種的有機EL裝置的制造的情況下的有機EL裝置的結(jié)構例。有機EL裝置701相對于由基板711、電路元件部721、像素電極731、貯格圍堰部741、發(fā)光元件751、陰極761(對向電極)和密封用基板771構成的有機EL元件702與撓性基板(圖示省略)的配線和驅(qū)動IC(圖示省略)連接。
在有機EL元件702的基板711上形成電路元件部721，在電路元件部721上排列多個像素電極731。而且在各像素電極731之間使貯格圍堰部741形成格子狀，在由貯格圍堰部741形成的凹部開口744內(nèi)形成發(fā)光元件751。在貯格圍堰部741和發(fā)光元件751的上部的全面上形成陰極761，在陰極761的上方層疊密封用基板771。
有機EL元件702的制造過程具備形成貯格圍堰部741的貯格圍堰部形成工序；用于恰當?shù)匦纬砂l(fā)光元件751的等離子體處理工序；形成發(fā)光元件751的發(fā)光元件形成工序；形成陰極761的對向電極形成工序；在陰極761上層疊密封用基板771而密封的密封工序。
也就是說，在預先形成電路元件部721和像素電極731的基板711(工件W)的規(guī)定位置上形成貯格圍堰部741后，順序進行等離子體處理、發(fā)光元件751和陰極761(對向電極)的形成，再在陰極761上層疊密封用基板771而密封，藉此，制造有機EL元件702。另外，由于有機EL元件702受到大氣中的水分等的影響容易劣化，所以有機EL元件702的制造優(yōu)選在干燥空氣或者惰性氣體(氮氣、氬氣、氦氣)的氣氛下進行。
另外，各發(fā)光元件751由空穴注入/輸送層752和由R(紅)·G(綠)·B(藍)的任一種色著色的發(fā)光層753構成的成膜部構成的，發(fā)光元件形成工序包括形成空穴注入/輸送層752的空穴注入/輸送層形成工序，和形成3種色的發(fā)光層753的發(fā)光層形成工序。
有機EL裝置701，通過在制造有機EL元件702后，使撓性基板的配線與有機EL元件702的陰極761連接，同時使電路元件部721的配線與驅(qū)動IC連接而制造。
以下對將本發(fā)明的實施方式的液滴噴出裝置適用于液晶顯示裝置的制造中的情況下進行說明。
圖12表示液晶顯示裝置801的剖面結(jié)構。液晶顯示裝置801由濾色片802、對向基板803、封入濾色片802和對向基板803之間的液晶組合物804、背照光(圖示省略)構成。在對向基板803的內(nèi)側(cè)的面上，使像素電極805和TFT(薄膜晶體管)元件(圖示省略)形成矩陣狀。在與像素電極805對向的位置上排列濾色片802的紅、綠、藍的著色層813。在濾色片802和對向基板803的各自的內(nèi)側(cè)面上形成以一定方向排列液晶分子的取向膜806，在濾色片802和對向基板803的各自的外側(cè)面上粘接有偏光片807。
濾色片802備有透光性的透明基板811、在透明基板811上矩陣狀排列的多個像素(濾波元件)812、在像素812上形成的著色層813、隔開各像素812的遮光性隔壁814。在著色層813和隔壁814的上面形成有外敷層815和電極層816。
說明液晶顯示裝置801的制造方法時，先在透明基板811上作入隔壁814后，在像素812部分形成R(紅)·G(綠)·B(藍)的著色層813。而且旋轉(zhuǎn)涂布透明的丙烯酸樹脂涂料，形成外敷層815，再形成由ITO(氧化銦錫)構成的電極層816，制成濾色片802。
在對向基板803上作入像素電極805和TFT元件。然后，在制成的濾色片802和像素電極805形成的對向電極803上進行取向膜806的涂布后，將其粘合。而且在濾色片802和對向基板803之間封入液晶組合物后，層壓偏光片807和背照光。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的實施方式可以用于上述濾色片的濾波元件(R(紅)·G(綠)·B(藍)的著色層813)的形成。另外，通過使用與像素電極805對應的液體材料，也可以用于像素電極805的形成。
另外，作為其它電光學裝置是除了金屬配線形成、透鏡形成、保護膜形成和光漫射體形成等以外還包括預制備形成的裝置。通過將上述的液滴噴出裝置用于各種電光學裝置(器件)的制造中，可以有效地制造各種電光學裝置。
本發(fā)明的電子機器搭載上述電光學裝置。該情況下，作為電子機器除了搭載所謂平板顯示器的移動電話機、個人計算機以外，各種電器制品與其相當。
圖13表示作為電子機器的一例的移動電話機1000的形狀的例。移動電話機1000具有主體部1001和顯示部1002。顯示部1002使用作為上述那樣的電光學裝置的例如有機EL裝置701和液晶顯示裝置801。
圖14表示作為電子機器的另一例的個人計算機1100。個人計算機1100具有主體部1101和顯示部1102。顯示部1102可以使用作為上述那樣的電光學裝置的一例的有機EL裝置701和液晶顯示裝置801。
在本發(fā)明的液滴噴出裝置和液滴噴出方法的實施方式中，具有用于穩(wěn)定而正確地噴出微小的液滴的噴墨頭。為了抑制該噴墨頭的噴嘴的孔堵塞，在液滴噴出動作前用所謂漏點檢測(非噴出噴嘴的檢測)可以檢測出孔堵塞的噴嘴。
而且，該孔堵塞的噴嘴數(shù)超過某一定噴嘴數(shù)的情況下，如圖8所示，以由帽蓋1751密封噴嘴面70的狀態(tài)，使對于帽蓋1751內(nèi)的由噴嘴81的液滴的沖洗數(shù)(液滴噴出數(shù))比原來增加。即，例如在圖10中的模式2中非噴出噴嘴的比例N超過5％的情況下，或模式3中非噴出噴嘴的比例N超過5％而在10％或其以下的情況，和超過10％的情況下，可以分別增罩蓋內(nèi)的沖洗數(shù)的噴出單位。而且，如圖8所示，帽蓋1751密封噴嘴面70的密封狀態(tài)的放置時間(罩蓋時間)由非噴出噴嘴的比例N的增加也增加。
由此，通過帽蓋1751內(nèi)的吸收材料1752內(nèi)吸收液體，提高了帽蓋1751內(nèi)的保濕性。通過帽蓋1751內(nèi)的保濕性提高而使噴嘴面70保濕，從而可以使孔堵塞的噴嘴81的孔堵塞狀態(tài)確實地復原。
使用以往進行的僅由清洗動作的吸引使噴嘴的孔堵塞復原的方法時，要反復進行直至孔堵塞消除，由清洗動作反復吸引，白白地排出許多液體。
可是，在本發(fā)明的實施方式中，由于非噴出噴嘴的比例N超過某一定值時可以如圖8所示那樣進行沖洗、罩蓋放置，所以與反復進行由帽蓋吸引進行清洗相比可以大幅度地削減被廢棄的液體的量。因此，高價的噴出液體可以更有效地充分用于電光學裝置等的制造中。
在圖9的步驟ST10中，用戶有意圖地不設定罩蓋時間(放置時間)，就可以不是以圖10所示的表格B而是根據(jù)表格A如圖9所示的步驟ST11那樣實行清洗程序。
也就是說，可以自由地選擇采用由圖8那樣進行沖洗、罩蓋放置的噴嘴的孔堵塞的復原方式或者使用圖6所示那樣的清洗程序而使噴嘴的孔堵塞復原。
以這樣的進行沖洗后罩蓋狀態(tài)放置的動作，和圖6所示的由清洗程序的使孔堵塞復原的動作，可以通過用戶按動圖5所示的選擇機構700來選擇。因此其優(yōu)點在于，在與非噴出噴嘴的比例N的值無關而進行液滴噴出動作的情況下，用戶可以根據(jù)選擇進行清洗程序CL，而不選擇罩蓋放置就優(yōu)先進行液滴噴出動作。
預先使圖10所示的罩蓋時間(放置時間)的非噴出噴嘴的比例(所謂漏點的比例)N、具有圖4所示的非噴出噴嘴的噴嘴列、與該噴嘴列對應的液體種類、罩蓋時間(月)、沖洗數(shù)進行表格化而裝入圖9所示的程序中，就可以使噴嘴的孔堵塞的檢測和復原自動化，同時可以確實地通知用戶可以再次開始噴出的可噴出開始時間。
這里，在上述的實施方式中，表示了相對于電光學裝置的工件噴出液滴的例。
但是，不限于此，例如即使在相對于工件使用多種液體印刷的情況下也可以使用本發(fā)明的液滴噴出裝置。對本發(fā)明的液滴噴出裝置的實施方式例如相對于工件或者作為目標的印刷對象噴出多種液體的情況下進行了說明。
在以往進行的噴墨頭的孔堵塞等、即噴墨頭的非噴出噴嘴的數(shù)量多的情況下，無論怎樣實施清洗程序，有時也不能消除噴嘴的孔堵塞。這是由于在噴嘴的開口處因液體的增粘狀態(tài)加重而液體固化的情況下，該固化波及噴墨頭的內(nèi)腔內(nèi)。另外，在噴墨頭是例如具有用于噴出4色液體的4個噴嘴列的結(jié)構的情況下，用1個帽蓋同時吸引4個噴嘴列的孔堵塞的復原性全部色是同等的情況下，由各列以相同的吸引力吸引，不會發(fā)生問題。但是4色中例如只有洋紅(M)的復原性差，從其它3色的黑(BK)、青綠(C)、黃(Y)的噴嘴開口分別可以吸引液體，而從與洋紅對應的噴嘴開口就不能夠吸引液體。為了使該洋紅的噴嘴開口的孔堵塞復原，就需要使4色的噴嘴列同時進行若干次清洗處理。
即使是這樣的情況下，通過用本發(fā)明的實施方式，帽蓋內(nèi)具有保濕性，以該狀態(tài)僅使噴墨頭放置罩蓋時間，其方法就有效。
用本發(fā)明的實施方式，由于即使非噴出噴嘴的比例大，也完全不反復進行清洗程序，由于可以削減噴出液體的浪費，所以可以謀求墨水這樣的高價液體的使用量的削減而節(jié)省資源。
通過反復進行清洗使噴墨頭的噴嘴的噴出不良復原的操作可以少，從而可以防止噴墨頭的噴嘴面的疏水性的劣化，可以防止摩擦接觸構件的磨損，可以延長吸引泵的長壽命。
即使液體的種類和墨水的色種變化，也可以可靠地進行噴嘴的孔堵塞的復原處理，可以削減廢棄的液體量。
本發(fā)明對上述實施方式不作限定，在不脫離權利要求范圍的范圍內(nèi)可以進行各種變更。另外，上述的各實施方式也可以相互組合而構成。
權利要求
1.一種液滴噴出裝置，是用于將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置，其特征在于，具備具有噴出供給的液體的上述液滴的多個噴嘴的噴墨頭；用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的吸引機構；和孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時由上述吸引機構密封上述噴嘴面，從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出，以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置、使上述噴嘴面保濕的控制部。
2.根據(jù)權利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述孔堵塞的上述噴嘴數(shù)在預定數(shù)或其以下時，上述控制部對上述吸引機構進行密封上述噴墨頭的噴嘴面并進行吸引的吸引動作。
3.根據(jù)權利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具有用于選擇上述吸引動作和以密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置并保濕的動作的選擇機構。
4.根據(jù)權利要求1～3的任一項所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具有用于通知以密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置并保濕的時間的放置時間通知機構。
5.根據(jù)權利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具有檢測上述孔堵塞的上述噴嘴并通知上述控制部的非噴出噴嘴檢測部。
6.一種液滴噴出方法，是由噴墨頭將液滴噴出到工件上的液滴噴出方法，其特征在于，上述噴墨頭的噴嘴面中的噴嘴孔堵塞的情況下，孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，由用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的上述吸引機構密封上述噴嘴面，從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出，以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置，使上述噴嘴面保濕。
7.一種電光學裝置的制造方法，是用由噴墨頭將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置進行電光學裝置的制造的電光學裝置的制造方法，其特征在于，以如下方法制造上述噴墨頭的噴嘴面中的噴嘴孔堵塞的情況下，孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，由用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的上述吸引機構密封上述噴嘴面，從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出，以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置，使上述噴嘴面保濕，其后將上述液滴噴出到上述工件上。
8.一種電光學裝置，是用由噴墨頭將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置制造的電光學裝置，其特征在于，以如下方法制造上述噴墨頭的噴嘴面中的噴嘴孔堵塞的情況下，孔堵塞的上述噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時，由用于密封上述噴墨頭的上述噴嘴面并進行吸引的上述吸引機構密封上述噴嘴面，從上述噴嘴向上述吸引機構進行上述液滴的噴出，以由上述吸引機構密封上述噴嘴面的狀態(tài)放置，使上述噴嘴面保濕，其后將上述液滴噴出到上述工件上。
9.一種電子機器，其特征在于，搭載權利要求8所述的上述電光學裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供與以往進行的由清洗吸引使噴墨頭的噴嘴的孔堵塞復原相比較可以大幅度削減廢棄液體、可以更多更有效地利用噴出液體的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光學裝置的制造方法、電光學裝置和電子機器。其解決方法是使用用于將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置(10)，該液滴噴出裝置(10)的特征在于，具備具有噴出供給的液體的液滴的多個噴嘴(81)的噴墨頭(11)、用于密封噴墨頭(11)的噴嘴面(70)并進行吸引的吸引機構、和孔堵塞的噴嘴數(shù)超過預定數(shù)時由吸引機構密封噴嘴面(70)、從噴嘴(81)向吸引機構進行液滴的噴出、以由吸引機構密封噴嘴面(70)的狀態(tài)放置、使噴嘴面(70)保濕的控制部(200)。
文檔編號H01L51/00GK1693084SQ20051006732
公開日2005年11月9日 申請日期2005年4月15日 優(yōu)先權日2004年4月30日
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