主計算機系統(tǒng)和rf產(chǎn)生器之間的雙推送的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明描述了主計算機系統(tǒng)和RF產(chǎn)生器之間的雙推送，具體描述了一種用于提高在射頻(RF)產(chǎn)生器和主計算機系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)傳輸速率的系統(tǒng)和方法。通過實現(xiàn)與所述RF產(chǎn)生器和所述主計算機系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的專用物理層以及所述RF產(chǎn)生器和所述主計算機系統(tǒng)之間的專用物理通信介質(zhì)，提高數(shù)據(jù)的傳輸速率。此外，在RF產(chǎn)生器和主計算機系統(tǒng)之間使用雙推送操作。沒有針對從RF產(chǎn)生器發(fā)送到主計算機系統(tǒng)或從主計算機系統(tǒng)發(fā)送到RF產(chǎn)生器的數(shù)據(jù)的請求。
【專利說明】
主計算機系統(tǒng)和RF產(chǎn)生器么間的雙推送
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明的實施方式設(shè)及用于在主計算機系統(tǒng)和射頻(RF)產(chǎn)生器之間的雙推送的 系統(tǒng)和方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 在等離子體系統(tǒng)中，多個射頻(RF)產(chǎn)生器被連接到等離子體室。RF產(chǎn)生器是由計 算機控制的。例如，該計算機提供與由RF產(chǎn)生器產(chǎn)生的RF信號相關(guān)聯(lián)的值。RF產(chǎn)生器使用該 值W產(chǎn)生RF信號，然后將其發(fā)送到等離子體室中。在接收到RF信號時在等離子體室中產(chǎn)生 等離子體。
[0003] RF產(chǎn)生器和計算機之間的通信是緩慢的。運種緩慢的通信阻礙了射頻產(chǎn)生器的計 算機的有效的控制。
[0004] 正是在運樣的背景下產(chǎn)生本發(fā)明描述的實施方式。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的實施方式提供了用于在主計算機系統(tǒng)和射頻(RF)產(chǎn)生器之間的雙推送 的裝置、方法和計算機程序。應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明可W多種方式實現(xiàn)，運些方式例如，在計算機 可讀介質(zhì)上的方法、裝置、系統(tǒng)、設(shè)備。下面將描述若干本發(fā)明的實施方式。
[0006] 在一些實施方式中，主機系統(tǒng)和RF產(chǎn)生器之間的雙推送相比于另一種傳輸協(xié)議 (例如，用于控制自動化技術(shù)化therCAT)協(xié)議的W太網(wǎng)，傳輸控制協(xié)議因特網(wǎng)協(xié)議(TCP/ IP),等)允許主系統(tǒng)和RF產(chǎn)生器之間通信較快。EtherCAT協(xié)議受限于響應(yīng)時間和凈負荷，例 如，從站的數(shù)目，等。此外，雌?八？協(xié)議具有與數(shù)據(jù)包重試和超時相關(guān)聯(lián)的開銷(overhead)。 其他傳輸協(xié)議包括數(shù)據(jù)包中的錯誤的錯誤檢查、錯誤的指示的通信，W及數(shù)據(jù)包的重傳。錯 誤檢查、錯誤的指示的通信，W及重傳消耗時間。雙推送應(yīng)用在主機系統(tǒng)和RF產(chǎn)生器之間連 續(xù)地推送傳輸單元(例如，數(shù)據(jù)包，等）的通信協(xié)議，例如，通用數(shù)據(jù)報協(xié)議化DP)、定制的協(xié) 議，等。例如，數(shù)據(jù)包的接收器不執(zhí)行針對每個數(shù)據(jù)包的錯誤檢查，接收器不執(zhí)行差錯的指 示的通信，并且該數(shù)據(jù)包的發(fā)送器不執(zhí)行重新傳輸。作為另一個例子，不再次發(fā)送任何數(shù)據(jù) 包，接收數(shù)據(jù)包而從接收器不接收確認。作為又一個例子，主機系統(tǒng)不請求與來自RFG的一 個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息，并且RFG不請求來自主機系統(tǒng)的一個或多個參數(shù)的一個或多 個設(shè)定點。一旦RFG被配置為由主計算機發(fā)送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息，所述RFG發(fā) 送一個或多個數(shù)據(jù)包到主計算機并且主計算機分析與存儲在所述一個或多個數(shù)據(jù)包中的 一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息，W判定是否發(fā)送修改的設(shè)定點或發(fā)送與先前發(fā)送至的RFG 設(shè)定點相同的設(shè)定點。
[0007] 在一些實施方式中，雙推送利用W太網(wǎng)找來推送用于監(jiān)測RF產(chǎn)生器的輸出的第一 固定UDP數(shù)據(jù)報，并利用W太網(wǎng)找來推送用于控制RF產(chǎn)生器的第二固定UDP數(shù)據(jù)報。
[000引在多種實施方式中，在雙推送裝置中，主機系統(tǒng)和RF產(chǎn)生器經(jīng)由物理通信介質(zhì)的 專用通信鏈路和專用發(fā)送器和專用接收器彼此連接。例如，主機系統(tǒng)的專用發(fā)送器經(jīng)由物 理通信介質(zhì)的專用通信鏈路連接至RF產(chǎn)生器的專用接收器，RF產(chǎn)生器的專用發(fā)送器經(jīng)由物 理通信介質(zhì)的專用通信鏈路連接到主機系統(tǒng)的專用接收器。主機系統(tǒng)的專用接收器應(yīng)用通 信協(xié)議至從RF產(chǎn)生器的專用發(fā)送器接收到的數(shù)據(jù)包，W提取與該數(shù)據(jù)包內(nèi)的一個或多個參 數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信息被提供到主機系統(tǒng)的處理器。處理器根據(jù) 與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信息產(chǎn)生參數(shù)的值，并判定該值是否在先前發(fā)送到RF產(chǎn)生器的專 用接收器的參數(shù)的值的預(yù)先確定的范圍之內(nèi)。當(dāng)判定所述值不是在預(yù)先確定的范圍內(nèi)時， 所述處理器將所述參數(shù)的值修改成處于預(yù)先確定的范圍內(nèi)，并提供該值到主機系統(tǒng)的專用 發(fā)送器W經(jīng)由物理通信介質(zhì)的專用通信鏈路與RF產(chǎn)生器的專用接收器通信。作為另一個例 子，1千兆位物理層推送512字節(jié)帖到也具有用于接收帖的1千兆位物理層的專用客戶機。進 行該推送W實現(xiàn)100千赫的速率。
[0009] 在一些實施方式中，雙推送裝置不進行錯誤檢查，錯誤的指示的通信，具有錯誤的 數(shù)據(jù)包的重新傳輸，從而節(jié)省了時間和成本。
[0010] 此外，在多種實施方式中，所述專用通信鏈路降低來自不同的源端口的數(shù)據(jù)包沖 突和漏失的機會。所述專用通信鏈路在不同的RF產(chǎn)生器或不同控制器之間不共享，減少數(shù) 據(jù)包沖突和漏失的機會。例如，如果數(shù)據(jù)包通過共享通信鏈路發(fā)送給兩個不同的RF產(chǎn)生器， 則數(shù)據(jù)包之間可能存在沖突，從而在被發(fā)送到RF產(chǎn)生器的數(shù)據(jù)中產(chǎn)生損失或錯誤。通過使 用連接到一個RF產(chǎn)生器的專用通信鏈路，主系統(tǒng)無法經(jīng)由專用通信鏈路發(fā)送數(shù)據(jù)包到不同 的RF產(chǎn)生器，從而防止沖突。
[0011] 相比于其他協(xié)議(例如，EtherCAT協(xié)議，TCP/IP，等），雙推送裝置的其它優(yōu)點包括 提高由RF產(chǎn)生器對主機系統(tǒng)的控制器或由控制器對RF產(chǎn)生器的響應(yīng)的響應(yīng)時間很多倍，例 如，100倍、1000倍、100至1000倍等，
[0012] 結(jié)合附圖，根據(jù)下面的詳細描述，其它方面將變得顯而易見。
【附圖說明】
[0013] 參考W下描述結(jié)合附圖可W最好地理解本發(fā)明。
[0014] 圖1A是根據(jù)本公開中描述的實施方式的用于使用控制器和射頻產(chǎn)生器(RFG)之間 的雙推送的等離子體系統(tǒng)的示意圖。
[0015] 圖1B是根據(jù)本公開中描述的實施方式的圖1A的等離子體系統(tǒng)的控制器和RFG的實 施方式的示意圖，W示出控制器和RFG之間的通信。
[0016] 圖2A是根據(jù)本公開中描述的實施方式的系統(tǒng)的示意圖，W示出在多個本地控制 器、多個RF產(chǎn)生器和主系統(tǒng)控制器之間通信協(xié)議的使用。
[0017] 圖2B是根據(jù)本公開中描述的實施方式的系統(tǒng)的示意圖，W示出放置在板上的一定 數(shù)量的本地控制器。
[0018] 圖2C是根據(jù)本公開中描述的實施方式的系統(tǒng)的示意圖，W示出在不使用本地控制 器和主系統(tǒng)控制器之間的交換機的情況下本地控制器和主系統(tǒng)控制器之間的通信。
[0019] 圖3是根據(jù)本公開中描述的實施方式的示出通用數(shù)據(jù)報協(xié)議(UDP)傳輸單元或定 制的傳輸單元的示意圖。
[0020] 圖4是根據(jù)本公開中描述的實施方式的多個圖形的示意圖，W示出RF信號的多個 狀態(tài)。
[0021] 圖5是根據(jù)本公開中描述的實施方式的系統(tǒng)的示意圖，w示出本地處理器板系統(tǒng) 和Rre之間W及本地處理器板系統(tǒng)和另一處理器板系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)的通信。
[0022] 圖6是根據(jù)本公開中描述的實施方式的示意圖，W示出由主計算機系統(tǒng)的控制器 的專用發(fā)送器產(chǎn)生并發(fā)送到RF產(chǎn)生器的傳輸單元的有效載荷。
[0023] 圖7是根據(jù)本公開中描述的實施方式的示意圖，W示出由RFG的專用發(fā)送器產(chǎn)生并 發(fā)送到主計算機系統(tǒng)的傳輸單元的有效載荷。
[0024] 圖8是根據(jù)本公開中描述的實施方式的曲線圖，W示出在產(chǎn)生RF信號中要使用的 一個或多個參數(shù)的設(shè)定點的采樣。
[0025] 圖9是根據(jù)本公開中描述的實施方式的方法的流程圖，W示出通過使用RFG的專用 發(fā)送器和控制器的專用接收器之間W及控制器的專用發(fā)送器和RFG的專用接收器之間的通 信協(xié)議推送傳輸單元。
[0026] 圖10A是根據(jù)本公開中描述的實施方式的說明用于在傳輸單元由接收器接收時通 過分析針對狀態(tài)的參數(shù)的值修改針對狀態(tài)的參數(shù)的值的方法的示意圖。
[0027] 圖10B是根據(jù)本公開中描述的實施方式的說明用于在傳輸單元由接收器接收之前 通過分析針對狀態(tài)的參數(shù)的值修改針對狀態(tài)的參數(shù)的值的方法的示意圖。
【具體實施方式】
[0028] 下面的實施方式描述了用于主計算機系統(tǒng)和射頻(RF)產(chǎn)生器之間的雙推送的系 統(tǒng)和方法。但顯然的是，運些實施方式可W在沒有運些具體細節(jié)中的一些或全部的情況下 實踐。在其它情況下，公知的處理操作未被詳細描述，W便不會不必要地混淆運些實施方式 中。
[0029] 在一些實施方式中，當(dāng)不存在針對與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息的從主計算機 系統(tǒng)發(fā)送到RF產(chǎn)生器的請求時，W及不存在針對一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點（例 如，一個或多個值等）的從RF產(chǎn)生器發(fā)送到主計算機系統(tǒng)的請求時，執(zhí)行雙推送。RF產(chǎn)生器 由主計算機系統(tǒng)配置W發(fā)送具有與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息的一個或多個數(shù)據(jù)包，并 且一旦RF產(chǎn)生器被配置，RF產(chǎn)生器啟動并繼續(xù)發(fā)送一個或多個數(shù)據(jù)包。一旦主計算機接收 一個或多個數(shù)據(jù)包，主計算機就判定是否修改一個或多個設(shè)定點，W及基于所述判定，將包 括未修改的一個或多個設(shè)定點或一個或多個經(jīng)修改的設(shè)定點的一個或多個數(shù)據(jù)包發(fā)送給 RFG。在一些實施方式中，推送是在數(shù)據(jù)的接收器不請求數(shù)據(jù)的情況下通過發(fā)送器進行的數(shù) 據(jù)輸送。
[0030] 在多種實施方式中，RFG和主計算機系統(tǒng)的共控制器經(jīng)由連接到共控制器的專用 物理層、經(jīng)由將RFG連接到主計算機系統(tǒng)的專用物理通信介質(zhì)，并經(jīng)由連接到RFG的專用處 理器的專用物理層彼此連接。RFG的專用物理層和主計算機系統(tǒng)W及專用物理通信介質(zhì)有 利于RFG和主計算機系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)的快速傳輸。在RFG和主計算機系統(tǒng)之間沒有必要錯誤 檢查或重新發(fā)送具有錯誤的數(shù)據(jù)包等。
[0031] 圖1A是用于使用在控制器20(例如，本地控制器等）和RF產(chǎn)生器(RFG)22之間的雙 推送的等離子體系統(tǒng)10的實施方式的示意圖。等離子體系統(tǒng)10包括RFG 22、阻抗匹配電路 (IMC) 14、控制器20，和等離子體室24。等離子體室24經(jīng)由RF傳輸線12連接到IMC 14dRFG 22 經(jīng)由RF纜線16連接到IMC 14。在一些實施方式中，控制器的實施例包括CPU、計算機、處理 器、微處理器、專用集成電路(ASIC)和可編程邏輯器件(PLD)。在多種實施方式中，控制器包 括處理器和存儲器設(shè)備的組合。存儲器裝置的實施例包括只讀存儲器(ROM)、隨機存取存儲 器(RAM)、硬盤、易失性存儲器、非易失性存儲器、存儲磁盤冗余陣列、閃存存儲器等。
[0032] 控制器20產(chǎn)生給RFG 22的控制信號，控制信號包括給RFG 22的一個或更多個狀態(tài) (例如，狀態(tài)SO、狀態(tài)S1、狀態(tài)S2、狀態(tài)S3、狀態(tài)S4等）的一個或多個參數(shù)(例如，頻率、功率等） 的一個或多個設(shè)定點（例如，值等）?？刂破?0的專用物理層23的專用發(fā)送器(Τχ)應(yīng)用通信 協(xié)議(例如，通用數(shù)據(jù)報協(xié)議(UDP)、UDP經(jīng)過因特網(wǎng)協(xié)議(UDP經(jīng)過IΡ)，UDP經(jīng)過IΡ經(jīng)過W太 網(wǎng)，定制的協(xié)議等)到控制信號，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元(例如，數(shù)據(jù)報、UDP數(shù)據(jù)報、數(shù) 據(jù)包等)并在時鐘周期CA期間經(jīng)由專用通信鏈路30發(fā)送一個或多個傳輸單元到RFG 22。專 用通信鏈路30是物理通信介質(zhì)31的一部分。在多種實施方式中，物理通信介質(zhì)的例子包括 同軸纜線、導(dǎo)體纜線、有線介質(zhì)、雙絞線、光纖鏈路、纜線、W太網(wǎng)纜線、無線介質(zhì)等。
[0033] 在一些實施方式中，專用通信鏈路被用來執(zhí)行兩個設(shè)備(例如，控制器20的專用物 理層23和RFG 22等的專用物理層21，等)之間的點對點通信。例如，專用通信鏈路30是用于 從控制器20的物理層23發(fā)送一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點到RFG 22的專用物理層 21的一個或多個傳輸單元的信道，并且通信鏈路32是用于從RFG 22的物理層21發(fā)送到控制 器20的物理層23的一個或多個傳輸單元的信道。在多種實施方式中，信道是用于通過纜線 傳送數(shù)據(jù)的邏輯連接并具有W每秒比特測量的容量。
[0034] 在一些實施方式中，物理層是端口，例如W太網(wǎng)端口、UDP端口、通信端口等。在多 種實施方式中，專用物理層W吉比特每秒(Gbp)的數(shù)量級的速率傳送(例如發(fā)送、接收，等）。 在多種實施方式中，專用物理層是W每秒吉比特的速率或高于每秒吉比特的速率(例如，W 每秒萬億比特(Tbp)的速率，等)傳送(例如，發(fā)送、接收，等)一個或多個傳輸單元的通信設(shè) 備(例如，收發(fā)器，等）。
[0035] 時鐘周期是由位于控制器20內(nèi)部或控制器20外部的時鐘源產(chǎn)生的時鐘信號的時 鐘周期。時鐘源的實施例包括振蕩器，具有鎖相環(huán)的振蕩器等。在一些實施方式中，產(chǎn)生時 鐘信號的時鐘源位于RFG或控制器中。例如，時鐘源位于控制器20的內(nèi)部，并提供時鐘信號 給RFG 22或連接到控制器20并由控制器20控制的其它RFG。
[0036] 在一些實施方式中，本文中的狀態(tài)指的是由RF產(chǎn)生器產(chǎn)生的RF信號的狀態(tài)。通過 控制器區(qū)分一狀態(tài)與另一狀態(tài)。例如，RF信號的狀態(tài)具有除RF信號的另一種狀態(tài)的多個功 率值W外的多個功率值。狀態(tài)的多個功率值具有與另一狀態(tài)的多個功率值相比不同的電 平，使得在時鐘周期期間在預(yù)定的時間段期間，兩個電平之間存在差別。
[0037] 在若干實施方式中，RF信號的狀態(tài)與時鐘信號的狀態(tài)同步。例如，時鐘信號具有高 電平(例如，位1，等)和低電平(例如，位0等）。當(dāng)時鐘信號在兩種狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換時，屬于正弦 信號的RF信號在兩個狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換。為了說明，當(dāng)時鐘信號在高電平時，RF信號在高電平。 當(dāng)時鐘信號從時鐘信號的高電平轉(zhuǎn)換成時鐘信號的低電平時，RF信號從RF信號的高電平轉(zhuǎn) 換成RF信號的低電平。當(dāng)該時鐘信號在時鐘信號的低電平時，RF信號在RF信號的低電平。當(dāng) 時鐘信號從時鐘信號的低電平轉(zhuǎn)換成時鐘信號的高電平時，RF信號從RF信號的低電平轉(zhuǎn)換 成RF信號的高電平。
[0038] 在多種實施方式中，RF信號具有任何數(shù)量的狀態(tài)。例如，當(dāng)時鐘信號在高電平時， RF信號在不同的電平之間轉(zhuǎn)換，當(dāng)時鐘信號在低電平時，RF信號具有一個狀態(tài)。作為另一實 施例，當(dāng)時鐘信號在低電平時，RF信號在不同的電平之間轉(zhuǎn)換，當(dāng)時鐘信號在高電平時，RF 信號具有一個狀態(tài)。作為又一實施例，當(dāng)時鐘信號在高電平時，RF信號在不同電平之間轉(zhuǎn) 換，當(dāng)時鐘信號在低電平時，RF信號在不同的電平之間轉(zhuǎn)換。
[0039] RFG 22的物理層21包括經(jīng)由專用通信鏈路30接收一個或多個傳輸單元并應(yīng)用通 信協(xié)議W從傳輸單元提取控制信號的專用接收器(Rx) dRFG22的專用接收器是RFG 22的專 用物理層21的一部分。RFG 22的專用處理器(例如，數(shù)字信號處理器(DSP)、現(xiàn)場可編程口陣 列、專用集成電路等)解析該控制信號，W將狀態(tài)的一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點與 另一種狀態(tài)的一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點區(qū)分開。RFG 22的專用處理器將用于一 種狀態(tài)的一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點提供給參數(shù)控制器(例如，自動頻率調(diào)諧器 (AFT)、功率控制器，等）W及將用于另一種狀態(tài)的參數(shù)的一個或多個設(shè)定點提供給另一參 數(shù)控制器(例如，AFT、功率控制器等）。與狀態(tài)相關(guān)聯(lián)的每個參數(shù)控制器經(jīng)由驅(qū)動器(例如， 晶體管，成組晶體管等)驅(qū)動RFG 22的RF功率源(例如，RF電源等），W產(chǎn)生具有所述狀態(tài)的 RF信號。
[0040] 具有多個狀態(tài)的RF信號是從RFG 22經(jīng)由RF纜線16發(fā)送到IMC14JMC 14將連接到 IMC 14的輸出的負載的阻抗與連接到IMC 14的輸入的源極的阻抗相匹配，W產(chǎn)生修改的RF 信號。源的實施例包括經(jīng)由相應(yīng)的RF纜線禪合到IMC 14并且可操作的一個或多個RF產(chǎn)生 器，并進一步包括將RF產(chǎn)生器禪合到IMC 14的RF纜線。負載的實施例包括RF傳輸線12與等 離子體室24。
[0041 ] IMC 14經(jīng)由RF傳輸線12提供修改的RF信號到等離子體室24的卡盤18。在修改的RF 信號從IMC 14供給到卡盤1別寸，工藝氣體(例如，含氧氣體、含氣氣體、含碳和氣的氣體，等） 經(jīng)由等離子體室24的上電極26中氣體入口被供給到上電極26和卡盤18之間。含氧氣體的例 子包括氧氣，含氣氣體的例子包括四氣甲燒(CF4)、六氣化硫(SF6 )、六氣乙燒(C2F6)、C4F6氣 體、C4F3氣體、C3i^氣體，等。當(dāng)工藝氣體和修改的RF信號兩者被供給到等離子體室24時，在 等離子體室24內(nèi)產(chǎn)生或維持等離子體。
[0042] 等離子體用于在襯底(例如，晶片，等)上執(zhí)行一個或多個操作（例如，蝕刻、滲雜、 離子注入、清洗、沉積、光刻圖案化，等）W在襯底上形成集成電路。然后集成電路被切片和 包裝并在多種電子設(shè)備中使用，電子設(shè)備例如手機、電腦、平板電腦、相機、運動器材、手表 等。
[0043] 在一些實施方式中，RFG 22包括感測（例如，檢測、測量等)從RFG 22的輸出節(jié)點發(fā) 送的RF信號的特性(例如，功率、電壓、電流、阻抗，等)的一個或多個傳感器(例如，電壓傳感 器、電流傳感器、復(fù)阻抗傳感器、功率傳感器等）。一個或多個傳感器連接到RFG 22的輸出節(jié) 點，并且RF信號是在輸出端由RF產(chǎn)生器提供的。
[0044] 在一些實施方式中，一個或多個傳感器被連接到等離子體系統(tǒng)10的任何其他部分 W在該部分測量RF信號的特性。
[0045] RFG 22的專用處理器根據(jù)由RFG 22產(chǎn)生的RF信號的特性或根據(jù)從控制器20接收 的參數(shù)的值確定(例如，識別、計算，等）與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。與一個或多個參 數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息的實施例包括供給的功率的值、輸送功率的值、反射功率的值、伽馬實部的 值、伽馬虛部的值、電壓駐波比（VSWR)的值、從時鐘信號的時鐘沿推移的時間量、RFG 22的 控制器內(nèi)的設(shè)定點、用于確定信息是否在預(yù)定范圍的外部的狀態(tài)向量(例如，報警矢量等）、 參數(shù)的測得值、從控制器20接收的參數(shù)的值，它們的組合等。為了說明，輸送的功率被計算 為供給功率和反射功率之間的差。RFG 22的控制器內(nèi)的設(shè)定點經(jīng)由專用通信鏈路30從控制 器20接收。供給功率是從RFG22的輸出經(jīng)由RF纜線16供給到IMC 14的功率。反射功率是經(jīng)由 RF傳輸線12和IMC 14從等離子體室24反射的功率。作為另一說明，確定反射功率信號與供 給功率信號之間的關(guān)系W產(chǎn)生伽瑪值。
[0046] RFG 22的物理層21的專用發(fā)送器(Τχ)應(yīng)用通信協(xié)議至一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的 信息，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元，并且在時鐘周期CB或時鐘周期CA期間經(jīng)由專用通信鏈 路32發(fā)送一個或多個傳輸單元至控制器20的物理層23的專用接收器Rx。專用通信鏈路32是 物理通信介質(zhì)31的一部分。在多種實施方式中，物理層31的專用通信鏈路30和32減少數(shù)據(jù) 包的沖突的幾率。例如，當(dāng)數(shù)據(jù)包沿控制器20和多個RFG(包括RFG 22)之間的共享的通信鏈 路發(fā)送時，數(shù)據(jù)包之間存在沖突，并且作為沖突的結(jié)果數(shù)據(jù)包中的一些丟失。在RFG 22和控 制器30之間的專用通信鏈路30和32降低運種沖突的機會。例如，數(shù)據(jù)包不能在另一 RFG(而 不是RFG 22)和控制器20之間發(fā)送，因此，減少了沖突的機會。
[0047] 控制器20的物理層21的專用接收器Rx應(yīng)用通信協(xié)議至包括與一個或多個參數(shù)相 關(guān)聯(lián)的信息的一個或多個傳輸單元W提取信息，并將信息發(fā)送到控制器20的處理器。控制 器20的處理器處理與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。例如，控制器20的處理器根據(jù)信息計 算或確定針對RF信號的狀態(tài)的參數(shù)的值(例如，根據(jù)傳送功率和反射功率計算供給的功率， 根據(jù)伽馬和反射功率計算供給的功率，確定測量的功率，確定RFG 22的控制器內(nèi)的設(shè)定點， 確定狀態(tài)向量指示出現(xiàn)故障，等），并且將該參數(shù)的值與在時鐘周期CA期間經(jīng)由專用通信鏈 路30發(fā)送到RFG 22的參數(shù)的值進行比較?？刂破?0的處理器判定針對RF信號的狀態(tài)的參數(shù) 的計算值是否經(jīng)由專用通信鏈路30先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的針對狀態(tài)的參 數(shù)的值的預(yù)定范圍內(nèi)。當(dāng)判定參數(shù)的計算值先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的針對狀 態(tài)的參數(shù)的值的預(yù)定范圍內(nèi)時，控制器20的處理器判定不修改先前發(fā)送到RFG 22的參數(shù)的 值。另一方面，在判定參數(shù)的計算值在先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的參數(shù)的值的 預(yù)定范圍外時，控制器20的處理器判定修改針對RF信號的相同狀態(tài)的參數(shù)的值，針對該狀 態(tài)的參數(shù)的值先前被發(fā)送到RFG 22。
[0048] 參數(shù)值的運種比較允許控制器20和RFG 22在不等待W查詢數(shù)據(jù)的準確性、不等待 相同的數(shù)據(jù)包的重傳 W及沒有超時的指示的情況下W高速率推送數(shù)據(jù)。例如，數(shù)據(jù)包是否 由RFG 22從控制器20接收的確認不是由RFG22的物理層21的專用接收器產(chǎn)生，W及數(shù)據(jù)包 是否由控制器20從RFG 22接收的確認不是由控制器20的物理層23的專用接收器產(chǎn)生。作為 另一個例子，當(dāng)從控制器20發(fā)送至RFG 22的數(shù)據(jù)包的確認不是通過控制器22從RFG 22在預(yù) 定的時間段內(nèi)接收時，不存在由控制器20對自身的超時的指示。作為另一個例子，當(dāng)從RFG 22發(fā)送至控制器20的數(shù)據(jù)包的確認不是通過RFG 22從控制器20在預(yù)定的時間段內(nèi)接收時， 不存在由RFG22對自身的超時的指示。在一些實施方式中，超時通過數(shù)據(jù)包的發(fā)送者引發(fā)數(shù) 據(jù)包的重新發(fā)送。
[0049] 在多種實施方式中，在相同的時鐘周期CA期間RFG 22的物理層21的專用發(fā)送器Τχ 發(fā)送關(guān)于一個或多個參數(shù)的信息，其中用于產(chǎn)生信息的一個或多個傳輸單元由RFG 22的專 用接收器Rx接收。
[0050] 在一些實施方式中，在時鐘周期CA和CB之間存在預(yù)定數(shù)量的時鐘周期。例如，出現(xiàn) 一定數(shù)量的一個或多個時鐘周期，在此期間，RF信號根據(jù)在時鐘周期CA期間接收的參數(shù)由 RFG 22產(chǎn)生，在時鐘周期CA期間一個或多個傳感器感測RF信號的特性，并在此期間RFG 22 的專用處理器從所述特性確定與參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。時鐘周期位于時鐘周期CB和時鐘周期 CA之間。在一些實施方式中，在CA和CB之間預(yù)先確定數(shù)量的時鐘周期期間，控制器20的物理 層23的專用發(fā)送器Τχ繼續(xù)經(jīng)由專用通信鏈路30發(fā)送一個或多個傳輸單元至RFG 22。
[0051] 在若干實施方式中，與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息包括一個或多個位，該一個 或多個位指示通過控制器20的物理層23的專用發(fā)送器先前在時鐘周期CA期間發(fā)送的參數(shù) 的值是否由RFG 22的物理層21的專用接收器接收。控制器20的處理器根據(jù)一個或多個位判 定RFG 22的專用接收器是否接收參數(shù)的值。例如，控制器20的處理器比較位與先前在時鐘 周期CA期間發(fā)送給RFG 22的參數(shù)的值，并且一旦確定位和值之間存在匹配，則處理器確定 該RFG 22接收在時鐘周期CA期間發(fā)送的參數(shù)的值。另一方面，一旦確定位和值之間不存在 匹配，則處理器確定RFG 22不接收在時鐘周期CA期間發(fā)送的參數(shù)的值。
[0052] 在多種實施方式中，與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信息包括參數(shù)的測量值。例如，RFG 22包括測量參數(shù)的值的一個或多個傳感器，通過應(yīng)用通信協(xié)議從RFG 22發(fā)送測量值到控制 器20。由控制器20將測量值與先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的參數(shù)的值相比較，W 確定該參數(shù)的值是否由RFG 22先前接收。例如，控制器20的處理器處理有關(guān)參數(shù)的信息來 判定參數(shù)的計算值是否在經(jīng)由專用通信鏈路30先前在時鐘周期CA期間發(fā)送到RFG22的參數(shù) 的值的預(yù)先確定的范圍內(nèi)。在判定針對狀態(tài)的測量值是先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的針對狀態(tài)的參數(shù)的值的預(yù)先確定的范圍內(nèi)時，控制器20的處理器不修改在時鐘周期期 間發(fā)送到RFG 22的針對狀態(tài)的參數(shù)的值，所述時鐘周期例如時鐘周期CA、時鐘周期CB，或下 一時鐘周期CC。在時鐘周期CB之后發(fā)生下一時鐘周期CC。另一方面，一旦判定狀態(tài)的測量值 不在先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的針對狀態(tài)的參數(shù)的值的預(yù)先確定的范圍內(nèi)時， 控制器20的處理器將狀態(tài)的測量值修改成處于預(yù)先確定的范圍內(nèi)，W在下一時鐘周期期間 經(jīng)由專用通信鏈路30發(fā)送到RFG22。
[0053] 在一些實施方式中，與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息包括由控制器20的物理層23 的專用發(fā)送器先前在時鐘周期CA期間發(fā)送到RFG 22的物理層21的專用接收器的參數(shù)的設(shè) 定點。控制器20的處理器根據(jù)設(shè)定點判定是否RFG 22的物理層21的專用接收器先前在時鐘 周期CA期間接收參數(shù)的設(shè)定點。例如，當(dāng)判定從RFG 22通過控制器20接收的針對狀態(tài)的參 數(shù)的設(shè)定值在由控制器20先前在時鐘周期CA期間發(fā)送到RFG 22的參數(shù)的值的預(yù)先確定的 范圍內(nèi)，則控制器20的處理器確定不修改針對狀態(tài)的參數(shù)的設(shè)定點W在下一個時鐘周期期 間發(fā)送到RFG 22。另一方面，在確定從RFG 22由控制器20接收的針對狀態(tài)的參數(shù)的設(shè)定值 在由控制器20先前發(fā)送至RFG22的參數(shù)的值的預(yù)先確定的范圍之外時，控制器20的處理器 確定將針對狀態(tài)的參數(shù)的設(shè)定點修改成處于預(yù)先確定的范圍內(nèi)W用于在下一時鐘周期期 間發(fā)送到RFG 22。
[0054] 在一些實施方式中，當(dāng)確定與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息在時鐘周期CA期間從 控制器20向RFG 22先前發(fā)送的設(shè)定點的值的預(yù)先確定的范圍之外時，則控制器20的處理器 產(chǎn)生報警數(shù)據(jù)。報警數(shù)據(jù)由控制器20的處理器呈現(xiàn)在顯示設(shè)備上W顯示給用戶或W閃爍的 光發(fā)送器的形式顯示或W音頻輸出的形式提供來通知用戶等離子體系統(tǒng)10的一部分（例 如，RFG 22內(nèi)的一個或更多個組件、或等離子體室24內(nèi)的一個或多個部件、或IMC 14內(nèi)的一 個或多個組件，或它們的組合，等）出現(xiàn)故障或不操作。
[0055] 在一些實施方式中，RFG 22的專用處理器判定與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息是 否在先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的設(shè)定點的值的預(yù)先確定的范圍之外。當(dāng)判定與 一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息在先前在時鐘周期CA期間發(fā)送至RFG 22的設(shè)定點的值的預(yù) 先確定的范圍之外時，則RFG22的專用處理器產(chǎn)生報警數(shù)據(jù)。報警數(shù)據(jù)由RFG 22的專用處理 器發(fā)送到RFG 22的物理層23的專用發(fā)送器。RFG 22的物理層23的專用發(fā)送器Τχ產(chǎn)生包括作 為有效載荷的警報數(shù)據(jù)的一個或多個傳輸單元，并發(fā)送所述一個或多個傳輸單元至控制器 20的物理層23的專用接收器?？刂破?0的物理層23的專用接收器接收一個或多個傳輸單 元，并解析一個或多個傳輸單元W提取報警數(shù)據(jù)。報警數(shù)據(jù)從控制器20的專用接收器提供 給控制器20的處理器，并且控制器20的處理器在顯示裝置上呈現(xiàn)報警數(shù)據(jù)W顯示給用戶， 或W閃爍的光發(fā)送器的形式顯示報警數(shù)據(jù)或W音頻輸出的形式提供音頻數(shù)據(jù)來通知用戶 等離子體系統(tǒng)10的一部分出現(xiàn)故障或不操作。
[0056] 在若干實施方式中，控制器20提供室設(shè)施(例如，將被提供到等離子體室24的氣體 的類型、進入等離子體室24的處理氣體的速率、等離子體室24內(nèi)的壓強、卡盤18和上部電極 26等之間的分隔，等）W控制各種機構(gòu)件，例如，用于驅(qū)動用于控制卡盤18的運動與上部電 極26的運動的電機W控制在上部電極26和卡盤18之間的分隔的驅(qū)動器，用于提供功率給加 熱器W控制等離子體室24內(nèi)的溫度的功率源，用于驅(qū)動控制到等離子體室24中的處理氣體 的流速的閥的驅(qū)動器，用于驅(qū)動控制約束環(huán)的運動W控制等離子體室24內(nèi)的壓力的馬達的 驅(qū)動器，等。
[0057] 在多種實施方式中，應(yīng)用通信協(xié)議的專用接收器(例如，物理層21的接收器、物理 層23的接收器，等)不應(yīng)用錯誤檢查至傳輸單元，并不將錯誤指示給發(fā)送該傳輸單元的專用 發(fā)送器(例如，物理層21的發(fā)送器、物理層23的發(fā)送器，等）。例如，專用接收器不應(yīng)用校驗和 (checksum)至傳輸單元。作為另一例子，專用接收器不發(fā)送包括另一傳輸單元不從專用發(fā) 送器接收的消息的傳輸單元。在實時動態(tài)等離子體系統(tǒng)10中錯誤檢查和糾正的運種排除節(jié) 省了時間，并增大與等離子體系統(tǒng)10相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)速率。
[005引在一些實施方式中，如本文中所使用的專用接收器是應(yīng)用通信協(xié)議至一個或多個 傳輸單元W提取一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點或提取與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的 信息的收發(fā)器電路的部件。在運些實施方式中，專用接收器包括存儲器設(shè)備(例如，緩沖器、 隊列，等）W存儲所提取的一個或多個設(shè)定點或所提取的與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息， W通過控制器的處理器或連接到專用接收器的專用處理器來讀取。
[0059] 在多種實施方式中，如本文所用的專用發(fā)送器是應(yīng)用通信協(xié)議至一個或多個參數(shù) 的一個或多個設(shè)定點或與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元的收 發(fā)器電路的部件。在運些實施方式中，專用發(fā)送器包括存儲器設(shè)備(例如，緩沖器、隊列，等） W從控制器的處理器或連接到專用發(fā)送器的專用處理器接收一個或多個設(shè)定點或與一個 或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元。
[0060] 在若干實施方式中，如本文所用的物理層是既包括發(fā)送器電路又包括接收器電路 或應(yīng)用通信協(xié)議的通信裝置的收發(fā)器或裝置。
[0061] 圖1B是系統(tǒng)30的實施方式的示意圖，W說明控制器22和RFG 22之間的通信。控制 器22的處理器產(chǎn)生一個或更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點，并提供一個或多個設(shè)定點給 控制器22的物理層23的專用發(fā)送器Τχ?？刂破?2的物理層23的專用發(fā)送器應(yīng)用通信協(xié)議至 一個或更多個設(shè)定點，W產(chǎn)生一個或更多個傳輸單元，并在時鐘周期CA期間經(jīng)由專用通信 鏈路30發(fā)送一個或更多個傳輸單元給RFG 22的物理層21的接收器接口RxdRFG 22的物理層 21的接收器接口Rx應(yīng)用通信協(xié)議至一個或更多個傳輸單元，W提取一個或更多個設(shè)定點， 并提供一個或更多個設(shè)定點至RFG 22的專用處理器。
[0062] 專用處理器根據(jù)一個或更多個設(shè)定點判定設(shè)定點是否對應(yīng)于RF信號的狀態(tài)SO或 S1W及設(shè)定點是否是頻率值或功率值。此外，專用處理器判定從時鐘源接收到的時鐘信號 是否具有狀態(tài)S1或狀態(tài)SO。在確定設(shè)定點是針對RF信號的狀態(tài)S1和具有功率值時并確定時 鐘信號指示狀態(tài)S1時，專用處理器發(fā)送設(shè)定點至功率控制器PWR S1。另一方面，當(dāng)確定設(shè)定 點是針對射頻信號的狀態(tài)SO和具有功率值時并確定時鐘信號表示狀態(tài)SO時，專用處理器發(fā) 送設(shè)定點至功率控制器PWR SO。此外，在確定設(shè)定點是針對RF信號的狀態(tài)S1和具有頻率值 時并確定時鐘信號指示狀態(tài)S1時，專用處理器發(fā)送設(shè)定點至自動頻率調(diào)諧器(AFT)AFT S1。 在確定設(shè)定點是針對RF信號的狀態(tài)SO和具有頻率值時和確定時鐘信號表示狀態(tài)SO時，專用 處理器發(fā)送設(shè)定點至AFT SO。在一些實施方式中，AFT是控制器。
[0063] 在時鐘信號的狀態(tài)S1期間，功率控制器PWR S1產(chǎn)生驅(qū)動功率值，并且提供所述驅(qū) 動功率值至RFG 22的RF功率源，使得RFG 22產(chǎn)生具有所述驅(qū)動功率值的RF信號，所述驅(qū)動 功率值是根據(jù)針對RF信號的狀態(tài)S1的功率設(shè)定點確定的或與其相同。類似地，在時鐘信號 的狀態(tài)SO期間，功率控制器PWR SO產(chǎn)生驅(qū)動功率值，并且提供所述驅(qū)動功率值至RFG 22的 RF功率源，使得RFG 22產(chǎn)生具有驅(qū)動功率值的RF信號，所述驅(qū)動功率值是根據(jù)針對RF信號 的狀態(tài)SO的功率設(shè)定點確定的或與其相同。
[0064] 此外，在時鐘信號的狀態(tài)S1期間，AFT S1產(chǎn)生驅(qū)動頻率值，并提供頻率功率值至 RFG 22的RF功率源，使得RFG 22產(chǎn)生具有所述頻率功率值的RF信號，所述驅(qū)動頻率值根據(jù) 針對RF信號的狀態(tài)S1的頻率設(shè)定點確定或與其相同。類似地，在時鐘信號的狀態(tài)SO期間， AFT SO產(chǎn)生驅(qū)動頻率值，并提供所述頻率功率值至RFG 22的RF功率源，使得RFG 22產(chǎn)生具 有所述頻率功率值的RF信號，所述驅(qū)動頻率值是根據(jù)針對RF信號的狀態(tài)SO的頻率設(shè)定點確 定或與其相同。
[0065] 在一些實施方式中，設(shè)定點包括功率值或頻率值和RF信號的狀態(tài)，該值將在該狀 態(tài)期間實現(xiàn)。
[0066] 傳感器(例如，復(fù)電壓和電流傳感器、功率傳感器、阻抗傳感器等)測量在RFG 22的 輸出的一個或更多個參數(shù)。由RFG 22產(chǎn)生的RF信號經(jīng)由輸出發(fā)送至IMC 14。所測得的一個 或多個參數(shù)被提供至專用處理器，專用處理器產(chǎn)生與來自一個或多個測得的參數(shù)中的一個 或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。在一些實施方式中，與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息是測得的 一個或多個參數(shù)。專用處理器發(fā)送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息至RFG 22的物理層21的 專用發(fā)送器Τχ。
[0067] RFG 22的物理層21的專用發(fā)送器Τχ應(yīng)用通信協(xié)議至與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信 息，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元并在時鐘周期CB或時鐘CA或另一時鐘周期期間經(jīng)由專用通 信鏈路32發(fā)送一個或多個傳輸單元至控制器22的物理層23的專用接收器Rx。控制器22的物 理層23的專用接收器應(yīng)用通信協(xié)議W提取與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息并提供與一個 或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息至控制器22的處理器。
[0068] 控制器22的處理器根據(jù)與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息判定一個或多個參數(shù)的 一個或多個設(shè)定點是否將被修改，并且如果是的話，則產(chǎn)生修改的設(shè)定點。修改的設(shè)定點由 處理器提供至控制器20的物理層23的專用發(fā)送器?？刂破?0的物理層23的專用發(fā)送器應(yīng)用 通信協(xié)議至一個或多個設(shè)定點，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元，并在時鐘周期CC、在時鐘周期 CB、時鐘周期CA或另一時鐘周期期間經(jīng)由專用通信鏈路30發(fā)送一個或多個傳輸單元至RFG 22的專用發(fā)送器TxW用于修改由RFG 22產(chǎn)生的RF信號的一個或多個參數(shù)。
[0069] 圖2A是示出了系統(tǒng)202的實施方式的示意圖W說明在多個本地控制器、多個RF產(chǎn) 生器和主系統(tǒng)控制器204之間使用通信協(xié)議。系統(tǒng)202包括主計算機系統(tǒng)200,主計算機系統(tǒng) 200進一步包括本地控制器，如，共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制 器，和非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器等。主計算機系統(tǒng)200是控制器20的實施例（圖1A)。應(yīng)當(dāng)注意的是， 共控制器1被示為圖2A中乂oreBd-共處理#Γ。此外，共控制器2被示為在圖2A中的乂oreBd- 共處理#2"，而共控制器3被示出為在圖2A中乂 oreBd-共處理#3"。另外，原始控制功能共控 制器被示為在圖2A中乂 oreBd-原始控制功能"，而非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器被示為乂 oreBd-本地 主(非臨界數(shù)據(jù)處理器Γ。主計算機系統(tǒng)200還包括主系統(tǒng)控制器204和交換機212。
[0070] 主系統(tǒng)控制器204的處理器產(chǎn)生命令W發(fā)送給本地控制器中的一個。例如，主系統(tǒng) 控制器204的處理器產(chǎn)生包括用于RFG 1的一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點（例如，值 等）的命令。連接到主系統(tǒng)控制器204的物理層的發(fā)送器根據(jù)由主系統(tǒng)控制器204的處理器 通過應(yīng)用通信協(xié)議產(chǎn)生的命令產(chǎn)生一個或多個傳輸單元并經(jīng)由物理通信介質(zhì)207a的通信 鏈路發(fā)送一個或多個傳輸單元至交換機212,所述物理通信介質(zhì)207a的通信鏈路將與主系 統(tǒng)控制器204相關(guān)聯(lián)的物理層與交換機212相連接。與主系統(tǒng)控制器204相關(guān)聯(lián)的物理層是 連接到主系統(tǒng)控制器204的物理層。
[0071] 交換機212經(jīng)由物理通信介質(zhì)207b的專用通信鏈路傳送一個或多個傳輸單元至原 始控制功能共控制器的專用物理層202d的專用接收器，所述專用通信鏈路將交換機212連 接到專用接收器。例如，交換機212識別包含于傳輸單元的原始控制功能共控制器的目標端 口的身份并傳送所述傳輸單元至目標端口。
[0072] 連接到原始控制功能共控制器的專用物理層202d的專用接收器接收來自主系統(tǒng) 控制器204的一個或多個傳輸單元并應(yīng)用通信協(xié)議至一個或多個傳輸單元，W從一個或多 個傳輸單元提取命令。原始控制功能共控制器的專用物理層202d的專用接收器還判定該命 令指定要發(fā)送到RFG 1。所述命令和關(guān)于該命令指定要發(fā)送到RFG 1的判定是從專用物理層 202d的專用接收器提供給原始控制功能共控制器的處理器。原始控制功能共控制器的處理 器將命令和關(guān)于該命令指定要發(fā)送到RFG 1的判定提供至連接到原始控制功能共控制器的 專用板內(nèi)物理層208d。原始控制功能共控制器的專用板內(nèi)物理層208d經(jīng)由物理通信介質(zhì) 207c的專用通信鏈路發(fā)送命令至交換機212,它經(jīng)由物理通信介質(zhì)207d的專用通信鏈路傳 送命令至連接到共控制器1的專用板內(nèi)物理層208曰。專用板內(nèi)物理層208a發(fā)送命令至共控 制器1的處理器。共控制器1的處理器根據(jù)命令和關(guān)于該命令被指定要發(fā)送到RFG 1的判定 來判定一個或多個參數(shù)(例如，參數(shù)的設(shè)定點、參數(shù)值，等)將被發(fā)送至RFG 1，并提供包括一 個或多個參數(shù)的控制信號至連接至共控制器1的專用物理層202a的專用發(fā)送器。
[0073] 共控制器1的專用物理層202a的專用發(fā)送器應(yīng)用通信協(xié)議至一個或多個參數(shù)，W 產(chǎn)生一個或多個傳輸單元并在時鐘周期CA期間經(jīng)由物理通信介質(zhì)206a的專用通信鏈路DCL 1發(fā)送一個或多個傳輸單元至RFG 1的物理層203a的專用接收器。物理層203a的專用接收器 應(yīng)用通信協(xié)議至一個或多個傳輸單元，W從一個或多個傳輸單元提取一個或多個參數(shù)，并 提供一個或多個參數(shù)至RFG 1的專用處理器。RFG 1的專用處理器控制RFG 1的RF功率源，W 產(chǎn)生具有從共控制器1接收的一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點（例如，一個或多個值， 等)的RF信號。
[0074] RFG 1的專用處理器產(chǎn)生與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信息，并提供信息至RFG 1的物 理層203a的專用發(fā)送器。RFG 1的物理層203a的專用發(fā)送器應(yīng)用通信協(xié)議至與一個或多個 參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元并在時鐘周期CB或時鐘周期CA或其他時鐘 周期期間使該一個或多個傳輸單元經(jīng)由物理通信介質(zhì)206a的專用通信鏈路DCL 2與連接到 共控制器1的專用物理層202a的專用接收器通信。
[0075] 專用物理層202a的專用接收器應(yīng)用通信協(xié)議W從一個或多個傳輸單元提取與一 個或多個參數(shù)相關(guān)的信息，并提供該信息到共控制器1的處理器。共控制器1的處理器提供 與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息給與共控制器1連接的專用板內(nèi)物理層208a。專用板內(nèi)物 理層208a經(jīng)由物理通信介質(zhì)207d的專用通信鏈路發(fā)送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息至 交換機212。交換機212經(jīng)由物理通信介質(zhì)207c的專用通信鏈路傳送與一個或多個參數(shù)相關(guān) 聯(lián)的信息至連接到原始控制功能共控制器的專用板內(nèi)物理層208d。專用板內(nèi)物理層208d提 供與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息至原始控制功能控制器的處理器。原始控制功能控制器 的處理器發(fā)送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息至連接到原始控制功能控制器的專用物理 層202d的專用發(fā)送器。連接到原始控制功能控制器的專用物理層202d的專用發(fā)送器應(yīng)用通 信協(xié)議至與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元并經(jīng)由物理通信介 質(zhì)207b的專用通信鏈路發(fā)送一個或多個傳輸單元至交換機212。交換機212根據(jù)一個或多個 傳輸單元判定一個或多個傳輸單元被指定要發(fā)送給主系統(tǒng)控制器204,并且經(jīng)由物理通信 介質(zhì)207a發(fā)送一個或多個傳輸單元至與主系統(tǒng)控制器204相關(guān)聯(lián)的物理層的接收器。交換 機212經(jīng)由物理通信介質(zhì)207a的通信鏈路傳送一個或多個傳輸單元至與主系統(tǒng)控制器204 相關(guān)聯(lián)的物理層的接收器。
[0076] 與主系統(tǒng)控制器204相關(guān)聯(lián)的物理層的接收器應(yīng)用通信協(xié)議W提取與一個或多個 參數(shù)有關(guān)的信息，并提供該信息到主系統(tǒng)控制器204的處理器。主系統(tǒng)控制器204的處理器 根據(jù)與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息判定針對相同的狀態(tài)是否修改一個或多個參數(shù)的值， 針對該狀態(tài)先前在時鐘周期CA期間一個或多個參數(shù)由控制器1發(fā)送到RFG 1。一旦確定修改 一個或多個參數(shù)的一個或多個值，那么將修改的一個或多個值W類似于上面描述的方式通 過共控制器1發(fā)送至RFG 1。另一方面，在確定不修改一個或多個參數(shù)的值時，將未修改的值 W類似于上述的方式經(jīng)由共控制器1發(fā)送到RFG 1。在時鐘周期CA或在時鐘周期CA之后的任 何其他時鐘周期期間共控制器1發(fā)送修改或未修改的值。
[0077] 在一些實施方式中，主系統(tǒng)控制器204使用傳輸控制協(xié)議(TCP)或TCP經(jīng)過IP與RFG 通信。
[007引在一些實施方式中，命令由主系統(tǒng)控制器204指定W發(fā)送到RFG 2或RFG 3而不是 RFG 1。當(dāng)命令指定被發(fā)送到RFG 2時，命令W與命令被發(fā)送到RFG 1的上述方式類似的方式 發(fā)送，不同的是，該命令經(jīng)由物理通信介質(zhì)207曰、交換機212、物理通信介質(zhì)207e的專用通信 鏈路、連接到共控制器2的專用板內(nèi)物理層208b、物理通信介質(zhì)206b的專用通信鏈路、RFG 2 的物理層203b的專用接收器203b被發(fā)送至RFG 2的專用處理器。此外，當(dāng)命令指定要發(fā)送到 RFG 3時，該命令W與命令被發(fā)送到RFG 1的上述方式類似的方式發(fā)送，不同的是，該命令經(jīng) 由物理通信介質(zhì)207a、交換機212、物理通信介質(zhì)207f的專用通信鏈路、連接到共控制器3的 專用板內(nèi)物理層208c、物理通信介質(zhì)206c的專用通信鏈路、和RFG 3的物理層203c的專用接 收器被發(fā)送至RFG 3的專用處理器。
[0079] 在一些實施方式中，命令從主系統(tǒng)控制器204同時或順序地發(fā)送到所有的RFG 1、 Rre 2、和Rre 3。
[0080] 在多種實施方式中，與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信息由RFG 2產(chǎn)生，并從物理層203b 的專用發(fā)送器經(jīng)由物理通信介質(zhì)206b的專用通信鏈路、物理層208b的專用接收器、連接到 共控制器2的專用板內(nèi)物理層20化、物理通信介質(zhì)207e的專用通信鏈路、交換機212、和物理 通信介質(zhì)207a的通信鏈路發(fā)送至主系統(tǒng)控制器204。此外，與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信息由 RFG 3產(chǎn)生，并從物理層203c的專用發(fā)送器經(jīng)由物理通信介質(zhì)206c的專用通信鏈路、物理層 202c的專用接收器、連接到共控制器3的專用板內(nèi)物理層208c、物理通信介質(zhì)207f的專用通 信鏈路、交換機212和物理通信介質(zhì)207a的通信鏈路發(fā)送至主系統(tǒng)控制器204。
[0081] 在一些實施方式中，共控制器1、專用物理層202曰、和專用板內(nèi)物理層208a位于板 209a上。此外，共控制器2、專用物理層20化和專用板內(nèi)物理層208b位于板209b上。另外，共 控制器3、專用物理層202c和專用板內(nèi)物理層208c位于板209c上。原始控制功能共控制器、 專用物理層202d和專用板內(nèi)物理層208d位于板209d上。非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器、連接到非關(guān)鍵 數(shù)據(jù)控制器的物理層，和連接到非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器的專用板內(nèi)物理層位于板209e上。在一 些實施方式中，板為印刷電路板。
[0082] 在多種實施方式中，系統(tǒng)202中使用的板的數(shù)量隨著使用的RF產(chǎn)生器的數(shù)量一起 修改。例如，如果系統(tǒng)202包括RFG1和RFG2,則使用電路板209a和209b，而不使用板209c。
[0083] 在一些實施方式中，系統(tǒng)202不包括板209e和例如非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器、連接到非關(guān) 鍵數(shù)據(jù)控制器的物理層，和連接到非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器的專用板內(nèi)物理層之類的部件。
[0084] 在多種實施方式中，RFG 1、RFG 2、RFG 3和主系統(tǒng)控制器204中的每個包括TCP/IP 端口并通過雌?八?端口相互通信。
[0085] 在一些實施方式中，通過連接到主系統(tǒng)控制器204的物理層或通過連接到主系統(tǒng) 控制器204、一個或多個RFG的TCP/IP端口配置主系統(tǒng)控制器204。例如，主系統(tǒng)控制器204通 過連接到主系統(tǒng)控制器204的TCP/IP端口和連接到RFG 1的TCP/IP端口發(fā)送命令至RFG 1， 并且該命令對RFG 1的物理層203a指示與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息要被發(fā)送至共控制 器1。此外，主系統(tǒng)控制器204通過連接到主系統(tǒng)控制器204的TCP/IP端口和連接到RFG 2的 TCP/IP端口發(fā)送命令至RFG 2,并且該命令對RFG 2的物理層203b指示與一個或多個參數(shù)相 關(guān)聯(lián)的信息要被發(fā)送至共控制器2。主系統(tǒng)控制器204通過連接到主系統(tǒng)控制器204的TCP/ IP端口和連接到RFG 3的TCP/IP端口發(fā)送命令到RFG 3,并且該命令對RFG 3的物理層203c 指示與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息要被發(fā)送至共控制器3。作為另一例子，通過連接到主 系統(tǒng)控制器204的物理層和連接到Rre的共享物理層配置每個Rre。
[0086] 在一些實施方式中，與共控制器相關(guān)聯(lián)(例如，連接，等)的物理層的專用發(fā)送器不 能發(fā)送一個或多個傳輸單元到多于一個的RFG。類似地，在多種實施方式中，RFG的物理層的 專用發(fā)送器不能發(fā)送一個或多個傳輸單元給多于一個的共控制器。此外，在一些實施方式 中，與共控制器相關(guān)聯(lián)的物理層的專用接收器不能從多于一個的RFG接收一個或多個傳輸 單元。在若干實施方式中，RFG的物理層的專用接收器不能從多于一個的共控制器接收一個 或多個傳輸單元。
[0087] 在多種實施方式中，在與共控制器相關(guān)聯(lián)的專用物理層和與RFG相關(guān)聯(lián)的專用物 理層(例如，連接到RFG的專用處理器的物理層)之間存在雙推送。例如，不存在通過共控制 器產(chǎn)生的用于發(fā)送給RFG的專用處理器W提供與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息的請求。一 旦RFG被配置為通過主系統(tǒng)控制器204或通過共控制器傳送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信 息，與RFG相關(guān)聯(lián)的專用物理層連續(xù)地發(fā)送(例如，沒有被請求，等)具有與一個或多個參數(shù) 相關(guān)聯(lián)的信息的一個或多個傳輸單元至與共控制器相關(guān)聯(lián)的專用物理層。與RFG相關(guān)聯(lián)的 專用物理層連續(xù)地發(fā)送具有該信息的一個或多個傳輸單元，直到主系統(tǒng)控制器204或共控 制器發(fā)送命令到RFGW停止發(fā)送與一個或多個參數(shù)有關(guān)的信息。此外，不存在由RFG的專用 處理器產(chǎn)生的用于請求共控制器發(fā)送一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點的請求。共控制 器被編程W從RFG接收與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息，并分析該信息W判定是否修改一 個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點W用于發(fā)送給RFG。
[0088] 圖2B是系統(tǒng)211的實施方式的示意圖，W說明多個共控制器位于在同一板213(例 如印刷電路板等)上而不是在分離的板上。在系統(tǒng)211中，沒有使用專用板內(nèi)物理層，例如， 板內(nèi)接收器和板內(nèi)發(fā)送器等。系統(tǒng)211類似于系統(tǒng)202(圖2A)，不同的是系統(tǒng)211包括主計算 機系統(tǒng)217,主計算機系統(tǒng)217是控制器20(圖1A)的實施例。主計算機系統(tǒng)217不具有專用板 內(nèi)物理層。此外，系統(tǒng)211不具有交換機212。在系統(tǒng)211中，連接到主控制器204的物理層用 于發(fā)送命令或接收與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。此外，主控制器204經(jīng)由物理通信介質(zhì) 219連接到專用物理層202d。替代經(jīng)由物理通信介質(zhì)207a(圖2A)、交換機212,和專用物理通 信線路207b(圖2A)與主系統(tǒng)控制器204進行通信，專用物理通信介質(zhì)219用于使一個或多個 傳輸單元在專用物理層202d和連接到主系統(tǒng)控制器204的物理層之間通信。另外，系統(tǒng)211 具有使共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器，和非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器互 連的并行總線215。替代經(jīng)由專用板內(nèi)物理層和交換機212在共控制器之間通信，主計算機 系統(tǒng)217的共控制器經(jīng)由總線215彼此進行通信。
[0089] 在一些實施方式中，總線215是專用的并定制成在共控制器1、共控制器2、共控制 器3、原始控制功能共控制器和非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器之間通信。例如，總線215有利于共控制器 1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器中的任何兩個之間 W納秒的數(shù)量級通信。共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非關(guān) 鍵數(shù)據(jù)控制器中的每個連接到通用輸入/輸出（GPI0)控制器，GPI0控制器通過多個GPI0引 腳進一步連接到總線215"GPI0控制器執(zhí)行各種功能，例如，基于總線215的帶寬，共控制器 1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器之間的協(xié)商通信速 率等控制共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非關(guān)鍵數(shù)據(jù)控制器 之中的通信速率。
[0090] 在一些實施方式中，每個共控制器和連接到共控制器的專用物理層是在單獨的板 上。例如，共控制器1與專用物理層202a位于第一印刷電路板上，共控制器2和專用物理層 20化位于第二印刷電路板上，而共控制器3和專用物理層202c位于第Ξ印刷電路板上。每個 板通過相應(yīng)的GPI0控制器和相應(yīng)的GPI0引腳連接到總線215上。運樣的板的配置提供了模 塊化，并便于板的連接和拆卸。
[0091] 在多種實施方式中，專用物理層203a位于RFG 1內(nèi)，專用物理層203b位于RFG 2內(nèi)， 并且專用物理層203c位于RFG 3內(nèi)。
[0092] 圖2C是系統(tǒng)250的實施方式W說明專用板內(nèi)物理層254a、254b和254c，與共控制器 1、2和3之間的點對點通信的示意圖。系統(tǒng)250類似于系統(tǒng)202(圖2A)，所不同的是系統(tǒng)250不 包括板209d和209e(圖2A)和交換機212(圖2A)。在系統(tǒng)250中，專用板內(nèi)物理層254a、254bW 及254c中的每一個被連接到主系統(tǒng)控制器204。此外，專用板內(nèi)物理層254a經(jīng)由專用物理通 信介質(zhì)256a連接到專用板內(nèi)物理層208曰，專用板內(nèi)物理層254b經(jīng)由專用物理通信介質(zhì)25化 連接到專用板內(nèi)物理層208b，而專用板內(nèi)物理層254c經(jīng)由專用物理通信介質(zhì)256c連接到專 用板內(nèi)物理層208c。板209a、209b和209c位于主計算機系統(tǒng)252內(nèi)，主計算機系統(tǒng)252是控制 器20 (圖1A)的實施例。
[0093] 另外，在系統(tǒng)250中，命令是從連接至主系統(tǒng)控制器204的專用板內(nèi)物理層254a經(jīng) 由專用物理通信介質(zhì)256a發(fā)送至專用板內(nèi)物理層208曰，或命令從連接至主系統(tǒng)控制器204 的專用板內(nèi)物理層254b經(jīng)由專用通信介質(zhì)25化發(fā)送到專用板內(nèi)物理層208b，和/或指令從 連接到主系統(tǒng)控制器204的專用板內(nèi)物理層254c經(jīng)由專用物理通信介質(zhì)256c發(fā)送到專用板 內(nèi)物理層208c。同樣，在系統(tǒng)250中，當(dāng)與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息從RFG 1接收時，該 信息從連接至共控制器1的專用板內(nèi)物理層208a經(jīng)由專用物理通信介質(zhì)256a發(fā)送到連接至 主系統(tǒng)控制器204的專用板內(nèi)物理層254a。另外，當(dāng)與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息從RFG 2接收時，該信息從連接至共控制器2的專用板內(nèi)物理層208b經(jīng)由專用物理通信介質(zhì)256b發(fā) 送到連接至主系統(tǒng)控制器204的專用板內(nèi)物理層254b。另外，當(dāng)與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的 信息從RFG 3接收時，該信息從連接至共控制器3的專用板內(nèi)物理層208c經(jīng)由專用物理通信 介質(zhì)256c發(fā)送到連接至主系統(tǒng)控制器204的專用板內(nèi)物理層254c。
[0094] 在一些實施方式中，由主系統(tǒng)控制器204執(zhí)行的本文所述的操作描由共控制器1、 共控制器2,或共控制器3執(zhí)行。例如，替代主系統(tǒng)控制器基于與從RFG 1接收的一個或多個 參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息來判定是否觸發(fā)報警，共控制器進行判定。作為另一實施例，替代主系統(tǒng) 控制器204應(yīng)用計算機產(chǎn)生的模型來確定要提供給RFG 1的參數(shù)的設(shè)定點，共控制器1進行 確定。下面進一步描述計算機產(chǎn)生的模型。
[00M]圖3是說明傳輸單元300(例如，數(shù)據(jù)報，數(shù)據(jù)包等)的一種實施方式的示意圖。傳輸 單元包括報頭字段和有效載荷字段，例如，包括與針對RF信號的一個或多個狀態(tài)的一個或 多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息的字段，包括針對一個或多個狀態(tài)的參數(shù)的設(shè)定點的字段，包括參 數(shù)的類型的字段等。參數(shù)的類型的例子包括RF信號的功率、頻率、脈沖寬度等。報頭字段包 括用于傳輸單元從其被發(fā)送的源端口的身份標識的字段，用于指定為接收傳輸單元的目的 端口的身份標識的字段，用于報頭和連接到報頭的有效載荷的組合長度的字段，W及用于 校驗和值的字段。
[0096] 在多種實施方式中，傳輸單元300被定制(例如，使用定制的協(xié)議產(chǎn)生等）W排除用 于識別源端口的源端口字段和用于識別的目的端口的目的端口字段。在點對點通信中，無 需識別源端口和目的端口。該排除增大了控制器20和RFG22(圖1A)之間的數(shù)據(jù)速率。
[0097] 在一些實施方式中，報頭被定制（例如，使用定制的協(xié)議產(chǎn)生等）W排除用于校驗 和值的字段和/或用于有效載荷和報頭的組合長度的字段。該排除增大了控制器20和RFG 22之間的數(shù)據(jù)速率。
[009引在多種實施方式中，校驗和值由發(fā)送傳輸單元300的發(fā)送器(例如，源端口等）產(chǎn) 生。校驗和值從傳輸單元300的有效載荷、或傳輸單元300的報頭或它們的組合產(chǎn)生。校驗和 值與由傳輸單元300的接收器(例如，目的端口，等)計算出的另一校驗和值比較，W判定傳 輸單元300的有效載荷和/或報頭在從發(fā)送器到接收器的傳送過程中是否修改。
[0099] 在一些實施方式中，數(shù)據(jù)報被嵌入IP數(shù)據(jù)包中，IP數(shù)據(jù)包進一步嵌入W太網(wǎng)數(shù)據(jù) 包中。
[0100] 在多種實施方式中，傳輸單元300被定制（例如，使用定制的協(xié)議產(chǎn)生，等)使得字 段在與圖3所示的位置不同的位置。例如，用于有效載荷的字段在用于長度的字段之前。作 為另一示例，用于目的端口的字段在用于源端口的字段之前或用于長度的字段之后。定制 協(xié)議是由產(chǎn)生一個或多個定制的傳輸單元的物理層應(yīng)用，所述一個或多個定制的傳輸單元 是采用定制的協(xié)議產(chǎn)生的傳輸單元。
[0101] 圖4是多個曲線圖402至404的示意圖W說明RF信號406的多個狀態(tài)so至Sn，其中η 是大于0的整數(shù)。RF信號406是由RF產(chǎn)生器所產(chǎn)生的RF信號的例子。曲線圖402描繪時鐘信號 408(例如，晶體管-晶體管邏輯(ΤΤυ信號，等)與時間t的關(guān)系。曲線圖404繪制了 RF信號406 與時間t的關(guān)系。當(dāng)時鐘信號408處于狀態(tài)1(例如，高狀態(tài)、高電平，等)時，RF信號406具有多 個狀態(tài)50、51、52、53、54等直到狀態(tài)5(11-1)和511。例如，1?。信號406具有八個狀態(tài)50到57。作 為另一實施例，RF信號406具有20個狀態(tài)SO至S20。多個狀態(tài)SO至Sn對應(yīng)于RF信號406的高狀 態(tài)，例如，當(dāng)時鐘信號408處于狀態(tài)0 (例如，低狀態(tài)、低電平，等)時，在每個狀態(tài)的RF信號406 的功率值比RF信號406的功率值高。
[0102] RF信號406同步于時鐘信號408。例如，當(dāng)時鐘信號408在高狀態(tài)時，RF信號406也處 于高狀態(tài)，例如，當(dāng)時鐘信號處于狀態(tài)0時，狀態(tài)SO至Sn的RF值大于RF信號406的RF值，等。作 為另一實施例，當(dāng)時鐘信號408處于低狀態(tài)時，RF信號406也處于低狀態(tài)，例如，當(dāng)時鐘信號 處于狀態(tài)1時，RF信號406的RF值低于在狀態(tài)SO至Sn的RF信號的RF值，等。
[0103] 在一些實施方式中，替代或附加于RF信號406在時鐘信號408的高狀態(tài)期間具有多 種狀態(tài)，RF信號406在時鐘信號408的低狀態(tài)期間具有多個狀態(tài)。在時鐘信號408的低狀態(tài)期 間的具有多個狀態(tài)的RF信號406的RF值比在時鐘信號408的高狀態(tài)期間RF信號的RF值低。
[0104] 在一些實施方式中，在時鐘信號408處于狀態(tài)加寸出現(xiàn)類似于RF信號的狀態(tài)S1至Sn 的一個或多個狀態(tài)。例如，RF信號在時鐘信號408在狀態(tài)1時具有多個狀態(tài)，并在時鐘信號 408處于狀態(tài)加寸具有多個狀態(tài)。
[0105] 在一些實施方式中，在時鐘信號408處于狀態(tài)加寸出現(xiàn)類似于RF信號的狀態(tài)S1至Sn 的一個或多個狀態(tài)，在時鐘信號408處于狀態(tài)1時不出現(xiàn)RF信號的狀態(tài)S1至Sn。
[0106] 在多種實施方式中，RF信號406為正弦形式。例如，每一個狀態(tài)期間，RF信號振蕩W 形成正弦信號。
[0107] 圖5是系統(tǒng)500的實施方式的示意圖W說明本地處理器板系統(tǒng)510和RFG之間W及 本地處理器板系統(tǒng)510和另一本地處理器板系統(tǒng)514之間的數(shù)據(jù)通信。本地處理器板系統(tǒng) 510是板209a(圖2A)、或板209b(圖2A)、或板209c(圖2A)的實施例。本地處理器板系統(tǒng)514是 板209d(圖2A)的例子。RFG是RFG1、或RFG2、或RFG3的實施例。
[010引RFG被配置為引發(fā)發(fā)送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息經(jīng)由RFG的物理層521至本 地處理器板系統(tǒng)510dRFG由本地處理器板系統(tǒng)514的處理器經(jīng)由本地處理器板系統(tǒng)514的共 享物理層513、物理通信介質(zhì)527的共享通信鏈路、和RFG的物理層52配置。例如，共享物理層 513應(yīng)用通信協(xié)議至配置信息，W產(chǎn)生一個或多個傳輸單元。物理層521經(jīng)由物理通信介質(zhì) 527的共享通信鏈路從共享物理層513接收具有配置信息的一個或多個傳輸單元。物理層 521應(yīng)用通信協(xié)議至具有配置信息的一個或多個傳輸單元W提取配置信息并提供配置信息 給RFG的專用處理器。在閱讀了配置信息時，RFG的專用處理器確定引發(fā)發(fā)送與一個或多個 參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。當(dāng)確定要發(fā)送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息時，RFG的專用處理器將 信息發(fā)送到RFG的專用物理層523W應(yīng)用通信協(xié)議來產(chǎn)生一個或多個傳輸單元。
[0109] 共享的物理層513和物理通信介質(zhì)527的共享通信鏈路在RFGURFG2和RFG3之間共 享。例如，本地處理器板系統(tǒng)514的處理器配置RFG 1的專用物理層、RFG 2的專用物理層和 RFG 3的專用物理層W引發(fā)發(fā)送與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。通過從共享物理層513經(jīng) 由物理通信介質(zhì)527的共享通信鏈路發(fā)送配置命令到RFG 1、RFG 2和RFG 3中的每個的物理 層完成配置。RFG 1、RFG 2和RFG 3中的每個經(jīng)由其相應(yīng)的物理層連接到物理通信介質(zhì)527。
[0110] RFG的專用物理層523在由本地處理器板系統(tǒng)514配置時，通過應(yīng)用UDP或定制協(xié)議 至與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息來產(chǎn)生一個或多個傳輸單元。RFG的專用物理層523的專 用的發(fā)送器經(jīng)由物理通信介質(zhì)507的專用通信鏈路506將具有與一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的 信息的一個或多個傳輸單元等推送(例如，傳送等)至本地處理器板系統(tǒng)510的物理層502， 例如，忍片，集成電路等。然后，本地處理器板系統(tǒng)510的物理層502的專用發(fā)送器產(chǎn)生包括 關(guān)于一個或多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點（例如，一個或多個值，等）的傳輸單元，例如， 傳輸單元300(圖3)，等。在一些實施方式中，設(shè)定點由本地處理器板系統(tǒng)510從主系統(tǒng)控制 器204(圖2A)接收。
[0111] 基于與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息來產(chǎn)生設(shè)定點。例如，與一個或更多個參數(shù) 關(guān)聯(lián)的信息與預(yù)先確定的范圍比較，W產(chǎn)生設(shè)定點。產(chǎn)生設(shè)定點，使得與在設(shè)定點發(fā)送至 RFG之后接收的一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息位于預(yù)先確定的范圍內(nèi)。圖6提供了由物理層 502的專用發(fā)送器產(chǎn)生并發(fā)送的傳輸單元的示例。一個或更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定 點關(guān)聯(lián)于RF信號等的一個或更多個狀態(tài)，例如狀態(tài)SO和S1、或者狀態(tài)SO、或者狀態(tài)S1、或者 狀態(tài)SO和S1W及S2、或者狀態(tài)SO至S2、或者狀態(tài)SO至S3、或者狀態(tài)SO至S4、或者狀態(tài)SO至S5、 或者狀態(tài)SO至S(n-l)、或者狀態(tài)SO至Sn等。物理層502的專用發(fā)送器經(jīng)由物理通信介質(zhì)507 的專用通信鏈路504將傳輸單元發(fā)送至RFG(例如RFG1等)的物理層523的專用接收器。
[0112] RFG產(chǎn)生具有經(jīng)由專用通信鏈路504接收的設(shè)定點的RF信號?；赗F信號，與一個 或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息由RFG產(chǎn)生并由物理層523的專用發(fā)送器封裝在一個或更多個傳 輸單元內(nèi)。然后，物理層502的專用接收器從RFG的物理層523的專用發(fā)送器，經(jīng)由物理通信 介質(zhì)507的專用通信鏈路506接收包含與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息的一個或更多個傳 輸單元(例如傳輸單元300等）。圖7提供了由物理層502的專用接收器接收的傳輸單元的示 例。
[0113] 物理層502的專用接收器應(yīng)用通信協(xié)議來從傳輸單元提取與一個或更多個參數(shù)關(guān) 聯(lián)的信息，并將該信息提供至處理器，例如本地處理器板系統(tǒng)510的共控制器1的處理器、或 者共控制器2的處理器、或者共控制器3的處理器等。在一些實施例中，當(dāng)本地處理器板系統(tǒng) 510具有與其集成的共控制器1時，RFG是RFG1，并且RFG的物理層是物理層203a(圖2A)。此 夕h當(dāng)本地處理器板系統(tǒng)510具有與其集成的共控制器2時，RFG是RFG2,并且RFG的物理層是 物理層203b(圖2A)。此外，當(dāng)本地處理器板系統(tǒng)510具有與其集成的共控制器3時，RFG是 RFG3,并且RFG的物理層是物理層203c (圖2A)。
[0114] 本地處理器板系統(tǒng)510的處理器從與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息確定與RF信號 的一個或更多個狀態(tài)(例如狀態(tài)SO和S1、或者狀態(tài)SO、或者狀態(tài)S1、或者狀態(tài)SO和S1W及S2、 或者狀態(tài)SO至S2、或者狀態(tài)SO至S3、或者狀態(tài)SO至S4、或者狀態(tài)SO至S5、或者狀態(tài)SO至S(n- 1)、或者狀態(tài)SO至Sn等)關(guān)聯(lián)的一個或更多個設(shè)定點是要修改的，并修改一個或更多個設(shè)定 點，W產(chǎn)生一個或更多個修改的設(shè)定點。
[0115] 本地處理器板系統(tǒng)510的處理器將一個或更多個修改的設(shè)定點提供至物理層502 的專用發(fā)送器。物理層502的專用發(fā)送器對一個或更多個修改的設(shè)定點適用通信協(xié)議W產(chǎn) 生傳輸單元(例如傳輸單元300、圖6所示的傳輸單元等），并經(jīng)由專用通信鏈路506將該傳輸 單元發(fā)送至RFG的物理層523的專用接收器。在各種實施例中，由本地處理器板系統(tǒng)410從主 系統(tǒng)控制器204接收一個或更多個修改的設(shè)定點。
[0116] 在一些實施例中，在本地處理器板系統(tǒng)510與本地處理器板系統(tǒng)514之間有板對板 通信。作為示例，與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息從與本地處理器板系統(tǒng)510的共控制器 (例如共控制器1、共控制器2、共控制器3等)連接的物理層516的專用發(fā)送器Τχ2,經(jīng)由物理 通信介質(zhì)519的第一專用通信鏈路，傳輸至本地處理器板系統(tǒng)514的物理層512的專用接收 器。物理層512的專用接收器將與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息發(fā)送至與物理層512和513 連接的共控制器，例如共控制器1、共控制器2、共控制器3、基本控制功能共控制器等。作為 另一個示例，一個或更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點由本地處理器板系統(tǒng)514的物理層 512的專用發(fā)送器從本地處理器板系統(tǒng)514的共控制器接收，并由專用發(fā)送器經(jīng)由物理通信 介質(zhì)519的專用通信鏈路發(fā)送至本地處理器板系統(tǒng)510的物理層516的專用接收器。
[0117] 在一些實施例中，本地處理器板系統(tǒng)514包含主系統(tǒng)控制器204(圖2Α)，而非共控 制器。
[0118] 在多種實施例中，由本地處理器板系統(tǒng)510的物理層502的專用接收器從RFG的物 理層523的專用發(fā)送器接收傳輸單元的速率大于或者等于傳輸單元從物理層502的專用發(fā) 送器發(fā)送到RFG的物理層523的專用接收器的速率。運樣的匹配的或者增加的接收速率便于 本地處理器板系統(tǒng)510的處理器基于從RFG的物理層523的專用發(fā)送器接收的傳輸單元中的 一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息，確定是否要修改針對一個或更多個狀態(tài)的一個或更多個 參數(shù)的一個或更多個值。
[0119] 在一些實施例中，由物理層502的專用接收器從RFG的物理層523的專用發(fā)送器接 收傳輸單元的速率，小于傳輸單元從本地處理器板系統(tǒng)510的專用發(fā)送器發(fā)送到RFG的物理 層523的專用接收器的速率。
[0120] 在實施例中，專用發(fā)送器(例如本地處理器板系統(tǒng)510的物理層502的發(fā)送器、RFG 的物理層523的專用發(fā)送器等)通過將多個傳輸單元組合來產(chǎn)生突發(fā)(burst)傳輸單元(例 如突發(fā)數(shù)據(jù)包、突發(fā)帖等），W產(chǎn)生一系列傳輸單元。突發(fā)傳輸單元減小每個傳輸單元的開 銷，并且與分開發(fā)送傳輸單元相比實現(xiàn)更高的數(shù)據(jù)速率。例如，每個傳輸單元中的源端口和 目的地端口的身份的指示是不需要的。在該示例中，對于被組合的多個傳輸單元指示源端 口和/或目的地端口。作為另一個示例，在突發(fā)傳輸單元的情況下，突發(fā)傳輸單元內(nèi)的每個 數(shù)據(jù)包的報頭是不需要的，例如指示數(shù)據(jù)包的開始和終止的分離位是不需要的等。例如，在 成帖的突發(fā)傳輸單元的情況下，在帖中的第一數(shù)據(jù)包之前使用報頭，并且帖中的剩余數(shù)據(jù) 包不具有報頭。第一數(shù)據(jù)包之前的報頭指示帖的開始。運樣的減小的是有效載荷，節(jié)省時 間，并增大數(shù)據(jù)傳輸速率。
[0121] 此外，由本地處理器板系統(tǒng)510的專用發(fā)送器產(chǎn)生并組合多個傳輸單元所花費的 時間允許本地處理器板系統(tǒng)510或者主系統(tǒng)控制器204的處理器在模型的輸出處計算輸出 數(shù)據(jù)和/或產(chǎn)生等離子體系統(tǒng)10的一部分的模型（圖1A)。等離子體系統(tǒng)10的一部分(例如RF 線纜16(圖1A)、IMC14(圖1A)、RF傳送線12(圖1A)、吸盤18(圖1A)、RF線纜16和IMC14的組合、 RF線纜16和IMC14和RF傳送線12的組合、或者RF線纜16和IMC14和RF傳送線12和吸盤18的組 合等）的模型存儲在本地處理器板系統(tǒng)510的存儲器設(shè)備或者主系統(tǒng)控制器204的存儲器設(shè) 備中。模型具有與等離子體系統(tǒng)10的部分的特性類似的特性，例如電容、電感、復(fù)功率、復(fù)電 壓和電流等。例如，模型與等離子體系統(tǒng)10的部分內(nèi)具有相同數(shù)量的電容器和/或電感器， 并且電容器和/或電感器彼此W與等離子體系統(tǒng)10的部分內(nèi)的電容器和/或電感器的連接 方式相同的方式連接，例如串聯(lián)、并聯(lián)等。舉例而言，當(dāng)IMC14包含與電感器串聯(lián)禪合的電容 器時，IMC14的模型也包含與電感器串聯(lián)禪合的電容器。
[0122] 作為另一個示例，等離子體系統(tǒng)10的部分包含一個或更多個電組件，并且模型是 該部分的設(shè)計，例如計算機產(chǎn)生的模型等。在一些實施例中，計算機產(chǎn)生的模型基于經(jīng)由輸 入硬件單元從用戶接收的輸入信號，由本地處理器板系統(tǒng)510或者主系統(tǒng)控制器204的處理 器產(chǎn)生。輸入信號包含關(guān)于哪些電組件(例如電容器、電感器等)要包含在模型中、W及電組 件互相彼此禪合的方式(例如串聯(lián)、并聯(lián)等)的信號。作為又一個示例，等離子體系統(tǒng)10的部 分包含硬件電組件和在電組件之間的硬件連接，并且模型包含硬件電組件和硬件連接的軟 件表示。本文使用的電組件的示例包含電阻器、電容器、和電感器。
[0123] 在一些實施例中，主系統(tǒng)控制器204或者本地處理器板系統(tǒng)510的處理器基于輸入 至模型的數(shù)據(jù)W及模型的組件的特性，在模型的輸出處產(chǎn)生輸出數(shù)據(jù)。例如，由主系統(tǒng)控制 器204或者本地處理器板系統(tǒng)510的處理器計算模型的電組件的復(fù)電壓與模型的輸入節(jié)點 處的復(fù)電壓的直和(directionalsum)，W計算模型的輸出節(jié)點處的復(fù)電壓。輸入節(jié)點處的 復(fù)電壓是與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息的示例。作為另一個示例，由主系統(tǒng)控制器204或 者本地處理器板系統(tǒng)510的處理器計算模型的電組件的復(fù)電流與模型的輸入節(jié)點處的復(fù)電 流的直和，W計算模型的輸出節(jié)點處的復(fù)電流。輸入節(jié)點處的復(fù)電流是與一個或更多個參 數(shù)關(guān)聯(lián)的信息的示例。應(yīng)該注意的是，在一些實施例中，主系統(tǒng)控制器204或者本地處理器 板系統(tǒng)510的處理器根據(jù)與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息，計算復(fù)電壓、復(fù)電流、或者復(fù)電 壓和電流。模型的輸入節(jié)點處的輸入的示例包含由物理層502的專用接收器從RFG接收的一 個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息。輸出節(jié)點處的輸出由主系統(tǒng)控制器204或者本地處理器板 系統(tǒng)510的處理器使用，W確定是否針對時鐘周期(例如時鐘周期CC、時鐘周期CA、時鐘周期 CB等)期間的RF信號的一個或更多個狀態(tài)(例如狀態(tài)SO至S7的任一個等)修改參數(shù)的值。
[0124] 在多種實施例中，主系統(tǒng)控制器204或者本地處理器板系統(tǒng)510的處理器從一個或 更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息抽取數(shù)據(jù)，W減小信息量。例如，主系統(tǒng)控制器204或者本地處理 器板系統(tǒng)510的處理器對一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息應(yīng)用統(tǒng)計操作(諸如例如插入排 序操作、或者合并排序操作、或者移動四分位距(IQR)計算操作、或者四分位距計算操作、或 者最大值計算操作、或者最小值計算操作、或者均值計算操作、或者中位數(shù)值計算方法、或 者方差值計算方法、或者標準偏差值計算方法、或者移動均值計算方法、或者移動中位數(shù)值 計算方法、或者移動方差值計算方法、或者移動標準偏差值計算方法、或者模式、或者移動 模式、或者其組合等），W從與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息的多個值產(chǎn)生第一統(tǒng)計值。主 系統(tǒng)控制器204或者本地處理器板系統(tǒng)510的處理器將第一統(tǒng)計值與由處理器根據(jù)先前的 時鐘周期（例如時鐘周期CA等)期間發(fā)送的一個或更多個設(shè)定點產(chǎn)生的第二統(tǒng)計值進行比 較。當(dāng)從第二統(tǒng)計值確定第一統(tǒng)計值不在預(yù)先確定的范圍內(nèi)時，主控制器系統(tǒng)204或者本地 處理器板系統(tǒng)510的處理器修改一個或更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點來實現(xiàn)第一統(tǒng)計 值并W上述方式將一個或更多個修改的設(shè)定點發(fā)送至RFG。另一方面，當(dāng)從第二統(tǒng)計值確定 第一統(tǒng)計值在預(yù)先確定的范圍內(nèi)時，主控制器系統(tǒng)204或者本地處理器板系統(tǒng)510的處理器 不修改一個或更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點，并將一個或更多個設(shè)定點重新發(fā)送至 RFG。
[0125] 在多種實施例中，第一統(tǒng)計值由主控制器系統(tǒng)204或者本地處理器板系統(tǒng)510的處 理器使用，W確定是否產(chǎn)生警報數(shù)據(jù)。例如，當(dāng)從第二統(tǒng)計值確定為第一統(tǒng)計值不在預(yù)先確 定的范圍內(nèi)時，主控制器系統(tǒng)204或者本地處理器板系統(tǒng)510的處理器產(chǎn)生警報數(shù)據(jù)。另一 方面，當(dāng)從第二統(tǒng)計值確定為第一統(tǒng)計值在預(yù)先確定的范圍內(nèi)時，主控制器系統(tǒng)204或者本 地處理器板系統(tǒng)510的處理器不產(chǎn)生警報數(shù)據(jù)。警報數(shù)據(jù)由主系統(tǒng)控制器204或者本地處理 器板系統(tǒng)510的處理器擅染，W顯示在顯示器設(shè)備上或者由上述其他機構(gòu)顯示。
[0126] 在一些實施例中，使用與被用于將針對第二狀態(tài)(例如狀態(tài)S1等）的參數(shù)的值通信 的傳輸單元不同的傳輸單元，將針對RF信號的第一狀態(tài)(例如狀態(tài)SO等）的參數(shù)的值從控制 器通信至RFG。在該實施例中，使用與被用于將針對第二狀態(tài)的參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息通信的傳 輸單元不同的傳輸單元，將針對第一狀態(tài)的參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息從RFG通信至控制器。
[0127] 在多種實施例中，使用與被用于將針對第二組狀態(tài)（例如狀態(tài)S2、S3、和/或S4等） 的參數(shù)的值傳送的傳輸單元不同的傳輸單元，將針對RF信號的第一組狀態(tài)(例如狀態(tài)SO和/ 或S1等）的參數(shù)的值從控制器傳送至RFG。在該實施例中，使用與被用于將針對第二組狀態(tài) 的參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息傳送的傳輸單元不同的傳輸單元，將針對第一組狀態(tài)的參數(shù)所關(guān)聯(lián)的 信息從Rre傳送至控制器。
[01%]在一些實施例中，經(jīng)由交換機212(圖2A)在物理層512與516之間發(fā)生通信，而非在 物理層512與516之間的板對板通信。
[0129] 在若干實施例中，共享物理層513位于本地處理器板系統(tǒng)510,而非本地處理器板 系統(tǒng)514。例如，本地處理器板系統(tǒng)510的共控制器經(jīng)由物理通信介質(zhì)527和物理層521的共 享通信鏈路，配置Rre的專用物理層523。
[0130] 圖6是數(shù)據(jù)報的實施例，該數(shù)據(jù)報從共控制器所關(guān)聯(lián)的物理層(例如物理層202a、 或者物理層20化、或者物理層202c (圖2A)等)發(fā)送至RFG的物理層(例如物理層203a、或者物 理層203b、或者物理層203c(圖2A)等）。該數(shù)據(jù)報包含針對RF信號的狀態(tài)SO至Sn的功率和頻 率設(shè)定點。每個設(shè)定點轉(zhuǎn)換為多個字節(jié)，例如Μ個字節(jié)，其中Μ是整數(shù)。例如，Μ是4或者8或者 16或者32或者64等。Μ的值依賴于由處理器(例如共控制器1、共控制器2、共控制器3等)處理 和/或禪合至共控制器的專用物理層的速度。
[0131] 在多種實施例中，附加于或替代提供功率和頻率設(shè)定點，脈沖寬度被提供作為針 對RF信號的狀態(tài)的設(shè)定點。例如，對于RF信號的8個狀態(tài)，RF信號的8個不同脈沖寬度被提供 作為8個設(shè)定點。
[0132] 在一些實施例中，針對狀態(tài)S1至Sn的多頻設(shè)定點由控制器20使用IMC14的計算機 產(chǎn)生的模型（圖1A)計算。對于IMC的計算機產(chǎn)生的模型的輸出處的給定阻抗ZoW及IMC的計 算機產(chǎn)生的模型的一個或更多個可變電容器的電容值C1，計算多頻設(shè)定點中的每個來實現(xiàn) IMC14的計算機產(chǎn)生的模型的輸入處的參數(shù)(例如反射系數(shù)、反射功率等）的最小值。例如， 對于狀態(tài)S1，對于給定的阻抗ZoW及一個或更多個可變電容器的電容值C1，計算頻率設(shè)定 點n(RFG22將W該頻率設(shè)定點η操作），W實現(xiàn)IMC14的計算機產(chǎn)生的模型的輸入處的反射 系數(shù)的最小值η。作為另一個示例，對于狀態(tài)S2,對于給定的阻抗ZoW及一個或更多個可變 電容器的電容值C1，計算頻率設(shè)定點f2(RFG22W頻率設(shè)定點f2操作），W實現(xiàn)IMC14的計算 機產(chǎn)生的模型的輸入處的反射系數(shù)的最小值i2JMC14的計算機產(chǎn)生的模型的輸出處的阻 抗根據(jù)由傳感器在RFG22的輸出處（圖1A)測得的阻抗W及根據(jù)IMC14的計算機產(chǎn)生的模型 的元件的值計算。多頻設(shè)定點W塊(例如帖、一個或更多個傳輸單元等)從控制器20經(jīng)由專 用通信鏈路30(圖1A)發(fā)送至RFG22，W便RFG22使用多頻設(shè)定點此陜速速率操作，W實現(xiàn)反 射系數(shù)的最小值。例如，當(dāng)RFG22是y兆赫RF產(chǎn)生器且連接至IMC14的另一個RF產(chǎn)生器是XI千 赫或者x2兆赫RF產(chǎn)生器或者yMHzRF產(chǎn)生器時，RFG22在xl千赫或者x2兆赫RF產(chǎn)生器或者y兆 赫RF產(chǎn)生器的操作周期期間循環(huán)通過狀態(tài)S1至Sruy兆赫RF產(chǎn)生器的示例包含60兆赫RF產(chǎn) 生器或者27兆赫RF產(chǎn)生器。xl千赫RF產(chǎn)生器的示例包含400千赫RF產(chǎn)生器。X巧^赫RF產(chǎn)生器 的示例包含巧^赫RF產(chǎn)生器。y兆赫RF產(chǎn)生器的示例包含27兆赫RF產(chǎn)生器。
[0133] 圖7示出了突發(fā)傳輸單元(例如帖等）的實施例，其包含多個傳輸單元(例如多個子 數(shù)據(jù)包等），該多個傳輸單元包含用來從RFG22(圖1A)發(fā)送至控制器20的一個或更多個參數(shù) 所關(guān)聯(lián)的信息W被控制器20監(jiān)控（圖1A)。例如，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息1是由RFG22輸送的功 率，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息2是從由RFG22輸送至IMC14的RF信號確定的伽馬的實部，子數(shù)據(jù)包1 內(nèi)的信息3是伽馬的虛部，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息4是從發(fā)生的時鐘信號的時鐘沿起經(jīng)過的時 間量，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息5是由RFG22供應(yīng)至IMC14的RF信號的調(diào)諧頻率，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信 息6是RFG22的內(nèi)部設(shè)定點，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息7是時間戳，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息8是狀態(tài)矢 量，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息9是由RFG22輸送的RF信號的二次諧波頻率處的均方根電壓，子數(shù)據(jù) 包1內(nèi)的信息10是二次諧波頻率處的均方根電流，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息11是RF信號的Ξ次諧 波頻率處的電壓，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息12是Ξ次諧波頻率處的電流，子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息13 是RF信號的第四諧波頻率處的電壓，并且子數(shù)據(jù)包1內(nèi)的信息14是第四諧波頻率處的電流 等。在該示例中，信息1至14是針對RF信號的相同狀態(tài)的不同參數(shù)的值。由RFG22輸送的功率 被功率傳感器測量，該功率傳感器位于RFG22內(nèi)并禪合至RFG22的輸出，具有該功率的RF信 號在該輸出處輸送給IMC14。在一些實施例中，由RFG22輸送的功率作為設(shè)定點由控制器20 提供至RFG22"RFG22的內(nèi)部設(shè)定點的示例包含從控制器20接收的功率設(shè)定點、或者從控制 器20接收的頻率設(shè)定點。時間戳的示例包含故障發(fā)生的時間，或者RF信號的狀態(tài)修改的時 間等。在一些實施例中，諧波頻率處的電壓和電流由連接至RFG22的輸出的電壓和電流傳感 器測量。
[0134] 作為另一個示例，信息1是針對狀態(tài)SO的參數(shù)的值，信息2是針對RF信號的狀態(tài)S1 的參數(shù)的值，信息3是針對RF信號的狀態(tài)S2的參數(shù)的值，信息4是針對RF信號的狀態(tài)S3的參 數(shù)的值，信息5是針對RF信號的狀態(tài)S4的參數(shù)的值，信息6是針對RF信號的狀態(tài)S5的參數(shù)的 值，信息7是針對RF信號的狀態(tài)S6的參數(shù)的值，信息8是針對RF信號的狀態(tài)S7的參數(shù)的值，信 息9是針對RF信號的狀態(tài)S8的參數(shù)的值，信息10是針對RF信號的狀態(tài)S9的參數(shù)的值，信息11 是針對RF信號的狀態(tài)S10的參數(shù)的值，信息12是針對RF信號的狀態(tài)S11的參數(shù)的值，信息13 是針對RF信號的狀態(tài)S12的參數(shù)的值，信息14是針對RF信號的狀態(tài)S13的參數(shù)的值。在該示 例中，信息條1至14是針對RF信號的不同狀態(tài)的相同參數(shù)的值。
[0135] 多個傳輸單元(例如多個子數(shù)據(jù)包等)在帖中W突發(fā)模式發(fā)送，其中，信息1至14從 RFG22的物理層發(fā)送至控制器20的物理層。信息1至14中的每個轉(zhuǎn)換為多個字節(jié)，例如Μ個字 節(jié)等。Μ的值依賴于由處理器(例如RFG1的專用處理器、RFG2的專用處理器、RFG3的專用處理 器等)處理和/或禪合至專用處理器的專用物理層的速度。
[0136] 在多種實施例中，子數(shù)據(jù)包包含Ρ條信息，例如12條、13條等，其中Ρ是大于零的整 數(shù)。
[0137] 在一些實施例中，突發(fā)傳輸單元從控制器20發(fā)送至RFG22(圖1Α)。從控制器20發(fā)送 至RFG22的突發(fā)傳輸單元具有與圖7所示的突發(fā)傳輸單元的格式類似的格式，因為該突發(fā)傳 輸單元包含多個數(shù)據(jù)包(例如數(shù)據(jù)報等）。
[0138] 圖8是曲線圖802,示出了RF信號的RF脈沖內(nèi)的RF信號的參數(shù)的修改。曲線圖802包 含:要產(chǎn)生的RF信號的功率的值與時間t的關(guān)系曲線圖806;RF信號的頻率的值與時間的關(guān) 系曲線圖804; W及時鐘信號的曲線圖808。曲線圖802示出了由RFG22的專用物理層21 (圖 1A)從控制器20的專用物理層23(圖1A)接收的傳輸單元，并由專用物理層21的專用接收器 將傳輸單元采樣W提取一個或更多個參數(shù)的示例。例如，曲線圖804示出了由與RFG1連接的 專用物理層203a(圖2A)從連接至共控制器20的控制器1的專用物理層202a(圖2A)接收的傳 輸單元的示例。物理層23的專用發(fā)送器創(chuàng)建傳輸單元，該傳輸單元包含針對RF信號的狀態(tài) SO至S7的參數(shù)的值。應(yīng)該注意的是曲線圖802中示出的點A對應(yīng)于RF信號的狀態(tài)S0,點B對應(yīng) 于RF信號的狀態(tài)S1，點C對應(yīng)于RF信號的狀態(tài)S2，點D對應(yīng)于RF信號的狀態(tài)S3，點E對應(yīng)于RF 信號的狀態(tài)S4，點F對應(yīng)于RF信號的狀態(tài)S5，點G對應(yīng)于RF信號的狀態(tài)S6，并且點Η對應(yīng)于RF 信號的狀態(tài)S7。在一些實施例中，RF信號的任何其他數(shù)量的狀態(tài)被用于曲線圖802。
[0139] 針對RF信號的狀態(tài)SO的功率設(shè)定點和針對狀態(tài)SO的頻率設(shè)定點運兩者在點A由 RFG22的專用物理層21的專用接收器采樣，針對RF信號的狀態(tài)S1的功率設(shè)定點和針對狀態(tài) S1的頻率設(shè)定點在點B由RFG22的專用物理層21的專用接收器采樣，針對RF信號的狀態(tài)S2的 功率設(shè)定點和針對狀態(tài)S2的頻率設(shè)定點在點C由RFG22的專用物理層21的專用接收器采樣， 針對RF信號的狀態(tài)S3的功率設(shè)定點和針對狀態(tài)S3的頻率設(shè)定點在點D由RFG22的專用物理 層21的專用接收器采樣，針對RF信號的狀態(tài)S4的功率設(shè)定點和針對狀態(tài)S4的頻率設(shè)定點在 點E由RFG22的專用物理層21的專用接收器采樣，針對RF信號的狀態(tài)S5的功率設(shè)定點和針對 狀態(tài)S5的頻率設(shè)定點在點F由RFG22的專用物理層21的專用接收器采樣，針對RF信號的狀態(tài) S6的功率設(shè)定點和針對狀態(tài)S6的頻率設(shè)定點在點G由RFG22的專用物理層21的專用接收器 采樣，并且針對RF信號的狀態(tài)S7的功率設(shè)定點和針對狀態(tài)S7的頻率設(shè)定點在點Η由RFG22的 專用物理層21的專用接收器采樣。在時鐘信號的時鐘周期的終止處，控制器的專用物理層 23的專用發(fā)送器經(jīng)由物理通信介質(zhì)31(圖1Α)的專用通信鏈路30(圖1Α)將傳輸單元推送至 RFG22的專用物理層21的專用接收器。在一些實施例中，傳輸單元在每個時鐘周期的終止處 被推送。
[0140] 圖9是一種方法的實施例的流程圖，其示出了通過使用RFG22的專用發(fā)送器與控制 器20之間的通信協(xié)議來推送一個或更多個傳輸單元。如圖9所示，RFG22包含一個或更多個 脈沖間過渡控制器，W控制由RFG22產(chǎn)生的RF信號的2個連續(xù)狀態(tài)之間的過渡狀態(tài)期間的頻 率。例如，在RF信號從一個狀態(tài)過渡到另一個連續(xù)狀態(tài)的時間段，脈沖間過渡控制器提供要 由RFG22的RF電源產(chǎn)生的RF信號的頻率。此外，如圖9所示，RFG22包含一個或更多個脈沖間 過渡控制器，W控制由RFG22產(chǎn)生的RF信號的2個連續(xù)狀態(tài)之間的過渡狀態(tài)期間的功率量。 例如，在RF信號從一個狀態(tài)過渡到另一個連續(xù)狀態(tài)的時間段，脈沖間過渡控制器提供要由 RFG22的RF電源產(chǎn)生的RF信號的功率量。此外，RFG22包含一個或更多個AFTW在由RFG22產(chǎn) 生的RF信號的狀態(tài)S1至Sn期間控制頻率。例如，當(dāng)RF信號處于狀態(tài)SO或者狀態(tài)S1時，AFT提 供要由RFG22的RF電源產(chǎn)生的RF信號的頻率。另外，RFG22包含一個或更多個內(nèi)部脈沖功率 控制器，W在由RFG22產(chǎn)生的RF信號的狀態(tài)SO至Sn期間控制功率量。例如，內(nèi)部脈沖功率控 制器在RF信號為狀態(tài)S(n-l)或者狀態(tài)Sn的時間段，提供要由RFG22的RF電源產(chǎn)生的RF信號 的功率量。
[0141] 在突發(fā)模式期間，與一個或更多個參數(shù)(例如在RF信號從一個狀態(tài)過渡到另一個 連續(xù)狀態(tài)的期間的RF信號的頻率、在RF信號于2個連續(xù)狀態(tài)之間過渡的期間的RF信號的功 率、在RF信號為狀態(tài)S(n-l)或者狀態(tài)Sn的時間期間的RF信號的頻率、W及在RF信號為狀態(tài)S (n-1)或者狀態(tài)Sn的時間期間的RF信號的功率等)關(guān)聯(lián)的信息由RFG22的專用發(fā)送器嵌入在 一個或更多個傳輸單元內(nèi)，并經(jīng)由專用通信鏈路32從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器發(fā)送 至控制器20的專用接收器(例如控制器20的物理層23的專用接收器）?？刂破?0的物理層23 的專用接收器應(yīng)用通信協(xié)議，W提取與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息，并將該信息提供給 與RFG22關(guān)聯(lián)的共控制器(例如共控制器1等）。例如，共控制器1與RFG1連接并因此關(guān)聯(lián)。作 為另一個示例，共控制器2與RFG2連接并因此關(guān)聯(lián)，并且共控制器3與RFG3連接并因此關(guān)聯(lián)。
[0142] 共控制器W上述方式將與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息提供給主系統(tǒng)控制器204 (圖2A-2C)。主系統(tǒng)控制器204將等離子體系統(tǒng)10的部分的模型應(yīng)用至一個或更多個參數(shù)所 關(guān)聯(lián)的信息，W便W上述方式產(chǎn)生用于一個或更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點。在一些 實施例中，主系統(tǒng)控制器204基于與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息，基于與一個或更多個參 數(shù)關(guān)聯(lián)的信息，來確定是否產(chǎn)生警報數(shù)據(jù);和/或基于該信息，來確定是否修改針對一個或 更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點?？刂破?0的物理層23的專用發(fā)送器(例如連接至控制 器20的共控制器1等的物理層202a的專用發(fā)送器（圖2A))W上述方式，從主系統(tǒng)控制器204 接收針對一個或更多個參數(shù)的一個或更多個設(shè)定點，并應(yīng)用通信協(xié)議來產(chǎn)生包含一個或更 多個設(shè)定點的一個或更多個傳輸單元。一個或更多個傳輸單元從控制器20的物理層23的專 用發(fā)送器經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30,發(fā)送至RFG22的物理層21的專用接收器 (例如，連接共控制器1的RFG1的物理層203a的專用接收器等）。
[0143] RFG22的物理層21的專用接收器接收一個或更多個傳輸單元，并對一個或更多個 傳輸單元應(yīng)用通信協(xié)議來解析一個或更多個傳輸單元，并提取針對一個或更多個參數(shù)的一 個或更多個設(shè)定點，W提供給RFG22的專用處理器。一個或更多個設(shè)定點由RFG22的專用處 理器分析，W確定設(shè)定點是否是將在2個連續(xù)狀態(tài)之間的過渡期間產(chǎn)生的RF信號的頻率、或 者將在該過渡期間產(chǎn)生的RF信號的功率、或者將在狀態(tài)S(n-l)或者Sn期間產(chǎn)生的RF信號的 功率、或者將在狀態(tài)S(n-l)或者Sn期間產(chǎn)生的RF信號的頻率。基于該確定，RFG22的專用處 理器提供用于過渡的頻率設(shè)定點至RFG22的脈沖間過渡頻率控制器，提供用于過渡的功率 設(shè)定點至RFG22的脈沖間過渡功率控制器，向RFG22的AFT提供將在狀態(tài)期間應(yīng)用的頻率設(shè) 定點，并向RFG22的脈沖間功率控制器提供將在該狀態(tài)期間應(yīng)用的功率設(shè)定點。RFG22的RF 電源從RFG22的脈沖件過渡頻率控制器接收用于過渡的該頻率設(shè)定點，從另一個RFG22的脈 沖間過渡功率控制器接收用于過渡的功率設(shè)定點，從RFG22的AFT接收用于狀態(tài)S(n-l)或者 Sn的頻率設(shè)定點，并從RFG22的內(nèi)部脈沖功率控制器接收用于狀態(tài)S(n-l)或者Sn的功率設(shè) 定點，從而產(chǎn)生具有在過渡期間的該頻率設(shè)定點、在過渡期間的功率設(shè)定點、用于狀態(tài)S(n- 1)或者Sn的頻率設(shè)定點、W及用于狀態(tài)S(n-l)或者Sn的功率設(shè)定點的RF信號。
[0144] 圖10A是示出一種方法的實施例的圖，該方法通過分析與用于狀態(tài)的一個或更多 個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息來修改用于狀態(tài)的參數(shù)的值。使用曲線圖1002和表格1008來示出該方 法。曲線圖1002包含傳輸單元與時間t的關(guān)系曲線圖1006,時間t是使用時鐘信號測量的。
[0145] 控制器20的處理器(例如共控制器1的處理器、共控制器2的處理器、共控制器3的 處理器、主系統(tǒng)控制器204的處理器等）處理從由控制器20的專用物理層23的專用接收器 (圖1A)接收在傳輸單元1R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，而控制器 20的專用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收 在傳輸單元2R內(nèi)。例如，共控制器1或者主系統(tǒng)控制器204處理由物理層202a的專用接收器 (圖2A)經(jīng)由物理通信介質(zhì)206a的專用通信鏈路（圖2A)從與RFG1關(guān)聯(lián)的物理層203a的專用 發(fā)送器（圖2A)接收的傳輸單元1R所產(chǎn)生的參數(shù)的值，而物理層202a的專用接收器經(jīng)由專用 通信鏈路從連接至RFG1的專用發(fā)送器接收傳輸單元2R?？刂破?0的處理器基于從與接收在 傳輸單元1R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳輸單元3S內(nèi)的將 發(fā)送至RFG22的參數(shù)的值要修改，例如在表格1008中指示為從傳輸單元3S修改成傳輸單元 3S'。修改的參數(shù)由控制器20的物理層23的專用發(fā)送器嵌入在傳輸單元3S'內(nèi)，并且經(jīng)由物 理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30發(fā)送至RFG22的物理層21的專用接收器。例如，修改的參數(shù) 由連接至共控制器1的物理層202a的專用發(fā)送器嵌入在傳輸單元3S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信 介質(zhì)206a的專用通信鏈路發(fā)送至與RFG1關(guān)聯(lián)的物理層203a的專用接收器。
[0146] 類似地，主計算機系統(tǒng)200的處理器處理從由控制器20的物理層23的專用接收器 接收在傳輸單元2R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，而物理層23的專 用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收在傳輸 單元3R內(nèi)?？刂破?0的處理器基于從與接收在傳輸單元2R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信 息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳輸單元4S內(nèi)的將發(fā)送至RFG的參數(shù)的值要修改，例如在表格 1008中指示為從4S修改成4S'等。修改的參數(shù)由控制器20的物理層23的專用發(fā)送器嵌入在 傳輸單元4S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30(圖1A)發(fā)送至RFG22的專用物 理層21。
[0147] 另外，類似地，主計算機系統(tǒng)200的處理器處理從由控制器20的物理層23的專用接 收器接收在傳輸單元3R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，而物理層23 的專用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收在 傳輸單元4R內(nèi)。主計算機系統(tǒng)控制器200的處理器基于從與接收在傳輸單元3R內(nèi)的一個或 更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳輸單元5S內(nèi)的將發(fā)送至RFG的參數(shù)的值 要修改，例如在表格1008中指示為從5S修改成傳輸單元5S'等。修改的參數(shù)由控制器20的物 理層23的專用發(fā)送器嵌入在傳輸單元5S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30 發(fā)送至RFG22的專用物理層21。
[0148] 另外，類似地，主計算機系統(tǒng)200的處理器處理從由控制器20的物理層23的專用接 收器接收在傳輸單元4R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，而物理層23 的專用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收在 傳輸單元5R內(nèi)。主計算機系統(tǒng)控制器200的處理器基于從與接收在傳輸單元4R內(nèi)的一個或 更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳輸單元6S內(nèi)的將發(fā)送至RFG的參數(shù)的值 要修改，例如在表格1008中指示為從6S修改成傳輸單元6S'等。修改的參數(shù)由控制器20的物 理層23的專用發(fā)送器嵌入在傳輸單元6S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30 發(fā)送至RFG22的專用物理層21。
[0149] 在一些實施例中，在接收傳輸單元1R與發(fā)送傳輸單元3S'之間；接收傳輸單元2R與 發(fā)送傳輸單元4S '之間；接收傳輸單元3R與發(fā)送傳輸單元5S '之間；W及接收傳輸單元4R與 發(fā)送傳輸單元6S'之間有固定的延遲。
[0150] 圖10B是示出了一種方法的實施例的圖，該方法通過分析與針對狀態(tài)的一個或更 多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息來修改針對該狀態(tài)的參數(shù)的值。使用曲線圖1020和表格1022來示出該 方法。曲線圖1020包含傳輸單元與時間t的關(guān)系圖1024。
[0151] 在控制器20的專用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一個或更多個參 數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收在傳輸單元2R內(nèi)之前，控制器20的處理器(例如共控制器1的處理器、共 控制器2的處理器、共控制器3的處理器、主系統(tǒng)控制器204的處理器等)處理從由控制器20 的專用物理層23的專用接收器（圖1A)接收在傳輸單元1R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的 信息產(chǎn)生的參數(shù)的值。例如，在連接至共控制器1的專用接收器經(jīng)由專用通信鏈路從與RFG1 關(guān)聯(lián)的專用發(fā)送器接收傳輸單元2R之前，共控制器1或者主系統(tǒng)控制器204處理由物理層 202a的專用接收器（圖2A)經(jīng)由物理通信介質(zhì)206a的專用通信鏈路（圖2A)從與RFG1關(guān)聯(lián)的 物理層203a的專用發(fā)送器（圖2A)接收的傳輸單元1R所產(chǎn)生的參數(shù)的值?？刂破?0的處理器 基于從與接收在傳輸單元1R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳 輸單元3S內(nèi)的將發(fā)送至RFG22的參數(shù)的值要修改，例如在表格1022中指示為從傳輸單元3S 修改至傳輸單元3S'等。修改的參數(shù)由控制器20的物理層23的專用發(fā)送器嵌入在傳輸單元 3S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30發(fā)送至RFG22的物理層21的專用接收 器。例如，修改的參數(shù)由連接至共控制器1的物理層202a的專用發(fā)送器嵌入在傳輸單元3S' 內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)206a的專用通信鏈路發(fā)送至與RFG1關(guān)聯(lián)的物理層203a的專用接 收器。
[0152] 類似地，在物理層23的專用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一個或 更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收在傳輸單元3R內(nèi)之前，主計算機系統(tǒng)200的處理器處理從由控 制器20的物理層23的專用接收器接收在傳輸單元2R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的信息 產(chǎn)生的參數(shù)的值。控制器20的處理器基于從與接收在傳輸單元2R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)關(guān) 聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳輸單元4S內(nèi)的將發(fā)送至RFG的參數(shù)的值要修改，例如在 表格1022中指示為從4S修改成傳輸單元4S'等。修改的參數(shù)由控制器20的物理層23的專用 發(fā)送器嵌入在傳輸單元4S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30(圖1A)發(fā)送至 RFG22的專用物理層21。
[0153] 另外，類似地，在物理層23的專用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一 個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收在傳輸單元4R內(nèi)之前，主計算機系統(tǒng)200的處理器處理從 由控制器20的物理層23的專用接收器接收在傳輸單元3R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的 信息產(chǎn)生的參數(shù)的值?？刂破?0的處理器基于從與接收在傳輸單元3R內(nèi)的一個或更多個參 數(shù)關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳輸單元5S內(nèi)的將發(fā)送至RFG22的參數(shù)的值要修改， 例如在表格1022中指示為從5S修改成5S'等。修改的參數(shù)由控制器20的物理層23的專用發(fā) 送器嵌入在傳輸單元5S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路30發(fā)送至RFG22的專 用物理層21。
[0154] 另外，類似地，在物理層23的專用接收器從RFG22的物理層21的專用發(fā)送器將與一 個或更多個參數(shù)關(guān)聯(lián)的信息接收在傳輸單元5R內(nèi)之前，主計算機系統(tǒng)200的處理器處理從 由控制器20的物理層23的專用接收器接收在傳輸單元4R內(nèi)的一個或更多個參數(shù)所關(guān)聯(lián)的 信息產(chǎn)生的參數(shù)的值?？刂破?0的處理器基于從與接收在傳輸單元4R內(nèi)的一個或更多個參 數(shù)關(guān)聯(lián)的信息產(chǎn)生的參數(shù)的值，確定在傳輸單元6S內(nèi)的將發(fā)送至RFG22的參數(shù)的值要修改， 例如在表格1022中指示為從傳輸單元6S修改成傳輸單元6S'等。修改的參數(shù)由控制器20的 物理層23的專用發(fā)送器嵌入在傳輸單元6S'內(nèi)，并且經(jīng)由物理通信介質(zhì)31的專用通信鏈路 30發(fā)送至RFG22的專用物理層21。
[0155] 應(yīng)該注意的是與傳輸單元xR連續(xù)地接收傳輸單元(x+l)R，其中X是大于零的整數(shù)。 例如，在傳輸單元1R和2R之間接收器不接收傳輸單元。類似地，應(yīng)該注意的是，與傳輸單元 xS連續(xù)地發(fā)送傳輸單元(x+l)S。例如，在傳輸單元3S和4S之間發(fā)送器不發(fā)送傳輸單元。
[0156] 在一些實施例中，在發(fā)送傳輸單元3S '之后不接收傳輸單元2R。例如，傳輸單元3S' 包含指示該RFG要關(guān)斷(例如W零功率操作等）的參數(shù)。在運種情況下，主計算機系統(tǒng)200不 接收傳輸單元2R。
[0157] 還要注意的是，盡管上述實施例設(shè)及向卡盤18的下電極（圖1A)提供修改的RF信號 并將上電極26接地（圖1A)，但在若干實施例中，修改的RF信號可W提供給上電極26而卡盤 18的下電極接地。
[0158] 在一些實施例中，RFG的處理器本文稱作RFG的專用處理器。在多種實施例中，專用 處理器是Rre內(nèi)的處理器。
[0159] 本文說明的實施例可W用多種計算機系統(tǒng)配置付諸實踐，運些計算機系統(tǒng)配置包 含手持硬件單元、微處理器系統(tǒng)、基于微處理器或者可編程消費電子產(chǎn)品、小型計算機、大 型計算機等。本文說明的實施例還能夠在分布式計算環(huán)境中付諸實踐，其中任務(wù)由通過計 算機網(wǎng)絡(luò)鏈接的遠程處理硬件單元執(zhí)行。
[0160] 在一些實施方式中，控制器是系統(tǒng)的一部分，該系統(tǒng)可W是上述實例的一部分。系 統(tǒng)可W包括半導(dǎo)體處理設(shè)備，半導(dǎo)體處理設(shè)備包括一個或多個處理工具、一個或多個處理 室、用于處理的一個或多個平臺和/或具體的處理組件（晶片基座、氣流系統(tǒng)等）。系統(tǒng)可W 與用于控制它在處理半導(dǎo)體晶片或襯底之前、期間和之后的操作的電子器件一體化。電子 器件可W稱為"控制器"，該控制器可W控制系統(tǒng)的各種元件或子部件。根據(jù)處理要求和/或 系統(tǒng)的類型，控制器可W被編程W控制本文公開的任何工藝，包括控制工藝氣體輸送、溫度 設(shè)置(例如，加熱和/或冷卻）、壓強設(shè)置、真空設(shè)置、功率設(shè)置、射頻發(fā)生器設(shè)置、RF匹配電路 設(shè)置、頻率設(shè)置、流速設(shè)置、流體輸送設(shè)置、位置及操作設(shè)置、晶片轉(zhuǎn)移進出工具和其他轉(zhuǎn)移 工具和/或與具體系統(tǒng)連接或通過接口連接的裝載鎖。
[0161] 寬泛地講，在多種實施方式中，控制器可W定義為接收指令、發(fā)布指令、控制操作、 啟用清洗操作、啟用端點測量等等的具有各種集成電路、邏輯、存儲器和/或軟件的電子器 件。集成電路包括存儲程序指令的固件形式的忍片、數(shù)字信號處理器(DSP)、定義為專用集 成電路(ASIC)的忍片、一個或多個微處理器或執(zhí)行程序指令(例如，軟件）的微控制器。程序 指令是W各種單獨設(shè)置的形式(或程序文件)通信到控制器、定義用于在半導(dǎo)體晶片上或針 對半導(dǎo)體晶片執(zhí)行工藝的操作參數(shù)的指令。在一些實施方式中，操作參數(shù)可W是由工藝工 程師定義的用于在制備晶片的一個或多個(種)層、材料、金屬、氧化物、娃、二氧化娃、表面、 電路和/或管忍期間完成一個或多個處理步驟的配方(recipe)的一部分。
[0162] 在一些實施方式中，控制器可W是與系統(tǒng)集成、禪合或者說是通過網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng) 或它們的組合的計算機的一部分或者與該計算機禪合。例如，控制器可W在"云端"或者是 fab主機系統(tǒng)的全部或一部分，它們可W允許遠程訪問晶片處理?？刂破骺蒞啟用對系統(tǒng)的 遠程訪問W監(jiān)測制造操作的當(dāng)前進程，檢查過去的制造操作的歷史，檢查多個制造操作的 趨勢或性能標準，修改當(dāng)前處理的參數(shù)，設(shè)置處理步驟W跟隨當(dāng)前的處理或者開始新的工 乙。
[0163] 在一些實施方式中，遠程計算機(例如，服務(wù)器)通計算機網(wǎng)絡(luò)給系統(tǒng)提供工藝配 方，網(wǎng)絡(luò)包括本地網(wǎng)絡(luò)或互聯(lián)網(wǎng)。遠程計算機包括允許輸入或編程參數(shù)和/或設(shè)置的用戶界 面，該參數(shù)和/或設(shè)置然后從遠程計算機通信到系統(tǒng)。在一些實例中，控制器接收用于處理 晶片的設(shè)置形式的指令。應(yīng)當(dāng)理解，設(shè)置針對將要在晶片上執(zhí)行的工藝類型W及工具類型， 控制器連接或控制該工具類型。因此，如上所述，控制器例如通過包括一個或多個分立的控 制器而分布，運些分立的控制器通過網(wǎng)絡(luò)連接在一起并且朝著共同的目標(例如，本文所述 實現(xiàn)工藝)工作。用于運些目的的分布式控制器的實例包括與結(jié)合W控制室內(nèi)工藝的一個 或多個遠程集成電路(例如，在平臺水平或作為遠程計算機的一部分)通信的室上的一個或 多個集成電路。
[0164] 在沒有限制的條件下，在一些實施方式中，系統(tǒng)包括等離子體蝕刻室、沉積室、旋 轉(zhuǎn)清洗室、金屬電鍛室、清潔室、倒角邊緣蝕刻室、物理氣相沉積(PVD)室、化學(xué)氣相沉積 (CVD)室、原子層沉積(ALD)室、原子層蝕刻(ALE)室、離子注入室、軌道室、W及在半導(dǎo)體晶 片的制備和/或制造中關(guān)聯(lián)上或使用的任何其他的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。
[0165] 進一步要注意的是，盡管參考平行板等離子體室(例如電容禪合的等離子體室等） 說明了上述操作，但在一些實施例中，上述操作可W適用于其他類型的等離子體室，例如包 含電感禪合等離子體(ICP)反應(yīng)器、變壓器禪合等離子體(TCP)反應(yīng)器、導(dǎo)體工具、電介質(zhì)工 具的等離子體室;包含電子回旋諧振化CR)反應(yīng)器的等離子體室等。例如，多個RF產(chǎn)生器在 ICP等離子體室內(nèi)禪合至電感器。
[0166] 如上所述，根據(jù)工具將要執(zhí)行的工藝步驟，控制器與一個或多個其他的工具電路 或模塊、其他工具組件、組合工具、其他工具界面、相鄰的工具、鄰接工具、位于整個工廠中 的工具、主機、另一控制器、或者將晶片的容器搬運到半導(dǎo)體制造工廠中的工具位置和/或 裝載口 W及從工具位置和/或裝載口搬運晶片的容器的材料搬運中使用的工具通信。
[0167] 考慮到上述實施發(fā)送，應(yīng)該理解的是一些實施發(fā)送采用設(shè)及在計算機系統(tǒng)中存儲 的數(shù)據(jù)的、各種計算機實現(xiàn)的操作。運些計算機實現(xiàn)的操作操縱物理量。
[0168] -些實施例還設(shè)及用于執(zhí)行運些操作的硬件單元或者裝置。裝置被特殊組成用于 特殊用途計算機。當(dāng)限定為特殊用途計算機時，該計算機執(zhí)行并非特殊用途的部分的其他 處理、程序執(zhí)行或者例程，但仍然能夠操作用于特殊用途。
[0169] 在一些實施例中，本文說明的操作由選擇性激活的計算機執(zhí)行，或者由存儲在計 算機存儲器中的一個或更多個計算機程序配置，或者通過計算機網(wǎng)絡(luò)獲得。當(dāng)數(shù)據(jù)通過計 算機網(wǎng)絡(luò)獲得時，該數(shù)據(jù)可W由計算機網(wǎng)絡(luò)(例如計算資源的云）中的其他計算機處理。
[0170] 本文說明的一個或更多個實施例還能夠?qū)崿F(xiàn)為非臨時性計算機可讀介質(zhì)上的計 算機可讀代碼。非臨時性計算機可讀介質(zhì)是任何數(shù)據(jù)存儲硬件單元(例如存儲器設(shè)備等）， 存儲硬件單元存儲在存儲之后由計算機系統(tǒng)讀取的數(shù)據(jù)。非臨時性計算機可讀介質(zhì)的示例 包含硬盤驅(qū)動器、網(wǎng)絡(luò)附加存儲裝置(NAS)、ROM、RAM、壓縮光盤ROM(CDROM)、可記錄CD(CD- R)、可重寫CD(CD-RW)、磁帶W及其他光學(xué)和非光學(xué)數(shù)據(jù)存儲硬件單元。在一些實施例中，非 臨時性計算機可讀介質(zhì)包含網(wǎng)絡(luò)禪合的計算機系統(tǒng)中分布的計算機可讀有形介質(zhì)，W便W 分布式方式存儲并執(zhí)行計算機可讀代碼。
[0171] 盡管上述一些方法操作是W特定順序呈現(xiàn)的，但應(yīng)該理解的是在各種實施例中， 在方法操作之間執(zhí)行其他內(nèi)務(wù)處理操作，或者調(diào)節(jié)方法操作使其在稍微不同的時間發(fā)生， 或者分布在允許方法操作W各種間隔發(fā)生的系統(tǒng)中，或者W與上述不同的順序執(zhí)行。
[0172] 還要注意的是，在實施例中，在沒有脫離本公開中說明的各種實施例說明的范圍 內(nèi)，來自任何上述實施例的一個或更多個特征可W與任何其他實施例的一個或更多個特征 組合。
[0173] 雖然為了清晰理解的目的，已經(jīng)在一定程度上詳細描述了上述實施方式，但顯而 易見，可W在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)實行某些變化和修改。因此，本發(fā)明的實施方式應(yīng)被視 為說明性的，而不是限制性的，并且實施方式并不限于本文給出的細節(jié)，而是可W在所附權(quán) 利要求的范圍和等同方案內(nèi)進行修改。
【主權(quán)項】
1. 一種用于提高通信速率的系統(tǒng)，其包括： 射頻(RF)產(chǎn)生器，其包括專用收發(fā)器； 主計算機系統(tǒng)，其包括專用收發(fā)器和連接到該專用收發(fā)器的控制器；以及 共享物理通信介質(zhì)，其將所述RF產(chǎn)生器連接至所述主計算機系統(tǒng)；以及 專用物理通信介質(zhì)，其將所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器連接至所述主計算機系統(tǒng)的 所述專用收發(fā)器， 所述主計算機系統(tǒng)配置為經(jīng)由所述共享物理通信介質(zhì)發(fā)送配置信號以配置所述RF產(chǎn) 生器， 所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器配置成在接收所述配置信號時引發(fā)經(jīng)由所述專用物 理通信介質(zhì)發(fā)送包括與參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息的一個或多個傳輸單元到所述主計算機系統(tǒng)的 所述專用收發(fā)器， 所述主計算機系統(tǒng)的所述控制器配置為處理與所述參數(shù)相關(guān)聯(lián)的所述信息，以判定修 改所述參數(shù)的設(shè)定點，以進一步產(chǎn)生修改的設(shè)定點， 所述主計算機系統(tǒng)的所述專用收發(fā)器配置成經(jīng)由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送包括所 述修改的設(shè)定點的一個或多個傳輸單元到所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述主計算機系統(tǒng)的所述專用收發(fā)器被配置成在 不請求來自所述RF產(chǎn)生器的與所述參數(shù)相關(guān)聯(lián)的所述信息的情況下接收由所述RF產(chǎn)生器 的所述專用收發(fā)器經(jīng)由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器被配置成在不請 求來自所述主計算機系統(tǒng)的所述修改的設(shè)定點的情況下接收由所述主計算機系統(tǒng)的所述 專用收發(fā)器經(jīng)由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述RF產(chǎn)生器經(jīng)由阻抗匹配電路連接到等離子體 室。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述主計算機系統(tǒng)經(jīng)由所述共享物理通信介質(zhì)連 接到額外的RF產(chǎn)生器。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述主計算機系統(tǒng)被配置為在由所述RF產(chǎn)生器的 所述專用收發(fā)器經(jīng)由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元上不執(zhí)行校 驗和操作。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述RF產(chǎn)生器被配置為在由所述主計算機系統(tǒng)的 所述專用收發(fā)器經(jīng)由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元上不執(zhí)行校 驗和操作。8. -種用于提高射頻(RF)產(chǎn)生器和主計算機系統(tǒng)之間的通信速率的方法，其包括： 由所述主計算機系統(tǒng)經(jīng)由共享物理通信介質(zhì)發(fā)送配置信號到所述RF產(chǎn)生器以配置所 述RF產(chǎn)生器， 在接收所述配置信號時，由所述RF產(chǎn)生器的專用收發(fā)器經(jīng)由專用物理通信介質(zhì)發(fā)送一 個或多個傳輸單元到所述主計算機系統(tǒng)的專用收發(fā)器，所述一個或多個傳輸單元包括與參 數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息； 由所述主計算機系統(tǒng)處理與所述參數(shù)相關(guān)聯(lián)的所述信息以確定修改所述參數(shù)的設(shè)定 點，以進一步產(chǎn)生修改的設(shè)定點；以及 由所述主計算機系統(tǒng)的所述專用收發(fā)器經(jīng)由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送包括所述修 改的設(shè)定點的一個或多個傳輸單元到所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其還包括由所述主計算機系統(tǒng)的所述專用收發(fā)器接收 由所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元，其中所述一個或多個 傳輸單元的所述接收在不請求來自所述RF產(chǎn)生器的與所述參數(shù)相關(guān)聯(lián)的所述信息的情況 下進行。10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其還包括由所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器接收由所 述主計算機系統(tǒng)的所述專用收發(fā)器發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元，其中所述一個或多個 傳輸單元的所述接收在不請求來自所述主計算機系統(tǒng)的所述修改的設(shè)定點的情況下進行。11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述RF產(chǎn)生器經(jīng)由阻抗匹配電路連接到等離子體 室。12. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其還包括由所述主計算機系統(tǒng)經(jīng)由所述共享物理通信 介質(zhì)發(fā)送配置信號到額外的RF產(chǎn)生器以配置所述額外的RF產(chǎn)生器以提供與參數(shù)相關(guān)聯(lián)的 信息。13. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其還包括跳過在由所述RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器經(jīng) 由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元上的校驗和操作的執(zhí)行。14. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其還包括跳過在由所述主計算機系統(tǒng)的所述專用收發(fā) 器經(jīng)由所述專用物理通信介質(zhì)發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元上的校驗和操作的執(zhí)行。15. -種用于提高主計算機系統(tǒng)和射頻(RF)產(chǎn)生器之間的通信速率的方法，其包括： 產(chǎn)生包括針對一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點的一個或多個傳輸單元，每個設(shè)定 點與RF信號的一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)，所述一個或多個設(shè)定點要由所述RF產(chǎn)生器使用以產(chǎn) 生所述RF信號； 從所述主計算機系統(tǒng)的物理層的專用發(fā)送器經(jīng)由物理通信介質(zhì)的第一專用通信鏈路 發(fā)送所述一個或多個傳輸單元到所述RF產(chǎn)生器的物理層的專用接收器； 從所述RF產(chǎn)生器的所述物理層的專用發(fā)送器經(jīng)由所述物理通信介質(zhì)的第二專用通信 鏈路接收一個或多個傳輸單元，其中接收的所述一個或多個傳輸單元包括與所述一個或多 個參數(shù)以及與所述一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)的信息，其中經(jīng)由所述一個或多個傳輸單元的所 述第二專用通信鏈路接收通過所述主計算機系統(tǒng)的所述物理層的專用接收器來執(zhí)行； 根據(jù)與所述一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息判定與所述一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)的所述 一個或多個設(shè)定點要被修改，以產(chǎn)生一個或多個修改的設(shè)定點；以及 經(jīng)由所述物理通信介質(zhì)的所述第一專用通信鏈路發(fā)送包括所述一個或多個修改的設(shè) 定點的一個或多個修改的傳輸單元到所述RF產(chǎn)生器的所述物理層的所述專用接收器， 其中，所述方法通過所述主計算機系統(tǒng)執(zhí)行。16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其還包括在判定與所述一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)的所 述一個或多個設(shè)定點要被修改時，經(jīng)由所述物理通信介質(zhì)的所述第二專用通信鏈路接收一 個或多個額外的傳輸單元，其中，在所述接收所述一個或多個額外的傳輸單元之后執(zhí)行所 述發(fā)送含有一個或多個修改的設(shè)定點的所述一個或多個修改的傳輸單元。17. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其還包括在判定與所述一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)的一 個或多個設(shè)定點要被修改之后，經(jīng)由所述物理通信介質(zhì)的所述第二專用通信鏈路接收一個 或多個額外的傳輸單元，其中在所述接收所述一個或多個額外的傳輸單元之前執(zhí)行所述發(fā) 送含有所述一個或多個修改的設(shè)定點的所述一個或多個額外的傳輸單元。18. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述RF產(chǎn)生器的所述物理層的所述專用接收器 不被配置為在所述一個或多個傳輸單元上和在從所述主計算機系統(tǒng)發(fā)送到所述RF產(chǎn)生器 的所述一個或多個修改的傳輸單元上執(zhí)行校驗和操作。19. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中所述主計算機系統(tǒng)的所述物理層的所述專用接 收器不被配置為在從所述RF產(chǎn)生器的所述物理層的所述專用發(fā)送器接收的所述一個或多 個傳輸單元上執(zhí)行校驗和操作。20. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中所述一個或多個傳輸單元以突發(fā)模式從所述主 計算機系統(tǒng)發(fā)送到所述RF產(chǎn)生器，其中單個報頭被包括在用于一個或多個傳輸單元的幀 內(nèi)，其中所述一個或多個修改的傳輸單元以所述突發(fā)模式從所述主計算機系統(tǒng)發(fā)送到所述 RF產(chǎn)生器，其中單個報頭被包括在用于一個或多個修改的傳輸單元的幀內(nèi)。21. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中從所述主計算機系統(tǒng)的所述物理層的所述專用 發(fā)送器發(fā)送的所述一個或多個傳輸單元不包括源端口字段和目的端口字段，其中，從所述 主計算機系統(tǒng)的所述物理層的所述專用發(fā)送器發(fā)送的所述一個或多個修改的傳輸單元不 包括源端口字段和目的端口字段，其中從所述RFG的所述物理層的所述專用接收器接收的 所述一個或多個傳輸單元不包括源端口字段和目的端口字段。22. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其還包括： 配置所述RFG以經(jīng)由所述主計算機系統(tǒng)的共享物理通信介質(zhì)和共享物理層提供與一個 或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息； 配置另一 RFG以經(jīng)由所述主計算機系統(tǒng)的所述共享物理通信介質(zhì)和所述共享物理層提 供與所述一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的信息。23. -種系統(tǒng)，其包括： 第一射頻(RF)產(chǎn)生器，其用于產(chǎn)生第一 RF信號，其中所述第一 RF產(chǎn)生器包括專用收發(fā) 器； 第二RF產(chǎn)生器，其用于產(chǎn)生第二RF信號，其中所述第二RF產(chǎn)生器包括專用收發(fā)器； 阻抗匹配電路，其耦合到所述第一 RF產(chǎn)生器和所述第二RF產(chǎn)生器； 等離子體室，其耦合到所述阻抗匹配電路，以產(chǎn)生等離子體;和 第一控制器； 專用收發(fā)器，其連接到所述第一控制器，其中連接到所述第一控制器的所述專用收發(fā) 器經(jīng)由第一專用物理通信介質(zhì)連接至所述第一 RF產(chǎn)生器，其中連接到所述第一控制器的所 述專用收發(fā)器被配置成： 產(chǎn)生包括針對一個或多個參數(shù)的一個或多個設(shè)定點的一個或多個傳輸單元，每個設(shè)定 點與所述第一 RF信號的一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)，所述一個或多個設(shè)定點要由所述第一 RF產(chǎn) 生器使用以產(chǎn)生所述第一 RF信號； 經(jīng)由所述第一專用物理通信介質(zhì)的第一專用通信鏈路發(fā)送所述一個或多個傳輸單元 至所述第一 RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器； 經(jīng)由所述第一物理通信介質(zhì)的第二專用通信鏈路從所述第一 RF產(chǎn)生器的所述專用收 發(fā)器接收一個或多個傳輸單元，所接收的所述一個或多個傳輸單元包括與所述一個或多個 參數(shù)以及與所述一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)的信息， 其中，所述第一控制器被配置成根據(jù)與所述一個或多個參數(shù)相關(guān)聯(lián)的所述信息判定與 所述一個或多個狀態(tài)相關(guān)聯(lián)的一個或多個設(shè)定點要進行修改，以產(chǎn)生一個或多個修改的設(shè) 定點， 其中，連接到所述第一控制器的所述專用收發(fā)器被配置為經(jīng)由所述第一物理通信介質(zhì) 的所述第一專用通信鏈路發(fā)送包括修改的一個或多個設(shè)定點的一個或多個修改的傳輸單 元到所述第一 RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器。24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的系統(tǒng)，其還包括： 第二控制器；以及 專用收發(fā)器，其連接到所述第二控制器，其中連接到所述第二控制器的所述專用收發(fā) 器經(jīng)由第二專用物理通信介質(zhì)連接到所述第二RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器以與所述第二 RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器通信，其中，連接到所述第二控制器的所述專用收發(fā)器不連接 到所述第一 RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器，其中連接到所述第一控制器的所述專用收發(fā)器連 接到所述第二RF產(chǎn)生器的所述收發(fā)器。25. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的系統(tǒng)，其中所述第一 RF產(chǎn)生器的所述專用收發(fā)器不被配置 為在所述一個或多個傳輸單元上和從連接到所述第一控制器的所述專用收發(fā)器發(fā)送至所 述第一 RF產(chǎn)生器的一個或多個修改的傳輸單元上執(zhí)行校驗和操作，其中所述第二RF產(chǎn)生器 的所述專用收發(fā)器不配置成在從連接到所述第二控制器的所述專用收發(fā)器接收的一個或 多個傳輸單元上執(zhí)行校驗和操作，其中連接到所述第一控制器的所述專用收發(fā)器不被配置 為在從所述第一 RFG的所述專用收發(fā)器接收的所述一個或多個傳輸單元上執(zhí)行校驗和操 作，其中與所述第二控制器相關(guān)聯(lián)的所述專用收發(fā)器不被配置為在從所述第二RFG的所述 專用收發(fā)器接收的一個或多個傳輸單元上執(zhí)行校驗和操作。
【文檔編號】G05B19/042GK105824269SQ201610058636
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2016年1月28日
【發(fā)明人】約翰·C·小瓦爾考, 托尼·薩恩, 安德魯·方
【申請人】朗姆研究公司