一種移載機自動感測裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型為有關(guān)一種移載機自動感測裝置，主要結(jié)構(gòu)包括一晶圓容置體、一活動設(shè)置于該晶圓容置體一側(cè)的啟閉機構(gòu)、至少一設(shè)于該啟閉機構(gòu)上供感測該啟閉機構(gòu)的角度的感測裝置、及一信息連結(jié)該感測裝置的資料處理裝置，且該感測裝置的角度感測范圍為-15度至15度之間，又該感測裝置為機械式角度傳感器、電子式角度傳感器、光學式角度傳感器或液壓式角度傳感器其中之一者，可借由感測裝置達到感測門板開合角度的實用進步性。
【專利說明】
一種移載機自動感測裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型為提供一種移載機自動感測裝置，尤指一種可感測門板開閉機構(gòu)的開合角度的移載機自動感測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]按，晶舟盒為運送晶圓極為重要的載具，由于晶圓須在無塵及無污染的條件下進行運送，因此門板的密合極為重要，晶舟盒移載機由開閉機構(gòu)做開門或關(guān)門動作，習用門板由于無法偵測其閉合的角度，導致門板蓋合不完全，而讓晶圓遭受污染，亦或晶舟盒移載機的開關(guān)門機構(gòu)在運送過程中發(fā)生門板松脫情事卻不自知，而造成產(chǎn)品損傷，所以需確認開閉機構(gòu)的動作是否確實。
[0003]是以，要如何解決上述習用的問題與缺失，即為本實用新型的
【申請人】與從事此行業(yè)的相關(guān)廠商所亟欲研究改善的方向所在者。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]故，本實用新型的
【申請人】有鑒于上述缺失，乃搜集相關(guān)資料，經(jīng)由多方評估及考量，并以從事于此行業(yè)累積的多年經(jīng)驗，經(jīng)由不斷試作及修改，始設(shè)計出此種可感測門板開閉機構(gòu)的開合角度的移載機自動感測裝置的實用新型專利者。
[0005]本實用新型的主要目的在于:為針對習用晶舟盒移載機所存在的無法感測門板開關(guān)門機構(gòu)的開關(guān)角度的問題點加以突破，達到感測門板開關(guān)門機構(gòu)的開關(guān)角度的實用進步性。
[0006]為達上述目的，本實用新型的解決方案是:
[0007]—種移載機自動感測裝置，包含:
[0008]—晶圓容置體；
[0009]—活動設(shè)置于該晶圓容置體一側(cè)的啟閉機構(gòu)；
[0010]至少一設(shè)于該啟閉機構(gòu)上的感測裝置，供感測該啟閉機構(gòu)的角度。
[0011]進一步，該感測裝置的角度感測范圍為-15度至15度之間。
[0012]進一步，更包含一信息連結(jié)該感測裝置的資料處理裝置。
[0013]進一步，該感測裝置為機械式角度傳感器。
[0014]進一步，該感測裝置為電子式角度傳感器。
[0015]進一步，該感測裝置為光學式角度傳感器。
[0016]進一步，該感測裝置為液壓式角度傳感器。
[0017]借由上述構(gòu)件組構(gòu)時，可借由資料處理裝置記錄并偵測感測裝置的所有數(shù)據(jù)變化，且感測裝置的靈敏度可達到0.1度，而偵測范圍由15度至負15度之間，因此，當晶圓容置體的啟閉機構(gòu)做開關(guān)門動作時，可以借由感測裝置連結(jié)資料處理裝置得知啟閉機構(gòu)的開合角度，以避免因蓋合不全而使晶圓遭受污染的情形發(fā)生。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型較佳實施例的實施示意圖；
[0019]圖2為本實用新型較佳實施例的側(cè)面示意圖；
[0020]圖3為本實用新型較佳實施例的動作示意圖。
[0021]【符號說明】
[0022]晶圓容置體I啟閉機構(gòu) 2
[0023]感測裝置 3資料處理裝置4。
【具體實施方式】
[0024]為達成上述目的及功效，本實用新型所采用的技術(shù)手段及構(gòu)造，茲繪圖就本實用新型較佳實施例詳加說明其特征與功能如下，俾利完全了解。
[0025]請參閱圖1及圖2所示，為本實用新型較佳實施例的實施示意圖及側(cè)面示意圖，由圖中可清楚看出本實用新型包括:
[0026]一晶圓容置體I;
[0027 ] 一活動設(shè)置于該晶圓容置體I 一側(cè)的啟閉機構(gòu)2;
[0028]至少一設(shè)于該啟閉機構(gòu)2上的感測裝置3，供感測該啟閉機構(gòu)2的角度，且該感測裝置3為機械式角度傳感器、電子式角度傳感器、光學式角度傳感器或液壓式角度傳感器其中之一者;
[0029]一信息連結(jié)該感測裝置3的資料處理裝置4。
[0030]上述該感測裝置3的角度感測范圍為-15度至15度之間。
[0031]借由上述的說明，已可了解本技術(shù)的結(jié)構(gòu)，而依據(jù)這個結(jié)構(gòu)的對應(yīng)配合，更達到可感測門板開關(guān)門機構(gòu)的開合角度的優(yōu)勢，而詳細的解說將于下述說明。
[0032]請同時配合參閱圖1至圖3所示，為本實用新型較佳實施例的實施示意圖、側(cè)面示意圖及動作示意圖，借由上述構(gòu)件組構(gòu)時，可由圖中清楚看出，感測裝置3裝設(shè)于晶圓容置體I的啟閉機構(gòu)2上，且信息連結(jié)一資料處理裝置4，因此可借由資料處理裝置4記錄并偵測感測裝置3的所有數(shù)據(jù)變化，且感測裝置3的靈敏度可達到0.1度，而偵測范圍由15度至負15度之間，因此，當晶圓容置體I的啟閉機構(gòu)2做開關(guān)門動作時，可以借由感測裝置3連結(jié)資料處理裝置4得知啟閉機構(gòu)2的開合角度，以避免因蓋合不全而使晶圓遭受污染的情形發(fā)生。
[0033]惟，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，非因此即局限本實用新型的專利范圍，故舉凡運用本實用新型說明書及圖式內(nèi)容所為的簡易修飾及等效結(jié)構(gòu)變化，均應(yīng)同理包含于本實用新型的專利范圍內(nèi)，合予陳明。
【主權(quán)項】
1.一種移載機自動感測裝置，其特征在于，包含: 一晶圓容置體； 一活動設(shè)置于該晶圓容置體一側(cè)的啟閉機構(gòu)； 至少一供感測該啟閉機構(gòu)的角度的感測裝置，設(shè)于該啟閉機構(gòu)上。2.如權(quán)利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置的角度感測范圍為-15度至15度之間。3.如權(quán)利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:更包含一信息連結(jié)該感測裝置的資料處理裝置。4.如權(quán)利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為機械式角度傳感器。5.如權(quán)利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為電子式角度傳感器。6.如權(quán)利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為光學式角度傳感器。7.如權(quán)利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為液壓式角度傳感器。
【文檔編號】G01B21/22GK205482895SQ201620103835
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年2月2日
【發(fā)明人】小松省二
【申請人】樂華科技股份有限公司