技術(shù)特征：

1.一種超聲成像的石英晶片快速篩選方法，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶片快速篩選方法，所述超聲掃描顯微鏡中包含換能器，其特征在于，所述步驟s1包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶片快速篩選方法，其特征在于，所述步驟s2包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶片快速篩選方法，其特征在于，所述步驟s3包括：

5.一種超聲成像的石英晶片快速篩選系統(tǒng)，其特征在于，應(yīng)用如權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的石英晶片快速篩選方法，包括上位機(jī)和連接所述上位機(jī)的超聲掃描顯微鏡；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石英晶片快速篩選系統(tǒng)，所述超聲掃描顯微鏡中包含換能器，其特征在于，所述初始分組模塊包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石英晶片快速篩選系統(tǒng)，其特征在于，所述穿透掃描模塊包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石英晶片快速篩選系統(tǒng)，其特征在于，所述重復(fù)掃描模塊包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種超聲成像的石英晶片快速篩選方法及系統(tǒng)，涉及石英晶片質(zhì)檢技術(shù)領(lǐng)域，包括：確定超聲掃描顯微鏡的最大掃描深度，根據(jù)最大掃描深度和待檢測(cè)石英晶片的厚度和良品率確定第一石英晶片組數(shù)量，將所有待檢測(cè)石英晶片按照第一石英晶片組數(shù)量分為多個(gè)石英晶片組；放置在掃描臺(tái)上，隨后采用超聲掃描顯微鏡對(duì)各石英晶片分組進(jìn)行穿透掃描得到對(duì)應(yīng)的掃描圖像；從各掃描圖像中篩選出不符合要求的缺陷掃描圖像，隨后將所有缺陷掃描圖像對(duì)應(yīng)的石英晶片組中的石英晶片重新分組隨后重新掃描篩選，直至每個(gè)缺陷掃描圖像中僅包含一片石英晶片作為缺陷石英晶片。有益效果是逐步縮小存在缺陷的晶片范圍，直至精確到單個(gè)晶片，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)剔除。

技術(shù)研發(fā)人員：郭正江,李春曉,阮少龍,胡燕飛,桂元坤,查文亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：鴻星科技（集團(tuán)）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6