專利名稱：磁式旋轉檢測裝置及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測旋轉體的角度位置、旋轉速度等的磁式旋轉檢測裝置及 其制造方法。
背景技術：
旋轉檢測裝置中、作為非接觸式檢測裝置有光學式檢測裝置和磁式檢測裝置，磁 式旋轉檢測裝置與光學式旋轉檢測裝置相比，具有能在灰塵、水分大量存在的環(huán)境下、液體 中使用等優(yōu)點。即，磁式旋轉檢測裝置一般包括形成有由S極和N極構成的磁極對的磁體； 以及對該磁體旋轉時的角度位置、旋轉速度進行檢測的磁敏元件，即使灰塵、水分附著于磁 體，也不會使靈敏度降低。在上述磁式旋轉檢測裝置中，例如，在磁體的外周面形成有多個 由S極和N極構成的磁極對，在與上述磁體的外周面對向的位置配置有磁敏元件(參照專 利文獻1)。專利文獻1 日本專利特開2008-151774號公報

發(fā)明內容
發(fā)明所要解決的技術問題在上述磁式旋轉檢測裝置中，要求磁體與磁敏元件之間具有較高的位置精度。因 此，目前，由于對裝設磁式旋轉檢測裝置的設備側進行各種加工以通過上述加工來進行磁 體與磁敏元件的對位，所以，存在花費很多的工夫的問題。本發(fā)明鑒于上述問題而作，其目的在于提供一種即使不進行很費工夫的加工，也 能以較高的精度對磁體與磁敏元件進行對位的磁式旋轉檢測裝置及其制造方法。解決技術問題所采用的技術方案為了解決上述技術問題，在本發(fā)明中，磁式旋轉檢測裝置具有形成有由S極和N 極構成的磁極對并設于旋轉體側的磁體；以及在上述旋轉體的旋轉中心軸線方向上與上述 磁體對向的磁敏元件，其特征是，還包括設于上述磁體與上述磁敏元件之間的分隔構件； 以及固定于上述分隔構件中上述磁體所在一側的表面的環(huán)，上述磁敏元件的中心位于上述 環(huán)的中心軸線上，上述磁體以與上述環(huán)不接觸的狀態(tài)配置于上述環(huán)的內側，且上述磁體的 中心位于上述環(huán)的中心軸線上。在本發(fā)明中，由于將分隔構件配置于磁體與磁敏元件之間，并以固定于上述分隔 構件的環(huán)為基準來調節(jié)磁敏元件及磁體的位置，因此，能以環(huán)為基準以較高的位置精度配 置磁敏元件及磁體。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，在上述磁體上形成有一對S極和N極。即，在本發(fā)明中，減 少形成于磁體的磁極對，但是，對由磁敏元件獲得的信號例如執(zhí)行進行插值處理以求出零 交叉點等的運算處理來確保分辨能力。根據上述結構，由于將形成于磁體的磁極對減少至 最少一對，因此，即使磁體與磁敏元件稍微遠離，也具有足夠的靈敏度。所以，能將分隔構件 設于磁體與磁敏元件之間，并能將環(huán)固定于上述分隔構件。能利用分隔構件來保護磁敏元件免受灰塵、水分的影響。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，上述磁敏元件配置于上述分隔構件中朝上述磁體所在一 側凹陷的凹部內。對于使分隔構件整體變薄存在限制，但若將凹部設于分隔構件并將磁敏 元件配置于上述凹部內，則即使在磁敏元件與磁體之間設置分隔構件的情況下，也能使磁 敏元件與磁體接近。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，上述磁敏元件安裝于基板上，上述基板與上述分隔構件中 形成于上述凹部周圍的基板承受部重疊配置，上述磁敏元件與上述凹部的底部之間隔著間 隙。磁敏元件存在對于應力較弱這樣的缺點，但當采用上述結構時，能將磁敏元件以非接觸 狀態(tài)配置于凹部的底部。因此，即使在使磁敏元件與磁體接近的情況下，由于對磁敏元件不 施加應力，所以，磁敏元件也能發(fā)揮較高的靈敏度。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，上述磁敏元件的外周端部與上述凹部的內周側面抵接，從 而使上述磁敏元件定位于上述凹部。根據上述結構，能提高磁敏元件與凹部之間的位置精 度，其結果是，即使在以環(huán)為基準使分隔構件與磁體對位后將磁敏元件固定于分隔構件的 情況、或在以環(huán)為基準使磁敏元件與磁體對位后將磁敏元件固定于分隔構件的情況中的任 一種情況下，也能提高磁敏元件與磁體的位置精度。在本發(fā)明中，能采用以下結構，上述磁敏元件在表面具有保護層，上述保護層的外 周端部與上述凹部的內周側面接觸。若采用這種結構，則即便使磁敏元件的外周端部與凹 部的內周側面接觸，也不會對磁敏元件施加多余的應力。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，上述凹部包括底部和四個內周側面，上述保護層的外周端 部中的在周向上相鄰的兩個邊部與上述四個內周側面中的相鄰的兩個內周側面抵接，上述 磁敏元件被上述兩個內周側面定位于上述凹部。在凹部具有四個內周側面并使保護層的外 周端部與四個內周側面抵接的情況下，要求凹部與保護層之間具有較高的尺寸精度。因此， 在產生尺寸誤差的情況下，例如，當保護層的形狀較大時，磁敏元件可能以傾斜的狀態(tài)配置 于凹部內，此外，在保護層的形狀較小的情況下，不能進行定位。然而，根據本發(fā)明，由于使 保護層的外周端部僅與相鄰的兩個內周側面抵接，所以，即使不能確保凹部與保護層之間 較高的尺寸精度，也能進行磁敏元件的面內方向上的定位。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，上述凹部包括大徑的第一凹部；以及在上述第一凹部的 底部大致中央位置凹陷的第二凹部，上述保護層的外周端部與上述第二凹部的內周側面抵 接以將上述磁敏元件定位于上述第二凹部。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，在上述分隔構件中上述磁體所在的表面?zhèn)刃纬捎袊∩?述凹部的環(huán)狀槽，在上述環(huán)狀槽內嵌入有上述環(huán)的上述磁敏元件所在一側的端部。若采用 上述結構，則能將環(huán)可靠地固定于分隔構件的規(guī)定位置。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，上述環(huán)是由磁性材料構成的磁屏蔽構件。若采用上述結 構，則即使不使用專用的屏蔽構件，也能利用用于定位的環(huán)來進行磁屏蔽。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，還具有固定于供上述磁式旋轉檢測裝置裝設的設備的靜 止體側的隔板，上述隔板具有供上述磁體配置于內側的通孔，且上述通孔的內徑尺寸與上 述環(huán)的外徑尺寸相同，在上述通孔內以位于上述通孔的內壁與上述磁體的外周面之間的方 式嵌入有上述環(huán)。若采用上述結構，則能將磁敏元件配置于靜止體上的規(guī)定位置。在本發(fā)明中，磁式旋轉檢測裝置的制造方法磁敏元件的特征是，將環(huán)固定于在上述磁體與上述磁敏元件之間配置的分隔構件中上述磁體所在一側的表面，具有第一對位 工序，在該工序中，在進行上述環(huán)與上述磁敏元件的對位以使上述磁敏元件的中心位于上 述環(huán)的中心軸線上后，將上述磁敏元件固定于上述分隔構件；以及第二對位工序，該工序在 上述第一對位工序之后，進行上述環(huán)與上述磁體的對位以使上述磁體的中心位于上述環(huán)的 中心軸線上，上述磁式旋轉檢測裝置具有形成有由S極和N極構成的磁極對并設于旋轉體 側的磁體；以及在上述旋轉體的旋轉中心軸線方向上與上述磁體對向的磁敏元件。在本發(fā)明中，由于將分隔構件配置于磁體與磁敏元件之間并以固定于上述分隔構 件的環(huán)為基準來調節(jié)磁敏元件及磁體的位置，因此，能以環(huán)為基準以較高的位置精度配置 磁敏元件及磁體。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，將凹部設于上述分隔構件，該凹部具有與上述磁敏元件的 外周端部抵接的內周側面并朝上述磁體所在一側凹陷，在上述第一對位工序中將上述磁敏 元件固定于上述分隔構件時，使上述磁敏元件的外周端部與上述凹部的內周側面抵接以進 行上述磁敏元件的定位。若采用上述結構，則能提高磁敏元件與凹部之間的位置精度，其結 果是，能提高以環(huán)為基準使磁敏元件與磁體對位時的磁敏元件與磁體的位置精度。即使在采用上述結構的情況下，作為優(yōu)選，也可在將上述磁敏元件固定于上述分 隔構件的狀態(tài)下，在上述磁敏元件與上述凹部的底部之間空有間隙。若采用上述結構，則由 于能將磁敏元件以非接觸狀態(tài)配置于凹部的底部，所以，不會對磁敏元件施加多余的應力。在本發(fā)明中，作為優(yōu)選，在上述第二對位工序中，進行第一操作、第二操作、第三操 作及第四操作，在上述第一操作中，對具有內徑尺寸與上述環(huán)的外徑尺寸相同的通孔的隔 板進行配置以使上述磁體位于上述通孔內，在上述第二操作中，將夾具的筒部插入上述通 孔的內壁與上述磁體的外周面之間，并利用上述夾具來進行上述隔板與上述磁體的對位， 在上述第三操作中，在將上述隔板固定于供上述磁式旋轉檢測裝置裝設的設備的靜止體側 后，卸下上述夾具，在上述第四操作中，將上述環(huán)嵌入上述通孔內，以使上述環(huán)位于上述通 孔的內壁與上述磁體的外周面之間。若采用上述結構，則能以環(huán)為基準以較高的位置精度 容易地配置磁敏元件及磁體。發(fā)明效果在本發(fā)明中，由于將分隔構件配置于磁體與磁敏元件之間，并以固定于上述分隔 構件的環(huán)為基準來調節(jié)磁敏元件及磁體的位置，因此，能以環(huán)為基準以較高的位置精度配 置磁敏元件及磁體。


圖1 (a)是本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的外觀圖，圖1 (b)是其分解立 體圖。圖2(a)是示意地表示本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的主要部分的結構 的剖視圖，圖2(b)是表示實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的檢測原理的說明圖。圖3(a)是本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的主要部分的立體圖，圖3 (b) 是使磁體與回路單元分離后的狀態(tài)下的立體圖。圖4是從第一殼體的一側觀察將本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的回路單 元分解后的形態(tài)的說明圖。
圖5是從第二殼體的一側觀察將本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的回路單 元分解后的形態(tài)的說明圖。圖6是表示本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的制造方法的說明圖。圖7是本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置中使用的回路單元的外觀圖。圖8 (a)是本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置中使用的回路單元的俯視圖，圖 8(b)是沿A-A'線切斷回路單元時的放大剖視圖。圖9是從第一殼體側觀察將本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置的回路單元分 解后的形態(tài)的說明圖。圖10是從第二殼體側觀察將本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置的回路單元 分解后的形態(tài)的說明圖。圖11 (a)是形成于本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置中使用的第一殼體的凹 部的說明圖，圖11(b)是磁敏元件的剖視圖。(符號說明)1 帶編碼器的電動機2 電動機10磁式旋轉檢測裝置15 環(huán)20 磁體22電動機的轉軸(旋轉體)27電動機殼體(靜止體)40 基板42 磁敏元件33 殼體21磁體保持件25 永磁體30 回路單元31第一殼體(分隔構件)32 第二殼體35 密封劑36 第一槽部37第二槽部50 隔板51 隔板的通孔60 夾具61夾具的筒部315,325 殼體的板狀部316,326 殼體的側板部318第一殼體的凹部318a第一殼體的凹部的底部(間壁部)
318p 第一凹部318r 第二凹部318t、318u、318v、318w 第二凹部的內周側面319 環(huán)狀槽326a側板部的臺階部411 元件主體412保護層420磁敏元件的外周端部(保護層的外周端部)
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的磁式旋轉檢測裝置及其制造方法進行說明。(實施方式1)(磁式旋轉檢測裝置的整體結構)圖1 (a)是本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的外觀圖，圖1 (b)是其分解立 體圖。圖2(a)是示意地表示本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的主要部分的結構的 剖視圖，圖2(b)是表示實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的檢測原理的說明圖。圖3(a)是 本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的主要部分的立體圖，圖3(b)是使磁體與回路單元 分離后的狀態(tài)下的立體圖。圖4是從第一殼體的一側觀察將本發(fā)明實施方式1的磁式旋轉 檢測裝置的回路單元分解后的形態(tài)的說明圖，圖5是從第二殼體的一側觀察將本發(fā)明實施 方式1的磁式旋轉檢測裝置的回路單元分解后的形態(tài)的說明圖。圖1 (a)、圖1 (b)及圖2 (a)所示的磁式旋轉檢測裝置10是對旋轉體的旋轉位置、 旋轉方向、旋轉速度進行磁性檢測的裝置，在本實施方式中，對電動機2的轉軸22的旋轉進 行檢測。在本實施方式中，以電動機殼體27為基準對轉軸22的旋轉進行檢測。在此，磁式 旋轉檢測裝置10與電動機2構成為一體，從而構成帶編碼器的電動機1。轉軸22相當于電 動機2的輸出軸觀的輸出側相反一側端部。磁式旋轉檢測裝置10包括固定于電動機2的轉軸22的磁體20 ；以及將裝設有 磁敏元件42及半導體IC46的基板40內置于殼體33內的回路單元30，磁敏元件42與磁 體20在轉軸22的旋轉中心軸線L方向上對向。在本實施方式中，磁敏元件42由MR元件 構成，磁阻膜421以規(guī)定的圖案配置。磁體20包括固定于轉軸22的金屬制的磁體保持件21 ；以及圓盤狀的永磁體25， 永磁體25被粘接劑固定于磁體保持件21的在前端部直徑變大的凸緣部213的上表面。在 此，如圖1(b)及圖2(b)所示，永磁體25在與磁敏元件42對向的表面上沿周向被磁化成一 對S極和N極。如圖2 (b)所示，回路元件30的由半導體IC46構成的旋轉檢測回路包括從磁敏 元件42輸出信號的一對增幅回路481 ；對從上述增幅回路481輸出的正弦波信號sin、cos 進行插值處理等以求出零交叉點等的運算回路482(插值回路)；以及輸出接口 483，從旋轉 檢測回路朝外部的信號輸出是通過裝設于基板40上的內插頭48進行的。(回路單元的結構)如圖1 (a)、圖1 (b)、圖2 (a)、圖3 (a)、圖3 (b)、圖4及圖5所示，在本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10中，回路單元30的殼體33包括相對于基板40位于磁體20側的樹脂 制的第一殼體31 ；以及相對于基板40位于與磁體20側相反一側的樹脂制的第二殼體32， 第一殼體31構成設于磁體20與磁敏元件42之間的分隔構件。第一殼體31包括大致呈矩形的板狀部315 ；以及在相當于板狀部315的三邊的 位置朝第二殼體32豎起的三個側板部316，在板狀部315中形成有從板狀部315側朝磁體 20所在的外表面?zhèn)劝枷莸膱A形的凹部318。第一殼體31是樹脂成形件，凹部318的底部 318a與板狀部315中構成凹部318以外的部分相比較，其形成得較薄。在板狀部315的內 表面中，在圍住凹部318的部分形成有由小突起構成的基板承受部31fe。因此，基板40被 基板承受部31 固定成與凹部318的底部318a對向的狀態(tài)。在基板40的與磁體20對向的表面?zhèn)鹊拇笾轮醒氚惭b有磁敏元件42 (參照圖4及 圖5)。在基板40的背面?zhèn)劝惭b有構成旋轉檢測回路的半導體IC46、內插頭48，內插頭48 安裝于板狀部315中、未形成有側板部316的邊附近。在采用上述結構的第一殼體31中，當處于基板40被基板承受部31 支承的狀態(tài) 時，磁敏元件42配置于凹部318內，從而使凹部318的底部318a作為設于磁敏元件42與 磁體20之間的間壁部起作用。在該狀態(tài)下，在磁敏元件42與凹部318的底部318a(內底 部)之間存在間隙，磁敏元件42與凹部318的底部318a處于非接觸狀態(tài)(參照圖2(a))。如圖4(b)所示，在第一殼體31的板狀部315中磁體20所在的外表面?zhèn)刃纬捎袌A 形的環(huán)狀槽319以圍住凹部318的底部318a，在上述環(huán)狀槽319中通過粘接等方法嵌入固 定有圓環(huán)狀的環(huán)15的端部。只有環(huán)15的與磁體20所在一側相反一側(磁敏元件42所在 的一側)的端部嵌入環(huán)狀槽319內，上述環(huán)15的另一側端部比凹部318的底部318a更朝 磁體20所在的一側突出(參照圖3)。而且，環(huán)15的內徑尺寸比磁體20的外徑尺寸稍大。 在采用上述結構的環(huán)15的內側設有磁體20的永磁體25及凸緣部213，在該狀態(tài)下，環(huán)15 處于在半徑方向外側與磁體20的外周面隔著間隔對向的狀態(tài)。上述環(huán)15由磁性材料構成，起到對磁體20進行磁屏蔽的功能。另外，在本實施方 式的磁式旋轉檢測裝置10中，如后述制造方法所述，以環(huán)15為基準使磁體20及磁敏元件 42的中心一致。因此，磁敏元件42的中心位于環(huán)15的中心軸線上，磁體20的中心位于環(huán) 15的中心軸線上。第二殼體32包括與第一殼體31的板狀部315對向的大致矩形的板狀部325 ；以 及在相當于板狀部325的三邊的位置朝第一殼體31的側板部316豎起的三個側板部326， 在第一殼體31及第二殼體32中，形成有各自的側板部316、3沈的邊一致。因此，當將第二 殼體32蓋住第一殼體31時，側板部316、3沈彼此重疊，但相當于四邊中的一邊的位置處于 朝外側開口的狀態(tài)。所以，由于內插頭48處于朝外部露出的狀態(tài)，因此，能使外插頭49與 內插頭48結合。在第二殼體32的板狀部325上形成有將基板40按壓于基板承受部31 的突起325c。(對于磁敏元件42的防水結構)當使采用這種結構的第一殼體31與第二殼體32重疊時，第一殼體31的側板部 316覆蓋到第二殼體32的側板部3 的外表面。當利用上述重疊使側板部316、3沈彼此接 合時，在第二殼體32的側板部3 上，薄壁部分326d從由第二殼體32的側板部326的根 部部分構成的厚壁部分326c的內周側朝第一殼體31延伸，上述薄壁部分326d的寬度尺寸比與第一殼體31的側板部316重疊的部分的寬度尺寸稍大。因此，當使第一殼體31與第 二殼體32重疊時，在第一殼體31的側板部316與第二殼體32的側板部3 之間，并在厚 壁部分326c和薄壁部分326d的臺階部326a與第一殼體31的側板部316的前端緣之間形 成有第一槽部36。上述第一槽部36形成為在第一殼體31的三個側板部316及第二殼體 32的三個側板部3 中連續(xù)的狀態(tài)。因此，在本實施方式中，在將密封劑35涂覆于在三個 側板部316、326中形成的第一槽部36的整體后，使該密封劑35固化，從而能防止水朝殼體 33內的侵入。在內插頭48所在的部分中，第一殼體31與第二殼體32之間開口較大，但在 使外插頭49與內插頭48結合之前，或在使外插頭49與內插頭48結合之后，只要將密封劑 35也涂敷于上述部分并使其固化，就能防止水朝殼體33內的侵入。對于密封劑35的材質 沒有限定，能使用硅酮樹脂等。在第二殼體32的側板部3 上形成有固定用的小突起參照圖4)，另一方 面，在第一殼體31的板狀部315上形成有供小突起326e嵌入的有底的小孔315e(參照圖 5)。因此，若使第二殼體32的小突起326e嵌入第一殼體31的小孔315e，則能將第一殼體 31與第二殼體32結合。(利用隔板定位的結構)在采用上述結構的磁式旋轉檢測裝置10中，回路單元30的殼體33隔著外形為長 方體形狀的隔板50固定于電動機殼體27。S卩，隔板50在對角位置被作為緊固構件的兩根 螺栓59固定于電動機殼體27的端面，殼體33在對角位置被兩根螺栓39固定于隔板50的 端面。在進行上述緊固時，若在第一殼體31及第二殼體32這兩個構件上形成供螺栓59穿 過的圓筒部，則會使接合部分處的密封性降低。因此，在本實施方式中，僅在第一殼體31及 第二殼體32中的第二殼體32上從側板部3 連續(xù)地形成有供螺栓39的軸部穿過的兩個 圓筒部328。另外，在本實施方式中，以防止水從圓筒部328的周圍侵入殼體33內為目的， 在第一殼體31的板狀部315上以避開圓筒部328的方式形成有圓弧狀的缺口 317。此外， 當使第一殼體31與第二殼體32重疊時，在圓筒部328的外周面與缺口 317的內周面之間， 形成有朝旋轉中心軸線L方向中、磁體20所在一側開口的第二槽部37。因此，在本實施方 式中，當將密封劑35涂覆于第一槽部36時，在第二槽部37內也涂覆有密封劑35。在此，第 一槽部36與第二槽部37構成相連且連續(xù)的槽部。因此，在殼體33中，除了配置有內插頭 48的部分以外，全周均被密封劑35封閉。本實施方式中使用的隔板50的外形為長方體形狀，但形成有沿轉軸22的旋轉中 心軸線L方向開口的圓形的通孔51，且磁體20位于上述通孔51內。通孔51的內徑尺寸比 磁體20的凸緣部213的外徑尺寸大，在通孔51的內周面與磁體20的外周面之間，在全周 上形成有環(huán)狀的間隙。在上述間隙內插入有環(huán)15的端部。環(huán)15的外徑尺寸與通孔51的 內徑尺寸實質上是相同的，環(huán)15處于嵌入通孔51內的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，在磁體20的凸 緣部213的外周面與環(huán)15的內周面之間存在間隙。這樣，環(huán)15相對于隔板50在徑向上被 定位。(磁式旋轉檢測裝置10的制造方法)圖6是表示本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10的制造方法的說明圖。為了制造 本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10，首先，在第一對位工序中，將環(huán)15固定于與第二殼體 32結合前的第一殼體31，并在進行完環(huán)15與磁敏元件42的對位以使磁敏元件42的中心位于環(huán)15的中心軸線上后，將基板40固定于第一殼體31。更具體而言，例如，將環(huán)15及基 板40分別保持于兩個機械手，并在調節(jié)好環(huán)15及基板40的位置后，將基板40固定于第一 殼體31。此時，在使用UV粘接劑等速干性的粘接劑將基板40臨時粘接于第一殼體31后， 使用由熱固性樹脂構成的粘接劑將基板40正式粘接于第一殼體31。然后，在使第二殼體 32蓋住第一殼體31且使第二殼體32的小突起326e嵌入固定于第一殼體31的小孔31 的狀態(tài)下，在將密封劑35涂覆于第一槽部36及第二槽部37后，使該密封劑35固化，從而 封閉殼體33。接著，在第二對位工序中，進行環(huán)15與磁體20的對位以使磁體20的中心位于環(huán) 15的中心軸線上。為此，如圖6 (a)、圖6 (e)所示，首先，在將電動機2的轉軸22嵌入形成于 磁體保持件21的軸部211的端部的孔內后，將緊固螺釘219從側面嵌入形成于軸部211周 面的孔來限制旋轉方向上的移動，從而將磁體20固定于轉軸22。接著，如圖6 (b)、圖6 (e) 所示，將隔板50配置于電動機殼體27的端面以使磁體20進入隔板50的通孔51內(第一 操作)。接著，如圖6(c)、圖6(e)所示，在隔板50的通孔51的內壁與磁體20的外周面之 間插入夾具60的圓筒部61，從而利用夾具來進行隔板50與磁體20的對位(第二操作)。 即，夾具60具有在周向上壁厚為一定的圓筒部61，上述圓筒部61的內徑尺寸與磁體20的 凸緣部213及永磁體25的外徑尺寸實質上是相同的，上述圓筒部61的外徑尺寸與隔板50 的通孔51的內徑尺寸實質上是相同的。因此，在圖6(c)、圖6(e)所示的狀態(tài)下，隔板50的 通孔51和磁體20的凸緣部213及永磁體25被配置成同心狀。接著，如圖6 (d)所示，在利用螺栓59將隔板50固定于電動機殼體27后，卸下夾 具60(第三操作)。然后，在將被組裝成圖3(b)所示的狀態(tài)的回路單元30的環(huán)15插入隔板50的通 孔51后，利用螺栓39將回路單元30的殼體33固定于隔板50 (第四操作)。其結果是，在 以磁體20的中心位于環(huán)15的中心軸線上的方式使環(huán)15與磁體20對位的狀態(tài)下，組裝好 磁式旋轉檢測裝置10。(本實施方式的主要效果)如以上說明所述，在本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10中，在作為分隔構件設于 磁體20與磁敏元件42之間的第一殼體31的板狀部315上固定有環(huán)15，以上述環(huán)15為基 準來確定磁體20及磁敏元件42的位置。即，在磁式旋轉檢測裝置10的制造方法中，以環(huán) 15為基準來確定第一殼體31上的磁敏元件42的位置，并利用隔板50及夾具60，以環(huán)15 為基準來確定磁敏元件42及磁體20的位置。因此，磁敏元件42與磁體20之間的位置精 度較高。另外，在將環(huán)15固定于第一殼體31時，由于形成為使環(huán)15嵌入圍住凹部318的 環(huán)狀槽319的結構，所以，能將環(huán)15可靠地固定于第一殼體31的規(guī)定位置。此外，由于環(huán)15作為對磁體20的磁屏蔽部起作用，因此，即使不使用專用的屏蔽 構件，也能進行磁屏蔽。另外，在本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10中，減少形成于磁體20的磁極對，但 是，對由磁敏元件42獲得的信號例如執(zhí)行進行插值處理以求出零交叉點等運算處理來確 保分辨能力。根據上述結構，由于將形成于磁體20的磁極對減少至最少一對，因此，即使磁體20與磁敏元件42稍微遠離，也具有足夠的靈敏度。而且，由于磁體20與磁敏元件42在 轉軸22的旋轉中心軸線L方向上對向，所以，即使磁體20與磁敏元件42稍微遠離，也能通 過磁敏元件42獲得波形失真較少的正弦波信號。因此，能在磁體20與磁敏元件42之間設 置間壁部(第一殼體31的凹部318的底部318a)。另外，在本發(fā)明中，利用第一殼體31和 第二殼體32來覆蓋磁敏元件42，且以圍住磁敏元件42的周圍的方式來將第一殼體31與第 二殼體32接合，并在接合部分涂覆密封劑35。因此，能將殼體33形成防水結構，從而能可 靠地保護磁敏元件42以避免水的侵入。另外，間壁部是在板狀部中朝磁體20所在一側凹陷的凹部318的底部318a，在上 述凹部318內配置有磁敏元件42。因此，對于在第一殼體31中使板狀部315整體變薄存 在限制，但能使磁敏元件42與磁體20接近。另外，安裝有磁敏元件42的基板40與板狀部 315中形成于凹部318周圍的基板承受部31 重疊配置，在磁敏元件42與凹部318的底部 318a之間隔著間隙。因此，能以與間壁(凹部318的底部318a)非接觸的狀態(tài)配置磁敏元 件42。所以，即使在使磁敏元件42與磁體20接近的情況下，由于對磁敏元件42不施加多 余的應力，因此，磁敏元件42也能發(fā)揮較高的靈敏度。另外，由于第一殼體31與第二殼體32之間被涂覆于其間的密封劑35封閉，因此， 能有效地阻止水從第一殼體31和第二殼體32的側板部316、3沈侵入。而且，密封劑35涂 覆于第一槽部36及第二槽部37內部。此外，第一槽部36與第二槽部37構成相連且連續(xù)的 槽部。因此，由于在殼體33中，除了配置有內插頭48的部分以外，全周被密封劑35封閉， 所以，能可靠地阻止水的侵入。(實施方式1的變形例)在上述實施方式1中，由于第一殼體31的側板部316與第二殼體32的側板部3 的外表面重疊，因此，在第二殼體32的側板部3 上設置臺階部326a以形成第一槽部36， 但在第二殼體32的側板部326與第一殼體31的側板部316的外表面重疊的情況下，也可 在第一殼體31的側板部316上設置臺階部以形成第一槽部36。(實施方式2)(磁式旋轉檢測裝置的結構)圖7是本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置中使用的回路單元的外觀圖。圖 8(a)是本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置中使用的回路單元的俯視圖，圖8(b)是沿 A-A'線切斷回路單元時的放大剖視圖。圖9是從第一殼體側觀察將本發(fā)明實施方式1的 磁式旋轉檢測裝置的回路單元分解后的形態(tài)的說明圖，圖10是從第二殼體側觀察將本發(fā) 明實施方式1的磁式旋轉檢測裝置的回路單元分解后的形態(tài)的說明圖。圖11(a)是形成于 本發(fā)明實施方式2的磁式旋轉檢測裝置中使用的第一殼體的凹部的說明圖，圖11(b)是磁 敏元件的剖視圖。另外，由于本實施方式的基本結構與實施方式1大致相同，因此，對具有 共同功能的部分標注相同的符號并省略其說明。此外，參照圖1來對磁式旋轉檢測裝置整 體的結構進行說明。如圖1(a)、圖1(b)及圖2(a)所示，本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10也與實施 方式1的磁式旋轉檢測裝置相同，包括固定于電動機2的轉軸22的磁體20 ；以及將裝設 有磁敏元件42及半導體IC46的基板40內置于殼體33內的回路單元30，磁敏元件42與磁 體20在轉軸22的旋轉中心軸線L方向上對向。在本實施方式中，磁敏元件42由MR元件構成，磁阻膜421以規(guī)定的圖案配置。磁體20具有圓盤狀的永磁體25，永磁體25在與磁敏 元件42對向的表面上沿周向被磁化成一對S極和N極。如圖7、圖8 (a)、圖8 (b)、圖9及圖10所示，本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10也 與實施方式1的磁式旋轉檢測裝置相同，回路單元30的殼體33包括相對于基板40位于 磁體20側的第一殼體31 ；以及相對于基板40位于與磁體20側相反一側的第二殼體32，第 一殼體31構成設于磁體20與磁敏元件42之間的分隔構件。第一殼體31包括大致呈五邊形的板狀部315 ；從板狀部315的外周端部朝第二 殼體32豎起的四個側板部316，側板部316的一部分在內側的位置從板狀部315的外周端 部豎起。另外，在板狀部315中形成有從板狀部315的一側朝磁體20所在的外表面?zhèn)劝枷?的圓形的凹部318。凹部318的底部318a與板狀部315中構成凹部318以外的部分相比 較，厚度較薄。此外，凹部318的環(huán)狀的內周壁部318g以從凹部318的開口緣31 朝底部 318a減小凹部318的內徑的方式形成傾斜的錐面。在本實施方式中，被側板部316圍住的 區(qū)域成為基板40的配置空間，基板40配置于板狀部315的內周面中、被側板部316圍住的 部分。在本實施方式中，基板40被形成于板狀部315的多個突起315s (基板承受部)支承 成與板狀部315對向的姿勢。在板狀部315的位于對角的兩處形成有供圖1所示的螺栓39 穿過的孔31證。另外，在板狀部315中與側板部316連接的角部分形成有半圓柱狀的突起 315p，上述突起315p表示應配置基板40的位置。在本實施方式中，第一殼體31與實施方式1的第一殼體相同，是PPS等的樹脂成 形件。然而，在本實施方式中，第一殼體31由填充有導電性填料的導電性的樹脂成形件構 成。在基板40的與磁體20對向的表面?zhèn)鹊拇笾轮醒氚惭b有磁敏元件42。另外，在基 板40的背面?zhèn)劝惭b有構成旋轉檢測回路的半導體IC46、內插頭48，內插頭48安裝于板狀 部315中、未形成有側板部316的邊附近。在采用這種結構的磁式旋轉檢測裝置10中，如圖8(b)及圖11(a)所示，在第一殼 體31的板狀部315中，凹部318由大徑的第一凹部318p和在第一凹部318p的底部318a 的大致中央位置以大致四邊形的平面形狀凹陷的第二凹部318r構成，第二凹部318r包括 底部318s和四個內周側面318t、318u、318v、318w。另外，如圖11(b)所示，磁敏元件42包括由磁阻圖案構成的元件主體424;以及 覆蓋元件主體似4的保護層422。在本實施方式中，磁敏元件42具有在玻璃等非磁性基板的 一側表面上形成有作為元件主體424的磁阻圖案、覆蓋磁阻圖案的表面保護層(未圖示)、 端子似6等的結構，利用非磁性基板來構成保護層422。在此，磁敏元件42的平面形狀由作 為保護層422的非磁性基板的形狀限定，為大致四邊形。另外，磁敏元件42的平面尺寸比 圖8(b)及圖11(a)所示的第二凹部318i 稍小，磁敏元件42處于嵌入第二凹部318r內側 的狀態(tài)。此外，磁敏元件42的外周端部420(保護層422的外周端部)中的沿周向相鄰的 兩個邊部與第二凹部318r的四個內周側面318t、318u、318v、318w中的相鄰的兩個內周側 面318t、318u抵接。因此，磁敏元件42被內周側面318t、318u沿面內方向定位于第二凹部 318r 內。當將采用上述結構的基板40配置于第一殼體31內時，該基板40被板狀部315的 突起31 支承。在該狀態(tài)下，在磁敏元件42的保護層422與凹部318的底部318a (第二凹部318r的底部318s)之間空有間隙，磁敏元件42與凹部318的底部318a (第二凹部318r 的底部318s)處于非接觸狀態(tài)。在第一殼體31的板狀部315中磁體20所在的外表面?zhèn)刃纬捎袌A形的環(huán)狀槽319 以圍住凹部318的底部318a，在上述環(huán)狀槽319中通過粘接等方法嵌入固定有圓弧狀的環(huán) 15的端部。即使本實施方式也與實施方式1相同，僅有環(huán)15的與磁體20所在一側相反一 側(磁敏元件42所在的一側)的端部嵌入環(huán)狀槽319內，上述環(huán)15的另一側端部比凹部 318的底部318a更朝磁體20所在一側突出。另外，環(huán)15的內徑尺寸比圖1所示的磁體20的外徑尺寸稍大。在采用上述結構 的環(huán)15的內側設有磁體20的永磁體25及凸緣部213，在該狀態(tài)下，環(huán)15處于在半徑方向 外側與磁體20的外周面隔著間隔對向的狀態(tài)。上述環(huán)15由磁性材料構成，起到對磁體20 進行磁屏蔽的功能。另外，在本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10中，如后述制造方法所述， 以環(huán)15為基準使磁體20、第一殼體31及基板40的位置一致。此外，第二凹部318r以使磁 敏元件42的中心位于環(huán)狀槽319的中心的方式形成。因此，根據后述制造方法，磁敏元件 42的中心位于環(huán)15的中心軸線上，磁體20的中心位于環(huán)15的中心軸線上。第二殼體32具有與第一殼體31的板狀部315對向的板狀部325，板狀部325的外 形形狀呈與第一殼體31的側板部316大致重疊的形狀。在第二殼體32中，側板部3 從 板狀部325的外周端部朝第一殼體31的側板部316豎起，當將第二殼體32蓋住第一殼體 31時，側板部316與側板部326以側板部316位于側板部3 外側的方式在內外方向上重 疊。在此，從板狀部325開始的側板部326的突出尺寸(高度尺寸)比從側板部315開始 的側板部316的突出尺寸(高度尺寸)短。因此，在將第二殼體32蓋住第一殼體31的狀 態(tài)下，第二殼體32的側板部3 不會到達第一殼體31的板狀部315，從而在側板部326的 下端部與板狀部315之間空有間隙。在第二殼體32的板狀部325中，在側板部326的端部中斷的部分形成有突起 325t，當將第二殼體32蓋住第一殼體31時，突起325t擱在側板部326的上端部從而被側 板部3 卡住。因此，即使在采用第二殼體32落入第一殼體31內側這樣的結構的情況下， 也可限定第二殼體32的高度位置。這樣，當將第二殼體32蓋住第一殼體31時，在第一殼 體31與第二殼體32之間，一部分處于朝側面開口的狀態(tài)。所以，內插頭48處于朝外部露 出的狀態(tài)。在第二殼體32中，即使在除了供內插頭48配置一側以外的部分中，側板部326 也被中斷，但上述側板部326的中斷部分被第一殼體31的側板部316堵塞。在此，在第一殼體31的側板部316的內周面，從高度方向的中途位置到上端緣在 多處形成有較淺的凹部316c，另一方面，第二殼體32的側板部326的外表面是平坦的。因 此，當將第二殼體32蓋住第一殼體31時，在側板部316與側板部3 之間形成有狹小的間 隙33g，并利用凹部316c形成有在上方開口的較大的間隙。所以，當在側板部316與側板部 326之間的狹小間隙中流入密封用的粘接劑33f時，凹部316c作為粘接劑33f的積存部起 作用。因此，若使粘接劑33f固化，則能使第一殼體31與第二殼體32結合以構成殼體33， 并能利用粘接劑33f將側板部316與側板部3 之間可靠地堵塞。所以，殼體33具有防水 性能。此時，第二殼體32的側板部326的下端部也被粘接劑33f固定于第一殼體31的側 板部316，但在側板部3 的下端部與第一殼體31的板狀部315之間空有間隙。所以，不會 因進入側板部326的下端部與板狀部315之間的粘接劑33f而導致第二殼體32浮起，從而能將第二殼體32正確地固定于規(guī)定的高度位置。側板部326的中斷部分僅被側板部316 堵塞，但在上述部分中，若在側板部316的上端緣與第二殼體32的板狀部325的端部之間 涂覆密封材，則能確保殼體33的防水性能。在本實施方式中，第二殼體32的整體是由鐵類的磁性材料構成的金屬制的，還具 有導電性。另外，第一殼體31也具有導電性。因此，若使第一殼體31與第二殼體32在任 一部分接觸，則能使第一殼體31與第二殼體32處于導通的狀態(tài)。即，在本實施方式中，通 過將配線材等從第一殼體31或第二殼體32連接到基板40、電動機殼體27 (參照圖1)或固 定于電動機殼體27的電動機座(未圖示)并使其導通來進行接地。因此，欲從外部侵入殼 體33內的電噪聲在第一殼體31和第二殼體32中傳遞，并經由配線材流入地面。所以，能 保護參照圖2(b)說明的構成旋轉檢測回路的半導體IC46及磁敏元件42免受電噪聲的影 響，使得在殼體33內從磁敏元件42輸出的信號不易受到來自周圍的電噪聲的影響。因此， 磁式旋轉檢測裝置10能不受干擾噪聲影響地進行期望的檢測。另外，磁敏元件42的基板 40所在一側被第二殼體32的板狀部325覆蓋，使得磁敏元件42被磁屏蔽。此外，在本實施方式中，在第二殼體32的板狀部325中形成有橢圓形狀、正圓形狀 的孔32 ！。上述孔32 與殼體33的內部連通，并在與安裝于基板40的半導體IC46、基 板40的配線圖案等重疊的位置上開口。因此，從孔32 能觀察到安裝于基板40的半導體 IC46的端子、基板40的配線等。所以，如圖1(a)所示，在本實施方式的回路單元30中，即 使在將磁式旋轉檢測裝置10裝設于電動機2后，若從孔32 插入銷狀端子，則也能對半導 體IC46進行用于調節(jié)偏置等的參數輸入、參數改變。即，在本實施方式的磁式旋轉檢測裝 置10的情況下，由于是在將回路單元30、磁體20裝設于電動機2的狀態(tài)下完成的，因此， 只能在將回路單元30、磁體20裝設于電動機2以后進行特性測定，但在本實施方式的磁式 旋轉檢測裝置10中，由于在第二殼體32的板狀部325中形成有孔32 ，所以，即使不卸下 第二殼體32，也能對半導體IC46進行參數的輸入、改變等。因此，在設有第二殼體32的狀 態(tài)下，在將磁式旋轉檢測裝置10裝設于電動機2的狀態(tài)下一邊進行監(jiān)視，一邊進行對半導 體IC46的參數的輸入、改變等，所以，能在由磁性體構成的第二殼體32的影響存在的成品 的狀態(tài)下進行調節(jié)。在進行特性測定、對半導體IC46的參數的輸入、改變等后，如圖4 (a)中點劃線L99 所示，粘貼密封片等片材99以堵塞孔32 ，因此，不會使異物侵入殼體33內部。由于其他 結構與實施方式1相同，所以，省略說明。(磁式旋轉檢測裝置10的制造方法)制造本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10的情況也與實施方式1相同，首先，在第 一對位工序中，將環(huán)15固定于與第二殼體32結合前的第一殼體31，并在進行完環(huán)15與磁 敏元件42的對位以使磁敏元件42的中心位于環(huán)15的中心軸線上后，將基板40固定于第一 殼體31。更具體而言，例如，將環(huán)15及基板40分別保持于兩個機械手，并在調節(jié)完環(huán)15及 基板40的位置后，將基板40固定于第一殼體31。此時，將磁敏元件42嵌入第二凹部318r 以對其進行定位。在該狀態(tài)下，在磁敏元件42與第二凹部318r的底部318s之間存在間隙， 磁敏元件42與第二凹部318r的底部318s處于非接觸狀態(tài)。此外，在使用UV粘接劑等速 干性的粘接劑將基板40臨時粘接于第一殼體31后，使用由熱固性樹脂構成的粘接劑將基 板40正式粘接于第一殼體31。然后，將第二殼體32蓋住第一殼體31，在該狀態(tài)下，使密封用的粘接劑33f流入側板部316與側板部3 之間的間隙33g以使第一殼體31與第二殼 體32結合，從而構成殼體33。接著，在第二對位工序中，進行環(huán)15與磁體20的對位以使磁體20的中心位于環(huán) 15的中心軸線上。為此，與實施方式1相同，如圖6(a)、圖6(e)所示，在將電動機2的轉軸 22嵌入形成于磁體保持件21的軸部211的端部的孔內后，將緊固螺釘219從側面嵌入形成 于軸部211的周面的孔來限制旋轉方向上的移動，從而將磁體20固定于轉軸22。接著，如 圖6(b)、圖6(e)所示，將隔板50配置于電動機殼體27的端面以使磁體20進入隔板50的 通孔51內(第一操作)。接著，如圖6(c)、圖6(e)所示，在隔板50的通孔51的內壁與磁體20的外周面之 間插入夾具60的圓筒部61，從而利用夾具來進行隔板50與磁體20的對位(第二操作)。接著，如圖6 (d)所示，在利用螺栓59將隔板50固定于電動機殼體27后，卸下夾 具60(第三操作)。然后，在將被組裝成圖3(b)所示的狀態(tài)的回路單元30的環(huán)15插入隔板50的通 孔51后，利用螺栓39將回路單元30的殼體33固定于隔板50 (第四操作)。其結果是，在 環(huán)15與磁體20對位以使磁體20的中心位于環(huán)15的中心軸線上的狀態(tài)下，組裝好磁式旋 轉檢測裝置10。(本實施方式的主要效果)如以上說明所述，在本實施方式的磁式旋轉檢測裝置10中，在作為分隔構件存在 于磁體20與磁敏元件42之間的第一殼體31的板狀部315上固定有環(huán)15，以上述環(huán)15為 基準來使磁體20、第一殼體31及基板40的位置一致。另外，通過將磁敏元件42定位于第 一殼體31的第二凹部318r來進行第一殼體31與基板40的對位。因此，能提高磁敏元件 42與磁體20的位置精度。此外，由于使平面形狀為四邊形的第二凹部318r與磁敏元件42在相鄰的兩個邊 部分抵接，所以，能在第二凹部3181 內沿正交的兩方向對磁敏元件42進行可靠的定位。即， 在第二凹部318r包括四個內周側面318t、318u、318v、318w并使保護層422的外周端部420 與四個內周側面318t、318u、318v、318w抵接的情況下，要求第二凹部318r與保護層422之 間具有較高的尺寸精度。因此，在產生尺寸誤差的情況下，例如，當保護層422的形狀較大 時，磁敏元件42可能以傾斜的狀態(tài)配置于第二凹部318r內，此外，在保護層422的形狀較 小的情況下，不能進行定位。然而，在本實施方式中，由于使保護層422的外周端部420僅 與相鄰的兩個內周側面318t、318u抵接，所以，即使不能確保第二凹部318r與保護層422 之間較高的尺寸精度，也能進行磁敏元件42的面內方向上的定位。另外，在本實施方式中，即使在采用上述結構的情況下，也在磁敏元件42與第二 凹部318r的底部318s之間空有間隙。因此，由于能將磁敏元件42以非接觸狀態(tài)磁敏元件 配置于第二凹部318r的底部318s，所以，不會對磁敏元件42的元件主體似4施加多余的應 力。而且，磁敏元件42具有保護層422，保護層422的外周端部420 (磁敏元件42的外周端 部420)與凹部318的內周側面318t、318u接觸。因此，即便使磁敏元件42與凹部318接 觸，也不會對元件主體4M施加多余的應力。另外，由于環(huán)15由磁性材料構成，所以，該環(huán)15作為對磁體20的磁屏蔽部起作 用。另外，由于第二殼體32也由磁性材料構成，所以，該第二殼體32作為對磁敏元件42的磁屏蔽部起作用。而且，由于第二殼體32包括板狀部325和側板部326，因此，磁敏元件42 處于周圍的大致整體被磁屏蔽的狀態(tài)。因此，在殼體33內，不易受到來自周圍的磁噪聲的 影響，所以，即使不使用專用的屏蔽構件，也能保護構成旋轉檢測回路的半導體IC46及磁 敏元件42免受磁噪聲的影響。特別地，磁敏元件42是對從磁體20產生的旋轉磁場進行檢 測的構件。因此，若利用第二殼體32對磁敏元件42進行磁屏蔽，則由于在從磁體20產生 的旋轉磁場中不易產生擾動，所以，磁敏元件42能檢測出沒有擾動的旋轉磁場。另外，由于第一殼體31為非磁性的，因此，即使在磁體20與磁敏元件42之間存在 第一殼體31的間壁部(凹部318的底部318a)，第一殼體31也不會妨礙磁力線從磁體20 朝向磁敏元件42，對于旋轉檢測沒有障礙。此外，相對于磁敏元件42位于與磁體20所在一 側相反一側的第二殼體32由磁性材料構成。因此，由于能將磁體20的磁力線高效地引導 至第二磁體32所在的一側、即磁敏元件42所在的一側，所以，存在能使磁式旋轉檢測裝置 10的檢測靈敏度提高這樣的優(yōu)點。另外，由于第一殼體31及第二殼體32均具有導電性，所以，殼體33內被電屏蔽。 因此，能保護半導體IC46及磁敏元件42免受電噪聲的影響。而且，由于第二殼體32包括 板狀部325和側板部326，因此，半導體IC46及磁敏元件42處于周圍的大致整體被電屏蔽 的狀態(tài)。所以，從磁敏元件42輸出的信號不易受到電噪聲的影響。另外，由于第一殼體31 具有設于磁體20與磁敏元件42之間的間壁部(凹部318的底部318a)，所以，半導體IC46 及磁敏元件42處于周圍完全被電屏蔽的狀態(tài)。因此，從磁敏元件42輸出的信號不易受到 電噪聲的影響，所以，檢測靈敏度較高。此外，在第二殼體32中形成有與殼體33內連通的孔32 ！。因此，即使不將第二殼 體32從磁式旋轉檢測裝置10卸下，只要從第二殼體32的孔插入銷狀端子，就能對設于殼 體33內的半導體IC46進行軟件的下載，并能進行用于調節(jié)偏置等的參數輸入、參數改變。 另外，由于能在由磁性材料構成的第二殼體32存在的狀態(tài)下進行磁式旋轉檢測裝置10的 特性測定及調節(jié)，所以，能進行也包含第二殼體32的磁力的影響的調節(jié)。(其他實施方式)在上述實施方式中，旋轉體是電動機2的轉軸22，靜止體是電動機殼體27，但也可 將磁體20形成于其他旋轉機構的旋轉體，將回路單元30隔著隔板50安裝于支承上述旋轉 體的靜止體。靜止體的“靜止”是相對于轉軸22的“旋轉”而言，包括靜止體自身與轉軸22 一起移動的情況。另外，靜止體也可以是除了電動機殼體27以外的構件，例如，電動機2裝 設的設備的一部分。在上述實施方式中，在永磁體25中形成有一對S極和N極，但也可在形成有多對 S極和N極的情況下使用本發(fā)明。在上述實施方式中，將利用環(huán)15的定位用于由兩個殼體構成的情況，但也可將利 用環(huán)15的定位使用于下述結構，在該結構中，以BMC樹脂對安裝有磁敏元件42的基板40 進行一體模塑，上述BMC樹脂是將較短的玻璃纖維與增強劑、填充劑等一起與應力較小的 樹脂例如以不飽和聚酯樹脂為主要成分的熱固性樹脂混合磁敏元件而成的。在該情況下， 在模塑樹脂中，利用覆蓋磁敏元件42的部分來形成分隔構件。在實施方式1、2中，在磁敏元件42與凹部318的底部318、第二凹部318r的底部 318s之間確保有間隙，但也可如實施方式2那樣，在磁敏元件42的朝凹部的底部的一側由保護層構成的情況下，使磁敏元件42的保護層與凹部的底部接觸。
另外，在實施方式2中，在平面形狀為四邊形的第二凹部318r與磁敏元件42之 間進行定位，但使第二凹部318r與磁敏元件42抵接來進行定位的結構也可用于第二凹部 318r及磁敏元件42的一方為圓形等、上述第二凹部318r及磁敏元件42的一方或雙方為四 邊形以外的形狀的情況。
權利要求
1.一種磁式旋轉檢測裝置，具有形成有由S極和N極構成的磁極對并設于旋轉體側 的磁體；以及在所述旋轉體的旋轉中心軸線方向上與所述磁體對向的磁敏元件，其特征在 于，還包括設于所述磁體與所述磁敏元件之間的分隔構件；以及固定于所述分隔構件中 所述磁體所在一側的表面的環(huán)，所述磁敏元件的中心位于所述環(huán)的中心軸線上，所述磁體以與所述環(huán)非接觸的狀態(tài)配置于所述環(huán)的內側，且所述磁體的中心位于所述 環(huán)的中心軸線上。
2.如權利要求1所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于， 在所述磁體上形成有一對S極和N極。
3.如權利要求1所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于，所述磁敏元件配置于所述分隔構件中朝所述磁體所在一側凹陷的凹部內。
4.如權利要求3所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于， 所述磁敏元件安裝于基板上，所述基板與所述分隔構件中形成于所述凹部周圍的基板承受部重疊配置，所述磁敏元 件與所述凹部的底部之間隔著間隙。
5.如權利要求3所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于，所述磁敏元件的外周端部與所述凹部的內周側面抵接，從而將所述磁敏元件定位于所 述凹部。
6.如權利要求5所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于， 所述磁敏元件在表面具有保護層，所述保護層的外周端部與所述凹部的內周側面接觸。
7.如權利要求6所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于， 所述凹部包括底部和四個內周側面，所述保護層的外周端部中的在周向上相鄰的兩個邊部與所述四個內周側面中的相鄰 的兩個內周側面抵接，所述磁敏元件被所述兩個內周側面定位于所述凹部。
8.如權利要求7所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于，所述凹部包括大徑的第一凹部；以及在所述第一凹部的底部大致中央位置凹陷的第 二凹部，所述保護層的外周端部與所述第二凹部的內周側面抵接以將所述磁敏元件定位于所 述第二凹部。
9.如權利要求3所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于，在所述分隔構件中所述磁體所在的表面?zhèn)刃纬捎袊∷霭疾康沫h(huán)狀槽， 在所述環(huán)狀槽內嵌入有所述環(huán)的所述磁敏元件所在一側的端部。
10.如權利要求1所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于， 所述環(huán)是由磁性材料構成的磁屏蔽構件。
11.如權利要求1至10中任一項所述的磁式旋轉檢測裝置，其特征在于， 具有固定于供所述磁式旋轉檢測裝置裝設的設備的靜止體側的隔板，所述隔板具有供所述磁體配置于內側的通孔，且所述通孔的內徑尺寸與所述環(huán)的外徑 尺寸相同，在所述通孔內以位于所述通孔的內壁與所述磁體的外周面之間的方式嵌入有所述環(huán)。
12.一種磁式旋轉檢測裝置的制造方法，所述磁式旋轉檢測裝置具有形成有由S極和 N極構成的磁極對并設于旋轉體側的磁體；以及在所述旋轉體的旋轉中心軸線方向上與所 述磁體對向的磁敏元件，其特征在于，將環(huán)固定于在所述磁體與所述磁敏元件之間配置的分隔構件中所述磁體所在一側的 表面， 具有第一對位工序，在該工序中，在進行所述環(huán)與所述磁敏元件的對位以使所述磁敏元件 的中心位于所述環(huán)的中心軸線上后，將所述磁敏元件固定于所述分隔構件；以及第二對位工序，該工序在所述第一對位工序之后，進行所述環(huán)與所述磁體的對位以使 所述磁體的中心位于所述環(huán)的中心軸線上。
13.如權利要求12所述的磁式旋轉檢測裝置的制造方法，其特征在于，將凹部設于所述分隔構件，該凹部具有與所述磁敏元件的外周端部抵接的內周側面并 朝所述磁體所在一側凹陷，在所述第一對位工序中將所述磁敏元件固定于所述分隔構件時，使所述磁敏元件的外 周端部與所述凹部的內周側面抵接以進行該磁敏元件的定位。
14.如權利要求13所述的磁式旋轉檢測裝置的制造方法，其特征在于，在將所述磁敏元件固定于所述分隔構件的狀態(tài)下，在所述磁敏元件與所述凹部的底部 之間空有間隙。
15.如權利要求13或14所述的磁式旋轉檢測裝置的制造方法，其特征在于， 所述磁敏元件在表面具有保護層，所述保護層的外周端部與所述凹部的內周側面接觸。
16.如權利要求15所述的磁式旋轉檢測裝置的制造方法，其特征在于， 所述凹部包括底部和四個內周側面，使所述保護層的外周端部中的在周向上相鄰的兩個邊部與所述四個內周側面中的相 鄰的兩個內周側面抵接，所述磁敏元件被所述兩個內周側面定位于所述凹部。
17.如權利要求16所述的磁式旋轉檢測裝置的制造方法，其特征在于，所述凹部包括大徑的第一凹部；以及在所述第一凹部的底部大致中央位置凹陷的第 二凹部，使所述保護層的外周端部與所述第二凹部的內周側面抵接以將所述磁敏元件定位于 所述第二凹部。
18.如權利要求12至17中任一項所述的磁式旋轉檢測裝置的制造方法，其特征在于， 在所述第二對位工序中，進行第一操作、第二操作、第三操作及第四操作，在所述第一操作中，對具有內徑尺寸與所述環(huán)的外徑尺寸相同的通孔的隔板進行配置以使所述磁體位 于所述通孔內，在所述第二操作中，將夾具的筒部插入所述通孔的內壁與所述磁體的外周面之間，以利用所述夾具進行所述隔板與所述磁體的對位，在所述第三操作中，在將所述隔板固定于供所述磁式旋轉檢測裝置裝設的設備的靜止 體側后，卸下所述夾具，在所述第四操作中，將所述環(huán)嵌入所述通孔內，以使所述環(huán)位于所述通孔的內壁與所 述磁體的外周面之間。
全文摘要
一種磁式旋轉檢測裝置及其制造方法，即使不進行很費工夫的加工，也能以較高的精度對磁體與磁敏元件進行對位。具體而言，磁式旋轉檢測裝置(10)具有形成有由S極和N極構成的磁極對并設于旋轉體(22)側的磁體(20)；以及在旋轉體(22)的旋轉中心軸線L方向上與磁體(20)對向的磁敏元件(42)，此外，還包括設于磁體(20)與磁敏元件(42)之間的分隔構件(31)；以及固定于分隔構件(31)中磁體(20)所在一側表面的環(huán)(15)，磁敏元件(42)的中心位于環(huán)(15)的中心軸線L上，磁體(20)以與環(huán)(15)非接觸的狀態(tài)配置于環(huán)(15)的內側，且磁體(20)的中心位于環(huán)(15)的旋轉中心軸線L上。
文檔編號G01D5/12GK102124304SQ200980132469
公開日2011年7月13日 申請日期2009年9月2日 優(yōu)先權日2008年9月5日
發(fā)明者常田晴弘, 矢崎俊悟, 赤羽健彥, 長田圭司 申請人:日本電產三協(xié)株式會社