專利名稱：比電阻檢測(cè)器以及比電阻檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢測(cè)用于電火花線切割機(jī)等的加工液等溶液的比電阻的比電阻檢測(cè)器以及比電阻檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
在電火花線切割機(jī)等加工液中進(jìn)行加工的裝置中，為了保持加工精度恒定，必須保持加工液的比電阻恒定。為此，使用比電阻計(jì)檢測(cè)加工液的比電阻，將設(shè)定值與該檢測(cè)出的比電阻值進(jìn)行比較，使用離子交換器等進(jìn)行控制，以使加工液的比電阻維持在規(guī)定的值。
使用圖9說(shuō)明以往所使用的、使用了直流電源的比電阻檢測(cè)器的1個(gè)例子。在該圖中，作為比電阻檢測(cè)器檢測(cè)部的2個(gè)檢測(cè)元件81、81間的溶液電阻值Rw由變換電路82變換為電信號(hào)。在該變換電路82中，通過(guò)電阻R從直流電源E向該2個(gè)檢測(cè)元件81、81間施加電壓。根據(jù)檢測(cè)元件81、81間的電位差取出變換電路82的電信號(hào)輸出Ew。該2個(gè)檢測(cè)元件81、81間的溶液的電阻Rw表示為Rw＝{Ew/(E-Ew)}×R即根據(jù)變換電路82的輸出信號(hào)Ew求出檢測(cè)元件81、81間的溶液的電阻Rw，該電阻值Rw就是加工液等溶液的比電阻值。
接著，使用圖10說(shuō)明以往所使用的、使用交流電源的比電阻檢測(cè)器的1個(gè)例子。在該圖中，2個(gè)檢測(cè)元件81、81間的溶液的電阻值Rw由變換電路82′變換為電信號(hào)。該變換電路82′由交流電源V和放大器83構(gòu)成。
2個(gè)檢測(cè)元件81、81間的溶液的電阻值Rw，根據(jù)變換電路82′的輸出信號(hào)Vw，由下式的運(yùn)算求出。
Rw＝{V/(Vw-V)}×R該電阻值Rw就是加工液等溶液的比電阻值。
但是，比電阻檢測(cè)器的檢測(cè)元件，為了測(cè)定比電阻始終要浸泡在加工液中。如果長(zhǎng)期間連續(xù)使用比電阻檢測(cè)器，則在檢測(cè)元件的表面會(huì)附著加工液中的不純物等污垢(水銹等)。因此，檢測(cè)出的比電阻的值，是包括了附著在了檢測(cè)元件上的污垢影響的值，而是與實(shí)際的加工液的比電阻不同的值。
加工液的比電阻，因?yàn)楦鶕?jù)比電阻檢測(cè)器的檢測(cè)值來(lái)控制，所以即使實(shí)際的比電阻偏離設(shè)定值，甚至影響到加工，往往還沒(méi)有發(fā)現(xiàn)。因此，比電阻計(jì)的檢測(cè)元件，必須要通過(guò)目視等定期或隨時(shí)地確認(rèn)來(lái)進(jìn)行清掃，清除附著物。
檢測(cè)元件的污垢，因?yàn)橐栽禄蚰甑膯挝贿M(jìn)展，所以也容易發(fā)生疏忽忘記檢測(cè)元件附著有污垢等的錯(cuò)誤。另外，其污垢的狀況，因放電加工機(jī)的加工狀況而變化，所以也存在對(duì)照狀況確認(rèn)污垢程度等煩瑣的一面。容易忘記確認(rèn)檢測(cè)溶液比電阻的檢測(cè)器的檢測(cè)元件是否臟了。
特別是，檢測(cè)元件的污垢，不是一下子變化的，而是長(zhǎng)時(shí)間地慢慢變化。而且，當(dāng)為電火花線切割機(jī)的場(chǎng)合，為了所檢測(cè)出的溶液的比電阻變?yōu)橐?guī)定值要通過(guò)離子交換器等進(jìn)行反饋控制，所以操作員難以發(fā)現(xiàn)檢測(cè)比電阻的檢測(cè)器的檢測(cè)元件污染而造成加工液的比電阻與檢測(cè)出的比電阻背離。另外，也難以用目視檢測(cè)元件的污垢。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供可以簡(jiǎn)單地檢測(cè)檢測(cè)比電阻的檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢的比電阻檢測(cè)器以及自動(dòng)檢測(cè)該污垢的比電阻檢測(cè)裝置。
根據(jù)本發(fā)明的溶液的比電阻檢測(cè)器的第一方式，在測(cè)定了相同的溶液的電阻值時(shí)，包含檢測(cè)各自不同的電阻值的主檢測(cè)器和副檢測(cè)器，根據(jù)所述主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的輸出，檢測(cè)主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢。
在該方式的檢測(cè)器中，被構(gòu)成為該主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件污垢向其附著難易不同。
根據(jù)本發(fā)明的溶液的比電阻檢測(cè)器的第二方式，被構(gòu)成為包含主檢測(cè)器和副檢測(cè)器，所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件和所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件污垢的附著難易不同，根據(jù)來(lái)自所述主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的輸出，檢測(cè)主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢。
在該方式的檢測(cè)器中，主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器，被調(diào)整為在這些檢測(cè)元件未附著污垢的狀態(tài)下，在測(cè)定了相同的溶液的電阻值時(shí)，分別檢測(cè)相同的電阻值。
通過(guò)在所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件和所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的面粗糙度上設(shè)定差別，來(lái)使向檢測(cè)元件的污垢的附著難易相互不同。
使所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件附近的溶液的流動(dòng)速度與所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件附近的溶液的流動(dòng)速度相互不同來(lái)將所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件配置在溶液內(nèi)，由此，使向其的污垢附著難易相互不同。
將主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的電源作為交流電源，在一方的檢測(cè)器的檢測(cè)元件間施加微弱的直流電源，來(lái)使污垢的附著難易不同。
根據(jù)本發(fā)明的溶液的比電阻檢測(cè)裝置，使用上述的比電阻檢測(cè)器，還具有根據(jù)來(lái)自主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的輸出求出電阻值的比或差的單元；和將所求出的電阻值的比或差與基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，來(lái)判別主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢的單元。
判別所述檢測(cè)元件的污垢的單元，具有在檢測(cè)器的檢測(cè)元件未附著污垢的狀態(tài)下，根據(jù)由主檢測(cè)器檢測(cè)出的電阻值和由副檢測(cè)器檢測(cè)出的電阻值的比率，求出所述基準(zhǔn)值，并進(jìn)行設(shè)定存儲(chǔ)的單元。
根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)椴灰蕾嚹恳暥歉鶕?jù)檢測(cè)器的輸出信號(hào)可以檢測(cè)檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢，所以可以正確地檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢。另外，因?yàn)椴槐貙z測(cè)元件從溶液中取出，所以檢測(cè)元件的污垢檢查作業(yè)容易。再者，作為比電阻檢測(cè)裝置也可以自動(dòng)檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢，所以可以不必進(jìn)行檢測(cè)元件的污垢檢查作業(yè)，可避免忘記檢查。


本發(fā)明上述的以及其他的目的以及特征，從參照附圖的下面的實(shí)施例的說(shuō)明中，會(huì)更明朗。這些附圖中，圖1是本發(fā)明的比電阻檢測(cè)器的第一電路例；圖2是圖1所示的比電阻檢測(cè)器的電路的一變形例；圖3是本發(fā)明的比電阻檢測(cè)器的第二電路例；
圖4是圖3所示的比電阻檢測(cè)器的電路的一變形例；圖5是表示本發(fā)明的比電阻檢測(cè)裝置的第一構(gòu)成例的框圖；圖6是表示本發(fā)明的比電阻檢測(cè)裝置的第二構(gòu)成例的框圖；圖7是表示本發(fā)明的比電阻檢測(cè)裝置的第三構(gòu)成例的框圖；圖8A是表示在主檢測(cè)器的檢測(cè)元件和副檢測(cè)器的檢測(cè)元件上分別未附著污垢的狀態(tài)的圖示；圖8B是說(shuō)明因?yàn)樵谥鳈z測(cè)器的檢測(cè)元件和副檢測(cè)器的檢測(cè)元件上分別附著有污垢，所以檢測(cè)元件間的溶液的電阻變化了的圖示；圖9是在電源使用了直流電源的、以往的比電阻檢測(cè)器的一個(gè)例子的概要電路圖；圖10是在電源使用了交流電源的、以往的比電阻檢測(cè)器的一個(gè)例子的概要電路圖。
具體實(shí)施例方式
溶液的比電阻(Ω·cm)，用檢測(cè)元件測(cè)定溶液的電阻值(Ω)，根據(jù)檢測(cè)元件的表面積、檢測(cè)元件間的距離等進(jìn)行計(jì)算。因此，即使測(cè)定相同比電阻值的溶液，如果檢測(cè)元件間的距離、檢測(cè)元件的表面積不同，則所測(cè)定的電阻值也不同。在本發(fā)明的比電阻檢測(cè)器的各實(shí)施方式中，具有檢測(cè)溶液的電阻值的主檢測(cè)器和副檢測(cè)器2個(gè)檢測(cè)器。
在第1實(shí)施方式中，做成在2個(gè)檢測(cè)器的檢測(cè)元件未污染時(shí)檢測(cè)相互不同的電阻值，來(lái)檢測(cè)這些檢測(cè)元件的污垢。另外，在第2實(shí)施方式中，讓2個(gè)檢測(cè)器的檢測(cè)元件上附著的污垢的附著狀況(污垢的進(jìn)展速度)不同，來(lái)檢測(cè)這些檢測(cè)器的污垢。再者，第3實(shí)施方式，是將第1實(shí)施方式和第2實(shí)施方式組合起來(lái)。
當(dāng)要檢測(cè)比電阻的溶液的容量大的場(chǎng)合等，因測(cè)定場(chǎng)所有時(shí)比電阻不同。在電火花線切割機(jī)中，大多是使加工液罐內(nèi)的加工液在離子交換器中循環(huán)，來(lái)進(jìn)行比電阻的調(diào)整。這時(shí)，在離子交換器的加工液入口附近和出口附近，為不同的比電阻。
為了做到不受由于這樣的溶液收容容器內(nèi)的場(chǎng)所而產(chǎn)生的溶液的比電阻的偏差的影響，在本發(fā)明的各實(shí)施方式中，相互接近地配置構(gòu)成比電阻檢測(cè)器的主檢測(cè)器和副檢測(cè)器。下面，對(duì)本發(fā)明的比電阻檢測(cè)器的各實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
第1實(shí)施方式涉及該實(shí)施方式的、檢測(cè)溶液的比電阻的比電阻檢測(cè)器，在測(cè)定相同溶液的電阻值時(shí)，使用分別檢測(cè)不同的電阻值的主檢測(cè)器和副檢測(cè)器2個(gè)檢測(cè)器。在此，設(shè)主檢測(cè)器的檢測(cè)元件(以下稱主檢測(cè)元件)未附著污垢時(shí)的其主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值為R0 …(1)設(shè)副檢測(cè)器的檢測(cè)元件(以下稱副檢測(cè)元件)未附著污垢時(shí)的其副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值為R0/χ。 …(2)另外，當(dāng)在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件雙方附著了污垢時(shí)，設(shè)各檢測(cè)元件附著的污垢的電阻值為Rd。于是，當(dāng)在主檢測(cè)元件附著了污垢時(shí)的其主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rmd，為Rmd＝R0+Rd…(3)另外，當(dāng)在副檢測(cè)元件附著了污垢時(shí)的其副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值，為Rsd＝R0/χ+Rd …(4)在此，當(dāng)在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件未附著有污垢時(shí)的副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值與主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值的比，根據(jù)上述(1)以及(2)，用R0/χ/R0＝1/χ …(5)表示。另外，當(dāng)在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件附著有污垢時(shí)的副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rsd與主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rmd的比Rsd/Rmd，根據(jù)上述(3)式以及(4)式，為Rsd/Rmd＝{(R0/χ)+Rd}/(R0+Rd)＝{(R0/χ)+(Rd/χ)+(-Rd/χ)+Rd}/(R0+Rd)＝1/χ+{(1-(1/χ))×{Rd/(R0+Rd)} …(6)上述的(6)式表示在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件污染時(shí)由主檢測(cè)元件檢測(cè)到的電阻值與由副檢測(cè)元件檢測(cè)出的電阻值的比Rsd/Rmd，比在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件未污染時(shí)由主檢測(cè)元件檢測(cè)到的電阻值與由副檢測(cè)元件檢測(cè)出的電阻值的比1/χ只增加{(1-(1/χ))×{Rd/(R0+Rd)}。因此，通過(guò)檢測(cè)副檢測(cè)器的檢測(cè)電阻值與主檢測(cè)器的電阻值的比是否偏離了1/χ，就可以監(jiān)視檢測(cè)元件的污垢附著。
另外，(6)式右邊第二項(xiàng){(1-(1/χ))×{Rd/(R0+Rd)}，χ＝1時(shí)為零而不能檢測(cè)檢測(cè)器的污垢，但是如果χ比1越小，或比1越大，則其絕對(duì)值就變?yōu)樵酱蟮闹担浣Y(jié)果，(6)式的Rsd/Rmd遠(yuǎn)遠(yuǎn)偏離(5)式的1/χ，所以就容易檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢。
第2實(shí)施方式如果使主檢測(cè)元件與副檢測(cè)元件接近地浸泡在同一溶液中進(jìn)行配置，則因?yàn)槟切┲鳈z測(cè)元件以及副檢測(cè)元件就被置于相同環(huán)境下，所以兩檢測(cè)元件的污垢附著狀況程度相同。因此，在所述的第1實(shí)施方式中，如上所述，構(gòu)成為在檢測(cè)元件未附著有污垢的狀態(tài)下，主、副2個(gè)檢測(cè)器的檢測(cè)電阻值不同(χ≠1)。
另一方面，該第2實(shí)施方式中，構(gòu)成為在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件未附著污垢的狀態(tài)下，設(shè)主檢測(cè)器間的檢測(cè)電阻值和副檢測(cè)器間的檢測(cè)電阻值為相同(χ＝1)，并且，向主檢測(cè)元件的污垢的附著難易(污垢的推進(jìn)速度)和向副檢測(cè)元件的污垢的附著難易(污垢的推進(jìn)速度)不同。
物體的表面，其面粗糙的一方污垢容易附著。因此，在該實(shí)施方式中，將主檢測(cè)元件與副檢測(cè)元件構(gòu)成為使其面粗糙度相互不同。
另外，污垢向檢測(cè)器的附著，除檢測(cè)元件的面粗糙度外，還依賴于檢測(cè)器周邊的溶液的流動(dòng)速度。溶液流動(dòng)快的一方，存在水銹等污垢容易附著的傾向。因此，當(dāng)在有溶液流動(dòng)的場(chǎng)所設(shè)置檢測(cè)器時(shí)，通過(guò)在主檢測(cè)元件和副檢測(cè)元件的任意一方設(shè)置用于緩和溶液流動(dòng)的罩子等，使主檢測(cè)元件周圍的溶液的流動(dòng)速度與副檢測(cè)元件周圍的溶液的流動(dòng)速度具有差別，從而，使在主檢測(cè)元件與副檢測(cè)元件之間污垢的附著狀況帶有差別。
在此，主檢測(cè)元件未污染時(shí)的其主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值，與副檢測(cè)元件未污染時(shí)的其副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值相等，都為R0。
…(7)
另外，當(dāng)主檢測(cè)元件和副檢測(cè)元件附著有污垢時(shí)，設(shè)主檢測(cè)元件上附著的污垢的電阻值為Rd…(8)設(shè)副檢測(cè)元件上附著的污垢的電阻值為Rd′ …(9)另外，在該實(shí)施方式中，如前所述，通過(guò)讓對(duì)主檢測(cè)元件的污垢的附著狀況(污垢的推進(jìn)速度)和對(duì)副檢測(cè)元件的污垢的附著狀況(污垢的推進(jìn)速度)不同，或通過(guò)讓主檢測(cè)元件周圍的溶液流動(dòng)速度與副檢測(cè)元件周圍的溶液流動(dòng)速度具有差別，做成Rd≠Rd′。
圖8A表示在主檢測(cè)元件11、11的一方以及另一方分別未附有污垢的狀態(tài)下，一方的檢測(cè)元件11與另一方的檢測(cè)元件11之間的溶液的電阻是R0。另一方面，圖8B表示在主檢測(cè)元件11、11的一方以及另一方分別附著有污垢的狀態(tài)下，一方的檢測(cè)元件11與另一方的檢測(cè)元件11的電阻分別只增加Rd/2，其結(jié)果，一方的檢測(cè)元件11與另一方的檢測(cè)元件11之間的溶液的電阻為R0+Rd。
同樣，在副檢測(cè)元件未附著有污垢的狀態(tài)下，副檢測(cè)元件間的溶液的電阻是R0，另外，在副檢測(cè)元件附著有污垢的狀態(tài)下，副檢測(cè)元件的一方電阻與另一方的電阻分別只增加Rd′/2，其結(jié)果，副檢測(cè)元件間的溶液的電阻為R0+Rd′。即當(dāng)在主檢測(cè)元件和副檢測(cè)元件分別附著了污垢時(shí)，主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rmd′為Rmd′＝R0+Rd…(10)副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rsd′為Rsd′＝R0+Rd′ …(11)在此，如果設(shè)Rd′＝α×Rd(α≠1)…(12)則(11)式變?yōu)镽sd′＝R0+α×Rd＝R0+Rd+(α-1)×Rd＝Rmd′+(α-1)×Rd…(13)即，如前所述，主檢測(cè)元件未污染時(shí)的其主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值、與副檢測(cè)元件未污染時(shí)的其副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值的差為零(R0-R0＝0)，比是1(R0/R0＝1)。但是，主檢測(cè)元件污染時(shí)的其主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值、與副檢測(cè)元件污染時(shí)的其副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值的差(Rmd′-Rsd′)，根據(jù)上述(13)式，是(α-1)×Rd，比(Rsd′/Rmd′)是{Rmd′+(α-1)×Rd}/Rmd′＝1+(α-1)×Rd/Rmd′。
因此，在該實(shí)施方式中，污垢附著與否，通過(guò)監(jiān)視在(10)式的Rmd′和(11)式的Rsd′之間Rsd′/Rmd′＝1是否成立，或者Rmd′-Rsd′＝0是否成立，就可以得知檢測(cè)元件的污垢附著。
第3實(shí)施方式該實(shí)施方式相當(dāng)于組合了上述的第1實(shí)施方式和第2實(shí)施方式。
在該實(shí)施方式中，做成當(dāng)將主檢測(cè)器和副檢測(cè)器浸入同一溶液中時(shí)，當(dāng)在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件未附著有污垢時(shí)，副檢測(cè)元件間的加工液的電阻值與主檢測(cè)元件間的加工液的電阻值不同。再者，被構(gòu)成為使向副檢測(cè)元件的污垢的附著難易(污垢的推進(jìn)速度)與向主檢測(cè)元件的污垢的附著難易(污垢的推進(jìn)速度)不同。
在此，在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件未附著有污垢的狀態(tài)下，設(shè)主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值為R0， …(14)設(shè)副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值為R0/χ。
…(15)另外，當(dāng)在比電阻檢測(cè)器附著了污垢時(shí)，設(shè)在主檢測(cè)元件附著的污垢的電阻值為Rd， …(16)設(shè)在副檢測(cè)元件附著的污垢的電阻值為α×Rd(α≠1)。
…(17)則在當(dāng)主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件分別附著了污垢時(shí)，附著了污垢的主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rmd″為Rmd″＝R0+Rd …(18)附著了污垢的副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rsd′，根據(jù)(15)式以及(17)式為，Rsd″＝(R0/χ)+α×Rd …(19)在此，主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件未附著有污垢時(shí)的副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值與主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值的比，根據(jù)上述(14)式以(15)式，用(R0/χ)/R0＝1/χ …(20)表示。另一方面，當(dāng)在主檢測(cè)元件以及副檢測(cè)元件附著了污垢時(shí)的副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rsd″與主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rmd″的比Rsd″/Rmd″，根據(jù)上述(18)式以及(19)式，以Rsd″/Rmd″＝{(R0/χ)+α×Rd}/R0+Rd＝{(R0/χ)+(Rd/χ)+(-Rd/χ)+αRd}/(R0+Rd)＝1/χ+{(α-(1/χ))×{Rd/(R0+Rd)} …(21)表示。
比較式(6)和式(21)可知，式(6)是在式(21)中假定α＝1時(shí)的式子。
在此，例如，如在χ≥1時(shí)，如果要讓?duì)粒?那樣，在主檢測(cè)元件與副檢測(cè)元件之間向各自的污垢的附著難易存在差別，則根據(jù)式(6)以及式(21)，為Rsd/Rmd＜Rsd″/Rmd″ …(22)可知可以加大電阻值的比的變化，可以更容易進(jìn)行檢測(cè)。
例如，如在χ＞1時(shí)，如果讓?duì)粒?那樣，或當(dāng)χ＜1時(shí)，如果讓?duì)粒?那樣，在檢測(cè)元件的面粗糙度方面存在差別，則電阻值的比的變化變大，容易檢測(cè)。但是，當(dāng)α＝1/χ時(shí)，(21)式的右邊第二項(xiàng){(α-(1/χ))×{Rd/(R0+Rd)}為零，Rsd″/Rmd″＝1/χ，即使污垢附著也不能檢測(cè)。但是，如果α≠1/χ那樣來(lái)選擇χ和α，則沒(méi)問(wèn)題。
根據(jù)第一實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器的電路例使用圖1至圖4說(shuō)明構(gòu)成本發(fā)明的第一實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器的第一以及第二電路例(及其這些的變形例)。
圖1表示構(gòu)成比電阻檢測(cè)順的電路的第一例。在該電路中，設(shè)置有主檢測(cè)器和副檢測(cè)器2兩個(gè)檢測(cè)器。主檢測(cè)器1，由2個(gè)檢測(cè)元件(主檢測(cè)元件)11、11和將該2個(gè)檢測(cè)元件11、11間的溶液的電阻值變換為電信號(hào)的變換電路12構(gòu)成。變換電路12由直流電流E1和電阻R1以及輸出端子構(gòu)成，通過(guò)電阻R1在2個(gè)檢測(cè)元件11、11間施加電壓。之后，將2個(gè)檢測(cè)元件11、11間的電位差作為輸出電信號(hào)Ew1取出。
同樣，副檢測(cè)器2，也由2個(gè)檢測(cè)元件(副檢測(cè)元件)21、21和將該2個(gè)檢測(cè)元件21、21間的溶液的電阻值變換為電信號(hào)的變換電路22構(gòu)成。變換電路22由直流電流E2和電阻R2以及輸出端子構(gòu)成，通過(guò)電阻R2在2個(gè)檢測(cè)元件21、21間施加電壓。將2個(gè)檢測(cè)元件21、21間的電位差作為輸出電信號(hào)Ew2取出。
如果主檢測(cè)器1的檢測(cè)元件11、11間的溶液的電阻值為Rm，副檢測(cè)器2的檢測(cè)元件21、21間的溶液的電阻值為Rs，則來(lái)自各檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2如下Ew1＝E1×Rm/(R1+Rm)…(23)Ew2＝E2×Rs/(R2+Rs)…(24)電阻R1、R2、電源電壓E1、E2是已知的值，所以根據(jù)上述(23)式以及(24)式，根據(jù)來(lái)自檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2可以求出電阻值Rm、Rs。之后，根據(jù)求出的電阻值Rm、Rs的比(Rm/Rs)，或差(Rm-Rs)，可以判別在檢測(cè)器的檢測(cè)元件11、11、21、21是否附著有污垢。
在上述的第1實(shí)施方式中，在該圖1所示的電路的比電阻檢測(cè)器內(nèi)，在主、副檢測(cè)器1、2的檢測(cè)元件11、11、21、21沒(méi)有污垢的狀態(tài)下，副檢測(cè)器2的一對(duì)檢測(cè)元件21、21間的溶液的電阻值(R0/χ)與主檢測(cè)器1的一對(duì)檢測(cè)元件11、11間的溶液的電阻值R0的比為1/χ。
如前所述，在檢測(cè)元件11、11、21、21未附著有污垢的狀態(tài)下，如(5)式所示，雖然副檢測(cè)器2的一對(duì)檢測(cè)元件21、21間的溶液的電阻值(R0/χ)與主檢測(cè)器1的一對(duì)檢測(cè)元件11、11間的溶液的電阻值R0的比為1/χ，但是，在附著了水銹等污垢的狀態(tài)下，如(6)式所示，該比為與1/χ不同的值。例如，如果χ＞1，則該比為比1/χ大的值。如從(6)式得知，在檢測(cè)元件附著的污垢的電阻值Rd越大，作為主檢測(cè)元件11、11間的溶液的電阻值與副檢測(cè)元件21、21間的溶液的電阻值的比的Rs/Rm的值就越大。在該值變?yōu)橐?guī)定值或規(guī)定值以上時(shí)，判斷為檢測(cè)元件11、11、21、21污染了，可以進(jìn)行清掃。
這樣，根據(jù)來(lái)自檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2，求出檢測(cè)元件間的溶液的電阻值，可以根據(jù)該檢測(cè)電阻值檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢狀況，所以與以往那樣通過(guò)目視檢測(cè)污垢狀況相比，可以準(zhǔn)確地檢測(cè)污垢狀況。另外，因?yàn)榭梢圆粚z測(cè)元件從溶液內(nèi)取出來(lái)檢測(cè)其污垢狀況，所以檢測(cè)元件管理的作業(yè)容易。
另外，在主副檢測(cè)器1、2檢測(cè)元件11、11、21、21未污染的狀態(tài)下，將電流E1、E2作為相同的電壓，調(diào)整變換電路12、22的電阻R1、R2的一方，調(diào)整為使主、副檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2輸出相同電平的電信號(hào)，如果該主、副檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2的差變?yōu)橐?guī)定值或規(guī)定值以上，則做為檢測(cè)元件11、11、21、21附著污垢，可以進(jìn)行清掃。
另外，如圖2所示，主、副檢測(cè)器1、2的電源電壓(圖1的E1、E2)可以共用(電源電壓E)。
圖3表示構(gòu)成比電阻檢測(cè)器的電路的第二例。在該電路中，共用主檢測(cè)器1的2個(gè)檢測(cè)元件的1個(gè)和副檢測(cè)器2的2個(gè)檢測(cè)元件的1個(gè)(檢測(cè)元件3)。其結(jié)果，在該比電阻檢測(cè)器中，設(shè)置有主檢測(cè)器1專用的檢測(cè)元件11、副檢測(cè)器2專用的檢測(cè)元件21和共用檢測(cè)元件31共3個(gè)檢測(cè)元件。由此，主檢測(cè)器1的檢測(cè)元件由檢測(cè)元件11和檢測(cè)元件31的一對(duì)構(gòu)成，副檢測(cè)器2的檢測(cè)元件由檢測(cè)元件21和檢測(cè)元件31的一對(duì)構(gòu)成。之后，在檢測(cè)元件11、31、21未附著有污垢的狀態(tài)下，主檢測(cè)器1的檢測(cè)元件11、31間的溶液的電阻值為R0，副檢測(cè)器2的檢測(cè)元件21、31間的溶液的電阻值為R0/χ。其他與圖1的電路相同。
另外，如圖4所示，主、副檢測(cè)器1、2的電源電壓也可以共用。
使用第1實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器的比電阻檢測(cè)裝置的例子使用圖5至圖7的框圖，對(duì)使用本發(fā)明第1實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器的比電阻檢測(cè)裝置的第一至第三構(gòu)成例進(jìn)行說(shuō)明。
圖5表示比電阻檢測(cè)裝置的第一構(gòu)成例。該比電阻檢測(cè)裝置，使用由圖4所示的電路所構(gòu)成的比電阻檢測(cè)器自動(dòng)檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢。在該比電阻檢測(cè)裝置中，來(lái)自比電阻檢測(cè)器的各檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2，分別被輸入到在求出電阻值的比的單元4所設(shè)置的電阻值運(yùn)算單元41、42，通過(guò)各電阻運(yùn)算單元41、42，進(jìn)行下述(25)式、(26)式的運(yùn)算，求出各檢測(cè)器1、2的檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rm、Rs。
Rm＝Ew1×R1/(E-Ew1) …(25)
Rs＝Ew2×R2/(E-Ew2) …(26)通過(guò)比率算單元43求出由該各電阻值運(yùn)算單元41、42求出的電阻值Rm、Rs的比(Rs/Rm)。如前所述，因?yàn)樽畛?在檢測(cè)元件的污垢還未開(kāi)始的階段)被設(shè)定為Rm＝R0、Rs＝R0/χ，所以Rs/Rm＝1/χ被輸出。但是，如果檢測(cè)元件污染，則如前所述，該比(Rs/Rm)就偏離了1/χ。因此，使用比率比較單元5比較該比率運(yùn)算單元43的輸出(Rs/Rm)和預(yù)先設(shè)定存儲(chǔ)的設(shè)定值(基準(zhǔn)值)3，當(dāng)超出該設(shè)定值(基準(zhǔn)值)時(shí)，輸出表示檢測(cè)元件已經(jīng)污染的信號(hào)。這樣，檢測(cè)元件的污垢被自動(dòng)檢測(cè)。
圖6表示比電阻檢測(cè)裝置的第二構(gòu)成例子。該圖6的構(gòu)成，使用由圖1所示的電路所構(gòu)成的比電阻檢測(cè)器。另外，與圖5所示的構(gòu)成的比電阻檢測(cè)裝置進(jìn)行比較，基準(zhǔn)值設(shè)定的方法不同，在求電阻值的比的單元4′中的各電阻值運(yùn)算單元41′、42′的運(yùn)算式不同。另外，比率運(yùn)算單元43以及比率比較單元5的構(gòu)成相同。
在該圖6所示的比電阻檢測(cè)裝置中，各電阻值運(yùn)算單元41′、42′進(jìn)行下述(27)式、(28)式的運(yùn)算后，求出各檢測(cè)器1、2的檢測(cè)元件間的溶液的電阻值Rm、Rs。
Rm＝Ew1×R1/(E1-Ew1) …(27)Rs＝Ew2×R2/(E2-Ew2) …(28)之后，用比率運(yùn)算單元43運(yùn)算其電阻值的比率(Rs/Rm)。比率運(yùn)算單元43的輸出，被輸入到設(shè)定存儲(chǔ)基準(zhǔn)值的單元3′和比率比較單元5。在開(kāi)始使用該比電阻檢測(cè)裝置的時(shí)刻，因?yàn)樵跈z測(cè)元件未附著污垢，所以從比率運(yùn)算單元43輸出由主、副檢測(cè)器檢測(cè)出的電阻值的比率Rs/Rm＝1/χ。在設(shè)定存儲(chǔ)基準(zhǔn)值的單元3中′，在該值加上規(guī)定的補(bǔ)正，作為基準(zhǔn)值進(jìn)行設(shè)定存儲(chǔ)。以后，使用比率比較單元5比較該基準(zhǔn)值與從比率運(yùn)算單元43所輸出的電阻值的比率(Rs/Rm)，如果比率運(yùn)算單元43的輸出超出基準(zhǔn)值，則輸出表示檢測(cè)元件已經(jīng)污染的信號(hào)。
另外，在圖6所示構(gòu)成的比電阻檢測(cè)裝置中，其使用的比電阻檢測(cè)器，取代圖1所示的比電阻檢測(cè)器，可以使用圖2至圖4的任意一個(gè)所示的比電阻檢測(cè)器。另外，在圖5所示的比電阻檢測(cè)裝置中，其使用的比電阻檢測(cè)器，取代圖4所示的電路的比電阻檢測(cè)器，可以使用圖1至圖3所示的任意一個(gè)所示的電路的比電阻檢測(cè)器。
圖7表示比電阻檢測(cè)裝置第三構(gòu)成例。在該構(gòu)成的比電阻檢測(cè)裝置中，其使用的比電阻檢測(cè)器，雖然可以使用圖1至圖4的任意1個(gè)所示的電路，但是，在圖7中，表示出了使用了圖4所示的電路的例子。之后，設(shè)主檢測(cè)器1的變換電路12的電阻為R，副檢測(cè)器2的變換電路22的電阻為R/χ。再者，將該主、副檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2輸入到差動(dòng)放大器6，通過(guò)絕對(duì)值電路7將該差動(dòng)放大器6的輸出輸入比較器8，自動(dòng)通知檢測(cè)元件的污垢。
在檢測(cè)元件11、31、21未附著污垢的狀態(tài)下，設(shè)主檢測(cè)器1的檢測(cè)元件11、31間的溶液的電阻值為R0，副檢測(cè)器2的檢測(cè)元件21、31間的溶液的電阻值為R0/χ。
這時(shí)的主檢測(cè)器1、副檢測(cè)器2的輸出為Ew1＝E×R0/(R+R0) …(29)Ew2＝E×(R0/χ)/{(R/χ)+(R0/χ)}＝E×R0/(R+R0) …(30)輸出相同電平的電信號(hào)。這時(shí)，差動(dòng)放大器6的輸出為OV，絕對(duì)值電路7的輸出也為OV。比較器8的基準(zhǔn)值設(shè)定為比OV稍高，這時(shí)的比較器8的輸出為高電平。檢測(cè)元件11、31、21污染，如前所述，檢測(cè)元件間的溶液的電阻值一旦變化，則主檢測(cè)器1、副檢測(cè)器2的輸出Ew1、Ew2不同，絕對(duì)值電路7的輸出電平如果超過(guò)基準(zhǔn)值，則比較器8的輸出為低電平，并自動(dòng)通知檢測(cè)元件已經(jīng)污染。另外，在該圖7所示的比電阻檢測(cè)裝置中，其使用比電阻檢測(cè)器，取代圖4所示的電路的比電阻檢測(cè)器，可以使用圖1至圖3的任意一個(gè)所示的電路的比電阻檢測(cè)器。
在該比電阻檢測(cè)裝置的例子中，在開(kāi)始使用該比電阻檢測(cè)裝置時(shí)，當(dāng)分開(kāi)地具有主、副檢測(cè)器的電源時(shí)，使主檢測(cè)器的電源E1和副檢測(cè)器的電源E2為相同的電壓，形成為主、副檢測(cè)器的檢測(cè)元件間的溶液的電阻值的比Rs/Rm為1/χ，并且，相對(duì)于主檢測(cè)器1的變換電路12的電阻R，將副檢測(cè)器2的變換電路22的電阻調(diào)整為R/χ(相反，也可以以副檢測(cè)器的電阻為基準(zhǔn)，調(diào)整主檢測(cè)器的比較電路的電阻值。)，可以預(yù)先設(shè)定好使主、副檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2相同。
以上，作為第1實(shí)施方式，說(shuō)明了在主檢測(cè)器1和副檢測(cè)器2的檢測(cè)元件未附著污垢的狀態(tài)下，主、副檢測(cè)器中的一對(duì)檢測(cè)元件間的溶液的電阻值的比為1/χ時(shí)的、可以檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢的比電阻檢測(cè)器，以及使用該比電阻檢測(cè)器自動(dòng)檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢的比電阻檢測(cè)裝置的幾個(gè)例子。
第2實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器以及使用該比電阻檢測(cè)器的比電阻檢測(cè)裝置的例子說(shuō)明基于本發(fā)明的第2實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器的電路例以及使用該比電阻檢測(cè)器的比電阻檢測(cè)裝置的構(gòu)成例。
關(guān)于該第2實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器以及比電阻檢測(cè)裝置，也由圖1至圖7所示的電路，由具有主、副2個(gè)檢測(cè)器1、2的比電阻檢測(cè)器構(gòu)成，檢測(cè)元件的污垢附著難易(污垢的推進(jìn)速度)不同。在第2實(shí)施方式中，在檢測(cè)元件未附著污垢的狀態(tài)下，主檢測(cè)器1的檢測(cè)元件11與檢測(cè)元件11之間的或檢測(cè)元件11與共用檢測(cè)元件31之間的溶液的電阻值、與副檢測(cè)器2的檢測(cè)元件21與檢測(cè)元件21之間的或檢測(cè)元件21與共用檢測(cè)元件31之間的溶液的電阻值相同。
這時(shí)，如(13)式所示，如果檢測(cè)元件污染，則因?yàn)橹?、副檢測(cè)器的檢測(cè)元件間的溶液的電阻值為分別不同的值，所以在圖1至圖4所示的電路中，根據(jù)主、副檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2所運(yùn)算的電阻值的比，與檢測(cè)元件未附著污垢時(shí)相比較不同。因此，該比如果超過(guò)規(guī)定值，則檢測(cè)元件污染，要進(jìn)行清掃。
在圖1至圖4所示的比電阻檢測(cè)器的電路例中，當(dāng)分開(kāi)有主、副檢測(cè)器的電源時(shí)，使主檢測(cè)器的電源E1和副檢測(cè)器的電源E2為相同的電壓，如果將主、副檢測(cè)順1、2的變換電路12、22的電阻R1、R2做成相同的電阻值，則在檢測(cè)元件沒(méi)有污垢的狀態(tài)下，主、副檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2相同，若檢測(cè)元件的污垢進(jìn)展，則就變?yōu)椴煌闹?。通過(guò)監(jiān)視它，可以在為主、副檢測(cè)器1、2的輸出Ew1、Ew2的比或差超過(guò)了規(guī)定值時(shí)判斷為檢測(cè)元件已經(jīng)污染了，要進(jìn)行清掃。
另外，圖5至圖7所示的自動(dòng)檢測(cè)檢測(cè)元件的污垢的比電阻檢測(cè)裝置的各構(gòu)成例，也可以原樣地應(yīng)用于第2實(shí)施方式，所以省略其說(shuō)明。
再者，在被適用于第2實(shí)施方式時(shí)的圖7所示的比電阻檢測(cè)裝置的第三例子中，副檢測(cè)器2的變換電路22的電阻值，可以與主檢測(cè)器1的變換電路12的電阻值相同。
第3實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器以及使用該比電阻檢測(cè)器的比電阻檢測(cè)裝置的例子說(shuō)明基于本發(fā)明的第3實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器的電路例以及使用該比電阻檢測(cè)器的比電阻檢測(cè)裝置的構(gòu)成例。
在該第3實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器中，與第2實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器相同，構(gòu)成為在向比電阻檢測(cè)器的主、副檢測(cè)器1、2的檢測(cè)元件的污垢附著難易(污垢的推進(jìn)速度)中有差；再者，與第1實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器一樣，在檢測(cè)元件未附著污垢的狀態(tài)下，由主檢測(cè)器檢測(cè)出的電阻值與由副檢測(cè)器檢測(cè)出的電阻值的比為1/χ(χ≠1)，主檢測(cè)元件間的溶液的電阻值＝R0，副檢測(cè)元件間的溶液的電阻值＝R0/χ。
在該第3實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器中，在檢測(cè)元件未污染的狀態(tài)下，雖然副檢測(cè)器的電阻值與主檢測(cè)器的電阻值的比為1/χ(χ≠1)，但是，如果檢測(cè)元件一污染起來(lái)，如(21)式所示，該比就變化為與1/χ不同的值。如果其差或比超過(guò)基準(zhǔn)值，則可以檢測(cè)為檢測(cè)器已經(jīng)污染。
在上述的各實(shí)施方式的比電阻檢測(cè)器中，使用有直流的恒壓電源。在電源中，除直流的恒壓電源外，還有直流的恒流電源、或交流的恒壓電源、交流的恒流電源，在本發(fā)明中，使用哪種電源都可以。當(dāng)在始終浸泡在加工液中的狀態(tài)下使用時(shí)，如果連續(xù)施加直流電壓，則產(chǎn)生如下等不良狀況即在檢測(cè)元件上吸附在放電加工時(shí)產(chǎn)生的金屬氫氧化物等污垢等。因此，通常采用使用交流電源等、檢測(cè)元件施加的平均電壓為OV的方式。這時(shí)，通過(guò)向一方的檢測(cè)元件施加微弱的直流電壓，也可以使污染狀況產(chǎn)生差別，因此，根據(jù)這種方法，也可以使檢測(cè)元件的污垢狀況(污垢的推進(jìn)速度)產(chǎn)生差別。
權(quán)利要求
1.一種比電阻檢測(cè)器，其為溶液的比電阻檢測(cè)器；包含在測(cè)定了相同溶液的電阻值時(shí)，檢測(cè)各自不同的電阻值的主檢測(cè)器和副檢測(cè)器；根據(jù)來(lái)自所述主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的輸出，檢測(cè)主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢。
2.一種比電阻檢測(cè)器，其為溶液的比電阻檢測(cè)器；包含主檢測(cè)器和副檢測(cè)器；被構(gòu)成為所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件和所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件污垢的附著難易不同；根據(jù)來(lái)自所述主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的輸出，檢測(cè)主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢。
3.如權(quán)利要求2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于所述主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器，被調(diào)整為在這些檢測(cè)元件上未附著污垢的狀態(tài)下，在測(cè)定了相同溶液的電阻值時(shí)分別檢測(cè)相同電阻值。
4.如權(quán)利要求1所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及副檢測(cè)器的檢測(cè)元件，被構(gòu)成為向其的污垢附著難易不同。
5.如權(quán)利要求2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于通過(guò)在所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件和所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的表面粗糙度上設(shè)置差別，來(lái)使向檢測(cè)元件的污垢的附著難易相互不同。
6.如權(quán)利要求2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于使所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件附近的溶液的流動(dòng)速度與所述副檢測(cè)器的檢測(cè)元件附近的溶液的流動(dòng)速度相互不同來(lái)將所述主檢測(cè)器的檢測(cè)元件與副檢測(cè)器的檢測(cè)元件配置于溶液內(nèi)，由此，使向其的污垢的附著難易不同。
7.如權(quán)利要求2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于將主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的電源作為交流電源，在一方的檢測(cè)器的檢測(cè)元件間施加微弱的直流電源，來(lái)使污垢的附著難易不同。
8.如權(quán)利要求1或2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于所述主檢測(cè)器的電源以及所述副檢測(cè)器的電源分別為直流電源。
9.如權(quán)利要求1或2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于所述主檢測(cè)器的電源以及副檢測(cè)器的電源分別為交流電源。
10.如權(quán)利要求1或2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于所述主檢測(cè)器的電源以及所述副檢測(cè)器的電源分別為恒壓電源。
11.如權(quán)利要求1或2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于所述主檢測(cè)器的電源以及所述副檢測(cè)器的電源分別為恒流電源。
12.如權(quán)利要求1或2所述的比電阻檢測(cè)器，其特征在于將把主檢測(cè)器的2個(gè)檢測(cè)元件之中的一方與副檢測(cè)器的2個(gè)檢測(cè)元件之中的一方做成了共用的、合計(jì)3個(gè)檢測(cè)元件做成了一組。
13.一種比電阻檢測(cè)裝置，具有以下單元使用權(quán)利要求1或2所述的比電阻檢測(cè)器，根據(jù)來(lái)自主檢測(cè)器以及副檢測(cè)器的輸出，求出電阻值的比或差的單元；和將所求得的電阻值的比或差與基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，判斷主檢測(cè)器的檢測(cè)元件以及副檢測(cè)器的檢測(cè)元件的污垢的單元。
14.如權(quán)利要求13所述的比電阻檢測(cè)裝置，其特征在于判別所述檢測(cè)元件的污垢的單元，具有在檢測(cè)器的檢測(cè)元件未附著污垢的狀態(tài)下，根據(jù)由主檢測(cè)器檢測(cè)到的電阻值和由副檢測(cè)器檢測(cè)到的電阻值的比率，求出所述基準(zhǔn)值，并進(jìn)行設(shè)定存儲(chǔ)的單元。
全文摘要
提供一種比電阻檢測(cè)器，其具有測(cè)定溶液的電阻值的主檢測(cè)器和副檢測(cè)器。根據(jù)主、副檢測(cè)器的輸出信號(hào)Ew1、Ew2，檢測(cè)主、副檢測(cè)器檢測(cè)元件的污垢。做成在檢測(cè)元件的污垢狀況產(chǎn)生速度差，或設(shè)定成在檢測(cè)元件未污染的狀態(tài)下，測(cè)定相同溶液的電阻值，從主、副檢測(cè)器的輸出得到不同的電阻值。檢測(cè)元件一旦污染，則因?yàn)橛芍?、副檢測(cè)器所求出的電阻值的比變化，所以根據(jù)該變化就判斷為檢測(cè)元件已污染。
文檔編號(hào)G01R27/22GK1773299SQ20051011511
公開(kāi)日2006年5月17日 申請(qǐng)日期2005年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月12日
發(fā)明者喜多佑樹(shù), 櫻井章博 申請(qǐng)人:發(fā)那科株式會(huì)社