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空氣主軸的制作方法

文檔序號:40575048發(fā)布日期:2025-01-03 11:40閱讀:28來源:國知局
空氣主軸的制作方法

本申請涉及主軸,尤其是指一種空氣主軸。


背景技術(shù):

1、空氣主軸采用氣浮軸承轉(zhuǎn)動支撐主軸。氣浮軸承是一種常見的非接觸式軸承,通過在主軸與軸承之間產(chǎn)生氣膜來支撐和減小摩擦力。當(dāng)主軸轉(zhuǎn)動時,由于離心力的作用,氣浮軸承內(nèi)部的氣體會形成一個高速氣膜。這個氣膜將主軸與氣浮軸承分離,使得主軸能夠自由旋轉(zhuǎn),減小了摩擦力和磨損。氣浮軸承在工作過程中,由于氣膜穩(wěn)定性較差,故會產(chǎn)生氣浮軸承歪斜的問題,從而導(dǎo)致主軸與氣浮軸承的轉(zhuǎn)動摩擦較大,且氣浮軸承無法降低主軸的轉(zhuǎn)動摩擦,進(jìn)而降低空氣主軸的轉(zhuǎn)動精度。

2、因此,在氣浮軸承發(fā)生傾斜時,如何調(diào)整氣浮軸承的狀態(tài)以提高空氣主軸的轉(zhuǎn)動精度是本領(lǐng)域急需解決的技術(shù)問題。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,本申請的目的在于提供一種空氣主軸,其可以解決主軸工作中產(chǎn)生的偏心問題,使得主軸工作保持平衡。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本申請采用如下的技術(shù)方案:

3、一種空氣主軸,該空氣主軸包括:殼體、主軸、轉(zhuǎn)子、定子和氣浮軸承;所述主軸至少部分位于所述殼體內(nèi)并與所述殼體轉(zhuǎn)動連接,所述主軸開設(shè)有限位槽;所述轉(zhuǎn)子位于所述殼體內(nèi)并與所述主軸連接;所述定子位于所述殼體內(nèi)并至少部分圍繞所述轉(zhuǎn)子設(shè)置;所述氣浮軸承至少部分安裝于所述殼體內(nèi),并將所述主軸轉(zhuǎn)動連接至所述殼體,所述氣浮軸承至少部分位于所述限位槽內(nèi)并與所述限位槽之間存在間隙,所述氣浮軸承開設(shè)有用于輸送氣體至所述間隙的進(jìn)氣通道;所述氣浮軸承開設(shè)有第一輔氣體通道和第二輔氣體通道,所述第一輔氣體通道具有連通所述氣浮軸承軸向的一端的第一通槽,所述第二輔氣體通道具有連通所述氣浮軸承軸向的另一端的第二通槽,所述間隙包括第一間隙和第二間隙,所述限位槽包括沿所述氣浮軸承軸向分布的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁,所述第一間隙位于所述氣浮軸承與所述第一側(cè)壁之間,所述第二間隙位于所述氣浮軸承與所述第二側(cè)壁之間,所述第一通槽連通所述第一間隙,所述第二通槽連通所述第二間隙,所述第一通槽內(nèi)設(shè)置有可活動的第一推板,所述第二通槽內(nèi)設(shè)置有可活動的第二推板,在所述氣浮軸承處于傾斜的情況下,所述第一推板能夠至少部分移動至所述第一間隙內(nèi)并具有對所述第一側(cè)壁的作用力,或,所述第二推板能夠至少部分移動至所述第二間隙內(nèi)并具有對所述第二側(cè)壁的作用力。

4、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,在所述氣浮軸承處于傾斜的情況下,所述第一推板能夠受壓差作用以至少部分移動至所述第一間隙內(nèi),或,所述第二推板能夠受壓差作用以至少部分移動至所述第二間隙內(nèi);在所述氣浮軸承處于正常工作狀態(tài)時,所述第一推板復(fù)位至所述第一通槽內(nèi),或,所述第二推板復(fù)位至所述第二通槽內(nèi)。

5、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,在所述氣浮軸承處于傾斜的情況下,所述第一輔氣體通道內(nèi)向所述第一通槽內(nèi)輸氣以使得所述第一推板至少部分移動至所述第一間隙內(nèi),或,所述第二輔氣體通道向所述第二通槽內(nèi)輸氣以使得所述第二推板至少部分移動至所述第二間隙內(nèi)。

6、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,在所述氣浮軸承處于正常工作狀態(tài)時,所述第一輔氣體通道向所述第一通槽內(nèi)吸氣以使得所述第一推板移動至所述第一通槽內(nèi),或,所述第二輔氣體通道向所述第二通槽內(nèi)吸氣以使得所述第二推板移動至所述第二通槽內(nèi)。

7、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述空氣主軸包括第三推板、第四推板、第一連接件和第二連接件,所述第三推板位于所述第一通槽內(nèi)并通過所述第一連接件與所述第一推板連接,所述第四推板位于所述第二通槽內(nèi)并通過所述第二連接件與所述第二推板連接;所述第一連接件和所述第二連接件具有彈性。

8、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述第一推板和所述第二推板為磁性件,所述第一通槽內(nèi)設(shè)置有第一電磁件,所述第二通槽內(nèi)設(shè)置有第二電磁件,在所述氣浮軸承處于正常工作狀態(tài)時,所述第一電磁件吸引所述第一推板以使得所述第一推板移動至所述第一通槽內(nèi),或,所述第二電磁件吸引所述第二推板以使得所述第二推板移動至所述第二通槽內(nèi)。

9、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述第一通槽設(shè)置有第一軌道以及與所述第一軌道滑動連接的第一滑塊,所述第一推板的一端與所述第一滑塊固定連接,且所述第一推板背離所述第一滑塊的一端相較于所述第一推板靠近所述第一滑塊的一端更靠近所述第一側(cè)壁設(shè)置;所述第二通槽設(shè)置有第二軌道以及與所述第二軌道滑動連接的第二滑塊,所述第二推板的一端與所述第二滑塊固定連接,且所述第二推板背離所述第二滑塊的一端相較于所述第二推板靠近所述第二滑塊的一端更靠近所述第二側(cè)壁設(shè)置。

10、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述第一通槽設(shè)置有第一軌道以及與所述第一軌道滑動連接的第一滑塊,所述第一推板的一端與所述第一滑塊轉(zhuǎn)動連接;

11、所述第二通槽設(shè)置有第二軌道以及與所述第二軌道滑動連接的第二滑塊,所述第二推板的一端與所述第二滑塊轉(zhuǎn)動連接。

12、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述空氣主軸包括第一氣壓傳感模塊和第二氣壓傳感模塊;所述第一氣壓傳感模塊被配置為能夠檢測所述第一間隙靠近所述限位槽槽底的氣壓,所述第二氣壓傳感模塊被配置為能夠檢測所述第一間隙靠近所述限位槽槽口的氣壓;或,所述第一氣壓傳感模塊被配置為能夠檢測所述第二間隙靠近所述限位槽槽底的氣壓,所述第二氣壓傳感模塊被配置為能夠檢測所述第二間隙靠近所述限位槽槽口的氣壓。

13、作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述第一輔氣體通道和所述第二輔氣體通道沿所述氣浮軸承的軸向分布于所述進(jìn)氣通道的兩側(cè)。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本申請的有益效果在于:

15、本申請?zhí)峁┮环N空氣主軸,在氣浮軸承處于傾斜的情況下,第一推板至少部分移動至第一間隙并產(chǎn)生對第一側(cè)壁的作用力,使得氣浮軸承回正;或,第二推板至少部分移動至第二間隙并產(chǎn)生對第二側(cè)壁的作用力,使得氣浮軸承回正,從而可以使得氣浮軸承的軸線和主軸的軸線重合,以提高空氣主軸的轉(zhuǎn)動精度。



技術(shù)特征:

1.一種空氣主軸(100),所述空氣主軸(100)包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣主軸(100),其特征在于,

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣主軸(100),其特征在于,

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的空氣主軸(100),其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空氣主軸(100),其特征在于,

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的空氣主軸(100),其特征在于,

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的空氣主軸(100),其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的空氣主軸(100),其特征在于,

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的空氣主軸(100),其特征在于,

10.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的空氣主軸(100),其特征在于,


技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種空氣主軸,該空氣主軸包括:殼體、主軸、轉(zhuǎn)子、定子和氣浮軸承;氣浮軸承至少部分位于限位槽內(nèi)并與限位槽之間存在間隙,氣浮軸承開設(shè)有進(jìn)氣通道、第一輔氣體通道和第二輔氣體通道,第一輔氣體通道具有第一通槽,第二輔氣體通道具有第二通槽,間隙包括第一間隙和第二間隙,限位槽包括沿氣浮軸承軸向分布的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁,第一通槽內(nèi)設(shè)置有第一推板,第二通槽內(nèi)設(shè)置有第二推板,在氣浮軸承處于傾斜的情況下,第一推板能夠至少部分移動至第一間隙內(nèi)并具有對第一側(cè)壁的作用力,或,第二推板能夠至少部分移動至第二間隙內(nèi)并具有對第二側(cè)壁的作用力。通過上述設(shè)置,使氣浮軸承能夠自動復(fù)位,增強(qiáng)氣浮軸承的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員:曹建偉,朱亮,傅林堅,張俊,沈興潮,董醫(yī)芳
受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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