材中的研磨 劑，同時(shí)對(duì)表面進(jìn)行蝕刻。
[0045] [1-4耐腐蝕性提高處理工序]
[0046] 對(duì)于導(dǎo)電性電極基材而言，可以利用下述列舉那樣的方法實(shí)施耐腐蝕性提高處 理。該處理中有以下這樣的處理。作為基材材料的鈦、鋯在常溫下、在其表面形成穩(wěn)定的氧 化被膜，富有耐腐蝕性，對(duì)于后述的電極催化層形成工序中被涂布的、包含電極催化成分溶 解了的無(wú)機(jī)或有機(jī)溶液的涂布液具有難以被腐蝕的性質(zhì)。因此，使用包含這些材料的基材 時(shí)，進(jìn)行耐腐蝕性提高處理的必要性低。另一方面，作為導(dǎo)電性電極基材，使用除鈦、鋯之外 的材質(zhì)時(shí)，有時(shí)被涂布液自身腐蝕，因此，優(yōu)選的是，在涂布前事先在高溫下加熱基材，強(qiáng)制 性地實(shí)施在其表面牢固且致密地形成具有耐腐蝕性的氧化被膜的處理。例如，在鎳制的基 材的情況下，可以在大氣中、于約500°C進(jìn)行30分鐘以內(nèi)的加熱處理。
[0047] (2.電極催化層形成工序）
[0048] 本發(fā)明中，如圖1所示，對(duì)于根據(jù)需要實(shí)施了前述那樣的前處理的具有多個(gè)孔的 導(dǎo)電性電極基材，通過賦予本發(fā)明特征的電極催化層形成工序，在導(dǎo)電性電極基材的表面 形成電極催化層。該電極催化層形成工序的特征在于，在以前進(jìn)行的方法中新設(shè)置至少一 次預(yù)熱的工序，其他工序可以與現(xiàn)有的電解用電極的制造方法中的電極催化層的形成方法 相同。具體而言，一直以來，在具有多個(gè)孔的導(dǎo)電性電極基材的表面形成電極催化層時(shí)， 在成為該基材的表面?zhèn)鹊囊幻嫱坎己须姌O催化成分的起始原料的涂布液，之后進(jìn)行干 燥?焙燒，重復(fù)多次該涂布?干燥?焙燒的一系列工序，由此在基材表面形成具有期望量的 電極催化成分的電極催化層，本發(fā)明的方法也基本上同樣。本發(fā)明的制造方法的特征在于 如下構(gòu)成：在重復(fù)多次涂布?干燥?焙燒這一系列工序的情況的任一階段，預(yù)熱至少1次， 在加熱至室溫以上的導(dǎo)電性電極基材涂布涂布液。
[0049] 參見圖1，說明關(guān)于該點(diǎn)的概要，如之前所述，本發(fā)明中，通過基于下述見解適當(dāng)確 定進(jìn)行預(yù)熱的時(shí)機(jī)和次數(shù)，從而能夠在基材的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)确謩e形成具有期望量的電極 催化成分的電極催化層。即，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了在導(dǎo)電性電極基材的表面?zhèn)韧坎纪坎家簳r(shí)，若 進(jìn)行預(yù)熱對(duì)基材進(jìn)行預(yù)加熱，則所涂布的涂布液的干燥變快，該液體中的催化層形成物質(zhì) 向基材表面?zhèn)鹊墓潭ㄋ钑r(shí)間縮短。其結(jié)果，基于得到的以下見解：能夠減少涂布液經(jīng)由 孔等轉(zhuǎn)移到基材的背面?zhèn)鹊牧浚軌蛴行У乜刂妻D(zhuǎn)移·固定在背面?zhèn)鹊拇呋瘜有纬晌镔|(zhì)的 量，因此，與不進(jìn)行預(yù)熱地在導(dǎo)電性電極基材涂布涂布液、之后進(jìn)行干燥?焙燒的情況相比 時(shí)，形成在表面?zhèn)鹊碾姌O催化層的電極催化成分的量與經(jīng)由基材的孔等形成于基材的背面 側(cè)的電極催化層的電極催化成分的量相比明顯變多。
[0050] 本發(fā)明的方法中，如圖1所示，在涂布涂布液的工序之前至少進(jìn)行1次預(yù)熱工序即 可，其次數(shù)可以為多次或在所有的涂布工序之前進(jìn)行。其時(shí)機(jī)沒必要必須在第1次的工序 中進(jìn)行預(yù)熱，例如可以在第1次的工序中不進(jìn)行預(yù)熱，首先進(jìn)行涂布?干燥?焙燒這一系列 的工序，之后進(jìn)行預(yù)熱。另外，還可以在進(jìn)行多次涂布?干燥?焙燒這一系列的工序之后， 進(jìn)行預(yù)熱，之后進(jìn)行涂布?干燥?焙燒這一系列的工序。進(jìn)而，預(yù)熱的次數(shù)也只要為1次以 上即可，也可以在每個(gè)涂布工序中在涂布之前必須進(jìn)行。根據(jù)本發(fā)明人的研宄，通過調(diào)整預(yù) 熱的次數(shù)和進(jìn)行預(yù)熱的時(shí)機(jī)，能夠調(diào)整經(jīng)由導(dǎo)電性電極基材的孔或上下左右的邊緣而附著 于導(dǎo)電性電極基材的背面?zhèn)鹊?、含有電極催化成分的起始原料的涂布液的附著量。作為結(jié) 果，關(guān)于形成于該導(dǎo)電性電極基材的背面?zhèn)鹊碾姌O催化層的電極催化劑量相對(duì)于形成于導(dǎo) 電性電極基材的表面?zhèn)鹊碾姌O催化層的電極催化劑量，預(yù)熱的次數(shù)越多變得越少。即，能夠 提高附著于導(dǎo)電性電極基材的表面?zhèn)鹊碾姌O催化劑量相對(duì)于形成于導(dǎo)電性電極基材的背 面?zhèn)鹊碾姌O催化層的電極催化劑量的比例，而且，能夠適當(dāng)控制增加的程度。
[0051] [2-1預(yù)熱工序]
[0052] 預(yù)熱工序中，對(duì)導(dǎo)電性電極基材進(jìn)行預(yù)熱，將其表面?zhèn)燃訜嶂潦覝兀ōh(huán)境溫度、常 溫）以上，優(yōu)選加熱使得即將進(jìn)行后述的涂布工序之前的導(dǎo)電性電極基材溫度變?yōu)?5°C~ 120°C。其中，優(yōu)選的是，使得該加熱溫度低于將后述的電極催化成分的起始原料溶解在無(wú) 機(jī)或有機(jī)溶劑中所得的涂布液的溶劑的沸點(diǎn)。該預(yù)熱工序中，在導(dǎo)電性電極基材的表面?zhèn)?涂布涂布液之前，將該導(dǎo)電性電極基材加熱到室溫以上，通過預(yù)加熱至室溫（環(huán)境溫度、常 溫）以上，從而能夠加速在涂布工序后進(jìn)行的干燥工序中的涂布液中的溶劑的蒸發(fā)，能夠 有效地抑制附著在導(dǎo)電性電極基材的表面?zhèn)鹊耐坎家褐械拇呋瘜有纬晌镔|(zhì)轉(zhuǎn)移?固定在背 面?zhèn)?，其結(jié)果，可獲得能夠?qū)⒐潭ㄔ趯?dǎo)電性電極基材的背面?zhèn)鹊拇呋煞挚刂圃诒匾钚?限度的效果。
[0053] 如后面敘述那樣，例如，若將預(yù)熱工序中的導(dǎo)電性電極基材的加熱溫度加熱至即 將進(jìn)行涂布工序之前的導(dǎo)電性電極基材溫度變?yōu)?5°C以上，則可以使附著于導(dǎo)電性電極基 材的背面?zhèn)鹊碾姌O催化成分的附著量相對(duì)于導(dǎo)電性電極基材的表面?zhèn)鹊碾姌O催化成分的 附著量之比為1. 5倍以上。進(jìn)而，如后面所述，若將預(yù)熱工序中的即將進(jìn)行涂布工序之前的 導(dǎo)電性電極基材溫度提高至l〇〇°C，則前述的表面?zhèn)扰c背面?zhèn)鹊碾姌O催化成分的附著量之 比變?yōu)?倍以上。另一方面，即使將基材溫度提高至KKTC以上，效果也沒有那么大的差異， 超過120°C時(shí)，干燥過度進(jìn)行，有可能影響涂布層的形成，因此不優(yōu)選。
[0054] 本發(fā)明人認(rèn)為該原理的詳細(xì)內(nèi)容如下。首先，可以認(rèn)為表面?zhèn)鹊碾姌O催化成分的 附著量相對(duì)于背面?zhèn)鹊母街肯鄬?duì)增加的理由是因?yàn)椋和ㄟ^使少量的涂布液與加熱至室溫 以上的導(dǎo)電性電極基材接觸，從而涂布液中的溶劑的蒸發(fā)加速，因此，縮短了涂布液能夠轉(zhuǎn) 移（移動(dòng)）至導(dǎo)電性電極基材的背面?zhèn)鹊臅r(shí)間，涂布液中的催化層形成物質(zhì)迅速地固定在 作為涂布面的表面?zhèn)?。而且，可以認(rèn)為這是因?yàn)椋哼M(jìn)一步提高預(yù)熱的溫度時(shí)，導(dǎo)電性電極基 材的加熱溫度上升，由此涂布液中的溶劑在更短的時(shí)間內(nèi)蒸發(fā)，催化層形成物質(zhì)向表面?zhèn)?的固定化所需時(shí)間變得更短，該物質(zhì)向表面?zhèn)鹊墓潭铀?，表面?zhèn)扰c背面?zhèn)鹊母街勘茸?大。但是，超過120°C時(shí)，導(dǎo)電性電極基材的溫度變得過高，產(chǎn)生涂布液突沸等可能，因其他 理由而產(chǎn)生不好的影響的可能性大，因此使基材的溫度過高不理想。
[0055] 因此，為了進(jìn)一步提高與背面?zhèn)鹊碾姌O催化成分的附著量相比相對(duì)增加表面?zhèn)鹊?電極催化成分的附著量的效果，可以在所有的每個(gè)涂布工序中重復(fù)進(jìn)行預(yù)熱作為其前工 序。具體而言，為了使在多孔網(wǎng)、沖裁多孔板、金屬絲網(wǎng)或與它們類似的形狀的、具有多個(gè)孔 的導(dǎo)電性基材的表面?zhèn)刃纬傻碾姌O催化層中的電極催化劑量盡可能多于附隨該基材的背 面?zhèn)刃纬傻碾姌O催化層中的電極催化劑量，可以在涂布?干燥?焙燒的重復(fù)工序中包括上 述的預(yù)熱工序，重復(fù)預(yù)熱?涂布?干燥?焙燒，使得每次在基材的表面?zhèn)韧坎纪坎家簳r(shí)進(jìn)行 預(yù)熱。
[0056] 當(dāng)然，本發(fā)明不限定于上述情況，如前所述，可以使預(yù)熱僅為1次，在涂布?干 燥·焙燒的重復(fù)工序中不包括預(yù)熱工序。另外，對(duì)于預(yù)熱工序而言，可以在每個(gè)周期涂布時(shí) 設(shè)定為ON/OFF，從而調(diào)整包含在重復(fù)工序中的情況的次數(shù)，通過這樣構(gòu)成，可以將形成于具 有多個(gè)孔的導(dǎo)電性基材的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊碾姌O催化層的電極催化劑量調(diào)整為期望的量。
[0057] 作為預(yù)熱工序中的加熱手段，出于放熱效率高、升溫響應(yīng)快等理由，優(yōu)選感應(yīng)加熱 裝置，當(dāng)然，也可以使用其他加熱手段。作為其他加熱手段，可以舉出使用由紅外線、輻射管 等產(chǎn)生的輻射熱的加熱方法、對(duì)導(dǎo)電性電極基材施加熱風(fēng)的加熱等，根據(jù)狀況可將這些方 法適當(dāng)?shù)貞?yīng)用于預(yù)熱。
[0058] 本發(fā)明中理想的感應(yīng)加熱（Induction Heating :以下簡(jiǎn)稱為IH)是利用電磁感應(yīng) 的原理使電流流過加熱線圈、使作為加熱對(duì)象的金屬等導(dǎo)電體發(fā)熱的方法。其加熱原理是 在交流電流流過加熱線圈時(shí)，朝向其周圍產(chǎn)生強(qiáng)度變化的磁力線。若在其附近放置通電的 金屬等物質(zhì)，受該變化的磁力線的影響，渦電流在金屬中流動(dòng)。由于金屬自身的電阻從而產(chǎn) 生（電流）2X電阻份的焦耳熱，金屬自發(fā)熱。將該現(xiàn)象稱作感應(yīng)加熱IH。IH的最大的優(yōu) 點(diǎn)在于能夠從加熱開始后數(shù)秒將導(dǎo)電性電極基材升溫至規(guī)定的溫度。因此，如果利用IH，就 能夠相鄰設(shè)置預(yù)熱和涂布的各設(shè)備。
[0059] [2-2涂布工序]
[0060] 接著，針對(duì)將含有電極催化成分的起始原料的涂布液涂布在具有多個(gè)孔的導(dǎo)電性 基材的表面?zhèn)鹊耐坎脊ば蜻M(jìn)行說明。本發(fā)明中，通過噴霧等將包含電極催化成分的起始原 料溶解于無(wú)機(jī)溶劑或有機(jī)溶劑等而成的無(wú)機(jī)溶液或有機(jī)溶液的涂布液涂布在預(yù)熱后的經(jīng) 預(yù)加熱的導(dǎo)電性電極基材的表面?zhèn)?，形成涂布層，由此得到之前所述的顯著效果。該涂布工 序中的涂布方法也可以利用噴霧以外的方法、例如刷涂、靜電涂裝、其他方法進(jìn)行。
[0061] 本發(fā)明中使用的涂布液包含溶解有電極催化成分的起始原料的溶液，例如如下所 述進(jìn)行調(diào)制。
[0062] 作為不溶性金屬陽(yáng)極中的電極催化成分的起始原料，可以使用選自鉑、銥、釕、鈀、 鋨中的至少一種金屬的無(wú)機(jī)或有機(jī)化合物。作為含有這些起始原料的涂布液，可以使用將 上述列舉的化合物（無(wú)機(jī)或有機(jī)化合物）溶解于無(wú)機(jī)溶劑或有機(jī)溶劑等而成的無(wú)機(jī)溶液或