本發(fā)明涉及一種用于干燥試料的干燥裝置。

背景技術(shù)：

以往，作為干燥含有水分或有機(jī)溶劑等液體成分的試料的干燥裝置，已知有如日本專利公報(bào)第5466974號(hào)公開的在惰性氣體氣氛下加熱的方式以及在真空氣氛下加熱的方式。該日本專利公報(bào)第5466974號(hào)公開的裝置在制造鋰離子二次電池時(shí)被使用，用于干燥被涂布了糊狀的電極材料的金屬箔層疊體。

在日本專利公報(bào)第5466974號(hào)中分別公開了分批方式的干燥裝置和連續(xù)搬送方式的干燥裝置。在分批方式的干燥裝置中，在一個(gè)氣密室內(nèi)實(shí)施兩個(gè)階段的加熱處理、惰性氣體氣氛下的冷卻處理共計(jì)三個(gè)階段的處理。具體而言，兩個(gè)階段的加熱處理包括在惰性氣體氣氛下的第一加熱處理和真空氣氛下的第二加熱處理。通過實(shí)施這三個(gè)階段的處理，干燥作為試料的金屬箔層疊體。此外，在連續(xù)搬送方式的干燥裝置中，向分別相對(duì)應(yīng)于兩個(gè)階段的加熱處理和冷卻處理這三個(gè)階段的處理的三個(gè)氣密室連續(xù)搬送金屬箔層疊體。據(jù)此，干燥金屬箔層疊體。

在以往的分批方式的干燥裝置中，由于在一個(gè)氣密室內(nèi)實(shí)施加熱處理和冷卻處理，因此，在反復(fù)進(jìn)行試料的干燥時(shí)，需要反復(fù)進(jìn)行氣密室的降溫操作和升溫操作。因此，不僅為了降溫操作及升溫操作而過度地消耗能量，而且將氣密室本身的溫度降溫至規(guī)定溫度或升溫至規(guī)定溫度需要時(shí)間從而干燥時(shí)間變長(zhǎng)，存在干燥效率低的問題。

此外，在干燥試料時(shí)，根據(jù)試料的種類不同，有時(shí)不需要惰性氣體氣氛下的第一加熱處理和真空氣氛下的第二加熱處理的兩個(gè)階段的加熱處理。例如，在干燥金屬箔層疊體的層疊數(shù)少的試料時(shí)，有時(shí)只進(jìn)行惰性氣體氣氛下的加熱處理和真空氣氛下的加熱處理中的任一個(gè)處理就能充分干燥試料。鑒于此種狀況，以往的連續(xù)搬送方式的干燥裝置分別獨(dú)立地具備用于實(shí)施兩個(gè)階段的加熱處理的氣密室，因此，根據(jù)試料的種類不同，成為具備了不必要的氣密室的結(jié)構(gòu)。因此，存在裝置大型化的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

對(duì)此，本發(fā)明鑒于所述的問題作出，其目的在于既能實(shí)現(xiàn)高干燥效率，又能實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。

本發(fā)明一方面所涉及的干燥裝置，用于干燥含有液體成分的試料，其包括：加熱槽，具有第一開口部和試料的搬入開口部，用于加熱試料；冷卻槽，具有與所述第一開口部相向的第二開口部和試料的搬出開口部，用于冷卻在所述加熱槽加熱后的試料；開閉結(jié)構(gòu)體，被配設(shè)在所述加熱槽與所述冷卻槽之間，用于開閉所述算一開口部及所述第二開口部；搬送部，將試料從所述加熱槽向所述冷卻槽搬送；調(diào)整部，調(diào)整所述加熱槽及所述冷卻槽的內(nèi)部的氣氛；以及調(diào)整控制部，控制所述調(diào)整部。

所述的干燥裝置在用于干燥含有液體成分的試料的干燥裝置中，既能實(shí)現(xiàn)高干燥效率，又能實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。

所述的技術(shù)的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)通過以下的詳細(xì)說明和附圖而更明確。

附圖說明

圖1是概略地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的干燥裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是干燥裝置的框圖。

圖3是表示開閉結(jié)構(gòu)體的結(jié)構(gòu)的圖。

圖4a是表示干燥裝置中的干燥處理動(dòng)作的第一例的工序圖。

圖4b是表示干燥裝置中的干燥處理動(dòng)作的第一例的工序圖。

圖4c是表示干燥裝置中的干燥處理動(dòng)作的第一例的工序圖。

圖5是表示干燥裝置中的干燥處理動(dòng)作的第二例的工序圖。

圖6是表示干燥裝置中的干燥處理動(dòng)作的第三例的工序圖。

具體實(shí)施方式

下面，基于附圖說明本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的干燥裝置。圖1是概略地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的干燥裝置1的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是干燥裝置1的框圖。本實(shí)施方式所涉及的干燥裝置1是用于干燥含有液體成分的試料的裝置。首先，說明干燥對(duì)象物的試料。

作為試料，例示用作鋰離子二次電池的電極的、被涂布了糊狀的電極材料的金屬箔層疊體。鋰離子二次電池的正極是在集電體上形成了含有正極活性物質(zhì)的正極活性物質(zhì)層的部件，其中，集電體由金屬箔形成。正極通過在作為集電體的金屬箔上涂布糊狀的正極用電極材料并進(jìn)行壓延等而制得。作為構(gòu)成正極的集電體的金屬箔，可舉出鋁、不銹鋼、鎳、鈦及其合金。此外，涂布于構(gòu)成正極的集電體的金屬箔上的正極用電極材料中至少含有正極活性物質(zhì)、導(dǎo)電助劑、粘合劑及分散劑。作為分散劑，在有機(jī)類粘合劑的情況下適合使用n-甲基-2-吡咯烷酮(nmp)，在水類粘合劑的情況下適合使用水或溫水等。即，正極用電極材料中含有nmp等有機(jī)溶劑或水。

鋰離子二次電池的負(fù)極是在集電體上形成了含有負(fù)極活性物質(zhì)的負(fù)極活性物質(zhì)層的部件，其中，集電體由金屬箔形成。負(fù)極通過在作為集電體的金屬箔上涂布糊狀的負(fù)極用電極材料并進(jìn)行壓延等而制得。作為構(gòu)成負(fù)極的集電體的金屬箔，可舉出銅及其合金。此外，構(gòu)成負(fù)極的集電體的金屬箔上涂布的負(fù)極用電極材料中至少含有負(fù)極活性物質(zhì)、粘合劑及分散劑。作為分散劑，在有機(jī)類粘合劑的情況下適合使用nmp，在水類粘合劑的情況下適合使用水或溫水等。即，負(fù)極用電極材料中含有nmp等有機(jī)溶劑或水。

涂布了如上所述的糊狀的電極材料的金屬箔的層疊體中含有有機(jī)溶劑或水等液體成分。這些液體成分影響鋰離子二次電池的電池性能，因此，需要實(shí)施干燥處理，不讓液體成分殘留。作為干燥對(duì)象物的試料的金屬箔層疊體是將涂布了糊狀的電極材料的金屬箔卷繞成卷狀的狀態(tài)的部件，或者將涂布了糊狀的電極材料的金屬箔在厚度方向上層疊的狀態(tài)的部件。

參照?qǐng)D1及圖2說明，干燥裝置1包括加熱槽11、冷卻槽12、調(diào)整部13、開閉結(jié)構(gòu)體14、搬入門體15、搬出門體16、連通管17、搬送部18、第一風(fēng)扇19、第二風(fēng)扇20、操作部21、存儲(chǔ)部22、計(jì)時(shí)部23以及控制部24。干燥裝置1在加熱槽11對(duì)試料實(shí)施加熱處理后，利用搬送部18沿搬送方向h搬送試料而將其從加熱槽11移動(dòng)到冷卻槽12，接著在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施冷卻處理。

加熱槽11劃定用于加熱試料的加熱空間。該加熱槽11呈箱狀，在搬送方向h的兩端具有開口部。在加熱槽11，在搬送方向h的上游側(cè)端部形成有成為用于將試料搬入加熱槽11內(nèi)的開口的搬入開口部112。此外，在加熱槽11，在搬送方向h的下游側(cè)端部形成有經(jīng)由開閉結(jié)構(gòu)體14與冷卻槽12相向的第一開口部111。加熱槽11通過由加熱器等形成的加熱部113加熱，以能夠?qū)Ρ皇杖菰诩訜岵?1內(nèi)的試料實(shí)施加熱處理。通過加熱部113而被加熱的加熱槽11的槽內(nèi)設(shè)定溫度例如為120℃～200℃的范圍。

冷卻槽12相對(duì)于加熱槽11被配置在搬送方向h的下游側(cè)，劃定用于冷卻在加熱槽11被加熱的試料的冷卻空間。該冷卻槽12呈箱狀，在搬送方向h的兩端具有開口部。在冷卻槽12，在搬送方向h的上游側(cè)端部形成有經(jīng)由開閉結(jié)構(gòu)體14與加熱槽11的第一開口部111相向的第二開口部121。此外，在冷卻槽12，在搬送方向h的下游側(cè)端部形成有成為用于將試料搬出冷卻槽12外的開口的搬出開口部122。冷卻槽12通過由制冷機(jī)的蒸發(fā)器等形成的冷卻部123冷卻，以便能夠?qū)Ρ皇杖菰诶鋮s槽12內(nèi)的試料實(shí)施冷卻處理。通過冷卻部123而被冷卻的冷卻槽12的槽內(nèi)設(shè)定溫度例如為1℃左右。

開閉結(jié)構(gòu)體14是被配設(shè)在加熱槽11與冷卻槽12之間，用于開閉加熱槽11的第一開口部111和冷卻槽12的第二開口部121的結(jié)構(gòu)體。作為分隔加熱槽11和冷卻槽12的結(jié)構(gòu)，可考慮在加熱槽11與冷卻槽12之間配設(shè)阻尼件(damper)的結(jié)構(gòu)，但是，如果采用此種結(jié)構(gòu)則裝置會(huì)大型化。對(duì)此，在本實(shí)施方式所涉及的干燥裝置1中，采用在加熱槽11與冷卻槽12之間配設(shè)開閉結(jié)構(gòu)體14的結(jié)構(gòu)，以便可使裝置小型化。開閉結(jié)構(gòu)體14不僅需要具有開閉第一開口部111及第二開口部121的功能，而且需要具有在封閉第一開口部111及第二開口部121的狀態(tài)下保持加熱槽11及冷卻槽12的氣密性的功能。通過開閉結(jié)構(gòu)體14的保持加熱槽11及冷卻槽12的氣密性的功能，能夠?qū)⒓訜岵?1及冷卻槽12的溫度保持在規(guī)定的所述槽內(nèi)設(shè)定溫度，并且，能夠?qū)⒓訜岵?1及冷卻槽12的內(nèi)部的氣氛和壓力保持為所需的恒定的氣氛和壓力。參照?qǐng)D3說明開閉結(jié)構(gòu)體14的具體的結(jié)構(gòu)。圖3是表示開閉結(jié)構(gòu)體14的結(jié)構(gòu)的圖。開閉結(jié)構(gòu)體14包括框體141、由第一門體142a和第二門體142b形成的中間門體142、驅(qū)動(dòng)部件143以及驅(qū)動(dòng)馬達(dá)145。

在開閉結(jié)構(gòu)體14中，框體141是連接加熱槽11的第一開口部111和冷卻槽12的第二開口部121的部分，具有相對(duì)于加熱槽11及冷卻槽12而向與搬送方向h交叉的第一方向的其中一側(cè)延伸設(shè)置的其中一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域和相對(duì)于加熱槽11及冷卻槽12而向與所述其中一側(cè)相反的另一側(cè)延伸設(shè)置的另一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域。在本實(shí)施方式中，所述第一方向與上下方向一致，在框體141，其中一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域是相對(duì)于加熱槽11及冷卻槽12的頂面部向上方側(cè)延伸設(shè)置的區(qū)域，另一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域是相對(duì)于加熱槽11及冷卻槽12的底面部向下方側(cè)延伸設(shè)置的區(qū)域。在框體141，在搬送方向h的上游側(cè)的側(cè)壁的面向加熱槽11的第一開口部111的區(qū)域部分設(shè)有框狀的第一凸緣部111a。此外，在框體141，在搬送方向h的下游側(cè)的側(cè)壁的面向冷卻槽12的第二開口部121的區(qū)域部分設(shè)有框狀的第二凸緣部121a。通過在第一凸緣部111a連接第一開口部111，從而框體141和加熱槽11被連接，通過在第二凸緣部121a連接第二開口部121，從而框體141與冷卻槽12被連接。

在開閉結(jié)構(gòu)體14，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)145被載置在馬達(dá)載置板146上，該馬達(dá)載置板146被配設(shè)在框體141內(nèi)的其中一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域的一端部。驅(qū)動(dòng)馬達(dá)145具有沿所述第一方向(上下方向)延伸的軸部145a。如果驅(qū)動(dòng)馬達(dá)145被通電操作，軸部145a以軸心為中心沿正反兩個(gè)方向旋轉(zhuǎn)。在該軸部145a安裝有驅(qū)動(dòng)部件143，該驅(qū)動(dòng)部件143能夠沿所述第一方向(上下方向)移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)部件143如果軸部145a沿正方向(例如順時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)，則與該旋轉(zhuǎn)聯(lián)動(dòng)而向其中一方向(上方向)移動(dòng)，如果軸部145a沿反方向(例如逆時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)，則與該旋轉(zhuǎn)聯(lián)動(dòng)而向另一方向(下方向)移動(dòng)。此種驅(qū)動(dòng)部件143的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)例如可通過滾珠絲杠機(jī)構(gòu)而實(shí)現(xiàn)。具體而言，滾珠絲杠機(jī)構(gòu)是軸部145a為滾珠絲杠軸，并在螺合于該滾珠絲杠軸的滾珠螺母上固定驅(qū)動(dòng)部件143的結(jié)構(gòu)。在滾珠絲杠機(jī)構(gòu)中，如果驅(qū)動(dòng)馬達(dá)145被通電操作，則滾珠螺母沿作為滾珠絲杠軸的軸部145a進(jìn)退，據(jù)此，被固定于滾珠螺母的驅(qū)動(dòng)部件143沿所述第一方向(上下方向)移動(dòng)。

在開閉結(jié)構(gòu)體14中，第一門體142a呈板狀，經(jīng)由第一連接部件143a安裝于驅(qū)動(dòng)部件143中的搬送方向h的上游側(cè)的側(cè)面部。第一門體142a與驅(qū)動(dòng)部件143的所述第一方向(上下方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而沿所述第一方向(上下方向)移動(dòng)，從而開閉加熱槽11的第一開口部111。此外，第一門體142a能夠與驅(qū)動(dòng)部件143的向其中一方向(上方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而朝離開第一開口部111的方向(搬送方向h)移動(dòng)，并能夠與驅(qū)動(dòng)部件143的向另一方向(下方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而朝接近第一開口部111的方向(搬送方向h的相反方向)移動(dòng)。此種第一門體142a的向接近或離開第一開口部111的方向的移動(dòng)由配設(shè)在框體141內(nèi)的另一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域的端部的第一滾輪部件147a引導(dǎo)。而且，在第一門體142a的外周端緣部安裝有第一密封部件144a。

第一門體142a從配置在框體141內(nèi)的其中一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域的最上位置與驅(qū)動(dòng)部件143的向另一方向(下方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)，沿另一方向(下方向)移動(dòng)至端面(下端面)抵接于第一滾輪部件147a的最下位置，然后，被第一滾輪部件147a引導(dǎo)而向接近第一開口部111的方向移動(dòng)。據(jù)此，第一門體142a經(jīng)由第一密封部件144a抵接于第一凸緣部111a，封閉第一開口部111。由此，通過第一門體142a經(jīng)由第一密封部件144a抵接于第一凸緣部111a而封閉第一開口部111，因此，在第一門體142a封閉第一開口部111的狀態(tài)下，能夠保持加熱槽11的氣密性。此外，第一門體142a的向接近第一開口部111的方向的移動(dòng)，在第一門體142a沿另一方向(下方向)移動(dòng)到抵接于第一滾輪部件147a的最下位置后進(jìn)行。即，第一門體142a在移動(dòng)到最下位置時(shí)，處于在搬送方向h上離開第一開口部111的狀態(tài)。據(jù)此，第一門體142a的至最下位置的移動(dòng)順暢。此外，第一門體142a從封閉第一開口部111的狀態(tài)與驅(qū)動(dòng)部件143的向其中一方向(上方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)，被第一滾輪部件147a引導(dǎo)而向離開第一開口部111的方向移動(dòng)，然后，沿其中一方向(上方向)移動(dòng)到被配置在框體141內(nèi)的其中一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域的最上位置。據(jù)此，第一門體142a開放第一開口部111。第一門體142a的至最上位置的沿其中一方向(上方向)的移動(dòng)，在第一門體142a向離開第一開口部111的方向移動(dòng)后進(jìn)行。即，第一門體142a在移動(dòng)至最上位置時(shí)，處于在搬送方向h上離開第一開口部111的狀態(tài)。據(jù)此，第一門體142a的至最上位置的移動(dòng)順暢。

在開閉結(jié)構(gòu)體14中，第二門體142b呈板狀，經(jīng)由第二連接部件143b安裝于驅(qū)動(dòng)部件143中的搬送方向h的下游側(cè)的側(cè)面部。第二門體142b與驅(qū)動(dòng)部件143的所述第一方向(上下方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而沿所述第一方向(上下方向)移動(dòng)，從而開閉冷卻槽12的第二開口部121。此外，第二門體142b能夠與驅(qū)動(dòng)部件143的向其中一方向(上方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而朝離開第二開口部121的方向(搬送方向h的相反方向)移動(dòng)，并能夠與驅(qū)動(dòng)部件143的向另一方向(下方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而朝接近第二開口部121的方向(搬送方向h)移動(dòng)。此種第二門體142b的向接近或離開第二開口部121的方向的移動(dòng)由配設(shè)在框體141內(nèi)的另一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域的端部的第二滾輪部件147b引導(dǎo)。而且，在第二門體142b的外周端緣部安裝有第二密封部件144b。

第二門體142b從配置在框體141內(nèi)的其中一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域的最上位置與驅(qū)動(dòng)部件143的向另一方向(下方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)，沿另一方向(下方向)移動(dòng)至端面(下端面)抵接于第二滾輪部件147b的最下位置，然后，被第二滾輪部件147b引導(dǎo)而向接近第二開口部121的方向移動(dòng)。據(jù)此，第二門體142b經(jīng)由第二密封部件144b抵接于第二凸緣部121a，封閉第二開口部121。由此，通過第二門體142b經(jīng)由第二密封部件144b抵接于第二凸緣部121a而封閉第二開口部121，因此，在第二門體142b封閉第二開口部121的狀態(tài)下，能夠保持冷卻槽12的氣密性。此外，第二門體142b的向接近第二開口部121的方向的移動(dòng)，在第二門體142b沿另一方向(下方向)移動(dòng)至抵接于第二滾輪部件147b的最下位置后進(jìn)行。即，第二門體142b在移動(dòng)到最下位置時(shí)，處于在搬送方向h的相反方向上離開第二開口部121的狀態(tài)。據(jù)此，第二門體142b的至最下位置的移動(dòng)順暢。此外，第二門體142b從封閉第二開口部121的狀態(tài)與驅(qū)動(dòng)部件143的向其中一方向(上方向)的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)，被第二滾輪部件147b引導(dǎo)而向離開第二開口部121的方向移動(dòng)，然后，沿其中一方向(上方向)移動(dòng)到被配置在框體141內(nèi)的其中一側(cè)延伸設(shè)置區(qū)域的最上位置。據(jù)此，第二門體142b開放第二開口部121。第二門體142b的至最上位置的沿其中一方向(上方向)的移動(dòng)，在第二門體142b向離開第二開口部121的方向移動(dòng)后進(jìn)行。即，第二門體142b在移動(dòng)至最上位置時(shí)，處于在搬送方向h的相反方向上離開第二開口部121的狀態(tài)。據(jù)此，第二門體142b的至最上位置的移動(dòng)順暢。另外，在開閉結(jié)構(gòu)體14中，第一門體142a和第二門體142b也可以一體設(shè)置。

參照?qǐng)D1及圖2說明，搬入門體15能夠開閉加熱槽11的搬入開口部112。搬入門體15在搬送部18將試料搬入至加熱槽11內(nèi)的試料搬入期間開放搬入開口部112，在試料搬入期間以外的剩余的期間封閉搬入開口部112。此外，搬出門體16能夠開閉冷卻槽12的搬出開口部122。搬出門體16在搬送部18從冷卻槽12搬出試料的試料搬出期間開放搬出開口部122，在試料搬出期間以外的剩余期間封閉搬出開口部122。

連通管17是用于形成分別使加熱槽11、冷卻槽12及開閉結(jié)構(gòu)體14的框體141連通的連通路的配管。在該連通管17設(shè)有開閉連通路的連通開閉閥171。

搬送部18經(jīng)由開閉結(jié)構(gòu)體14從加熱槽11向冷卻槽12沿搬送方向h搬送試料。此外，搬送部18經(jīng)由搬入門體15從裝置外部向加熱槽11搬入試料，并經(jīng)由搬出門體16從冷卻槽12向裝置外部搬送試料。

調(diào)整部13調(diào)整加熱槽11、冷卻槽12及開閉結(jié)構(gòu)體14的框體141的各個(gè)內(nèi)部氣氛。調(diào)整部13包括惰性氣體供給部131、減壓部132以及干燥空氣供給部133。

惰性氣體供給部131向加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部供給惰性氣體(例如氮?dú)?。惰性氣體供給部131包括貯存惰性氣體的惰性氣體供給源131a、第一惰性氣體供給配管131b、第二惰性氣體供給配管131d以及第三惰性氣體供給配管131f。第一惰性氣體供給配管131b是連接于惰性氣體供給源131a與加熱槽11之間的配管。在該第一惰性氣體供給配管131b設(shè)有開閉管路的第一惰性氣體供給開閉閥131c。在第一惰性氣體供給開閉閥131c開放管路的狀態(tài)下，從惰性氣體供給源131a流出的惰性氣體流到第一惰性氣體供給配管131b內(nèi)，并供給到加熱槽11內(nèi)。此外，在第一惰性氣體供給開閉閥131c封閉管路的狀態(tài)下，向加熱槽11的惰性氣體的供給停止。

第二惰性氣體供給配管131d是連接于惰性氣體供給源131a與冷卻槽12之間的配管。在該第二惰性氣體供給配管131d設(shè)有開閉管路的第二惰性氣體供給開閉閥131e。在第二惰性氣體供給開閉閥131e開放管路的狀態(tài)下，從惰性氣體供給源131a流出的惰性氣體流到第二惰性氣體供給配管131d內(nèi)，并供給到冷卻槽12內(nèi)。此外，在第二惰性氣體供給開閉閥131e封閉管路的狀態(tài)下，向冷卻槽12的惰性氣體的供給停止。

第三惰性氣體供給配管131f是連接于惰性氣體供給源131a與框體141之間的配管。在該第三惰性氣體供給配管131f設(shè)有開閉管路的第三惰性氣體供給開閉閥131g。在第三惰性氣體供給開閉閥131g開放管路的狀態(tài)下，從惰性氣體供給源131a流出的惰性氣體流到第三惰性氣體供給配管131f，并供給到框體141內(nèi)。此外，在第三惰性氣體供給開閉閥131g封閉管路的狀態(tài)下，向框體141的惰性氣體的供給停止。

減壓部132將加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部減壓為低于大氣壓的壓力(例如6pa以下)。減壓部132包括：作為減壓源的真空泵132a；連接于真空泵132a的第一真空配管132b；以及從第一真空配管132b分支的第二真空配管132c、第三真空配管132d及第四真空配管132e。第二真空配管132c的其中一端連接于第一真空配管132b，另一端連接于加熱槽11。第三真空配管132d的其中一端連接于第一真空配管132b，另一端連接于冷卻槽12。第四真空配管132e的其中一端連接于第一真空配管132b，另一端連接于框體141。

干燥空氣供給部133向加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部供給干燥空氣。干燥空氣供給部133包括貯存干燥空氣的干燥空氣供給源133a、第一干燥空氣供給配管133b以及第二干燥空氣供給配管133d。第一干燥空氣供給配管133b是連接于干燥空氣供給源133a與加熱槽11之間的配管。在該第一干燥空氣供給配管133b設(shè)有開閉管路的第一干燥空氣供給開閉閥133c。在第一干燥空氣供給開閉閥133c開放管路的狀態(tài)下，從干燥空氣供給源133a流出的干燥空氣流到第一干燥空氣供給配管133b內(nèi)，并供給到加熱槽11內(nèi)。此外，在第一干燥空氣供給開閉閥133c封閉管路的狀態(tài)下，向加熱槽11的干燥空氣的供給停止。

第二干燥空氣供給配管133d是連接于干燥空氣供給源133a與冷卻槽12之間的配管。在該第二干燥空氣供給配管133d設(shè)有第二干燥空氣供給開閉閥133e。在第二干燥空氣供給開閉閥133e開放管路的狀態(tài)下，從干燥空氣供給源133a流出的干燥空氣流到第二干燥空氣供給配管133d內(nèi)，并供給到冷卻槽12內(nèi)。此外，在第二干燥空氣供給開閉閥133e封閉管路的狀態(tài)下，向冷卻槽12的干燥空氣的供給停止。

第一風(fēng)扇19是被設(shè)置在加熱槽11，在加熱槽11的內(nèi)部產(chǎn)生循環(huán)氣流的風(fēng)扇。此外，第二風(fēng)扇20是被設(shè)置在冷卻槽12，在冷卻槽12的內(nèi)部產(chǎn)生循環(huán)氣流的風(fēng)扇。

操作部21是用戶輸入有關(guān)試料的干燥條件的指示的部分。操作部21例如通過觸摸板而實(shí)現(xiàn)。操作部21能夠輸入有關(guān)試料的干燥條件的第一指示、第二指示及第三指示。第一指示是將試料在惰性氣體氣氛下加熱后，在減壓氣氛下加熱，接著在惰性氣體氣氛下冷卻的指示。第二指示是將試料在惰性氣體氣氛下加熱，接著在惰性氣體氣氛下冷卻的指示。第三指示是將試料在減壓氣氛下加熱，接著在惰性氣體氣氛下冷卻的指示。

存儲(chǔ)部22是存儲(chǔ)有關(guān)干燥裝置1的干燥條件的信息的部分。存儲(chǔ)部22預(yù)先存儲(chǔ)“第一設(shè)定加熱時(shí)間”，該第一設(shè)定加熱時(shí)間表示在加熱槽11進(jìn)行試料的惰性氣體氣氛下的加熱處理時(shí)，試料的中心部的溫度達(dá)到目標(biāo)加熱溫度(例如120℃)為止的加熱處理時(shí)間。第一設(shè)定加熱時(shí)間是通過實(shí)驗(yàn)預(yù)先求出的加熱時(shí)間，例如為240分鐘。此外，存儲(chǔ)部22預(yù)先存儲(chǔ)“第二設(shè)定加熱時(shí)間”，該第二設(shè)定加熱時(shí)間表示試料的中心部的溫度達(dá)到目標(biāo)加熱溫度后，以該目標(biāo)加熱溫度應(yīng)繼續(xù)進(jìn)行惰性氣體氣氛下的加熱處理的加熱處理時(shí)間。第二設(shè)定加熱時(shí)間是通過實(shí)驗(yàn)預(yù)先求出的加熱時(shí)間，例如為60分鐘。另外，存儲(chǔ)部22預(yù)先存儲(chǔ)“第三設(shè)定加熱時(shí)間”，該第三設(shè)定加熱時(shí)間表示自惰性氣體氣氛下的加熱處理結(jié)束時(shí)刻起，以所述目標(biāo)加熱溫度應(yīng)實(shí)施減壓氣氛下的加熱處理的加熱處理時(shí)間。第三設(shè)定加熱時(shí)間是通過實(shí)驗(yàn)預(yù)先求出的加熱時(shí)間，例如為60分鐘。此外，存儲(chǔ)部22預(yù)先存儲(chǔ)“設(shè)定冷卻時(shí)間”，該設(shè)定冷卻時(shí)間表示在冷卻槽12進(jìn)行試料的惰性氣體氣氛下的冷卻處理時(shí)，試料的中心部的溫度達(dá)到目標(biāo)冷卻溫度(例如60℃)為止的冷卻處理時(shí)間。設(shè)定冷卻時(shí)間是通過實(shí)驗(yàn)預(yù)先求出的冷卻時(shí)間，例如為180分鐘。

計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)在加熱槽11實(shí)施的加熱處理的經(jīng)過時(shí)間、在冷卻槽12實(shí)施的冷卻處理的經(jīng)過時(shí)間等。

控制部24控制干燥裝置1的試料的干燥動(dòng)作。控制部24由例如內(nèi)置了存儲(chǔ)控制程序的rom(readonlymemory)以及暫時(shí)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的閃存等存儲(chǔ)裝置的微電腦形成，通過讀取所述控制程序而控制干燥動(dòng)作。控制部24包括受理部241、調(diào)整控制部242、開閉結(jié)構(gòu)體控制部243、搬入門體控制部244、搬出門體控制部245、開閉閥控制部246、搬送控制部247以及風(fēng)扇控制部248。

受理部241受理通過操作部21輸入的有關(guān)試料的干燥條件的指示。受理部241包括第一指示受理部241a、第二指示受理部241b以及第三指示受理部241c。第一指示受理部241a受理通過操作部21輸入的所述第一指示。第二指示受理部241b受理通過操作部21輸入的所述第二指示。第三指示受理部241c受理通過操作部21輸入的所述第三指示。另外，也可在控制部24控制干燥動(dòng)作時(shí)使用的控制程序中寫入受理部241的功能。此時(shí)，基于通過操作部21輸入的指示執(zhí)行控制程序，據(jù)此，實(shí)現(xiàn)受理部241的功能。

調(diào)整控制部242基于由受理部241受理的指示控制調(diào)整部13。調(diào)整控制部242包括加熱控制部242a、冷卻控制部242b以及框體控制部242c。加熱控制部242a通過控制調(diào)整部13的惰性氣體供給部131、減壓部132及干燥空氣供給部133來調(diào)整加熱槽11的內(nèi)部氣氛。此外，加熱控制部242a通過控制加熱部113來加熱加熱槽11。加熱控制部242a能夠執(zhí)行試料接收控制、加熱前控制、第一加熱處理控制、第二加熱處理控制以及加熱后控制。加熱控制部242a執(zhí)行的試料接收控制是在加熱槽11接收試料時(shí)，讓干燥空氣供給部133將加熱槽11調(diào)整為干燥空氣氣氛的控制。加熱控制部242a執(zhí)行的加熱前控制是在加熱槽11加熱試料之前，讓減壓部132將加熱槽11調(diào)整為減壓氣氛的控制。加熱控制部242a執(zhí)行的第一加熱處理控制是讓惰性氣體供給部131將加熱槽11調(diào)整為惰性氣體氣氛，以便在加熱槽11在惰性氣體氣氛下加熱試料的控制。加熱控制部242a執(zhí)行的第二加熱處理控制是讓減壓部132將加熱槽11調(diào)整為減壓氣氛，以便在加熱槽11在減壓氣氛下加熱試料。加熱控制部242a執(zhí)行的加熱后控制是在加熱槽11加熱試料后，讓惰性氣體供給部131將加熱槽11調(diào)整為惰性氣體氣氛的控制。另外，加熱槽11內(nèi)的減壓氣氛表示加熱槽11內(nèi)處于減壓狀態(tài)(真空狀態(tài))。此外，加熱槽11內(nèi)的惰性氣體氣氛表示加熱槽11內(nèi)被充填了惰性氣體的狀態(tài)。

冷卻控制部242b通過控制調(diào)整部13的惰性氣體供給部131、減壓部132及干燥空氣供給部133來調(diào)整冷卻槽12的內(nèi)部氣氛。此外，冷卻控制部242b通過控制冷卻部123來冷卻冷卻槽12。冷卻控制部242b能夠執(zhí)行第一冷卻前控制、第二冷卻前控制、冷卻處理控制及試料送出控制。冷卻控制部242b執(zhí)行的第一冷卻前控制是在冷卻槽12冷卻試料前，讓減壓部132將冷卻槽12調(diào)整為減壓氣氛的控制。冷卻控制部242b執(zhí)行的第二冷卻前控制是接著第一冷卻前控制而在冷卻槽12進(jìn)行試料的冷卻前執(zhí)行的控制，是與加熱控制部242a的加熱后控制聯(lián)動(dòng)，讓惰性氣體供給部131將冷卻槽12調(diào)整為惰性氣體氣氛的控制。冷卻控制部242b執(zhí)行的冷卻處理控制是讓惰性氣體供給部131將冷卻槽12調(diào)整為惰性氣體氣氛，以便在冷卻槽12在惰性氣體氣氛下冷卻試料的控制。冷卻控制部242b執(zhí)行的試料送出控制是在從冷卻槽12送出試料時(shí)，讓干燥空氣供給部133將冷卻槽12調(diào)整為干燥空氣氣氛的控制。另外，冷卻槽12內(nèi)的減壓氣氛表示冷卻槽12內(nèi)處于減壓狀態(tài)(真空狀態(tài))。此外，冷卻槽12內(nèi)的惰性氣體氣氛表示冷卻槽12內(nèi)被充填了惰性氣體的狀態(tài)。

框體控制部242c通過控制調(diào)整部13的惰性氣體供給部131及減壓部132來調(diào)整框體141的內(nèi)部氣氛?？蝮w控制部242c能夠執(zhí)行第一框體控制及第二框體控制?？蝮w控制部242c執(zhí)行的第一框體控制是與冷卻控制部242b的第一冷卻前控制聯(lián)動(dòng)，讓減壓部132將框體141調(diào)整為減壓氣氛的控制?？蝮w控制部242c執(zhí)行的第二框體控制是與冷卻控制部242b的第二冷卻前控制聯(lián)動(dòng)，讓惰性氣體供給部131將框體141調(diào)整為惰性氣體氣氛的控制。另外，框體141內(nèi)的減壓氣氛表示框體141內(nèi)處于減壓狀態(tài)(真空狀態(tài))。此外，框體141內(nèi)的惰性氣體氣氛表示框體141內(nèi)被充填了惰性氣體的狀態(tài)。

風(fēng)扇控制部248與由加熱控制部242a及冷卻控制部242b控制的惰性氣體供給部131的動(dòng)作相對(duì)應(yīng)，控制第一風(fēng)扇19及第二風(fēng)扇20。具體而言，風(fēng)扇控制部248在加熱控制部242a執(zhí)行第一加熱處理控制的過程中使第一風(fēng)扇19動(dòng)作，并且，在冷卻控制部242b執(zhí)行冷卻處理控制的過程中使第二風(fēng)扇20動(dòng)作。

開閉閥控制部246，根據(jù)分別由加熱控制部242a、冷卻控制部242b及框體控制部242c控制的惰性氣體供給部131及減壓部132的動(dòng)作，控制附設(shè)于連通管17的連通開閉閥171。具體而言，開閉閥控制部246，在加熱控制部242a執(zhí)行加熱后控制的期間、即、冷卻控制部242b執(zhí)行第二冷卻前控制且框體控制部242c執(zhí)行第二框體控制的第一連通開閉閥控制期間，讓連通開閉閥171開放連通管17的連通路，在所述第一連通開閉閥控制期間以外的剩余的第二連通開閉閥控制期間，讓連通開閉閥171封閉連通管17的連通路。

開閉結(jié)構(gòu)體控制部243與由調(diào)整控制部242控制的調(diào)整部13的動(dòng)作相對(duì)應(yīng)而控制開閉結(jié)構(gòu)體14。具體而言，開閉結(jié)構(gòu)體控制部243與分別由加熱控制部242a、冷卻控制部242b及框體控制部242c控制的惰性氣體供給部131及減壓部132的動(dòng)作相對(duì)應(yīng)，控制第一門體142a及第二門體142b的移動(dòng)。開閉結(jié)構(gòu)體控制部243在開閉閥控制部246的所述第一連通開閉閥控制期間內(nèi)的規(guī)定的第一門控制期間，使第一門體142a開放加熱槽11的第一開口部111，并且，使第二門體142b開放冷卻槽12的第二開口部121。此外，開閉結(jié)構(gòu)體控制部243在開閉閥控制部246的所述第一門控制期間以外的剩余的第二門控制期間，使第一門體142a封閉加熱槽11的第一開口部111，并且，使第二門體142b封閉冷卻槽12的第二開口部121。

搬入門體控制部244與由加熱控制部242a控制的干燥空氣供給部133的動(dòng)作相對(duì)應(yīng)，控制搬入門體15的開閉動(dòng)作。具體而言，搬入門體控制部244在加熱控制部242a執(zhí)行試料接收控制的第一試料接收控制期間，使搬入門體15開放加熱槽11的搬入開口部112，并且，在所述第一試料接收控制期間以外的剩余的第二試料接收控制期間，使搬入門體15封閉加熱槽11的搬入開口部112。

搬出門體控制部245與由冷卻控制部242b控制的干燥空氣供給部133的動(dòng)作相對(duì)應(yīng)，控制搬出門體16的開閉動(dòng)作。具體而言，搬出門體控制部245在冷卻控制部242b執(zhí)行試料送出控制的第一試料送出控制期間，使搬出門體16開放冷卻槽12的搬出開口部122，在所述第一試料送出控制期間以外的剩余的第二試料送出控制期間，使搬出門體16封閉冷卻槽12的搬出開口部122。

搬送控制部247控制搬送部18的試料的搬送動(dòng)作。搬送控制部247在由搬入門體控制部244控制的搬入門體15開放加熱槽11的搬入開口部112的狀態(tài)下，讓搬送部18將試料搬入加熱槽11。具體而言，搬送控制部247在搬入門體控制部244的所述第一試料接收控制期間內(nèi)，讓搬送部18將試料搬入加熱槽11。此外，搬送控制部247在由開閉結(jié)構(gòu)體控制部243控制的第一門體142a使加熱槽11的第一開口部111開放、且第二門體142b使冷卻槽12的第二開口部121開放的狀態(tài)下，讓搬送部18將試料從加熱槽11向冷卻槽12搬送。具體而言，搬送控制部247在開閉結(jié)構(gòu)體控制部243的所述第一門控制期間內(nèi)，讓搬送部18將試料從加熱槽11向冷卻槽12搬送。此外，搬送控制部247在由搬出門體控制部245控制的搬出門體16使冷卻槽12的搬出開口部122開放的狀態(tài)下，讓搬送部18將試料從冷卻槽12搬出。具體而言，搬送控制部247在搬出門體控制部245的所述第一試料送出控制期間內(nèi)，讓搬送部18將試料從冷卻槽12搬出。

接著，說明干燥裝置1的干燥處理動(dòng)作。圖4a、圖4b及圖4c是表示干燥裝置1的干燥處理動(dòng)作的第一例的工序圖。圖4a、圖4b及圖4c所示的第一例的干燥處理動(dòng)作是通過操作部21輸入了在惰性氣體氣氛下加熱試料后，在減壓氣氛下加熱，接著在惰性氣體氣氛下冷卻的第一指示的情況下的干燥處理動(dòng)作。干燥裝置1在開閉結(jié)構(gòu)體14的第一門體142a封閉加熱槽11的第一開口部111，第二門體142b封閉冷卻槽12的第二開口部121，搬入門體15封閉加熱槽11的搬入開口部112，搬出門體16封閉冷卻槽12的搬出開口部122的狀態(tài)下，開始干燥處理動(dòng)作。此外，加熱槽11被加熱部113加熱，槽內(nèi)溫度處于120℃～200℃的范圍。冷卻槽12被冷卻部123冷卻，槽內(nèi)溫度為1℃左右。

在步驟a1，第一指示受理部241a受理第一指示。如果第一指示被受理，在步驟a2，加熱控制部242a執(zhí)行試料接收控制。如果該試料接收控制被執(zhí)行，由干燥空氣供給部133向加熱槽11供給干燥空氣。如果加熱槽11內(nèi)的氣氛成為干燥空氣氣氛，則在步驟a3，由搬入門體控制部244控制的搬入門體15開放加熱槽11的搬入開口部112。如果搬入開口部112被開放，則在步驟a4，由搬送控制部247控制的搬送部18將試料搬入加熱槽11。如果搬送部18將試料搬入到加熱槽11，則在步驟a5，由搬入門體控制部244控制的搬入門體15封閉加熱槽11的搬入開口部112。

接著，在步驟a6，加熱控制部242a執(zhí)行加熱前控制。如果該加熱前控制被執(zhí)行，通過減壓部132而加熱槽11內(nèi)被減壓。據(jù)此，存在于加熱槽11內(nèi)的氣體成分被排出到加熱槽11外。接著，在步驟a7，加熱控制部242a開始第一加熱處理控制。如果該第一加熱處理控制開始，由惰性氣體供給部131向加熱槽11供給惰性氣體。另外，如果加熱控制部242a開始第一加熱處理控制，計(jì)時(shí)部23開始計(jì)時(shí)。如果向加熱槽11供給惰性氣體，則在步驟a8，由風(fēng)扇控制部248控制的第一風(fēng)扇19開始動(dòng)作。在該狀態(tài)下，在加熱槽11實(shí)施試料的惰性氣體氣氛下的加熱處理。

接著，在步驟a9，控制部24判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的惰性氣體氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部22的第一設(shè)定加熱時(shí)間。如果判斷已經(jīng)過第一設(shè)定加熱時(shí)間則將計(jì)時(shí)部23的計(jì)時(shí)清零并前進(jìn)到步驟a10，如果判斷未經(jīng)過第一設(shè)定加熱時(shí)間則反復(fù)進(jìn)行步驟a9。在步驟a10，控制部24判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的惰性氣體氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部22的第二設(shè)定加熱時(shí)間。如果判斷已經(jīng)過第二設(shè)定加熱時(shí)間則將計(jì)時(shí)部23的計(jì)時(shí)清零并前進(jìn)到步驟a11，如果判斷未經(jīng)過第二設(shè)定加熱時(shí)間則反復(fù)進(jìn)行步驟a10。另外，步驟a9和步驟a10也可合并為一個(gè)步驟。此時(shí)，控制部24利用將第一設(shè)定加熱時(shí)間和第二設(shè)定加熱時(shí)間加起來的合計(jì)時(shí)間，判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的惰性氣體氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過該合計(jì)時(shí)間。在步驟a11，加熱控制部242a結(jié)束第一加熱處理控制。如果該第一加熱處理控制結(jié)束，由惰性氣體供給部131進(jìn)行的向加熱槽11的惰性氣體的供給停止。如果向加熱槽11的惰性氣體的供給停止，在步驟a12，由風(fēng)扇控制部248控制的第一風(fēng)扇19的動(dòng)作停止。

接著，在步驟a13，加熱控制部242a開始第二加熱處理控制。如果該第二加熱處理控制開始，通過減壓部132而加熱槽11內(nèi)被減壓。另外，如果加熱控制部242a開始第二加熱處理控制，計(jì)時(shí)部23開始計(jì)時(shí)。在該狀態(tài)下，在加熱槽11實(shí)施試料的減壓氣氛下的加熱處理。

接著，在步驟a14，控制部24判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的減壓氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部22的第三設(shè)定加熱時(shí)間。如果判斷已經(jīng)過第三設(shè)定加熱時(shí)間則前進(jìn)到步驟a15，如果判斷未經(jīng)過第三設(shè)定加熱時(shí)間則反復(fù)進(jìn)行步驟a14。在步驟a15，加熱控制部242a結(jié)束第二加熱處理控制。如果該第二加熱處理控制結(jié)束，減壓部132進(jìn)行的對(duì)加熱槽11的減壓動(dòng)作停止。

接著，在步驟a16，加熱控制部242a開始加熱后控制。如果該加熱后控制開始，由惰性氣體供給部131向加熱槽11供給惰性氣體。與加熱控制部242a的加熱后控制聯(lián)動(dòng)，在步驟a17，冷卻控制部242b執(zhí)行第一冷卻前控制。如果該第一冷卻前控制被執(zhí)行，則通過減壓部132而冷卻槽12內(nèi)被減壓。據(jù)此，存在于冷卻槽12內(nèi)的氣體成分排出到冷卻槽12外。此外，在步驟a17，框體控制部242c執(zhí)行第一框體控制。如果該第一框體控制被執(zhí)行，通過減壓部132而開閉結(jié)構(gòu)體14的框體141內(nèi)被減壓。據(jù)此，存在于框體141內(nèi)的氣體成分被排出到框體141外。

接著，在步驟a18，冷卻控制部242b執(zhí)行第二冷卻前控制。如果該第二冷卻前控制被執(zhí)行，由惰性氣體供給部131向冷卻槽12內(nèi)供給惰性氣體。據(jù)此，冷卻槽12的氣氛成為惰性氣體氣氛。此外，在步驟a18，框體控制部242c執(zhí)行第二框體控制。如果該第二框體控制被執(zhí)行，由惰性氣體供給部131向框體141內(nèi)供給惰性氣體。據(jù)此，框體141的氣氛成為惰性氣體氣氛。與向加熱槽11供給惰性氣體的加熱后控制聯(lián)動(dòng)，在步驟a18，通過向冷卻槽12及框體141供給惰性氣體，能夠縮小加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部氣氛之差，并且，能夠縮小各個(gè)內(nèi)部的壓力差。

接著，在步驟a19，開閉閥控制部246讓連通開閉閥171開放連通管17的連通路。據(jù)此，能夠縮小加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部氣氛之差，并且，能夠縮小各個(gè)內(nèi)部的壓力差。然后，在步驟a20，開閉結(jié)構(gòu)體控制部243使由第一門體142a及第二門體142b形成的中間門體142開放加熱槽11的第一開口部111及冷卻槽12的第二開口部121。

在步驟a20，在加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部的壓力差縮小的狀態(tài)下，第一門體142a及第二門體142b進(jìn)行開放第一開口部111及第二開口部121的動(dòng)作。因此，能夠使框體141內(nèi)的第一門體142a及第二門體142b的移動(dòng)動(dòng)作變得順暢。此外，在加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部氣氛為惰性氣體氣氛的狀態(tài)下，第一門體142a及第二門體142b進(jìn)行開放第一開口部111及第二開口部121的動(dòng)作。因此，在第一開口部111及第二開口部121被開放時(shí)，能夠抑制在加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部惰性氣體濃度發(fā)生變化。

進(jìn)一步，詳細(xì)說明第一門體142a及第二門體142b的移動(dòng)動(dòng)作，在第一門體142a從經(jīng)由第一密封部件144a抵接于第一凸緣部111a的狀態(tài)向離開第一開口部111的方向移動(dòng)時(shí)、以及在第二門體142b從經(jīng)由第二密封部件144b抵接于第二凸緣部121a的狀態(tài)向離開第二開口部121的方向移動(dòng)時(shí)，處于加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部的壓力差變小的狀態(tài)。據(jù)此，在第一門體142a向離開第一開口部111的方向移動(dòng)、且第二門體142b向離開第二開口部121的方向移動(dòng)時(shí)，能夠抑制產(chǎn)生大的應(yīng)力。因此，能夠抑制安裝于第一門體142a的第一密封部件144a及安裝于第二門體142b的第二密封部件144b的劣化加快。

接著，在步驟a21，搬送控制部247讓搬送部18從加熱槽11向冷卻槽12搬送試料。如果由搬送部18將試料搬送到冷卻槽12，則在步驟a22，由開閉結(jié)構(gòu)體控制部243控制的由第一門體142a及第二門體142b形成的中間門體142封閉加熱槽11的第一開口部111及冷卻槽12的第二開口部121。在該步驟a22，也在加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部的壓力差變小的狀態(tài)下，第一門體142a及第二門體142b進(jìn)行封閉第一開口部111及第二開口部121的動(dòng)作。因此，能夠使框體141內(nèi)的第一門體142a及第二門體142b的移動(dòng)動(dòng)作變得順暢。接著，在步驟a23，開閉閥控制部246讓連通開閉閥171封閉連通管17的連通路。接著，在步驟a24，加熱控制部242a結(jié)束加熱后控制。如果該加熱后控制結(jié)束，由惰性氣體供給部131進(jìn)行的向加熱槽11的惰性氣體的供給停止。

接著，在步驟a25，冷卻控制部242b開始冷卻處理控制。如果該冷卻處理控制開始，由惰性氣體供給部131繼續(xù)向冷卻槽12供給惰性氣體。另外，如果由冷卻控制部242b開始冷卻處理控制，計(jì)時(shí)部23開始計(jì)時(shí)。接著，在步驟a26，由風(fēng)扇控制部248控制的第二風(fēng)扇20開始動(dòng)作。在該狀態(tài)下，在冷卻槽12實(shí)施試料的惰性氣體氣氛下的冷卻處理。

接著，在步驟a27，控制部24判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的惰性氣體氣氛下的冷卻處理時(shí)間是否經(jīng)過存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部22的設(shè)定冷卻時(shí)間。如果判斷已經(jīng)過設(shè)定冷卻時(shí)間則將計(jì)時(shí)部23的計(jì)時(shí)清零并前進(jìn)到步驟a28，如果判斷未經(jīng)過設(shè)定冷卻時(shí)間則反復(fù)進(jìn)行步驟a27。

接著，在步驟a28，冷卻控制部242b結(jié)束冷卻處理控制。如果該冷卻處理控制結(jié)束，惰性氣體供給部131進(jìn)行的向冷卻槽12的惰性氣體的供給停止。此外，如果向冷卻槽12的惰性氣體的供給停止，由風(fēng)扇控制部248控制的第二風(fēng)扇20的動(dòng)作停止。

接著，在步驟a29，冷卻控制部242b執(zhí)行試料送出控制。如果該試料送出控制被執(zhí)行，由干燥空氣供給部133向冷卻槽12供給干燥空氣。如果冷卻槽12內(nèi)的氣氛成為干燥空氣氣氛，則在步驟a30，由搬出門體控制部245控制的搬出門體16開放冷卻槽12的搬出開口部122。如果搬出開口部122被開放，在步驟a31，由搬送控制部247控制的搬送部18將試料從冷卻槽12搬出。如果搬送部18從冷卻槽12搬出試料，則在步驟a32，由搬出門體控制部245控制的搬出門體16封閉冷卻槽12的搬出開口部122。

如以上所述，干燥裝置1在加熱槽11對(duì)試料實(shí)施行惰性氣體氣氛下及減壓氣氛下的加熱處理后，利用搬送部18將試料沿搬送方向h搬送而使其從加熱槽11移動(dòng)到冷卻槽12，接著在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的冷卻處理，并搬出冷卻后的試料。

圖5是表示干燥裝置1的干燥處理動(dòng)作的第二例的工序圖。圖5所示的第二例的干燥處理動(dòng)作是通過操作部21輸入了在惰性氣體氣氛下加熱試料，接著在惰性氣體氣氛下冷卻的第二指示時(shí)的干燥處理動(dòng)作。干燥裝置1在開閉結(jié)構(gòu)體14的第一門體142a封閉加熱槽11的第一開口部111，第二門體142b封閉冷卻槽12的第二開口部121，搬入門體15封閉加熱槽11的搬入開口部112，搬出門體16封閉冷卻槽12的搬出開口部122的狀態(tài)下開始干燥處理動(dòng)作。此外，加熱槽11被加熱部113加熱，槽內(nèi)溫度處于120℃～200℃的范圍。冷卻槽12被冷卻部123冷卻，槽內(nèi)溫度為1℃左右。

在步驟b1，第二指示受理部241b受理第二指示。如果第二指示被受理，在步驟b2，加熱控制部242a執(zhí)行試料接收控制。如果該試料接收控制被執(zhí)行，由干燥空氣供給部133向加熱槽11供給干燥空氣。如果加熱槽11內(nèi)的氣氛成為干燥空氣氣氛，則在步驟b3，由搬入門體控制部244控制的搬入門體15開放加熱槽11的搬入開口部112。如果搬入開口部112開放，則在步驟b4，由搬送控制部247控制的搬送部18將試料搬入加熱槽11。如果搬送部18將試料搬入到加熱槽11，則在步驟b5，由搬入門體控制部244控制的搬入門體15封閉加熱槽11的搬入開口部112。

接著，在步驟b6，加熱控制部242a執(zhí)行加熱前控制。如果該加熱前控制被執(zhí)行，通過減壓部132而加熱槽11內(nèi)被減壓。據(jù)此，存在于加熱槽11內(nèi)的氣體成分被排出到加熱槽11外。接著，在步驟b7，加熱控制部242a開始第一加熱處理控制。如果該第一加熱處理控制開始，由惰性氣體供給部131向加熱槽11供給惰性氣體。另外，如果由加熱控制部242a開始第一加熱處理控制，計(jì)時(shí)部23開始計(jì)時(shí)。如果向加熱槽11供給惰性氣體，則在步驟b8，由風(fēng)扇控制部248控制的第一風(fēng)扇19開始動(dòng)作。在該狀態(tài)下，在加熱槽11實(shí)施試料的惰性氣體氣氛下的加熱處理。

接著，在步驟b9，控制部24判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的惰性氣體氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部22的第一設(shè)定加熱時(shí)間。如果判斷已經(jīng)過第一設(shè)定加熱時(shí)間則將計(jì)時(shí)部23的計(jì)時(shí)清零并前進(jìn)到步驟b10，如果判斷未經(jīng)過第一設(shè)定加熱時(shí)間則反復(fù)進(jìn)行步驟b9。在步驟b10，控制部24判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的惰性氣體氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部22的第二設(shè)定加熱時(shí)間。如果判斷已經(jīng)過第二設(shè)定加熱時(shí)間則將計(jì)時(shí)部23的計(jì)時(shí)清零并前進(jìn)到步驟b11，如果判斷未經(jīng)過第二設(shè)定加熱時(shí)間則反復(fù)進(jìn)行步驟b10。另外，步驟b9和步驟b10也可合并為一個(gè)步驟。此時(shí)，控制部24利用將第一設(shè)定加熱時(shí)間和第二設(shè)定加熱時(shí)間加起來的合計(jì)時(shí)間，判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的惰性氣體氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過該合計(jì)時(shí)間。在步驟b11，加熱控制部242a結(jié)束第一加熱處理控制。如果該第一加熱處理控制結(jié)束，由惰性氣體供給部131進(jìn)行的向加熱槽11的惰性氣體的供給停止。如果向加熱槽11的惰性氣體的供給停止，在步驟b12，由風(fēng)扇控制部248控制的第一風(fēng)扇19的動(dòng)作停止。

基于第二指示受理部241b受理的第二指示的干燥裝置1的干燥處理不實(shí)施所述的步驟a13～a15的減壓氣氛下的試料的加熱處理。因此，在步驟b12的處理結(jié)束后，省略所述的步驟a13～a15的處理的狀態(tài)下，轉(zhuǎn)移到所述的步驟a16?；诘诙甘臼芾聿?41b受理的第二指示的干燥裝置1的干燥處理中，從步驟b12轉(zhuǎn)移到所述的步驟a16后，實(shí)施所述的步驟a17～步驟a32的處理。如上所述，干燥裝置1在加熱槽11對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的加熱處理后，利用搬送部18將試料沿搬送方向h搬送而使其從加熱槽11移動(dòng)到冷卻槽12，接著在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的冷卻處理，并搬出冷卻后的試料。

圖6是表示干燥裝置1的干燥處理動(dòng)作的第三例的工序圖。圖6所示的第三例的干燥處理動(dòng)作是通過操作部21輸入了在減壓氣氛下加熱試料，接著在惰性氣體氣氛下冷卻的第三指示時(shí)的干燥處理動(dòng)作。干燥裝置1在開閉結(jié)構(gòu)體14的第一門體142a封閉加熱槽11的第一開口部111，第二門體142b封閉冷卻槽12的第二開口部121，搬入門體15封閉加熱槽11的搬入開口部112，搬出門體16封閉冷卻槽12的搬出開口部122的狀態(tài)下開始干燥處理動(dòng)作。此外，加熱槽11被加熱部113加熱，槽內(nèi)溫度處于120℃～200℃的范圍。冷卻槽12被冷卻部123冷卻，槽內(nèi)溫度為1℃左右。

在步驟c1，第三指示受理部241c受理第三指示。如果第三指示被受理，在步驟c2，加熱控制部242a執(zhí)行試料接收控制。如果該試料接收控制被執(zhí)行，由干燥空氣供給部133向加熱槽11供給干燥空氣。如果加熱槽11內(nèi)的氣氛成為干燥空氣氣氛，則在步驟c3，由搬入門體控制部244控制的搬入門體15開放加熱槽11的搬入開口部112。如果搬入開口部112開放，則在步驟c4，由搬送控制部247控制的搬送部18將試料搬入加熱槽11。如果搬送部18將試料搬入到加熱槽11，則在步驟c5，由搬入門體控制部244控制的搬入門體15封閉加熱槽11的搬入開口部112。

接著，在步驟c6，加熱控制部242a執(zhí)行加熱前控制。如果該加熱前控制被執(zhí)行，通過減壓部132而加熱槽11內(nèi)被減壓。據(jù)此，存在于加熱槽11內(nèi)的氣體成分被排出到加熱槽11外。接著，在步驟c7，加熱控制部242a開始第二加熱處理控制。即，基于算三指示受理部241c受理的第三指示的干燥裝置1的干燥處理不實(shí)施所述的步驟a7～a12的惰性氣體氣氛下的試料的加熱處理。如果第二加熱處理控制開始，由減壓部132繼續(xù)進(jìn)行對(duì)加熱槽11內(nèi)的減壓處理。另外，如果由加熱控制部242a開始第二加熱處理控制，計(jì)時(shí)部23開始計(jì)時(shí)。在該狀態(tài)下，在加熱槽11實(shí)施試料的減壓氣氛下的加熱處理。

接著，在步驟c8，控制部24判斷由計(jì)時(shí)部23計(jì)時(shí)的減壓氣氛下的加熱處理時(shí)間是否經(jīng)過存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部22的第三設(shè)定加熱時(shí)間。如果判斷已經(jīng)過第三設(shè)定加熱時(shí)間則前進(jìn)到步驟c9，如果判斷未經(jīng)過第三設(shè)定加熱時(shí)間則反復(fù)進(jìn)行步驟c8。在步驟c9，加熱控制部242a結(jié)束第二加熱處理控制。如果該第二加熱處理控制結(jié)束，減壓部132進(jìn)行的對(duì)加熱槽11的減壓動(dòng)作停止。

基于第三指示受理部241c受理的第三指示的干燥裝置1的干燥處理中，結(jié)束步驟c9的處理后轉(zhuǎn)移到所述的步驟a16。基于第三指示受理部241c受理的第三指示的干燥裝置1的干燥處理中，從步驟c9轉(zhuǎn)移到所述的步驟a16后，實(shí)施所述的步驟a17～步驟a32的處理。如上所述，干燥裝置1在加熱槽11對(duì)試料實(shí)施減壓氣氛下的加熱處理后，利用搬送部18將試料沿搬送方向h搬送而使其從加熱槽11移動(dòng)到冷卻槽12，接著在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的冷卻處理，并搬出冷卻后的試料。

根據(jù)如上所述地構(gòu)成的干燥裝置1，用于加熱試料的加熱槽11和用于冷卻試料的冷卻槽12在之間存在開閉結(jié)構(gòu)體14的狀態(tài)下分別獨(dú)立設(shè)置。因此，加熱槽11的溫度保持用于加熱試料的溫度，冷卻槽12的溫度保持用于冷卻試料的溫度即可，不像以往的分批方式的干燥裝置那樣需要在各槽反復(fù)實(shí)施降溫操作及升溫操作。因此，能夠防止用于降溫操作及升溫操作的能量消耗并能夠縮短干燥時(shí)間，能夠?qū)崿F(xiàn)高干燥效率。

此外，干燥裝置1經(jīng)由搬入開口部112從裝置外部向加熱槽11搬入試料，并經(jīng)由搬出開口部122從冷卻槽12向裝置外部搬出試料。即，本實(shí)施方式所涉及的干燥裝置1不是如具備三個(gè)氣密室的以往的連續(xù)搬送方式的干燥裝置那樣具備相當(dāng)于除進(jìn)行試料的搬入或搬出的兩個(gè)氣密室以外的氣密室的處理槽的結(jié)構(gòu)。因此，與以往的連續(xù)搬送方式的干燥裝置相比較，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化。

此外，由調(diào)整控制部242控制的調(diào)整部13基于由受理部241受理的有關(guān)干燥條件的指示，調(diào)整加熱槽11及冷卻槽12的內(nèi)部的氣氛。因此，能夠在一個(gè)加熱槽11實(shí)施內(nèi)部氣氛不同的加熱處理，并且，能夠在一個(gè)冷卻槽12實(shí)施內(nèi)部氣氛不同的冷卻處理。因此，相較于為了實(shí)施內(nèi)部氣氛不同的加熱處理和冷卻處理而具備與處理工序數(shù)相同的數(shù)量的氣密室的以往的連續(xù)搬送方式的干燥裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化。

以上說明了本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的干燥裝置1，但本發(fā)明并不限定于此，例如可采用如下的變形實(shí)施方式。

(1)在所述的實(shí)施方式中，說明了能夠根據(jù)由受理部241受理的指示切換在加熱槽11實(shí)施的加熱處理的干燥裝置1的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明并不限定于此種結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的干燥裝置1也可采用能夠在加熱槽11對(duì)試料只進(jìn)行惰性氣體氣氛下的加熱處理后，在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的冷卻處理的結(jié)構(gòu)(以下稱為“第一變形例”)。具體而言，第一變形例所涉及的干燥裝置1除了調(diào)整部13、受理部241及調(diào)整控制部242的結(jié)構(gòu)不同以外，與所述的實(shí)施方式相同。

在第一變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整部13包括惰性氣體供給部131、減壓部132以及干燥空氣供給部133。減壓部132用于在將加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部設(shè)為惰性氣體氣氛之前，將所述各個(gè)內(nèi)部設(shè)為減壓氣氛的部件。通過該減壓部132，能夠排出存在于加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部的氣體成分，能夠提高向惰性氣體氣氛的置換效率。另外。在第一變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整部13也可采用不含減壓部132的結(jié)構(gòu)。

在第一變形例所涉及的干燥裝置1中，受理部241受理在惰性氣體氣氛下加熱試料，接著在惰性氣體氣氛下冷卻試料的指示。即，在第一變形例所涉及的干燥裝置1中，受理部241只含所述的實(shí)施方式的第二指示受理部241b，不含第一指示受理部241a及第三指示受理部241c。并且，在第一變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整控制部242基于由受理部241受理的指示能夠執(zhí)行如下控制：加熱處理控制，讓惰性氣體供給部131將加熱槽11調(diào)整為惰性氣體氣氛，以便在加熱槽11在惰性氣體氣氛下加熱試料；冷卻控制，讓惰性氣體供給部131將冷卻槽12調(diào)整為惰性氣體氣氛；以及框體控制，讓惰性氣體供給部131將框體141調(diào)整為惰性氣體氣氛。另外，第一變形例所涉及的干燥裝置1的干燥處理動(dòng)作與所述的實(shí)施方式中的圖5所示的干燥處理動(dòng)作的第二例一樣。

在第一變形例所涉及的干燥裝置1中，在由開閉閥控制部246控制的連通開閉閥171開放連通管17的連通路，加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部氣氛被設(shè)為惰性氣體氣氛，且所述各個(gè)內(nèi)部的壓力差變小的狀態(tài)下，由開閉結(jié)構(gòu)體控制部243控制的第一門體142a及第二門體142b進(jìn)行對(duì)第一開口部111及第二開口部121的開閉動(dòng)作。如以上所述，第一變形例所涉及的干燥裝置1能夠在加熱槽11對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的加熱處理后，利用搬送部18將試料沿搬送方向h搬送而使其從加熱槽11移動(dòng)到冷卻槽12，接著在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的冷卻處理，并搬出冷卻后的試料。

(2)此外，本發(fā)明的干燥裝置1也可采用能夠在加熱槽11對(duì)試料只實(shí)施減壓氣氛下的加熱處理后，在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的冷卻處理的結(jié)構(gòu)(以下稱為“第二變形例”)。具體而言，第二變形例所涉及的干燥裝置1除了調(diào)整部13、受理部241及調(diào)整控制部242的結(jié)構(gòu)不同以外，與所述的實(shí)施方式相同。

在第二變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整部13包括惰性氣體供給部131、減壓部132以及干燥空氣供給部133。在第二變形例所涉及的干燥裝置1中，受理部241受理在減壓氣氛下加熱試料，接著在惰性氣體氣氛下冷卻試料的指示。即，在第二變形例所涉及的干燥裝置1中，受理部241只含所述的實(shí)施方式的第三指示受理部241c，不含第一指示受理部241a及第二指示受理部241b。并且，在第二變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整控制部242基于由受理部241受理的指示能夠執(zhí)行如下控制：加熱處理控制，讓減壓部132將加熱槽11調(diào)整為減壓氣氛，以便在加熱槽11在減壓氣氛下加熱試料；加熱后控制，在加熱槽11加熱試料后，讓惰性氣體供給部131將加熱槽11調(diào)整為惰性氣體氣氛；冷卻前控制，在冷卻槽12冷卻試料前，讓減壓部132將冷卻槽12調(diào)整為減壓氣氛；冷卻處理控制，讓惰性氣體供給部131將冷卻槽12調(diào)整為惰性氣體氣氛，以便在冷卻槽12在惰性氣體氣氛下冷卻試料；第一框體控制，與所述冷卻前控制聯(lián)動(dòng)，讓減壓部132將框體141調(diào)整為減壓氣氛；以及第二框體控制，讓惰性氣體供給部131將框體141調(diào)整為惰性氣體氣氛。另外，第二變形例所涉及的干燥裝置1的干燥處理動(dòng)作與所述的實(shí)施方式中的圖6所示的干燥處理動(dòng)作的第三例一樣。

在第二變形例所涉及的干燥裝置1中，在由開閉閥控制部246控制的連通開閉閥171開放連通管17的連通路，加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部氣氛被設(shè)為惰性氣體氣氛，且所述各個(gè)內(nèi)部的壓力差變小的狀態(tài)下，由開閉結(jié)構(gòu)體控制部243控制的第一門體142a及第二門體142b進(jìn)行對(duì)第一開口部111及第二開口部121的開閉動(dòng)作。如以上所述，第二變形例所涉及的干燥裝置1能夠在加熱槽11對(duì)試料實(shí)施減壓氣氛下的加熱處理后，利用搬送部18將試料沿搬送方向h搬送而使其從加熱槽11移動(dòng)到冷卻槽12，接著在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的冷卻處理，并搬出冷卻后的試料。

(3)此外，本發(fā)明的干燥裝置1也可采用能夠在加熱槽11對(duì)試料只實(shí)施減壓氣氛下的加熱處理后，在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施減壓氣氛下的冷卻處理的結(jié)構(gòu)(以下稱為“第三變形例”)。具體而言，第三變形例所涉及的干燥裝置1除了調(diào)整部13、受理部241及調(diào)整控制部242的結(jié)構(gòu)不同以外，與所述實(shí)施方式相同。

在第三變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整部13包括減壓部132以及干燥空氣供給部133。另外，在第三變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整部13也可以包含惰性氣體供給部131。此時(shí)，惰性氣體供給部131在將加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部設(shè)為減壓氣氛之前，將所述各個(gè)內(nèi)部設(shè)為惰性氣體氣氛。在第三變形例所涉及的干燥裝置1中，受理部241受理在減壓氣氛下加熱試料，接著在減壓氣氛下冷卻的指示。并且，在第三變形例所涉及的干燥裝置1中，調(diào)整控制部242基于受理部241受理的指示能夠執(zhí)行如下控制：加熱處理控制，讓減壓部132將加熱槽11調(diào)整為減壓氣氛，以便在加熱槽11在減壓氣氛下加熱試料；冷卻處理控制，讓減壓部132將冷卻槽12調(diào)整為減壓氣氛，以便在冷卻槽12在減壓氣氛下冷卻試料；以及框體控制，讓減壓部132將框體141調(diào)整為減壓氣氛。

在第三變形例所涉及的干燥裝置1中，在由開閉閥控制部246控制的連通開閉閥171開放連通管17的連通路，加熱槽11、冷卻槽12及框體141的各個(gè)內(nèi)部氣氛被設(shè)為減壓氣氛，且所述各個(gè)內(nèi)部的壓力差變小的狀態(tài)下，由開閉結(jié)構(gòu)體控制部243控制的第一門體142a及第二門體142b進(jìn)行對(duì)第一開口部111及第二開口部121的開閉動(dòng)作。如以上所述，第三變形例所涉及的干燥裝置1能夠在加熱槽11對(duì)試料實(shí)施減壓氣氛下的加熱處理后，利用搬送部18將試料沿搬送方向h搬送而使其從加熱槽11移動(dòng)到冷卻槽12，接著在冷卻槽12對(duì)試料實(shí)施減壓氣氛下的冷卻處理，并搬出冷卻后的試料。

(4)此外，本發(fā)明的干燥裝置1也可為受理部241只具有第一指示受理部241a，并只進(jìn)行基于第一指示的處理的裝置。

所述的實(shí)施方式主要包含具有以下結(jié)構(gòu)的技術(shù)。在干燥含有液體成分的試料時(shí)，有助于提供實(shí)現(xiàn)高干燥效率并能實(shí)現(xiàn)裝置的小型化的干燥裝置。

所述的實(shí)施方式的一方面所涉及的干燥裝置，用于干燥含有液體成分的試料，其包括：加熱槽，具有第一開口部和試料的搬入開口部，用于加熱試料；冷卻槽，具有與所述第一開口部相向的第二開口部和試料的搬出開口部，用于冷卻在所述加熱槽加熱后的試料；開閉結(jié)構(gòu)體，被配設(shè)在所述加熱槽與所述冷卻槽之間，用于開閉所述第一開口部及所述第二開口部；搬送部，將試料從所述加熱槽向所述冷卻槽搬送；調(diào)整部，調(diào)整所述加熱槽及所述冷卻槽的內(nèi)部的氣氛；以及調(diào)整控制部，控制所述調(diào)整部。

根據(jù)該干燥裝置，由于用于加熱試料的加熱槽和用于冷卻試料的冷卻槽在之間存在開閉結(jié)構(gòu)體的狀態(tài)下分別獨(dú)立設(shè)置。因此，加熱槽的溫度保持用于加熱試料的溫度，冷卻槽的溫度保持用于冷卻試料的溫度即可，不像以往的分批方式的干燥裝置那樣需要在各槽反復(fù)實(shí)施降溫操作及升溫操作。因此，能夠防止用于降溫操作及升溫操作的能量消耗，并且，能夠縮短干燥時(shí)間，能夠?qū)崿F(xiàn)高干燥效率。此外，干燥裝置經(jīng)由搬入開口部從裝置外部向加熱槽搬入試料，并經(jīng)由搬出開口部從冷卻槽向裝置外部搬出試料。即，本發(fā)明所涉及的干燥裝置不是如具備三個(gè)氣密室的以往的連續(xù)搬送方式的干燥裝置那樣具備相當(dāng)于除進(jìn)行試料的搬入或搬出的兩個(gè)氣密室以外的氣密室的處理槽的結(jié)構(gòu)。因此，與以往的連續(xù)搬送方式的干燥裝置相比較，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化。

在所述的干燥裝置中，所述開閉結(jié)構(gòu)體包括：框體，連接所述第一開口部和所述第二開口部；以及門體，通過在所述框體內(nèi)相對(duì)于所述第一開口部及所述第二開口部移動(dòng)，從而開閉該第一開口部及第二開口部，所述調(diào)整部還調(diào)整所述框體的內(nèi)部的氣氛。

在該結(jié)構(gòu)中，能夠以包括開閉加熱槽的第一開口部和冷卻槽的第二開口部的門體的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)開閉結(jié)構(gòu)體。此外，調(diào)整部能夠調(diào)整連接第一開口部和第二開口部的開閉結(jié)構(gòu)體的框體的內(nèi)部氣氛。因此，在框體內(nèi)門體移動(dòng)而開閉第一開口部及第二開口部時(shí)，能夠縮小加熱槽、冷卻槽及框體的各個(gè)內(nèi)部氣氛之差。此外，通過調(diào)整部調(diào)整內(nèi)部氣氛，能夠縮小加熱槽、冷卻槽及框體的各個(gè)內(nèi)部的壓力差。因此，能夠使框體內(nèi)的門體的移動(dòng)動(dòng)作順暢。

在所述的干燥裝置中，也可以還包括：連通管，形成用于使所述加熱槽、所述冷卻槽及所述框體分別連通的連通路；連通開閉閥，被設(shè)置在所述連通管，用于開閉所述連通路；以及開閉閥控制部，與所述調(diào)整控制部的控制聯(lián)動(dòng)而控制所述連通開閉閥。

在該結(jié)構(gòu)中，加熱槽、冷卻槽及框體通過連通管而能夠連通。因此，在框體內(nèi)門體移動(dòng)而開閉第一開口部及第二開口部時(shí)，能夠進(jìn)一步縮小加熱槽、冷卻槽及框體的各個(gè)內(nèi)部氣氛之差。此外，通過連通管能夠進(jìn)一步縮小加熱槽、冷卻槽及框體的各個(gè)內(nèi)部的壓力差。因此，能夠使框體內(nèi)的門體的移動(dòng)動(dòng)作更順暢。

在所述的干燥裝置中，也可以還包括：受理部，受理有關(guān)試料的干燥條件的指示，所述調(diào)整部包括：向所述加熱槽、所述冷卻槽及所述框體的內(nèi)部供給惰性氣體的惰性氣體供給部；以及將所述加熱槽、所述冷卻槽及所述框體的內(nèi)部減壓為低于大氣壓的壓力的減壓部，所述調(diào)整控制部，基于由所述受理部受理的指示，控制所述惰性氣體供給部及所述減壓部。在該結(jié)構(gòu)中，能夠基于受理部受理的指示，將加熱槽、冷卻槽及框體的內(nèi)部氣氛調(diào)整為惰性氣體氣氛或減壓氣氛。

在所述的干燥裝置中，也可以為：所述調(diào)整控制部執(zhí)行以下控制：第一加熱處理控制，讓所述惰性氣體供給部將所述加熱槽調(diào)整為惰性氣體氣氛，以便使所述加熱槽在惰性氣體氣氛下加熱試料；第二加熱處理控制，讓所述減壓部將所述加熱槽調(diào)整為減壓氣氛，以便使所述加熱槽在減壓氣氛下加熱試料；加熱后控制，在所述加熱槽加熱試料后，讓所述惰性氣體供給部將所述加熱槽調(diào)整為惰性氣體氣氛；冷卻控制，與所述加熱后控制聯(lián)動(dòng)，讓所述惰性氣體供給部將所述冷卻槽調(diào)整為惰性氣體氣氛；以及框體控制，與所述加熱后控制聯(lián)動(dòng)，讓所述惰性氣體供給部將所述框體調(diào)整為惰性氣體氣氛，所述開閉閥控制部，在執(zhí)行所述加熱后控制的期間、即、執(zhí)行所述冷卻控制且執(zhí)行所述框體控制的第一連通開閉閥控制期間，讓所述連通開閉閥開放所述連通路，在所述算一連通開閉閥控制期間以外的剩余的第二連通開閉閥控制期間，讓所述連通開閉閥封閉所述連通路，所述門體在所述第一連通開閉閥控制期間進(jìn)行開閉動(dòng)作。

在該結(jié)構(gòu)中，能夠在將加熱槽、冷卻槽及框體的各個(gè)內(nèi)部氣氛設(shè)為惰性氣體氣氛，并進(jìn)一步縮小各個(gè)內(nèi)部的壓力差的基礎(chǔ)上，使開閉結(jié)構(gòu)體的門體移動(dòng)。因此，能夠使框體內(nèi)的門體的移動(dòng)動(dòng)作順暢。

在所述的干燥裝置中，所述受理部包括：第一指示受理部，受理在惰性氣體氣氛下加熱試料后在減壓氣氛下加熱的第一指示；第二指示受理部，受理在惰性氣體氣氛下加熱試料的第二指示；以及第三指示受理部，受理在減壓氣氛下加熱試料的第三指示。所述調(diào)整控制部執(zhí)行以下控制：在所述第一指示受理部受理了所述第一指示的情況下，依次執(zhí)行所述第一加熱處理控制、所述第二加熱處理控制及所述加熱后控制；在所述第二指示受理部受理了所述第二指示的情況下，依次執(zhí)行所述第一加熱處理控制及所述加熱后控制；在所述第三指示受理部受理了所述第三指示的情況下，依次執(zhí)行所述第二加熱處理控制及所述加熱后控制。在該結(jié)構(gòu)中，能夠在加熱槽實(shí)施與受理部的第一指示受理部、第二指示受理部及第三指示受理部受理的指示相對(duì)應(yīng)的加熱處理。

在所述的干燥裝置中，也可以還包括：第一風(fēng)扇，在所述加熱槽的內(nèi)部產(chǎn)生循環(huán)氣流；以及第二風(fēng)扇，在所述冷卻槽的內(nèi)部產(chǎn)生循環(huán)氣流。

在該結(jié)構(gòu)中，利用第一風(fēng)扇在加熱槽的內(nèi)部產(chǎn)生循環(huán)氣流，并利用第二風(fēng)扇在冷卻槽的內(nèi)部產(chǎn)生循環(huán)氣流，因此，能夠利用該循環(huán)氣流提高加熱處理及冷卻處理的處理效率。

在所述的干燥裝置中，也可以為：所述調(diào)整部包括向所述加熱槽、所述冷卻槽及所述框體的內(nèi)部供給惰性氣體的惰性氣體供給部，所述調(diào)整控制部執(zhí)行如下控制：加熱處理控制，讓所述惰性氣體供給部將所述加熱槽調(diào)整為惰性氣體氣氛，以便使所述加熱槽在惰性氣體氣氛下加熱試料；冷卻控制，讓所述惰性氣體供給部將所述冷卻槽調(diào)整為惰性氣體氣氛；以及框體控制，讓所述惰性氣體供給部將所述框體調(diào)整為惰性氣體氣氛。在該結(jié)構(gòu)中，能夠在加熱槽對(duì)試料實(shí)施惰性氣體氣氛下的加熱處理后，在冷卻槽對(duì)試料實(shí)施冷卻處理。

在所述的干燥裝置中，也可以為：所述調(diào)整部包括將所述加熱槽、所述冷卻槽及所述框體的內(nèi)部減壓為低于大氣壓的壓力的減壓部，所述調(diào)整控制部執(zhí)行如下控制：加熱處理控制，讓所述減壓部將所述加熱槽調(diào)整為減壓氣氛，以便使所述加熱槽在減壓氣氛下加熱試料；冷卻控制，讓所述減壓部將所述冷卻槽調(diào)整為減壓氣氛；以及框體控制，讓所述減壓部將所述框體調(diào)整為減壓氣氛。在該結(jié)構(gòu)中，能夠在加熱槽對(duì)試料實(shí)施減壓氣氛下的加熱處理后，在冷卻槽對(duì)試料實(shí)施冷卻處理。