專利名稱：一種基板搬運裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及TFT-IXD制作工藝設備技術領域，特別涉及一種基板搬運裝置。
背景技術：
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜場效應晶體管-液晶顯示器)制作工藝中，磁控物理濺射工藝被廣泛應用，該工藝中當前被廣泛使用的設備結構中多處容易產(chǎn)生大量粉塵污染，對后續(xù)工序造成很嚴重的影響。如圖1所示，為現(xiàn)有技術應用于磁控物理濺射工藝過程中的基板搬送裝置結構示意圖。該基板搬送裝置包括內(nèi)框架4、外框架2、固定內(nèi)框架4和外框架2的夾具10，該外框架2上裝有基板押元6，該基板押元6上安裝基板支撐件8。另外，該基板搬送裝置還具有連接內(nèi)框架相對兩邊框的支撐桿12，該支撐桿12和內(nèi)框架4上均設有若干支撐柱 9 (pin)。在實際操作中，首先機械手將需要進行磁控物理濺射鍍膜的玻璃基板送入基板搬運裝置中，此時，打開夾具10，使得內(nèi)框架4和外框架2分離開來。固定后，玻璃基板被支撐柱9支撐住，并被基板支撐件8支撐并固定住，進而進行濺射鍍膜作業(yè)。待濺射鍍膜作業(yè)完成后，需要將玻璃基板從基板搬運裝置中取下。在上述作業(yè)中，當玻璃基板輸送到基板搬送裝置后，需要通過夾具10將內(nèi)框架4 和外框架2牢牢固定在一起，內(nèi)框架4和外框架2之間直接接觸在一起，并且玻璃基板和支撐件8之間也始終直接接觸。在搬運和濺射工藝過程中，內(nèi)框架4和外框架2持續(xù)摩擦磨損，玻璃基板和支撐件8也在持續(xù)摩擦磨損，將產(chǎn)生大量的粉塵，該粉塵很容易落入到玻璃基板上，在后續(xù)鍍膜加工中，部分粉塵將飄落在膜層下方，部分粉塵將嵌入膜層中，還有一部分粉塵浮在膜層上。該粉塵隨著玻璃基板共同進行后續(xù)工序中，嚴重影響后續(xù)玻璃基板的工藝質(zhì)量，進而影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。同時，當粉塵達到一定程度時，需要打開濺射腔體進行設備維護，加重了設備維護頻率，進而影響設備的稼動率。另外，大量的摩擦將加重玻璃基板對支撐件8的磨損，縮短支撐件的使用壽命，加大更換部件的頻率和成本。

實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術問題本實用新型要解決的技術問題是提供一種基板搬運裝置，以克服現(xiàn)有的基板搬運裝置由于各部件存在過多的接觸性摩擦，導致其在搬運基板和位于濺射工藝腔體的過程中，容易造成大量的粉塵污染，進而影響工藝質(zhì)量，并且對最終的產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響等缺陷。( 二 )技術方案為了解決上述問題，本實用新型提供一種基板搬運裝置，包括內(nèi)框架、外框架、用于鎖緊內(nèi)框架和外框架的夾具，所述外框架的內(nèi)側(cè)至少一個邊框上設有至少一個聯(lián)結墊；所述外框架的內(nèi)側(cè)緊貼內(nèi)框架。進一步地，所述聯(lián)結墊為帶孔片狀。[0011]進一步地，所述外框架靠近基板的表面四周設有基板押元，所述基板押元上設有多個用于支撐并固定基板的支撐件；至少位于外框架底部的基板押元上的支撐件為彈性支撐件。進一步地，彈性支撐件由支撐底座和位于支撐底座水平部分上的彈性墊組成，所述支撐底座為L型，L型的支撐底座的開口方向朝向基板。進一步地，所述支撐底座和彈性墊之間設有彈簧。進一步地，還包括多條連接內(nèi)框架相對兩邊的支撐桿，所述內(nèi)框架的四周和支撐桿上具有多個用于支撐基板的支撐柱。進一步地，所述部分支撐底座的豎直部分與基板押元的接觸面之間具有縫隙，所述支撐底座的豎直部分厚度為1-1. 3mm。進一步地，所述支撐底座豎直方向貼近基板押元的一邊部分具有凹槽。進一步地，所述支撐底座水平部分的表面具有凹槽，所述彈性墊位于凹槽內(nèi)。進一步地，所述外框架的長邊框上分布8-16個聯(lián)結墊；所述外框架的短邊框上分布5-11個聯(lián)結墊。(三)有益效果本實用新型提供的基板搬運裝置，具有以下優(yōu)點(1)外框架和內(nèi)框架之間設有聯(lián)結墊，可有效避免外框架和內(nèi)框架直接接觸而產(chǎn)生的摩擦，最大程度地減少因其兩者之間的摩擦磨損產(chǎn)生的粉塵污染，提高濺射鍍膜工藝的良品率，進而提高后續(xù)的產(chǎn)品質(zhì)量。(2)彈性支撐件的設置可有效減少支撐件與玻璃基板之間接觸在運動中摩擦磨損產(chǎn)生的粉塵污染，由于彈性支撐件具有良好的彈性系統(tǒng)，因此，可有效改善運動中的玻璃基板對支撐件產(chǎn)生的強大摩擦力，起到一定的緩沖作用進而達到減少破片的效果。(3)本實施例提供的基板搬運裝置，可有效減少各部件之間的摩擦力，最大程度地降低因摩擦而產(chǎn)生的粉塵污染，同時，可有效降低各部件之間由于直接性接觸而帶來的部件磨損，延長部件的使用壽命，進而提高設備的稼動率。

圖1為現(xiàn)有技術基板搬運裝置結構示意圖；圖2為本實用新型實施例基板搬運裝置結構示意圖；圖3為圖2中基板搬運裝置結構A-A剖視圖；圖4為本實用新型實施例基板搬運裝置聯(lián)結墊結構示意圖；圖5為本實用新型實施例基板搬運裝置聯(lián)結墊安裝結構示意圖；圖6為本實用新型實施例基板搬運裝置局部結構示意圖；圖7為本實用新型實施例基板搬運裝置彈性支撐件安裝結構示意圖。其中1、聯(lián)結墊；2、外框架；3、聯(lián)結螺釘；4、內(nèi)框架；5、玻璃基板；6、基板押元；7、 彈性支撐件；71、彈簧墊；72、支撐底座；8、支撐件；9、支撐柱；10、夾具；11、螺紋孔；12、支撐桿。
具體實施方式
[0033]
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。如圖2-7所示，本實用新型實施例基板搬運裝置包括內(nèi)框架4、外框架2、用于鎖緊內(nèi)框架4和外框架2的夾具10。其中外框架2位于底部，通過夾具10將內(nèi)框架4固定在外框架2的內(nèi)側(cè)。外框架2的內(nèi)側(cè)至少一個邊框上設有至少一個聯(lián)結墊1 ；外框架2的內(nèi)側(cè)緊貼內(nèi)框架4。其中，如圖4所示，聯(lián)結墊1為帶孔片狀，較優(yōu)為同心圓狀，采用高分子聚合物制成，具有高溫下耐磨損抗腐蝕且不與濺射腔體內(nèi)氣體反應的特性。通過聯(lián)結螺釘3將聯(lián)結墊1固定在外框架2上。圖2中，由于聯(lián)結墊1為帶孔片狀，自身結構比較薄，且位于外框架2和內(nèi)框架4 的交界處，直接標注存在困難，因此，將聯(lián)結墊1指向圓圈位置處。另外，基板押元6遍布在外框架2靠近基板的表面四周上，其直觀顯示及標注標號存在困難，因此，僅將局部結構進行標注，其中圖3為圖2中A-A位置處的剖面圖。如圖6所示，在實際加工中，外框架2靠近基板的表面上安裝有基板押元6，該基板押元6遍布外框架四周，為陶瓷材料，其高度通常高于玻璃基板5，用于密封玻璃基板5，防止濺射物質(zhì)污染基板后側(cè)設備。該聯(lián)結墊1的安裝孔可與基板押元6的螺紋孔11共用一個，在不改變原外框架2的結構上，可將聯(lián)結墊1牢牢安裝在外框架2上。其中，圖6中，基板押元6僅為局部示意圖，其遍布外框架2內(nèi)側(cè)的四周，并通過螺紋孔11及其他聯(lián)結螺釘固定在外框架2上，由于聯(lián)結墊1具有多個，因此，圖6中只示意出其中一個安裝位置。實際操作中，基板搬運裝置在磁控物理濺射位置變換腔體中處于水平位置，內(nèi)框架4和外框架2處于分離狀態(tài)時，用于接收玻璃基板5。通過機械手將玻璃基板5輸送至基板搬運裝置中后，通過夾具10將內(nèi)框架4和外框架2結合在一起。添加的聯(lián)結墊1位于內(nèi)框架4和外框架2之間，可有效避免內(nèi)框架4和外框架2的直接接觸，最大程度地減少因兩者之間的摩擦而產(chǎn)生的粉塵污染，確保后續(xù)程序中的工藝操作安全、高效。為了更好地減少內(nèi)框架4和外框架2之間的摩擦，同時可確保聯(lián)結墊1的受力合理和最大程度的減少加工成本，設置外框架2的長邊框Yl、Y2上對稱分布8-16個聯(lián)結墊1 ； 外框架2的短邊框Xl、Χ2上非對稱分布5-11個聯(lián)結墊1。其中，該基板搬運裝置還包括多條連接內(nèi)框架4相對兩邊的支撐桿12，內(nèi)框架4的四周和支撐桿12上均設有多個用于支撐玻璃基板5的支撐柱9。外框架2靠近基板的表面四周設有基板押元6，基板押元6上設有多個用于支撐和固定基板邊緣的支撐件8，該支撐件8具有L型的支撐底座。在實際磁控物理濺射操作中， 玻璃基板5隨著基板搬運裝置由原來的水平放置需要變換到垂直放置，從而進行相應的鍍膜工藝。當位于基板搬運裝置中的玻璃基板5位于垂直位置時，運動中的玻璃基板5，其自身重力將集中位于外框架2的底部邊框上，對基板押元6上的支撐件8產(chǎn)生強大的作用力， 極容易對支撐件8產(chǎn)生損壞，因此，為了減少對外框架2的作用力和其產(chǎn)生劇烈的摩擦力， 設置至少位于外框架2底部的基板押元6上的支撐件為彈性支撐件7。該彈性支撐件7由 L型支撐底座72和位于支撐底座水平部分上的彈性墊71組成，L型支撐底座72的開口方向朝向玻璃基板5方向，該彈性墊71由具有耐高溫且不與磁控物理濺射真空腔體氣體反應的材料制成。為了確保彈性墊71發(fā)揮良好的緩沖性，可將支撐底座水平部分開設凹槽，將彈性墊71位于凹槽內(nèi)。為了確保彈性支撐件7具有較好的彈性，設置支撐底座72和彈性墊71之間設有彈簧。由于彈性支撐件7具有良好的彈性，可有效緩解玻璃基板5對彈性支撐件7的作用力，延長各部件的使用壽命。其中，為了減少彈性支撐件7與基板押元6的面接觸區(qū)域，進而實現(xiàn)減少因接觸摩擦而帶來的粉塵，設置部分支撐底座72的豎直部分與基板押元6的接觸面之間具有縫隙， 或者同時可設置支撐底座72豎直方向貼近基板押元6的一邊部分具有凹槽。進一步地，為了防止該縫隙處應力集中導致斷裂，設置該縫隙為U型縫隙，縫隙寬度為0. 3-0. 5mm。設置彈性支撐件7豎直部分厚度d增至1-1. 3mm，可加強彈性支撐件7的牢固性， 延長了其使用壽命，并且該厚度可用于補償由于聯(lián)結墊1的設定而增加的玻璃基板5與內(nèi)框架4之間Z方向(垂直于玻璃基板方向)的活動空間，聯(lián)結墊1的厚度與彈性支撐件7 豎直部分增加的厚度保證了玻璃基板5與支撐柱9的相對位置，確保玻璃基板5設置的相對距離保持不變。本實施例提供的基板搬運裝置，可有效減少各部件之間的摩擦力，最大程度地降低因摩擦而產(chǎn)生的粉塵污染，同時，可有效降低各部件之間由于直接性接觸而帶來的部件磨損，延長部件的使用壽命，進而提高設備的稼動率。以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護范圍應由權利要求限定。
權利要求1.一種基板搬運裝置，包括內(nèi)框架、外框架、鎖緊內(nèi)框架和外框架的夾具，其特征在于， 所述外框架的內(nèi)側(cè)至少一個邊框上設有至少一個聯(lián)結墊；所述外框架的內(nèi)側(cè)緊貼內(nèi)框架。
2.如權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述聯(lián)結墊為帶孔片狀。
3.如權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述外框架靠近基板的表面四周設有基板押元，所述基板押元上設有多個用于支撐并固定基板的支撐件；至少位于外框架底部的基板押元上的支撐件為彈性支撐件。
4.如權利要求1所述的基板搬運裝置結構，其特征在于，還包括多條連接內(nèi)框架相對兩邊的支撐桿，所述內(nèi)框架的四周和支撐桿上具有多個用于支撐基板的支撐柱。
5.如權利要求3所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述彈性支撐件由支撐底座和位于支撐底座水平部分上的彈性墊組成，所述支撐底座為L型；L型的支撐底座的開口方向朝向基板。
6.如權利要求5所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述支撐底座和彈性墊之間設有彈簧。
7.如權利要求5所述的基板搬運裝置，其特征在于，部分支撐底座的豎直部分與基板押元的接觸面之間具有縫隙，所述支撐底座的豎直部分厚度為1-1. 3mm。
8.如權利要求5所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述支撐底座豎直方向貼近基板押元的一邊部分具有凹槽。
9.如權利要求5所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述支撐底座水平部分的表面具有凹槽，所述彈性墊位于凹槽內(nèi)。
10.如權利要求1-9任意一項所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述外框架的長邊框上分布8-16個聯(lián)結墊；所述外框架的短邊框上分布5-11個聯(lián)結墊。
專利摘要本實用新型涉及TFT-LCD制作工藝設備技術領域，特別涉及一種基板搬運裝置。該基板搬運裝置包括內(nèi)框架、外框架、用于鎖緊內(nèi)框架和外框架的夾具，外框架的內(nèi)側(cè)至少一個邊框上設有至少一個聯(lián)結墊；外框架的內(nèi)側(cè)緊貼內(nèi)框架。本實施例提供的基板搬運裝置，可有效減少各部件之間的摩擦力，最大程度地降低因摩擦而產(chǎn)生的粉塵污染，同時，可有效降低各部件之間由于直接性接觸而帶來的部件磨損，延長部件的使用壽命，進而提高設備的移動率。
文檔編號B65G49/06GK202130871SQ201120237459
公開日2012年2月1日 申請日期2011年7月6日 優(yōu)先權日2011年7月6日
發(fā)明者楊文娟, 陳健 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司