技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及粘結劑技術領域，具體公開一種多晶硅鑄錠石英坩堝氮化硅涂層用粘結劑及其制備方法。所述多晶硅鑄錠石英坩堝氮化硅涂層用粘結劑，包括質(zhì)量百分比如下的原料組分：水溶性聚合物10%?20%；水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物1%?10%；硅酸酯水解液10%?20%；增塑劑3%?10%；消泡劑0.05%?0.3%；pH緩沖液0.01%?0.05%；殺菌劑0.03%?0.3%；高純水55%?75%。本發(fā)明所提供的多晶硅鑄錠石英坩堝氮化硅涂層用粘結劑，純度高，應用于氮化硅涂層免燒結工藝，使該工藝具有周期短，能耗低，降低了硅錠的粘堝率，降低了硅錠的氧含量的特點。

技術研發(fā)人員：朱斌;仵靖
受保護的技術使用者：石家莊優(yōu)士科電子科技有限公司
技術研發(fā)日：2017.06.23
技術公布日：2017.11.03