技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種將四氯化硅連續(xù)反應(yīng)生成三氯甲硅烷的方法，其方法包括：將四氯化硅、金屬硅粉以及催化劑經(jīng)混合進料器混合后通入噴動床反應(yīng)器，并使四氯化硅與金屬硅粉形成床層，氫氣經(jīng)由噴動床反應(yīng)器底部的氣體分布盤通入，形成噴動床進行反應(yīng)，生成三氯甲硅烷與氫氣不斷排出反應(yīng)器。其裝置系統(tǒng)包括噴動床反應(yīng)器和混合進料器，同時配有金屬硅粉烘干器、硅粉進料器、四氯化硅加熱器、過濾器、氫氣罐、氫氣進料器、精餾系統(tǒng)以及渣漿回收器等。本發(fā)明方法反應(yīng)溫度較低，轉(zhuǎn)化速率較高，系統(tǒng)內(nèi)無固體顆粒，能夠顯著降低多晶硅的生產(chǎn)成本及設(shè)備維護成本。

技術(shù)研發(fā)人員：吳聯(lián)凱
受保護的技術(shù)使用者：吳聯(lián)凱
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.28
技術(shù)公布日：2017.07.28