技術(shù)編號(hào)：11644894
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用四氯化硅生產(chǎn)三氯甲硅烷的方法，更具體來說涉及一種在高壓條件下將液態(tài)四氯化硅與金屬硅粉連續(xù)氫化轉(zhuǎn)化為三氯甲硅烷的方法。本案是2015104455138(一種生產(chǎn)三氯甲硅烷的方法及裝置)的分案申請(qǐng)。背景技術(shù)目前，絕大多數(shù)的多晶硅生產(chǎn)方法是改良西門子工藝。這種工藝存在的一個(gè)主要缺點(diǎn)為：采用三氯甲硅烷為原料進(jìn)行多晶硅沉積，反應(yīng)過程中，生成大量副產(chǎn)物四氯化硅，若不加以循環(huán)利用，將危害環(huán)境并造成極大的原料浪費(fèi)，嚴(yán)重影響生產(chǎn)成本。目前已大規(guī)模工業(yè)化的四氯化硅循環(huán)利用技術(shù)主要為冷氫化和熱氫化，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。