技術(shù)總結(jié)
通過西門子法合成硅多晶棒(S101)。在反應器內(nèi)從硅多晶棒的上部覆蓋清洗了內(nèi)表面的塑料制袋而將硅多晶棒收容后(S103)，將硅多晶棒取出到反應器外(S104)，進行熱封而在密閉化的狀態(tài)下保管(S105)。根據(jù)本發(fā)明，不一定需要清洗、蝕刻、水洗這樣的以往被認為必需的工序，因此，能夠使殘留在表面的氟離子、硝酸根離子、亞硝酸根離子均低于0.2ppbw。另外，通過覆蓋塑料制袋，金屬污染水平顯著地降低。而且，如果進行本發(fā)明的操作，則即使長期保管，表面污染也幾乎不會加重。

技術(shù)研發(fā)人員：宮尾秀一;岡田淳一;禰津茂義
受保護的技術(shù)使用者：信越化學工業(yè)株式會社
文檔號碼：201580029762
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.27
技術(shù)公布日：2017.02.15