一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其包括傳送流水線和鍍膜流水線，鍍膜流水線與傳送流水線連接；傳送流水線包括一軌道、至少一個(gè)傳送車和至少一個(gè)裝片裝置，傳送車在所述軌道上運(yùn)行，通過傳送車傳送裝片裝置；鍍膜流水線包括一進(jìn)口腔室、一進(jìn)口過渡腔室、一進(jìn)口緩沖腔室、一鍍膜腔室、一出口緩沖腔室、一出口過渡腔室和一出口腔室。與現(xiàn)有技術(shù)相比，傳送流水線和鍍膜流水線首尾相連形成一環(huán)形流水線，節(jié)約占地面積，整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線中基片傳送采用智能控制，節(jié)約人力物力，提供生產(chǎn)效率，鍍膜流水線中各腔室依據(jù)產(chǎn)品需求更換或增加，整條鍍膜生產(chǎn)線適應(yīng)多種鍍膜工藝要求，使用壽命延長，節(jié)約資源，因此其應(yīng)用前景十分廣闊。
【專利說明】一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，具體說，是涉及一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜技術(shù)初現(xiàn)于20世紀(jì)30年代，四五十年代開始出現(xiàn)工業(yè)應(yīng)用，工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)開始于20世紀(jì)80年代，在電子、宇航、包裝、裝潢、燙金印刷等工業(yè)中取得廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜技術(shù)是一種新穎的材料合成與加工的新技術(shù)，是表面工程【技術(shù)領(lǐng)域】的重要組成部分。真空鍍膜技術(shù)是利用物理、化學(xué)手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜，從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導(dǎo)電、導(dǎo)磁、絕緣和裝飾燈許多優(yōu)于固體材料本身的優(yōu)越性能，達(dá)到提高產(chǎn)品質(zhì)量、延長產(chǎn)品壽命、節(jié)約能源和獲得顯著技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益的作用。需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。濺射鍍膜是真空鍍膜中最主要的方法，該技術(shù)是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面，使被轟擊出的粒子沉積在基片上。在磁控濺射鍍膜工藝中，對(duì)磁控濺射鍍膜設(shè)備的質(zhì)量要求很高，而在磁控濺射鍍膜設(shè)備中，磁控濺射陰極尤為重要。目前普遍采用平面磁控濺射陰極(后簡稱“平面陰極”)或旋轉(zhuǎn)磁控濺射陰極(后簡稱“旋轉(zhuǎn)陰極”)。平面陰極因其轟擊軌道和靶材均是固定設(shè)置的這一結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)的缺點(diǎn)，靶材沉積利用率非常低(小于20%);尤其在使用一段時(shí)間后，靶材表面會(huì)形成“跑道狀”濺射凹坑，不僅會(huì)破壞鍍膜層的均勻性，嚴(yán)重影響后期鍍膜的穩(wěn)定性和均勻性；而且需要經(jīng)常更換靶材，給連續(xù)生產(chǎn)帶來了極大的不便且造成靶材不能充分利用的資源。而后研發(fā)的旋轉(zhuǎn)陰極相較上述平面陰極而言，提高了靶材利用率，有效減少了打弧和靶面掉渣，工藝穩(wěn)定性更佳，可消除平面陰極較易形成的再沉積區(qū)等多重優(yōu)點(diǎn)；由于技術(shù)不成熟，會(huì)出現(xiàn)漏水、漏氣和陰極短路的現(xiàn)象，嚴(yán)重影響鍍膜的質(zhì)量和設(shè)備的使用壽命。尤其是:1、旋轉(zhuǎn)陰極的結(jié)構(gòu)更為復(fù)雜，附加部件多，且需要驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)配合，設(shè)備的投資要明顯高于平面陰極；2、由于帶有移動(dòng)部件，生產(chǎn)中真空密封會(huì)出現(xiàn)泄漏，盡管采用最為簡單、最小程度的更換密封，相較平面陰極仍需要更高的維護(hù)成本；3、旋轉(zhuǎn)陰極增加了生產(chǎn)線中的不穩(wěn)定因素，給生產(chǎn)線的穩(wěn)定性帶來了一定的影響。目前應(yīng)用最為廣泛的平面陰極為矩形平面磁控陰極，是磁控濺射平面類靶材的主流結(jié)構(gòu)。它的優(yōu)點(diǎn)是靶的材質(zhì)受到的限制少，對(duì)金屬板材一般可以米用直冷結(jié)構(gòu)，對(duì)其它的貴金屬、難以加工的金屬和脆性材料(如娃、石墨、ITO燒結(jié)靶等)可以采用間冷結(jié)構(gòu)。此陰極的濺射面積大，整體制作和維護(hù)成本均較低。但是，矩形平面靶的最大劣勢是由于磁控濺射的獨(dú)特物理過程造成的低靶材利用率。其靶面的典型刻蝕形狀如圖1和圖2所示，上面較寬，下面寬度連續(xù)收縮，到最后成一條深而細(xì)的溝槽。但提升平面陰極的利用率成為了平面陰極應(yīng)用和研發(fā)中最為重要的研究內(nèi)容?，F(xiàn)有平面陰極產(chǎn)品中有采用在磁路結(jié)構(gòu)中增加了高磁導(dǎo)率的分流片，以此改變陰極的磁場分布，提高了靶材表面平行感應(yīng)強(qiáng)度分布的均勻性，即提高了靶材刻蝕的寬度，因此一定程度上提高了靶材的利用率。但該陰極裝置受本身尺寸精度和強(qiáng)磁場吸引力的影響，尤其在安裝時(shí)，裝配精度很難滿足設(shè)計(jì)精度的要求。中國專利CN201778106U公開了一種真空鍍膜設(shè)備中的矩形平面磁控陰極結(jié)構(gòu)，該陰極結(jié)構(gòu)在一定程度上解決了上述問題，但其靶材利用率仍不能達(dá)到質(zhì)的飛躍。中國專利CN201770767U公開了一種真空鍍膜的陰極裝置，該專利主要解決的技術(shù)問題是簡化了更換靶材的工序，節(jié)約了更換靶材所需的時(shí)間，并沒有解決靶材利用率低的技術(shù)問題。中國專利CN201981253U公開了一種矩形平面磁控濺射陰極，針對(duì)設(shè)有陽極框的濺射陰極的缺點(diǎn)，取消了陽極框，簡化了結(jié)構(gòu)；此外改進(jìn)了屏蔽罩結(jié)構(gòu)，避免屏蔽罩接地這一問題；該平面陰極的改進(jìn)仍未能提高靶材的利用率。
[0003]在真空鍍膜生產(chǎn)線中，真空環(huán)境鍍膜的需要，會(huì)保持生產(chǎn)線的進(jìn)出口處完全封閉，通常采用分別設(shè)置有門閥，在基片進(jìn)出生產(chǎn)線時(shí)，該門閥會(huì)相應(yīng)的打開。在現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用人工操作此門閥的開關(guān)，即通過其他設(shè)備接收到基片進(jìn)出的信號(hào)(或計(jì)算基片在基片傳送流水線和鍍膜流水線運(yùn)行的時(shí)間)后，人工打開生產(chǎn)線進(jìn)口或出口的門閥。然而，因?yàn)椴荒芎軠?zhǔn)確接收基片進(jìn)出的信號(hào)，且人為控制的動(dòng)作有一定的延遲性，通常不能很及時(shí)的打開進(jìn)口和出口的門閥，這樣使生產(chǎn)效率降低。此外，真空鍍膜生產(chǎn)線對(duì)真空的環(huán)境要求非常高，這樣真空腔室的門體的厚度會(huì)增加，相應(yīng)地，生產(chǎn)線進(jìn)口和出口的門閥的厚度增加，人工操作控制的難度增加。
[0004]隨著真空鍍膜領(lǐng)域中鍍膜技術(shù)的日新月異，對(duì)鍍膜產(chǎn)品的要求也越來越高，因此鍍膜生產(chǎn)線也出現(xiàn)越來越多的改進(jìn)，生產(chǎn)線的要求隨之提高，現(xiàn)有技術(shù)的鍍膜生產(chǎn)線的整體穩(wěn)定性及鍍膜均勻性，生產(chǎn)效率低以及相應(yīng)的設(shè)備成本高；且現(xiàn)有的鍍膜生產(chǎn)線大都只能滿足一種靶材的鍍膜，或是整條生產(chǎn)線只適合一種類型的靶材，不能滿足現(xiàn)在的市場需求，將面臨淘汰的危險(xiǎn)，因此亟需一種可以適應(yīng)多種靶材且整個(gè)鍍膜過程操作簡單的鍍膜生產(chǎn)線。
[0005]發(fā)明目的內(nèi)容
[0006]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，該鍍膜生產(chǎn)線適應(yīng)多種鍍膜工藝要求，適合多種靶材鍍膜，整個(gè)鍍膜過程，智能操作，減少人力勞動(dòng)，提高生產(chǎn)效率；生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)緊湊合理，無需特殊工藝零部件，整體美觀，生產(chǎn)現(xiàn)場環(huán)境友好，無污染且節(jié)能環(huán)保。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0008]一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，包括:
[0009]一傳送流水線和一鍍膜流水線，鍍膜流水線與傳送流水線連接，傳送流水線傳送基片，鍍膜流水線包括進(jìn)口腔室、進(jìn)口過渡腔室、進(jìn)口緩沖腔室、鍍膜腔室、出口緩沖腔室、出口過渡腔室和出口腔室，進(jìn)口腔室、進(jìn)口過渡腔室、進(jìn)口緩沖腔室、鍍膜腔室、出口緩沖腔室、出口過渡腔室和出口腔室依次首尾連接，基片通過進(jìn)口腔室從傳送流水線進(jìn)入鍍膜流水線，通過出口腔室從鍍膜流水線移出。
[0010]優(yōu)選地，為了節(jié)約占地面積和提高工作效率，傳送流水線與鍍膜流水線平行設(shè)置。
[0011]作為一種優(yōu)選方案，鍍膜腔室中設(shè)有一移動(dòng)式陰極裝置，該移動(dòng)式的陰極裝置的靶材轟擊軌道非固定，故而該陰極的磁場寬度增加，增加靶材刻蝕區(qū)域，提高靶材利用率。
[0012]優(yōu)選地，該移動(dòng)式陰極裝置包括陰極組件和平移組件，陰極組件與平移組件固定連接且隨平移組件的運(yùn)動(dòng)平動(dòng)，其中陰極為平面磁控濺射陰極；陰極組件與平移組件通過一絕緣件連接。
[0013]更優(yōu)選地，陰極組件包括靶材、靶背板、磁鐵和軛鐵，靶背板四周圍有絕緣墊，靶材固定連接靶背板，磁鐵固定于軛鐵上，且軛鐵連接絕緣件；當(dāng)靶背板濺射時(shí)進(jìn)入電為陰極，此時(shí)生產(chǎn)線中的鍍膜腔室的箱體為陽極，該絕緣墊同現(xiàn)有技術(shù)中用于實(shí)現(xiàn)靶背板與箱體絕緣，且整個(gè)陰極裝置中僅靶背板帶電。
[0014]更優(yōu)選地，靶背板與磁鐵相對(duì)面開有一凹槽，磁鐵位于所述凹槽內(nèi)但不接觸所述靶背板。
[0015]更優(yōu)選地，磁鐵隨平移組件在凹槽內(nèi)平動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)陰極組件中磁場寬度增加，增加靶材刻蝕區(qū)域，提高靶材利用率，以克服現(xiàn)有技術(shù)中平面陰極的轟擊軌道固定這一缺陷；且通過將磁鐵陣在靶背板開有的凹槽內(nèi)平動(dòng)，即能維持原有平面陰極中的靶基距和靶面磁場強(qiáng)度，且使得該陰極裝置空間結(jié)構(gòu)緊湊，整個(gè)陰極裝置的厚度可與未改進(jìn)前接近，無需因?yàn)楸緦?shí)用新型的陰極裝置而調(diào)整鍍膜腔室乃至整個(gè)生產(chǎn)線；此外，該陰極裝置中靶材仍為固定，從而可以避免由于靶材移動(dòng)帶來的不確定因素而導(dǎo)致生產(chǎn)線的不穩(wěn)定。
[0016]作為進(jìn)一步優(yōu)選方案，平移組件由外至內(nèi)依次為移動(dòng)件、滑軌件、安裝件和支撐件，其中移動(dòng)件分別與絕緣件和滑軌件中的滑塊連接，安裝件與滑軌件中的滑軌連接，且安裝件與支撐件連接；此時(shí)移動(dòng)件在滑軌件中滑塊平移時(shí)將隨之一并平動(dòng)，故而平動(dòng)絕緣件，繼而平動(dòng)陰極組件，從而實(shí)現(xiàn)陰極組件的平動(dòng)，尤其是磁鐵的平動(dòng)。
[0017]作為另一種進(jìn)一步優(yōu)選方案，平移組件由外至內(nèi)依次為移動(dòng)件、滾珠絲杠件、安裝件和支撐件，其中移動(dòng)件分別與絕緣件和滾珠絲杠件中的螺母連接，安裝件與滾珠絲杠件中的固定件連接，且安裝件與支撐件連接；此時(shí)移動(dòng)件在滾珠絲杠件中螺母隨螺桿旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)平移時(shí)將隨之一并平動(dòng)，故而平動(dòng)絕緣件，繼而平動(dòng)陰極組件，從而實(shí)現(xiàn)陰極組件的平動(dòng)，尤其是磁鐵的平動(dòng)。
[0018]作為另一種優(yōu)選方案，為了實(shí)現(xiàn)該陰極裝置結(jié)構(gòu)更為穩(wěn)定且堅(jiān)固，尤其是平移組件支撐力更佳，且陰極組件的平動(dòng)更為穩(wěn)定，其中平移組件包括一移動(dòng)件、一滑軌件、一滾珠絲杠件、安裝件和支撐件；與上述結(jié)構(gòu)不同的是，滑軌件包括一滑塊和一滑軌，滑塊與滑軌配合，滑塊在滑軌上滑動(dòng)；滾珠絲杠件包括一螺母、一螺桿和一安裝座，螺桿安裝在安裝座上，螺桿與螺母配合，螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，螺母可沿螺桿移動(dòng)；移動(dòng)件上分別連接滑軌件中的滑塊和滾珠絲杠件的螺母，安裝件分別連接滑軌件中的滑軌和滾珠絲杠件的安裝座；此時(shí)移動(dòng)件在滑軌件和滾珠絲杠件的共作用下平動(dòng)，其中滾珠絲杠件作為移動(dòng)件平動(dòng)的主驅(qū)動(dòng)，滑軌件作為移動(dòng)件平動(dòng)的從驅(qū)動(dòng)和成承重支撐。
[0019]優(yōu)選地，為了實(shí)現(xiàn)平移組件的自動(dòng)化運(yùn)動(dòng)，滾珠絲杠件電連接一電機(jī)，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠件中的螺母平動(dòng)，繼而傳動(dòng)滑軌件中的滑塊，以實(shí)現(xiàn)陰極組件的平動(dòng)。
[0020]更優(yōu)選地，電機(jī)為一伺服電機(jī)，通過一同步帶傳動(dòng)滾珠絲杠件。
[0021]更優(yōu)選地，平移組件至少包括兩個(gè)滑軌件且分布于滾珠絲杠件的兩側(cè)，以更好的承重陰極組件，使該陰極裝置平動(dòng)更為穩(wěn)定均勻。
[0022]更優(yōu)選地，平移組件還包括一光電感應(yīng)器，分設(shè)于滾珠絲杠件的螺桿的兩側(cè)，以實(shí)現(xiàn)螺母在螺桿上自動(dòng)往返平動(dòng)；具體通過由光電感應(yīng)器通過感應(yīng)螺母位置信號(hào)后控制螺桿的轉(zhuǎn)動(dòng)方向?qū)崿F(xiàn)。
[0023]優(yōu)選地，陰極組件中的磁鐵可選用現(xiàn)有技術(shù)中的各種磁鐵陣，或多個(gè)磁鐵排布而成，或定制成型磁鐵而成。
[0024]作為另一種優(yōu)選方案，為實(shí)現(xiàn)該陰極裝置易安裝于該生產(chǎn)線中，且可根據(jù)生產(chǎn)線需求配置所需的陰極，該陰極裝置還包括一連接件，該連接件與真空鍍膜生產(chǎn)線中的鍍膜腔室的箱體活動(dòng)連接，且平移組件連接該連接件。
[0025]優(yōu)選地,所述活動(dòng)連接為鉸接,具體可通過一鉸鏈實(shí)現(xiàn)。
[0026]優(yōu)選地，當(dāng)該陰極裝置為多個(gè)時(shí)，該連接件為同一連接件，此時(shí)，多個(gè)陰極裝置共連接于該連接件上。
[0027]更優(yōu)選地，連接件為一支撐板。
[0028]優(yōu)選地，絕緣件和絕緣墊采用的絕緣材料選自為聚四氟乙烯、有機(jī)玻璃或尼龍。
[0029]作為一種優(yōu)選方案，本實(shí)用新型還提供了 一種用于鍍膜流水線中通過磁耦合運(yùn)輸基片的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，以克服現(xiàn)有技術(shù)中因?yàn)闄C(jī)械接觸傳動(dòng)的造成鍍膜流水線的各腔室密封失效以及受力不均導(dǎo)致傳動(dòng)阻滯等缺陷，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于鍍膜流水線的各腔室，基片在鍍膜流水線的各腔室內(nèi)通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)輸；該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與本實(shí)用新型中，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上方設(shè)置相應(yīng)的基片裝片裝置。
[0030]優(yōu)選地,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一主動(dòng)組件、一從動(dòng)組件和一磁稱合器，主動(dòng)組件和從動(dòng)組件分別設(shè)置在磁耦合器的兩側(cè)，主動(dòng)組件受電驅(qū)動(dòng)，通過磁耦合器將主動(dòng)組件的運(yùn)動(dòng)傳遞給從動(dòng)組件。
[0031]更優(yōu)選地，從動(dòng)組件位于鍍膜流水線的各腔室內(nèi)，主動(dòng)組件位于各腔室外，磁耦合器貫穿密封于各腔室的箱體。
[0032]優(yōu)選地,主動(dòng)組件包括一主動(dòng)軸,從動(dòng)組件包括一從動(dòng)軸和一傳動(dòng)輪,從動(dòng)軸帶動(dòng)傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)軸和從動(dòng)軸設(shè)置在磁耦合器的兩側(cè)，磁耦合器連接主動(dòng)軸和從動(dòng)軸。
[0033]優(yōu)選地，主動(dòng)組件進(jìn)一步包括一帶輪和一皮帶，帶輪設(shè)置在主動(dòng)軸上，皮帶連接鍍膜流水線中的電機(jī)和主動(dòng)軸上的帶輪，主動(dòng)軸受鍍膜流水線中電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
[0034]更優(yōu)選地，主動(dòng)軸包括一主動(dòng)軸第一端部、一主動(dòng)軸第二端部和一主動(dòng)軸體,從主動(dòng)軸第一端部向主動(dòng)軸第二端部延伸形成主動(dòng)軸體，主動(dòng)軸第二端部與磁力耦合器連接。
[0035]優(yōu)選地，帶輪設(shè)置在主動(dòng)軸第一端部通過鍵連接。
[0036]更優(yōu)選地，主動(dòng)組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)主動(dòng)軸鍵，主動(dòng)軸鍵設(shè)置在帶輪和主動(dòng)軸第一端部之間。
[0037]更優(yōu)選地，主動(dòng)軸第一端部設(shè)有至少一個(gè)主動(dòng)軸鍵槽，主動(dòng)軸鍵槽的寬度與主動(dòng)軸鍵的寬度一致，帶輪上進(jìn)一步包括一帶輪內(nèi)孔和至少一個(gè)帶輪鍵槽，帶輪內(nèi)孔的內(nèi)徑與主動(dòng)軸第一端部的直徑一致，帶輪鍵槽自帶輪內(nèi)孔上去除材料形成，帶輪鍵槽的寬度與主動(dòng)軸鍵的寬度一致。
[0038]更優(yōu)選地，當(dāng)帶輪設(shè)置在主動(dòng)軸第一端部上時(shí)，主動(dòng)軸鍵槽與帶輪鍵槽連通，主動(dòng)軸鍵安置于主動(dòng)軸鍵槽與帶輪鍵槽之間，主動(dòng)軸鍵槽和帶輪鍵槽的深度不小于主動(dòng)軸鍵的厚度。
[0039]更優(yōu)選地,主動(dòng)軸鍵槽的數(shù)量與主動(dòng)軸鍵的數(shù)量一致。
[0040]優(yōu)選地,從動(dòng)軸進(jìn)一步包括一從動(dòng)軸第一端部、一從動(dòng)軸第二端部和一從動(dòng)軸體，從動(dòng)軸第一端部向從動(dòng)軸第二端部延伸形成從動(dòng)軸體，從動(dòng)軸第一端部與磁力稱合器連接。
[0041]優(yōu)選地，傳動(dòng)輪設(shè)置在從動(dòng)軸上，傳動(dòng)輪和從動(dòng)軸通過鍵連接。
[0042]更優(yōu)選地,從動(dòng)組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)從動(dòng)軸鍵,從動(dòng)軸鍵設(shè)置在從動(dòng)軸和傳動(dòng)輪之間。
[0043]更優(yōu)選地，從動(dòng)軸進(jìn)一步包括至少一個(gè)從動(dòng)軸鍵槽，從動(dòng)軸鍵槽自從動(dòng)軸第二端部去除材料形成，從動(dòng)軸鍵槽的寬度與從動(dòng)軸鍵的寬度一致。
[0044]更優(yōu)選地，傳動(dòng)輪進(jìn)一步包括一傳動(dòng)輪內(nèi)孔和至少一個(gè)傳動(dòng)輪鍵槽，傳動(dòng)輪鍵槽自傳動(dòng)輪內(nèi)孔上去除材料形成，傳動(dòng)輪內(nèi)孔的直徑與從動(dòng)軸第二端部的直徑一致，傳動(dòng)輪鍵槽的寬度與傳動(dòng)輪鍵的寬度一致。
[0045]更優(yōu)選地，當(dāng)傳動(dòng)輪安裝在從動(dòng)軸第二端部時(shí)，從動(dòng)軸上的從動(dòng)軸鍵槽與傳動(dòng)輪鍵槽連通，從動(dòng)軸鍵安置在從動(dòng)軸鍵槽與傳動(dòng)輪鍵槽之間，從動(dòng)軸鍵槽和傳動(dòng)輪鍵槽的深度不小于從動(dòng)軸鍵的厚度。
[0046]優(yōu)選地，從動(dòng)組件進(jìn)一步包括一傳動(dòng)輪固定座，傳動(dòng)輪固定座設(shè)置在從動(dòng)軸上，傳動(dòng)輪與傳動(dòng)輪固定座通過螺栓連接，防止傳動(dòng)輪從從動(dòng)軸上脫落。
[0047]優(yōu)選地，真空鍍膜生產(chǎn)線用傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括一密封法蘭，密封法蘭設(shè)置在磁力耦合器上，密封法蘭進(jìn)一步包括一密封墊圈和一墊圈槽，密封墊圈放置在墊圈槽內(nèi)。密封法蘭將磁力耦合器安裝在真空鍍膜線中，防止磁力耦合器脫落。
[0048]優(yōu)選地，該主動(dòng)軸和從動(dòng)軸采用磁性材料制成。
[0049]作為一種優(yōu)選方案，為了更一步的改善該生產(chǎn)線的實(shí)用性和普適性，本實(shí)用新型還提供了一種用于該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的門體結(jié)構(gòu)，該門體結(jié)構(gòu)配置于各功能腔室，包括室門和門框，室門的兩側(cè)均與門框活動(dòng)連接，各功能腔室配置的門體結(jié)構(gòu)尺寸及配置各功能腔室的方式均一致。
[0050]優(yōu)選地，該門體結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括多組密封組件，室門的兩側(cè)與門框通過多組密封組件與門框可拆卸活動(dòng)連接，優(yōu)選為螺接。
[0051 ] 更優(yōu)選地，室門兩側(cè)的密封組件位置對(duì)應(yīng)。
[0052]更優(yōu)選地，密封組件包括鉸鏈件和緊鎖件，鉸鏈件連接室門與門框，室門經(jīng)鉸鏈件開合，緊鎖件安裝在門框上。
[0053]更優(yōu)選地，鉸鏈件包括第一鉸鏈件、第二鉸鏈件和輔助鉸鏈件，其中第一鉸鏈件與室門連接，第二鉸鏈件與門框連接，輔助鉸鏈件分別連接第一鉸鏈件和第二鉸鏈件；第一鉸鏈件包括第一鉸鏈座和第一鉸鏈軸，第二鉸鏈件包括第二鉸鏈座和第二鉸鏈軸，第一鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第一鉸鏈軸轉(zhuǎn)動(dòng)，第二鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第二鉸鏈軸轉(zhuǎn)動(dòng)，且第二鉸鏈座與輔助鉸鏈座間設(shè)有軸承，優(yōu)選為平面軸承。
[0054]更優(yōu)選地，為了使得鉸鏈件結(jié)構(gòu)更為緊湊合理，第一鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第一凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第一凹槽內(nèi)與第一鉸鏈座同軸轉(zhuǎn)動(dòng)；相應(yīng)地，第二鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第二凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第二凹槽內(nèi)與第二鉸鏈座同軸轉(zhuǎn)動(dòng)；第一凹槽與第二凹槽開口方向相反。
[0055]更優(yōu)選地，第一鉸鏈座與第二鉸鏈座等高等長，第二鉸鏈座與第一鉸鏈座不等寬，換言之，第二鉸鏈座厚于第一鉸鏈座；此厚度差可實(shí)現(xiàn)在真空鍍膜生產(chǎn)線腔室內(nèi)成真空狀態(tài)時(shí)，避免外界大氣壓將室門設(shè)有鉸鏈件的一側(cè)無法密閉均勻，使得整個(gè)室門的關(guān)合過程受力更為平均，室門密封性能好。
[0056]更優(yōu)選地，第一凹槽設(shè)置在第一鉸鏈座的中段，同樣地，第二凹槽設(shè)置在第二鉸鏈座的中段。[0057]更優(yōu)選地，為了使得整個(gè)室門的關(guān)合過程受力更為平均，第一鉸鏈座與輔助鉸鏈件間通過一螺栓固定，且該螺栓與室門連接，通過該螺栓調(diào)整輔助鉸鏈件，使輔助鉸鏈件在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中不左右擺動(dòng)，且在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中，限制室門隨著輔助鉸鏈件與第一鉸鏈座的間隙擺動(dòng)，而是使室門隨著輔助鉸鏈件轉(zhuǎn)動(dòng)，該螺栓優(yōu)選為沉頭螺栓。
[0058]優(yōu)選地，緊鎖件包括固定座、固定元件和壓緊螺釘，固定座通過螺栓固定在鍍膜生產(chǎn)線各功能腔室的門框上，固定元件通過壓緊螺釘活動(dòng)安裝在固定座上。
[0059]更優(yōu)選地，壓緊螺釘與固定元件之間活動(dòng)連接，固定元件經(jīng)壓緊螺釘安裝在門框上時(shí)可旋轉(zhuǎn)。
[0060]作為另一種優(yōu)選方案，本實(shí)用新型還提供了一種用于該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的管道耦合組件，使得該生產(chǎn)線檢測時(shí)分子泵或其他管道分離自動(dòng)化且易操作，該管道耦合組件包括上耦合件和下耦合件，上下耦合件活動(dòng)連接并密封，上下耦合件分別固定連接同一管道；上下耦合件耦合密封時(shí)，管道連通；上下耦合件分離時(shí)，管道斷開。
[0061]優(yōu)選地，上耦合件包括上固定法蘭和上管道接頭，其中上固定法蘭和上管道接頭固定連接相通，且連接處密封。
[0062]優(yōu)選地，下耦合件包括耦合法蘭、波紋管、下固定法蘭和下管道接頭，其中耦合法蘭、波紋管、下固定法蘭和下管道接頭依次連接相通，且各連接處均密封。
[0063]更優(yōu)選地，波紋管與耦合法蘭通過壓塊固定。
[0064]更優(yōu)選地，連接處經(jīng)焊接密封。
[0065]更優(yōu)選地，上下耦合件經(jīng)上固定法蘭與耦合法蘭耦合密封實(shí)現(xiàn)兩者耦合密封。
[0066]更優(yōu)選地，下固定法蘭與一移動(dòng)組件相連，且在移動(dòng)組件作用下傳動(dòng)下固定法蘭使得下耦合件運(yùn)動(dòng)；其中移動(dòng)組件可采用現(xiàn)有技術(shù)中的轉(zhuǎn)軸或金屬臂等多種方式，在此不做贅述。
[0067]更優(yōu)選地，為了實(shí)現(xiàn)該管道耦合組件的自動(dòng)耦合或分離，管道耦合組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)氣缸，氣缸設(shè)置在耦合法蘭和下固定法蘭之間，使耦合法蘭的上下運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)耦合法蘭與上固定法蘭的分合。
[0068]更優(yōu)選地，氣缸為兩個(gè)，分設(shè)于波紋管的兩側(cè)。
[0069]更優(yōu)選地，氣缸為薄型氣缸。
[0070]更優(yōu)選地，波紋管為可壓縮金屬波紋管。
[0071]更優(yōu)選地，氣缸包括一氣管連接件，氣缸通過氣管連接件與耦合法蘭連接。
[0072]更優(yōu)選地，耦合法蘭開口處設(shè)有濾網(wǎng)，以防止下耦合件內(nèi)落入異物堵塞管道。
[0073]更優(yōu)選地，各連接處均設(shè)有密封墊圈。
[0074]作為另一種優(yōu)選方案，本實(shí)用新型提供了一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的可隨基片尺寸裝片需求可調(diào)的裝片裝置，以節(jié)約成本，使得本實(shí)用新型提供的生產(chǎn)線可適用于各種規(guī)格的基片，該裝片裝置包括一固定組件和一調(diào)節(jié)組件，調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)組件的位置安裝不同規(guī)格的基片。相應(yīng)地，該裝片裝置于鍍膜流水線上運(yùn)輸基片時(shí)，經(jīng)上述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)輸，作為一種較佳的實(shí)施方式，該裝片裝置位于該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的從動(dòng)組件上，通過從動(dòng)組件的從動(dòng)輪傳送；該裝片裝置于傳送流水線上運(yùn)輸基片時(shí)，將于運(yùn)輸裝置配合使用，具體如下述。
[0075]優(yōu)選地，固定組件包括第一支撐桿、第二支撐桿、第一擋板和第二擋板，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一方形框架，第一支撐桿和第二支撐桿上分別設(shè)有至少兩個(gè)導(dǎo)槽區(qū)域；調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，調(diào)節(jié)組件包括至少兩個(gè)調(diào)節(jié)梁和至少一組定位件，定位件可拆卸的安裝在調(diào)節(jié)梁上，調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導(dǎo)槽區(qū)域上。
[0076]優(yōu)選地，導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一導(dǎo)槽和一安置區(qū)，導(dǎo)槽設(shè)置在安置區(qū)內(nèi)，導(dǎo)槽呈豎直方向。
[0077]優(yōu)選地，安置區(qū)的長度不小于導(dǎo)槽的長度，安置區(qū)的寬度不小于導(dǎo)槽的寬度。
[0078]優(yōu)選地，導(dǎo)槽區(qū)域包括第一導(dǎo)槽區(qū)域和第二導(dǎo)槽區(qū)域，第一導(dǎo)槽區(qū)域的面積大于第二導(dǎo)槽區(qū)域。
[0079]更優(yōu)選地，第一導(dǎo)槽區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿的兩端部，第二導(dǎo)槽區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿中間部位，第一導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一第一導(dǎo)槽和第一安置區(qū)，第一導(dǎo)槽呈豎直方向設(shè)置在所述第一安置區(qū)內(nèi)，第一安置區(qū)的長度不小于所述第一導(dǎo)槽的長度，第一安置區(qū)的寬度不小于第一導(dǎo)槽的寬度；第二導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一第二導(dǎo)槽和一第二安置區(qū)，第二導(dǎo)槽呈豎直方向設(shè)置在第二安置區(qū)內(nèi)，第二安置區(qū)的長度不小于第二導(dǎo)槽的長度，第二安置區(qū)的寬度不小于第二導(dǎo)槽的寬度，第一安置區(qū)的面積大于第二安置區(qū)，第一導(dǎo)槽的長度長于第二導(dǎo)槽。
[0080]優(yōu)選地，固定組件的第一支撐桿和第二支撐桿上進(jìn)一步分別設(shè)有中心安置區(qū)域，中心導(dǎo)位區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿中間，中心導(dǎo)位區(qū)域進(jìn)一步包括一中心安置孔和一中心安置區(qū)，中心安置孔設(shè)置在中心安置區(qū)的中心，中心安置區(qū)自第一支撐桿和第二支撐桿上去除材料形成，中心安置區(qū)的深度與安置區(qū)一致。
[0081]優(yōu)選地，調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導(dǎo)槽區(qū)域和/或中心安置區(qū)域，調(diào)節(jié)梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于橫梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致。
[0082]更優(yōu)選地，第一端部和第二端部的厚度與安置區(qū)的深度一致，這樣減小整個(gè)裝置的橫截面積，方便裝置進(jìn)入真空鍍膜腔。
[0083]更優(yōu)選地，第一端部上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔，調(diào)節(jié)孔的直徑與導(dǎo)槽的寬度一致。
[0084]更優(yōu)選地，第二端部上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽的長度大于調(diào)節(jié)孔的直徑，調(diào)節(jié)槽的寬度與導(dǎo)槽的寬度一致，這樣防止調(diào)節(jié)梁在真空鍍膜腔室中出現(xiàn)熱變形現(xiàn)象，導(dǎo)致裝片裝置上基片不能穩(wěn)固安裝。
[0085]優(yōu)選地，調(diào)節(jié)梁進(jìn)一步包括一第一凹槽、一第二凹槽和一間隔柱，第一凹槽和第二凹槽分列在間隔柱的兩側(cè)，第一凹槽和第二凹槽去除材料形成，第一凹槽和第二凹槽的深度與安置區(qū)的深度一致。
[0086]優(yōu)選地，定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，第一定位元件拆卸安裝在一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件可拆卸安裝在另一調(diào)節(jié)梁上，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件。
[0087]更優(yōu)選地，第一定位元件和第二定位元件通過螺釘安裝在調(diào)節(jié)梁上。
[0088]更優(yōu)選地，第一定位元件為一彈性元件；第二定位元件為一卡槽。
[0089]更優(yōu)選地，一組定位件可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁上時(shí)，第一定位元件安裝在一調(diào)節(jié)梁的第二凹槽上，第二定位元件安裝在另一調(diào)節(jié)梁的第一凹槽上；換句話說，一個(gè)調(diào)節(jié)梁上可同時(shí)安裝第一定位元件和第二定位元件，第一定位元件安裝在第二凹槽上，第二定位元件安裝在第一凹槽上；在同一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件安裝位置高于第一定位元件，然而在一組定位件時(shí)，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件。
[0090]優(yōu)選地，第二擋板上設(shè)置有移動(dòng)軸，移動(dòng)軸與第二擋板活動(dòng)連接。
[0091]更優(yōu)選地，移動(dòng)軸的長度不小于第二擋板的長度。
[0092]更優(yōu)選地，移動(dòng)軸的長度與第二擋板的長度一致。
[0093]作為一種優(yōu)選方案，為了克服現(xiàn)有技術(shù)中生產(chǎn)線的進(jìn)出口處門閥的設(shè)計(jì)缺陷，本實(shí)用新型還提供了一種操作性能更佳的旋轉(zhuǎn)門閥，該鍍膜流水線包括至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)門閥，旋轉(zhuǎn)門閥安裝在進(jìn)口腔室和出口腔室與傳送流水線接觸的腔壁上，旋轉(zhuǎn)門閥包括一門閥組件和一門閥驅(qū)動(dòng)組件，門閥驅(qū)動(dòng)組件與門閥組件一端連接，通過門閥驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)門閥組件旋轉(zhuǎn)。
[0094]更優(yōu)選地，為使門閥組件的旋轉(zhuǎn)更平穩(wěn)，旋轉(zhuǎn)門閥進(jìn)一步包括又一門閥驅(qū)動(dòng)組件，兩門閥驅(qū)動(dòng)組件分別與門閥組件的兩端連接，兩門閥驅(qū)動(dòng)組件同步驅(qū)動(dòng)門閥組件旋轉(zhuǎn)。
[0095]更優(yōu)選地，門閥組件包括一門閥、一旋轉(zhuǎn)軸和至少一個(gè)門閥連接件，門閥連接件連接門閥和旋轉(zhuǎn)軸；門閥驅(qū)動(dòng)組件包括一氣缸和一驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)器連接氣缸和旋轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動(dòng)器進(jìn)一步包括一第一驅(qū)動(dòng)軸、一第二驅(qū)動(dòng)軸和一驅(qū)動(dòng)軸套，第一驅(qū)動(dòng)軸與氣缸連接，第二驅(qū)動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)軸連接，第一驅(qū)動(dòng)軸和第二驅(qū)動(dòng)軸安裝在驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)。
[0096]更優(yōu)選地，氣缸中包括一齒條和一齒輪，齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，齒輪與第一驅(qū)動(dòng)軸連接；氣缸中齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)的角度為O?180度，齒輪帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸的角度為O?180度。
[0097]更優(yōu)選地，氣缸中齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)的角度為O?180度，齒輪帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸的角度為O?95度。
[0098]優(yōu)選地，第一驅(qū)動(dòng)軸和第二驅(qū)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)軸套活動(dòng)連接。
[0099]更優(yōu)選地，第一驅(qū)動(dòng)軸和第二驅(qū)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)軸套通過鍵連接，第一驅(qū)動(dòng)軸通過驅(qū)動(dòng)軸套帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)。
[0100]更優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)軸套進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)孔、兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽和兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵，驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)孔與兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽連通，兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸套的兩端部，驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽的寬度與驅(qū)動(dòng)軸套鍵一致，驅(qū)動(dòng)軸套鍵設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)。
[0101]優(yōu)選地，第一驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)一步包括一第一驅(qū)動(dòng)軸第一端部、一第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部和第一驅(qū)動(dòng)軸體，第一驅(qū)動(dòng)軸體連接第一驅(qū)動(dòng)軸第一端部和第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部，第一驅(qū)動(dòng)軸第一端部與氣缸連接，第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部套入驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)。
[0102]更優(yōu)選地，第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)軸鍵槽，第一驅(qū)動(dòng)軸鍵槽的寬度與驅(qū)動(dòng)軸套鍵一致。
[0103]優(yōu)選地，第二驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部、一第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部和第二驅(qū)動(dòng)軸體，第二驅(qū)動(dòng)軸體連接第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部和第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部，第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部套入驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)，第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部與旋轉(zhuǎn)軸連接。
[0104]更優(yōu)選地，第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)軸鍵槽，第二驅(qū)動(dòng)軸鍵槽的寬度與驅(qū)動(dòng)軸套鍵一致。
[0105]優(yōu)選地,第二驅(qū)動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)軸活動(dòng)連接,第二驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。[0106]更優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)一步在兩端部分別設(shè)有一旋轉(zhuǎn)軸連接端，第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部進(jìn)一步設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)軸連接端，旋轉(zhuǎn)軸通過兩端的旋轉(zhuǎn)軸連接端分別與兩組驅(qū)動(dòng)組件中第二驅(qū)動(dòng)軸的第二驅(qū)動(dòng)軸連接端連接。
[0107]更優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)軸連接端為凹端部，第二驅(qū)動(dòng)軸連接端為凸端部，第二驅(qū)動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)軸通過第二驅(qū)動(dòng)軸連接端與旋轉(zhuǎn)軸連接端配合連接，旋轉(zhuǎn)軸連接端與第二驅(qū)動(dòng)軸連接端
直徑一致。
[0108]優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)器進(jìn)一步包括一保護(hù)軸套，第二驅(qū)動(dòng)軸和旋轉(zhuǎn)軸套入保護(hù)軸套內(nèi)，保護(hù)軸套的內(nèi)徑與旋轉(zhuǎn)軸連接端和第二驅(qū)動(dòng)軸連接端直徑一致。
[0109]優(yōu)選地，門閥連接件進(jìn)一步包括一連接軸套和一門閥連接座，門閥連接座自連接軸套的一側(cè)外壁延伸形成，旋轉(zhuǎn)軸套入連接軸套內(nèi)。
[0110]優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)軸套入連接軸套內(nèi)通過鍵槽連接。
[0111]更優(yōu)選地，門閥連接件進(jìn)一步包括一連接鍵，連接鍵設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸和連接軸套之間。
[0112]更優(yōu)選地，連接軸套進(jìn)一步包括一連接軸套內(nèi)孔和一連接軸套鍵槽，連接軸套內(nèi)孔的孔徑與旋轉(zhuǎn)軸的直徑一致，連接軸套鍵槽與連接軸套內(nèi)孔連通，連接軸套鍵槽與連接鍵的寬度一致。
[0113]更優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸鍵槽，旋轉(zhuǎn)軸鍵槽的寬度與連接鍵的寬
度一致。
[0114]優(yōu)選地，門閥進(jìn)一步包括至少一個(gè)安裝槽，安裝槽自門閥上去除材料形成，門閥連接件的門閥連接座安裝在安裝槽內(nèi)。
[0115]更優(yōu)選地，安裝槽的數(shù)量與門閥連接件的數(shù)量對(duì)應(yīng)。
[0116]更優(yōu)選地,安裝槽的大小與門閥連接座的大小一致。
[0117]更優(yōu)選地，門閥連接座可拆卸安裝在安裝槽內(nèi)。
[0118]優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)組件進(jìn)一步包括一固定法蘭和一固定座，固定法蘭與氣缸連接，將氣缸固定在鍍膜流水線的進(jìn)口腔/出口腔的腔壁上，同時(shí)減少氣缸的漏氣情況，驅(qū)動(dòng)軸套設(shè)置在固定法蘭內(nèi)，固定座與固定法蘭連接，進(jìn)一步支撐氣缸，同時(shí)保持第一驅(qū)動(dòng)軸、第二驅(qū)動(dòng)軸和旋轉(zhuǎn)軸保持豎直同軸心。
[0119]作為一種優(yōu)選方案，該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的傳送流水線包括一傳送裝置，用于在傳送流水線中傳送基片，其中傳送流水線中的基片的裝片裝置與鍍膜流水線的裝片裝置一致，該傳送裝置包括軌道和至少一個(gè)傳送車，軌道帶電，傳送車包括至少兩個(gè)電極引入件，電極引入件與軌道電連接驅(qū)動(dòng)傳送車在軌道上運(yùn)行；裝片裝置安裝在傳送裝置上。
[0120]優(yōu)選地，軌道包括一陽極導(dǎo)軌和一陰極導(dǎo)軌，陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌分別電連接降壓器使其通電，兩個(gè)電極引入件分別與陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌連接形成一個(gè)回路。
[0121]優(yōu)選地，軌道進(jìn)一步包括兩絕緣座，兩絕緣座分別位于陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌下方，處于陽極導(dǎo)軌、陰極導(dǎo)軌與地面之間，這樣陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌上帶電不會(huì)與地面接觸，保護(hù)人身安全。
[0122]優(yōu)選地，傳送車在軌道上運(yùn)行，傳送車進(jìn)一步包括一車架、一車輪對(duì)、一電驅(qū)動(dòng)件和一升壓變壓器，車輪對(duì)在軌道上運(yùn)行，車架固定在車輪對(duì)上，電驅(qū)動(dòng)件與車輪對(duì)電連接，電驅(qū)動(dòng)件和升壓變壓器安裝在車架上。[0123]優(yōu)選地，軌道上通有不高于36V電壓，優(yōu)選為24V電壓，兩電極引入件安裝在車架上，兩電極引入件的一端分別與陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌電連接，兩電極引入件的另一端與升壓變壓器電連接，升壓變壓器同時(shí)與電驅(qū)動(dòng)件電連接。
[0124]優(yōu)選地，車架包括相連的上車架和下車架裝片裝置安裝在上車架上，下車架與車輪對(duì)固定連接，電驅(qū)動(dòng)件與車輪對(duì)電連接，電驅(qū)動(dòng)件、升壓變壓器和電極引入件安裝在下車架上。
[0125]更優(yōu)選地，上車架與下車架的質(zhì)量不相等。
[0126]更優(yōu)選地，下車架的質(zhì)量大于上車架的質(zhì)量。
[0127]更優(yōu)選地，下車架的質(zhì)量與裝片裝置裝載的基片質(zhì)量成正比。
[0128]優(yōu)選地，車輪對(duì)分為一主動(dòng)車輪對(duì)和一從動(dòng)車輪對(duì)，主動(dòng)車輪對(duì)與電驅(qū)動(dòng)件電連接，電驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)主動(dòng)車輪對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng),從動(dòng)輪對(duì)受主動(dòng)輪對(duì)牽引而轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0129]更優(yōu)選地，車輪對(duì)包括車輪和一絕緣內(nèi)襯，絕緣內(nèi)襯與車輪連接，車輪在陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌上行駛，絕緣內(nèi)襯防止車輪將陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌上的電傳入傳送車上。
[0130]優(yōu)選地，傳送車上進(jìn)一步包括一傳送座，通過傳送座傳送裝片裝置，傳送座進(jìn)一步包括一傳送電機(jī)、至少兩個(gè)傳送元件和一傳送帶，傳送電機(jī)與電驅(qū)動(dòng)件電連接，傳送電機(jī)與至少一個(gè)傳送元件電連接，且兩個(gè)傳送元件經(jīng)所述傳送帶傳送驅(qū)動(dòng)，傳送電機(jī)帶動(dòng)傳送元件同步運(yùn)動(dòng)。傳送元 件優(yōu)選為傳送輪。
[0131]作為另一種優(yōu)選方案，本實(shí)用新型還提供了一種用于該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的基片識(shí)別組件，該基片識(shí)別組件安裝在裝片裝置和傳送裝置上，該基片識(shí)別組件包括:至少η個(gè)識(shí)別孔(n ^ I)和一識(shí)別器，識(shí)別孔設(shè)置在裝片裝置上，識(shí)別器安裝在傳送裝置上，識(shí)別器進(jìn)一步包括一紅外線發(fā)射單元、一紅外線接收單元和一轉(zhuǎn)換單元，轉(zhuǎn)換單元與紅外線接收單元連接，紅外線發(fā)射單元與識(shí)別孔的高度一致。
[0132]優(yōu)選地，識(shí)別孔設(shè)置在裝片裝置的第二擋板上，識(shí)別器設(shè)置在傳送裝置車架上。
[0133]更優(yōu)選地，紅外線發(fā)射單元和紅外線接收單元整合安裝。
[0134]優(yōu)選地，紅外線發(fā)射單元和紅外線接收單元分別安裝在傳送裝置車架的兩側(cè)，紅外線發(fā)射單元和紅外線接收單元對(duì)應(yīng)，紅外線發(fā)射單元進(jìn)一步包括至少一個(gè)紅外線發(fā)射元件，紅外線接收單元進(jìn)一步包括一紅外線接收元件，紅外線發(fā)射元件和紅外線接收元件對(duì)應(yīng)，紅外線發(fā)射元件和紅外線接收元件組合在一起與識(shí)別孔對(duì)應(yīng)。
[0135]優(yōu)選地，識(shí)別孔進(jìn)一步分為開放識(shí)別孔和封閉識(shí)別孔，封閉識(shí)別孔與開放識(shí)別孔的直徑一致，封閉識(shí)別孔是通過將開放識(shí)別孔封閉形成。
[0136]更優(yōu)選地，該封閉識(shí)別孔是人工自動(dòng)封閉，換句話說，在加工該識(shí)別孔時(shí)，都是加工成開放識(shí)別孔，然后人為封閉開放識(shí)別孔，這樣更加靈活調(diào)節(jié)開放識(shí)別孔與封閉識(shí)別孔的位置，更加方便跟蹤基片。
[0137]更優(yōu)選地，開放識(shí)別孔和封閉識(shí)別孔的數(shù)量和位置關(guān)系依據(jù)生產(chǎn)線中裝片裝置數(shù)量和類型確定調(diào)整。
[0138]更優(yōu)選地，紅外線發(fā)射元件和紅外線接收元件對(duì)應(yīng)一開放識(shí)別孔或一封閉識(shí)別孔，當(dāng)紅外線發(fā)射元件對(duì)應(yīng)開放識(shí)別孔時(shí)，紅外線發(fā)射元件發(fā)射的紅外線通過開放識(shí)別孔，并通過紅外線接收元件接收紅外線，接收元件傳遞一種信號(hào)給轉(zhuǎn)換單元；當(dāng)紅外線發(fā)射元件對(duì)應(yīng)封閉識(shí)別孔時(shí)，紅外線發(fā)射元件發(fā)射的紅外線不能通過封閉識(shí)別孔，紅外線接收不到紅外線發(fā)射元件發(fā)射的紅外線，紅外線接收元件傳遞另一種類型信號(hào)給轉(zhuǎn)換單元。
[0139]優(yōu)選地，轉(zhuǎn)換單元將紅外線接收元件接收到紅外線發(fā)射元件發(fā)出的紅外線發(fā)出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為“ I ”，轉(zhuǎn)換單元將紅外線接收元件未接收到紅外線發(fā)射元件發(fā)出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為“ O ”，對(duì)應(yīng)二進(jìn)制。
[0140]優(yōu)選地，基片識(shí)別組件的識(shí)別基片類型的數(shù)量依據(jù)識(shí)別孔的數(shù)量確定。
[0141]更優(yōu)選地，基片識(shí)別組件識(shí)別基片類型的數(shù)量為2η，η≥1。
[0142]更優(yōu)選地，基片識(shí)別組件識(shí)別基片類型的數(shù)量為2η，5≥η≥1。
[0143]優(yōu)選地，基片識(shí)別組件進(jìn)一步包括一識(shí)別控制器，識(shí)別控制器與識(shí)別器的轉(zhuǎn)換單元無線連接，識(shí)別控制器接收轉(zhuǎn)換單元的信號(hào)匯總。
[0144]優(yōu)選地，基片識(shí)別組件進(jìn)一步包括一顯示器和一輸入鍵盤，顯示器與識(shí)別控制器連接，輸入鍵盤與控制器連接，通過輸入鍵盤將各種基片型號(hào)輸入控制器內(nèi)，便于通過顯示器顯示。
[0145]作為一種優(yōu)選方案，為了節(jié)約占地面積和提高工作效率，該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線將基片傳送流水線與鍍膜流水線平行設(shè)置的生產(chǎn)線；本實(shí)用新型還提供了一種用于立式真空濺射鍍膜生產(chǎn) 線可使基片傳送流水線上的基片安全可靠的調(diào)轉(zhuǎn)方向180度進(jìn)入鍍膜流水線的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)至少為兩個(gè)，分別位于該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的兩側(cè)，用于傳送流水線與鍍膜流水線間的基片中轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)，連接傳送流水線和鍍膜流水線。
[0146]優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)包括一驅(qū)動(dòng)組件、一旋轉(zhuǎn)組件和一限位組件，旋轉(zhuǎn)組件與驅(qū)動(dòng)組件連接，限位組件固定在旋轉(zhuǎn)組件上，通過驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)，通過限位組件限定旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)角度。
[0147]更優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)組件包括一旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)、一第一驅(qū)動(dòng)元件和一第二驅(qū)動(dòng)元件，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)與第一驅(qū)動(dòng)元件連接，第一驅(qū)動(dòng)元件與第二驅(qū)動(dòng)元件連接；旋轉(zhuǎn)組件包括一固定架和一旋轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤與第二驅(qū)動(dòng)元件連接，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)安裝在固定架上；限位組件包括一旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器、一感應(yīng)棒和至少一個(gè)感應(yīng)信號(hào)兀件，旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器與感應(yīng)棒連接，感應(yīng)信號(hào)元件與電機(jī)連接，感應(yīng)信號(hào)元件設(shè)置在固定架上，旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器和感應(yīng)棒安裝在旋轉(zhuǎn)盤上。
[0148]優(yōu)選地,旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸,第一驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸上。
[0149]優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括一控制器，控制器與旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器和電機(jī)連接，該控制器優(yōu)選為PLC可編程控制器。
[0150]更優(yōu)選地，第二驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤上，第一驅(qū)動(dòng)元件與第二驅(qū)動(dòng)元件通過齒輪嚙合連接，電機(jī)上的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)元件運(yùn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)元件帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)元件運(yùn)動(dòng)。
[0151]更優(yōu)選地，第一驅(qū)動(dòng)元件優(yōu)選為一齒輪，第二驅(qū)動(dòng)元件優(yōu)選為一回轉(zhuǎn)支承，第一驅(qū)動(dòng)元件與第二驅(qū)動(dòng)元件通過齒輪嚙合連接。
[0152]優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括基片傳送組件，基片傳送組件固定在旋轉(zhuǎn)盤上，當(dāng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)基片傳送組件隨同旋轉(zhuǎn)盤運(yùn)動(dòng)。
[0153]更優(yōu)選地，基片傳送組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)傳動(dòng)座和一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，傳動(dòng)座與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)座傳動(dòng)，這樣帶動(dòng)傳動(dòng)座上的基片運(yùn)動(dòng)。
[0154]優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)盤的直徑不小于基片或基片架的直徑。
[0155]優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤的一端，感應(yīng)棒與感應(yīng)信號(hào)元件之間通過光電距離感應(yīng)，感應(yīng)信號(hào)元件圍繞旋轉(zhuǎn)盤的中心分布在固定架，感應(yīng)信號(hào)元件的分布位置與感應(yīng)棒隨旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的軌跡一致。
[0156]更優(yōu)選地,感應(yīng)棒與感應(yīng)信號(hào)元件之間的距離不大于IOmm時(shí)，感應(yīng)信號(hào)元件發(fā)射信號(hào)給旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器。
[0157]更優(yōu)選地，限位組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)導(dǎo)位槽，導(dǎo)位槽圍繞旋轉(zhuǎn)盤的中心分布在旋轉(zhuǎn)盤上，導(dǎo)位槽的分布位置與感應(yīng)棒隨旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的軌跡一致，感應(yīng)棒安裝在導(dǎo)位槽內(nèi)。
[0158]作為一種優(yōu)選方案，該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線還包括一監(jiān)控系統(tǒng)，該監(jiān)控系統(tǒng)包括顯示模塊、處理模塊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊、通訊接口模塊、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊、以及分布在生產(chǎn)線上的各監(jiān)控部件；
[0159]所述顯示模塊連接所述處理模塊，所述處理模塊連接所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊，所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊通過所述通訊接口模塊與所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊連接；所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊通過現(xiàn)場總線，與分布在生產(chǎn)線上的各監(jiān)控部件通信；
[0160]所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊通過所述現(xiàn)場總線對(duì)所屬監(jiān)控部件中的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集，并進(jìn)行格式轉(zhuǎn)化，以形成統(tǒng)一的數(shù)據(jù)并通過所述通訊接口模塊發(fā)送至所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊；所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊用于存儲(chǔ)傳送來的數(shù)據(jù)；所述處理模塊讀取所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊中的數(shù)據(jù)并處理，然后發(fā)送至所述顯示模塊顯示。
[0161]優(yōu)選地，所述監(jiān)控部件主要包括位置監(jiān)控組件和速度監(jiān)控組件；所述位置監(jiān)控組件對(duì)至少一臺(tái)設(shè)備是否運(yùn)行到指定位置進(jìn)行判斷；所述速度監(jiān)控組件對(duì)至少一臺(tái)設(shè)備的運(yùn)行速度進(jìn)行識(shí)別判斷。
[0162]優(yōu)選地，所述位置監(jiān)控組件為光電信號(hào)感應(yīng)裝置。
[0163]優(yōu)選地，所述速度監(jiān)控組件為速度感應(yīng)器。
[0164]優(yōu)選地，所述監(jiān)控系統(tǒng)還包括一控制系統(tǒng)；所述控制系統(tǒng)與速度監(jiān)控系統(tǒng)無線連接，對(duì)反饋回來的速度信號(hào)經(jīng)過判斷識(shí)別后，傳給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)再發(fā)出相應(yīng)指令，監(jiān)控系統(tǒng)接受指令后對(duì)設(shè)備的運(yùn)行速度進(jìn)行控制。
[0165]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線具備以下優(yōu)勢:
[0166]1、生產(chǎn)線整體結(jié)構(gòu)合理進(jìn)奏，傳送流水線和鍍膜流水線首尾相連形成一環(huán)形流水線，節(jié)約占地面積；
[0167]2、通過一移動(dòng)式的陰極裝置首創(chuàng)的實(shí)現(xiàn)平面陰極在濺射鍍膜過程的平動(dòng)，從而避免了由于其靶材和轟擊軌道的固定這一設(shè)計(jì)上的缺陷，顯著提高了靶材的利用率，經(jīng)檢測該陰極裝置的靶材利用率可達(dá)35?40%，靶材線上更換周期延長為7?10天，明顯優(yōu)于其他結(jié)構(gòu)的平面陰極，且可突破現(xiàn)有技術(shù)中的平面陰極利用率難以超過30%的極值，仍能維持較佳的鍍膜穩(wěn)定性和均勻性；此外，該陰極裝置結(jié)構(gòu)簡單，無需特殊復(fù)雜的加工工藝，所用的各功能元件均可采用市售零件，且各部件間結(jié)構(gòu)合理，拆裝簡便；不僅可維持平面陰極的低成本易維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)，亦實(shí)現(xiàn)了旋轉(zhuǎn)陰極的靶材和轟擊軌道可變這一優(yōu)點(diǎn)，且實(shí)現(xiàn)平動(dòng)的附加部件結(jié)構(gòu)簡單，不會(huì)影響真空密封性，同樣也不會(huì)成為生產(chǎn)線中的不確定因素；此外該陰極裝置具有極大的經(jīng)濟(jì)價(jià)值，且環(huán)境友好，減少了靶材的浪費(fèi)，使用壽命延長，節(jié)約資源。
[0168]3、鍍膜流水線內(nèi)的基片傳動(dòng)機(jī)構(gòu)無機(jī)械傳動(dòng)，采用磁耦合傳動(dòng)，減少磨損，將動(dòng)密封轉(zhuǎn)換為靜密封，保持各鍍膜生產(chǎn)線中各腔室的氣密性，有效防止出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象產(chǎn)生，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單
[0169]4、通過調(diào)節(jié)裝片裝置可安裝各種不同規(guī)格的基片，裝片裝置中的基片通過傳送裝置和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)安全快速準(zhǔn)確進(jìn)入鍍膜流水線中，智能控制，節(jié)約人力物力，提供生產(chǎn)效率；
[0170]5、整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線中基片通過基片識(shí)別組件連續(xù)快速準(zhǔn)確識(shí)別基片類型，了解基片在整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線中準(zhǔn)確位置；
[0171]6、鍍膜流水線中特有的門體結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)各功能腔室可依據(jù)產(chǎn)品需求更換或增力口，這樣整條鍍膜生產(chǎn)線適應(yīng)多種鍍膜工藝要求，適合多種靶材鍍膜；
[0172]7、鍍膜流水線進(jìn)出口采用的旋轉(zhuǎn)門閥可通過氣缸驅(qū)動(dòng)，節(jié)約人力物力，動(dòng)作靈敏，使門閥旋轉(zhuǎn)O?95度，確?；焖龠M(jìn)出鍍膜流水線的進(jìn)口和出口，提高整個(gè)真空鍍膜生產(chǎn)線的工作效率；
[0173]8、鍍膜流水線的管道耦合組件通過氣缸推動(dòng)耦合法蘭上下移動(dòng)，使得耦合法蘭與上固定法蘭自動(dòng)耦合或脫離，以此帶動(dòng)金屬波紋管道自動(dòng)開合；脫離后的管道能自由水平移動(dòng)，在移動(dòng)時(shí)并能與管道所在平面保持相對(duì)靜止，避免了管道的刮損；在開合處的管道口設(shè)置有過濾網(wǎng)，能避免雜物滑落堵塞通道；
[0174]9、傳送流水線的基片運(yùn)輸采用采用運(yùn)輸裝置與裝片裝置的整合來實(shí)現(xiàn)，基片安全穩(wěn)固安裝，通過傳送車高效快速傳送，運(yùn)輸現(xiàn)場整潔，傳送車通過軌道供電驅(qū)動(dòng)，操作簡便安全，節(jié)約資源。
[0175]該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中的監(jiān)控系統(tǒng)通過數(shù)據(jù)抓換模塊和現(xiàn)場總線，實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)線上不同設(shè)備的數(shù)據(jù)讀寫功能；且通過多模塊多部件的設(shè)計(jì)以及之間的相互連接；搭建了監(jiān)控系統(tǒng)的整體框架，既實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的統(tǒng)一管理，又豐富了生產(chǎn)線的功能，實(shí)現(xiàn)了對(duì)生產(chǎn)線的智能化監(jiān)控。綜上述，該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線解決了現(xiàn)有技術(shù)的多個(gè)難題，克服了常規(guī)平面陰極的使用缺陷，整條生產(chǎn)線工作流程連貫，安全可控，鍍膜性能穩(wěn)定均勻，乃行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)軍之作；因此其應(yīng)用前景十分廣闊。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0176]圖1為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的一種優(yōu)選實(shí)施方式示意圖；
[0177]圖2為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳送裝置的主視圖；
[0178]圖3為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳送裝置的側(cè)視圖；
[0179]圖4為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中裝片裝置的主視圖；
[0180]圖5為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中基片識(shí)別組件示意圖；
[0181]圖6為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中基片識(shí)別組件的連接示意圖；
[0182]圖7為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的主視圖；
[0183]圖8為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的俯視圖；[0184]圖9為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖；
[0185]圖10為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)門閥的剖視圖；
[0186]圖11為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)門閥中門閥的示意圖；
[0187]圖12為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)門閥的動(dòng)作示意圖；
[0188]圖13為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的示意圖；
[0189]圖14為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的主視圖；
[0190]圖15為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的剖視圖A-A；
[0191]圖16為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的剖視圖B-B；
[0192]圖17為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中管道耦合組件的結(jié)構(gòu)圖；
[0193]圖18為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中管道耦合組件的開合時(shí)狀態(tài)圖；
[0194]圖19為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中管道耦合組件的閉合時(shí)狀態(tài)圖；
[0195]圖20為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的互換門裝配示意圖；
[0196]圖21為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的單個(gè)門體示意圖；
[0197]圖22為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的鉸鏈件的立體圖；
[0198]圖23為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的鉸鏈件的透視圖；
[0199]圖24為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的緊鎖件的結(jié)構(gòu)圖；
[0200]圖25為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中陰極裝置的裝配示意圖；
[0201]圖26為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中陰極裝置的俯視剖視圖；
[0202]圖27為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中陰極裝置的左視剖視圖；
[0203]圖28為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中陰極裝置中移動(dòng)部分C-C的放大圖；
[0204]圖29為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)的流程圖；
[0205]圖30為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中陰極裝置中靶面的刻蝕形狀圖；
[0206]圖31為現(xiàn)有技術(shù)中平面陰極的靶面的刻蝕形狀圖；
[0207]圖32為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中陰極裝置與現(xiàn)有技術(shù)平面陰極的靶材剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0208]下面結(jié)合實(shí)施方式及附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)、完整地說明。
[0209]圖1至圖28，為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線一種優(yōu)選實(shí)施方式的示意圖。如圖1所示，鍍膜生產(chǎn)線包括一傳送流水線10和一鍍膜流水線20，傳送流水線10和鍍膜流水線20連接，為了節(jié)約占地面積和提高工作效率，傳送流水線10與鍍膜流水線20平行設(shè)置。
[0210]鍍膜流水線20包括進(jìn)口腔室21、進(jìn)口過渡腔室22、進(jìn)口緩沖腔室23、鍍膜腔室
24、出口緩沖腔室25、出口過渡腔室26和出口腔室27，進(jìn)口腔室21、進(jìn)口過渡腔室22、進(jìn)口緩沖腔室23、鍍膜腔室24、出口緩沖腔室25、出口過渡腔室26和出口腔室27依次連接，基片通過進(jìn)口腔室21從傳送流水線10進(jìn)入鍍膜流水線20，通過出口腔室27從鍍膜流水線20移出。
[0211]鍍膜流水線20的進(jìn)口腔室21、進(jìn)口過渡腔室22和進(jìn)口緩沖腔室23中各腔室逐漸抽出空氣形成真空，至鍍膜腔室24中真空度達(dá)到最大值，此時(shí)在鍍膜腔室24中鍍膜。在進(jìn)口過渡腔室22和進(jìn)口緩沖腔室23中具有加熱裝置，會(huì)對(duì)進(jìn)口過渡腔室22和進(jìn)口緩沖腔室23中的基片加熱。從鍍膜腔室24后的出口緩沖腔室25、出口過渡腔室26和出口腔室27中逐漸通入空氣減低其真空度，至出口腔室27時(shí)真空度達(dá)到最低，保證基片從出口腔室移出。在出口緩沖腔室25和出口過渡腔室26中設(shè)有冷卻裝置，使在出口緩沖腔室25和出口過渡腔室26中的基片逐漸冷卻。
[0212]如圖2至圖4所示，傳送流水線10包括一傳送裝置11和一裝片裝置12，裝片裝置12安裝在傳送裝置11上，基片安裝在裝片裝置12上，通過傳送裝置11傳送裝片裝置12，使得基片在傳送流水線10中傳送。圖2為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳送裝置的主視圖；圖3為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳送裝置的側(cè)視圖。如圖2至圖3所示，傳送裝置11包括軌道111和至少一個(gè)傳送車112，軌道111帶電，傳送車112包括至少兩個(gè)電極引入件1125，電極引入件1125與軌道111電連接驅(qū)動(dòng)傳送車112在軌道111上運(yùn)行。裝片裝置12安裝在傳送裝置11上，裝片裝置12包括一固定組件121和一調(diào)節(jié)組件122，調(diào)節(jié)組件122安裝在固定組件121上，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)組件122的位置安裝不同規(guī)格的基片。傳送車112在軌道111上自動(dòng)運(yùn)行，不需要借助人力，這樣節(jié)約人力，提高生產(chǎn)效率。基片可拆卸的安裝在裝片裝置12上，通過裝片裝置12在傳送流水線10和鍍膜流水線20內(nèi)移動(dòng)。
[0213]軌道111包括一陽極導(dǎo)軌1111和一陰極導(dǎo)軌1112，陽極導(dǎo)軌1111和陰極導(dǎo)軌1112上通電，兩個(gè)電極引入件1125分別與陽極導(dǎo)軌1111和陰極導(dǎo)軌1112連接形成一個(gè)回路。軌道111的陽極導(dǎo)軌111和陰極導(dǎo)軌1112通有24V電壓，24V電壓對(duì)人體無傷害。
[0214]軌道111進(jìn)一步包括兩絕緣座1113，兩絕緣座1113分別放置在陽極導(dǎo)軌1111和陰極導(dǎo)軌1112下方，處于陽極導(dǎo)軌1111、陰極導(dǎo)軌1112與地面之間，這樣陽極導(dǎo)軌1111和陰極導(dǎo)軌1112上帶電不會(huì)與地面接觸，保護(hù)人身安全。
[0215]傳送車112在軌道111上運(yùn)行，傳送車112進(jìn)一步包括一車架1121、一車輪對(duì)1122、一電驅(qū)動(dòng)件1123和一升壓變壓器1124，車輪對(duì)1122在軌道111上運(yùn)行，車架1121固定在車輪對(duì)1122上，電驅(qū)動(dòng)件1123與車輪對(duì)1122電連接，電驅(qū)動(dòng)件1123和升壓變壓器1124安裝在車架1121上。車輪對(duì)1122分為一主動(dòng)車輪對(duì)11221和一從動(dòng)車輪對(duì)11222，主動(dòng)車輪對(duì)11221與電驅(qū)動(dòng)件1123電連接，電驅(qū)動(dòng)件11223驅(qū)動(dòng)主動(dòng)車輪對(duì)11221轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)車輪對(duì)11222受主動(dòng)車輪對(duì)11221牽引而轉(zhuǎn)動(dòng)。車輪對(duì)1122包括車輪112201和一絕緣內(nèi)襯112202，絕緣內(nèi)襯112202與車輪112201連接，車輪112201在陽極導(dǎo)軌1111和陰極導(dǎo)軌1112上行駛，絕緣內(nèi)襯112202防止車輪112201將陽極導(dǎo)軌1111和陰極導(dǎo)軌1112上的電傳入傳送車112上。電驅(qū)動(dòng)件1123通過皮帶帶動(dòng)主動(dòng)輪對(duì)11221 —側(cè)的車輪112201從而驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪對(duì)11221轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0216]電極引入件1125的一端與軌道111電連接，電極引入件1124的另一端與升壓變壓器1124電連接，升壓變壓器1124同時(shí)與電驅(qū)動(dòng)件1123電連接。
[0217]車架1121包括相連的上車架11211和下車架11212，裝片裝置12安裝在上車架11211上，下車架11212與車輪對(duì)1122固定連接，電驅(qū)動(dòng)件1123與車輪對(duì)1122電連接，電驅(qū)動(dòng)件1123、升壓變壓器1124和電極引入件1125安裝在下車架11212上。上車架11211與下車架11212的質(zhì)量不相等。優(yōu)選地，下車架11212的質(zhì)量大于上車架11211的質(zhì)量，下車架11212的質(zhì)量與裝片裝置12裝載的基片質(zhì)量成正比。
[0218]傳送車112上進(jìn)一步包括一傳送座1126，通過傳送座1126傳送裝片裝置12，傳送座1126進(jìn)一步包括一傳送電機(jī)11261、至少兩個(gè)傳送元件11262和一傳送帶11263，傳送電機(jī)11261與電驅(qū)動(dòng)件1123電連接，傳送電機(jī)11261與至少一個(gè)傳送元件11262電連接，且兩個(gè)傳送元件11262經(jīng)所述傳送帶11263傳送驅(qū)動(dòng)，傳送電機(jī)11261帶動(dòng)傳送元件11262同步運(yùn)動(dòng)。傳送元件11262優(yōu)選為傳送輪。裝片裝置12安裝在傳送裝置11上時(shí)，裝片裝置12通過傳送座1126的傳送元件11262在傳送車112上移動(dòng)。
[0219]當(dāng)裝片裝置12上安裝基片后，傳送車112上的電極引入件1125從軌道111上引入電流，經(jīng)升壓變壓器1124升壓后傳遞給電驅(qū)動(dòng)件1123，電驅(qū)動(dòng)件1123將電分給車輪對(duì)1122和傳送電機(jī)11261，傳送電機(jī)11261通過傳送帶11263帶動(dòng)傳送元件11262運(yùn)動(dòng)，傳送元件11262帶動(dòng)裝片裝置12移動(dòng)；當(dāng)裝片裝置12移動(dòng)至傳送車112后，電驅(qū)動(dòng)件1123驅(qū)動(dòng)傳送車112的車輪1122在軌道111上滾動(dòng)，傳送車112帶動(dòng)裝片裝置12在軌道111上移動(dòng)。
[0220]圖4為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中裝片裝置的主視圖。如圖4所示，裝片裝置12的固定組件121包括第一支撐桿1211、第二支撐桿1212、第一擋板1213和第二擋板1214，第一支撐桿1211、第一擋板1213、第二支撐桿1212和第二擋板1214兩兩連接形成一方形框架，第一支撐桿1211和第二支撐桿1212上分別設(shè)有至少兩個(gè)導(dǎo)槽區(qū)域1215 ;調(diào)節(jié)組件122安裝在固定組件121上，調(diào)節(jié)組件122包括至少兩個(gè)調(diào)節(jié)梁1221和至少一組定位件1222，定位件1222可拆卸的安裝在調(diào)節(jié)梁1221上，調(diào)節(jié)梁1221安裝在第一支撐桿1211和第二支撐桿1212的導(dǎo)槽區(qū)域1215上。
[0221]導(dǎo)槽區(qū)域1215進(jìn)一步包括一導(dǎo)槽12151和一安置區(qū)12152，導(dǎo)槽12151設(shè)置在安置區(qū)12152內(nèi)，導(dǎo)槽12151呈豎直方向。安置區(qū)12152的長度不小于導(dǎo)槽12151的長度，安置區(qū)12152的寬度不小于導(dǎo)槽12151的寬度。
[0222]導(dǎo)槽區(qū)域12151包括第一導(dǎo)槽區(qū)域12151A和第二導(dǎo)槽區(qū)域12151B，第一導(dǎo)槽區(qū)域12151A的面積大于第二導(dǎo)槽區(qū)域12151B。
[0223]固定組件121的第一支撐桿1211和第二支撐桿1212上進(jìn)一步分別設(shè)有中心安置區(qū)域1216，中心導(dǎo)位區(qū)域1216設(shè)置在第一支撐桿1211和第二支撐桿1212中間。
[0224]調(diào)節(jié)梁1221安裝在第一支撐桿1211和第二支撐桿1212的導(dǎo)槽區(qū)域1215和/或中心安置區(qū)域1216，調(diào)節(jié)梁1221包括一第一端部12211、一第二端部12212和一橫梁12213，橫梁12213的兩端連接第一端部12211和第二端部12212，第一端部12211和第二端部12212的厚度小于橫梁12213的厚度，第一端部12211和第二端部12212的厚度一致。
[0225]定位件1222包括一第一定位元件12221和一第二定位元件12222，第一定位元件12221拆卸安裝在一調(diào)節(jié)梁1221上，第二定位元件12222可拆卸安裝在另一調(diào)節(jié)梁1221上，第一定位元件12221的安裝位置高于第二定位元件12222。
[0226]一組定位件1222可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁1221上時(shí)，第一定位元件12221安裝在一調(diào)節(jié)梁1221上，第二定位元件12222安裝在另一調(diào)節(jié)梁1221上；換句話說，一個(gè)調(diào)節(jié)梁1221上可同時(shí)安裝第一定位元件12221和第二定位元件12222，第一定位元件12221和第二定位元件12222安裝在同一個(gè)調(diào)節(jié)梁1221的兩側(cè)；在同一調(diào)節(jié)梁1221上，第二定位元件12222安裝位置高于第一定位元件12221，然而在一組定位件1221時(shí)，第一定位元件12221的安裝位置高于第二定位元件12222。第一定位元件12221和第二定位元件12222通過螺釘安裝在調(diào)節(jié)梁1221上。第一定位元件12221優(yōu)選為一彈性元件；第二定位元件12222優(yōu)選為—^槽。
[0227]第二擋板1214上設(shè)置有移動(dòng)軸12141，移動(dòng)軸12141與第二擋板1214活動(dòng)連接。移動(dòng)軸12141與第二擋板1214通過螺栓連接。移動(dòng)軸12141的長度不小于第二擋板1214的長度，優(yōu)選，移動(dòng)軸12141的長度與第二擋板1214的長度一致。裝片裝置12安裝在傳送小車112上時(shí)，移動(dòng)軸12141在傳送車112的傳送元件11262上移動(dòng)，當(dāng)傳送元件11262轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，裝片裝置12的移動(dòng)軸12141移動(dòng)。
[0228]該裝片裝置12應(yīng)用于整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線中，基片安裝在裝片裝置12上，通過傳送裝置11的傳送車112從傳送流水線10運(yùn)送至鍍膜流水線20。在將基片安裝至裝片裝置12上時(shí)，先測量基片的大小，依據(jù)基片的大小，確定調(diào)節(jié)梁1221之間的距離。安裝調(diào)節(jié)梁1221至第一支撐架1211和第二支撐架1212之間時(shí)，優(yōu)選調(diào)節(jié)梁1221從下至上安裝。在安裝過程中將調(diào)節(jié)梁1221的第一端部12211通過螺栓固定在第一支撐架1211的導(dǎo)槽區(qū)域1215中的導(dǎo)槽12151內(nèi)，然后將調(diào)節(jié)梁1221的第二端部12212與第二支撐架1212的導(dǎo)槽區(qū)域1215中的導(dǎo)槽12151連通，在保持調(diào)節(jié)梁1221的橫梁12213水平時(shí)，通過螺栓將調(diào)節(jié)梁1221的第二端部12212固定在第二支撐架1212上，同理安裝其他的調(diào)節(jié)梁121。然后在調(diào)節(jié)梁1221上安裝定位元件1222，通過定位元件1222中的第一定位元件12221和第二定位元件12222將基片穩(wěn) 固安裝在裝片裝置12上。
[0229]圖5為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中基片識(shí)別組件示意圖；圖6為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中基片識(shí)別組件的連接示意圖。為了更快速準(zhǔn)確識(shí)別基片，如圖5至圖6所示，該傳送流水線10進(jìn)一步包括基片識(shí)別組件13，基片識(shí)別組件13包括至少2"個(gè)識(shí)別孔131和一識(shí)別器132，識(shí)別孔131設(shè)置在傳送裝置11上，識(shí)別器132設(shè)置在裝片裝置12上，識(shí)別器132通過識(shí)別基片架10上識(shí)別孔10的數(shù)量和位置識(shí)別基片架10上基片的型號(hào)。
[0230]識(shí)別器132進(jìn)一步包括一紅外線發(fā)射單元1321、一紅外線接收單元1322和一轉(zhuǎn)換單元1323，轉(zhuǎn)換單元1323與紅外線接收單元1322連接，紅外線發(fā)射單元1321與識(shí)別孔131的高度一致。紅外線發(fā)射單元1321和紅外線接收單元1322整合安裝在一起，紅外線發(fā)射單元1321發(fā)射紅外線，紅外線接收單元1322接收紅外線。
[0231]紅外線發(fā)射單元1321和紅外線接收單元1322設(shè)置在傳送裝置11的兩側(cè)，紅外線發(fā)射單元1321和紅外線接收單元1322對(duì)應(yīng)，紅外線發(fā)射單元1321進(jìn)一步包括至少一個(gè)紅外線發(fā)射元件13211，紅外線接收單元1322進(jìn)一步包括一紅外線接收元件13221，紅外線發(fā)射元件13211和紅外線接收元件13221對(duì)應(yīng)，紅外線發(fā)射元件13211和紅外線接收元件13221組合在一起與識(shí)別孔131對(duì)應(yīng)。
[0232]識(shí)別孔131進(jìn)一步分為開放識(shí)別孔1311和封閉識(shí)別孔1312，封閉識(shí)別孔1312與開放識(shí)別孔1311的直徑一致，封閉識(shí)別孔1312通過將開放識(shí)別孔1311封閉形成。封閉識(shí)別孔1312是人工自動(dòng)封閉，換句話說，在加工識(shí)別孔131時(shí)，都是統(tǒng)一加工成開放識(shí)別孔1311，然后人為封閉開放識(shí)別孔1311，這樣開放識(shí)別孔1311和封閉識(shí)別孔1312的數(shù)量和位置關(guān)系依據(jù)生產(chǎn)線中基片架數(shù)量和類型確定調(diào)整，更加靈活調(diào)節(jié)開放識(shí)別孔1311與封閉識(shí)別孔1312的位置和數(shù)量，這樣使識(shí)別孔131的種類增多，更加方便跟蹤不同類型的基片。
[0233]紅外線發(fā)射元件13211和紅外線接收元件13221對(duì)應(yīng)一開放識(shí)別孔1311或一封閉識(shí)別孔1312，當(dāng)紅外線發(fā)射元件13211對(duì)應(yīng)開放識(shí)別孔1311時(shí)，紅外線發(fā)射元件13211發(fā)射的紅外線穿過開放識(shí)別孔31，并通過紅外線接收元件13221接收紅外線，紅外線接收元件13221傳遞一種信號(hào)給轉(zhuǎn)換單元1323 ;當(dāng)紅外線發(fā)射元件13211對(duì)應(yīng)封閉識(shí)別孔32時(shí)，紅外線發(fā)射元件132111發(fā)射的紅外線不能通過封閉識(shí)別孔32，紅外線接收元件13221接收不到紅外線發(fā)射元件13211發(fā)射的紅外線，紅外線接收元件13221傳遞另一種類型信號(hào)給轉(zhuǎn)換單元1323。
[0234]轉(zhuǎn)換單元1323將紅外線接收元件13221接收到紅外線發(fā)射元件13211發(fā)出的紅外線發(fā)出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為“1”，轉(zhuǎn)換單元1323將紅外線接收元件13221未接收到紅外線發(fā)射元件13211發(fā)出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為“0”，這樣對(duì)應(yīng)與二進(jìn)制，便于編程。
[0235]基片識(shí)別組件13的識(shí)別基片的類型依據(jù)識(shí)別孔131的數(shù)量確定，識(shí)別孔131多，識(shí)別孔131中開放識(shí)別孔1311和封閉識(shí)別孔1312之間的數(shù)量和位置關(guān)系多種多樣，將識(shí)別孔數(shù)量記為2"個(gè)，則基片識(shí)別組件識(shí)別基片類型的數(shù)量為2η，η > I。優(yōu)選，識(shí)別裝置識(shí)別基片類型的數(shù)量為2η，5 > η > 1，η表示識(shí)別孔的數(shù)量，這樣基片識(shí)別組件13識(shí)別基片類型至少有2種，至多有32種。
[0236]基片識(shí)別組件13進(jìn)一步包括一識(shí)別控制器133，識(shí)別控制器133與識(shí)別器132的轉(zhuǎn)換單元1323無線連接，識(shí)別控制器133接收轉(zhuǎn)換單元1323的信號(hào)并匯總。
[0237]基片識(shí)別組件13進(jìn)一步包括一顯示器134和一輸入鍵盤135，顯示器134與識(shí)別控制器135連接，輸入鍵盤135與識(shí)別控制器133連接，通過輸入鍵盤134將各種基片型號(hào)輸入識(shí)別控制器135內(nèi)，對(duì)應(yīng)于轉(zhuǎn)換單元1323轉(zhuǎn)換的二進(jìn)制編碼，這樣通過顯示器134更加清楚顯示各基片型號(hào)。
[0238]圖7為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的主視圖；圖8為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖9為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。如圖7至圖9所示，為了節(jié)約占地面積和提高工作效率，該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線將傳送流水線10與鍍膜流水線20平行設(shè)置的生產(chǎn)線；該傳送流水線10進(jìn)一步包括一種可使基片傳送流水線上的基片安全可靠的調(diào)轉(zhuǎn)方向180度進(jìn)入鍍膜流水線20的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14，該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14至少為兩個(gè)，分別位于該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的兩側(cè)，用于傳送流水線10與鍍膜流水線20間的基片中轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)，連接傳送流水線10和鍍膜流水線20。
[0239]旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14設(shè)置在傳送流水線10與鍍膜流水線20的同一端部，連接傳送流水線10和鍍膜流水線20。優(yōu)選傳送流水線10包括2個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14分別設(shè)置在傳送流水線10與鍍膜流水線20的兩端部，連接傳送流水線10和鍍膜流水線20，這樣傳送流水線10和鍍膜流水線20形成一環(huán)形生產(chǎn)線，節(jié)約占地面積，裝片裝置12從傳送流水線10進(jìn)入鍍膜流水線20后，又可自動(dòng)返回至傳送流水線10，這樣節(jié)約人力，循環(huán)利用，提供生產(chǎn)效率。
[0240]旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14包括一驅(qū)動(dòng)組件141、一旋轉(zhuǎn)組件142和一限位組件143,旋轉(zhuǎn)組件142與驅(qū)動(dòng)組件141連接，限位組件143固定在旋轉(zhuǎn)組件142上,通過驅(qū)動(dòng)組件141驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)組件142旋轉(zhuǎn)，通過限位組件143限定旋轉(zhuǎn)組件142旋轉(zhuǎn)角度。
[0241]驅(qū)動(dòng)組件141包括一第一驅(qū)動(dòng)元件1411、一第二驅(qū)動(dòng)元件1412和一旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413與第一驅(qū)動(dòng)元件1411連接，第一驅(qū)動(dòng)元件1411與第二驅(qū)動(dòng)元件1412連接；旋轉(zhuǎn)組件142包括一固定架1421和一旋轉(zhuǎn)盤1422，旋轉(zhuǎn)盤1421與第二驅(qū)動(dòng)元件1412連接，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413安裝在固定架1421上；限位組件143包括一旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431、一感應(yīng)棒1432和至少一個(gè)感應(yīng)信號(hào)元件1433，旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431與感應(yīng)棒1432連接，感應(yīng)信號(hào)元件1433與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413連接，感應(yīng)信號(hào)元件1433設(shè)置在固定架1421上，旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431和感應(yīng)棒1432安裝在旋轉(zhuǎn)盤1422上。
[0242]旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131，第一驅(qū)動(dòng)元件1411設(shè)置在驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131上。真空鍍膜生產(chǎn)線用旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括一控制器50(圖中未顯示)，控制器50與旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器31和電機(jī)13連接，
[0243]旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14進(jìn)一步包括一控制器144 (圖中未顯示)，控制器144與旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413連接?？刂破?44接收旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431的信號(hào)控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413的運(yùn)動(dòng)。該控制器144優(yōu)選為PLC可編程控制器。
[0244]第二驅(qū)動(dòng)元件1412設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤1422上，第一驅(qū)動(dòng)元件1411與第二驅(qū)動(dòng)元件1412通過齒輪嚙合連接，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413上的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)元件1411運(yùn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)元件1411帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)元件1412運(yùn)動(dòng)。第一驅(qū)動(dòng)元件1411優(yōu)選為一齒輪，第二驅(qū)動(dòng)元件1412優(yōu)選為一回轉(zhuǎn)支承，第一驅(qū)動(dòng)元件1411與第二驅(qū)動(dòng)元件1412通過齒輪嚙合連接。
[0245]旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14處于傳送流水線10和鍍膜流水線20的兩端部，將裝片裝置12從傳送流水線10運(yùn)送到鍍膜流水線20中，同時(shí)將鍍膜流水線20中鍍完膜的裝片裝置12從鍍膜流水線20中運(yùn)送至傳送流水線10中卸下基片?；趥魉土魉€10中，首先安裝在裝片裝置12上，裝片裝置12通過傳送車112運(yùn)送至旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14上，裝片裝置12運(yùn)送至旋轉(zhuǎn)盤1422上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413啟動(dòng)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)元件1411轉(zhuǎn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)元件1411與第二驅(qū)動(dòng)元件1412通過齒輪嚙合，第一驅(qū)動(dòng)元件1411帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)元件1412旋轉(zhuǎn)，第二驅(qū)動(dòng)元件1412上固定有旋轉(zhuǎn)盤1422，第二驅(qū)動(dòng)元件1412同時(shí)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤1422旋轉(zhuǎn)，這樣旋轉(zhuǎn)盤1422上的裝片裝置12隨著旋轉(zhuǎn)盤1422旋轉(zhuǎn)；當(dāng)旋轉(zhuǎn)盤1422旋轉(zhuǎn)180度時(shí)，旋轉(zhuǎn)盤1422上的裝片裝置12旋轉(zhuǎn)了 180度，裝片裝置12與鍍膜流水線20平齊，旋轉(zhuǎn)盤1422上的感應(yīng)棒1432旋轉(zhuǎn)了180度，感應(yīng)棒1432與感應(yīng)信號(hào)元件1433之間的距離小于10mm，感應(yīng)信號(hào)元件1433發(fā)射信號(hào)給旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431，控制器144與旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413連接，控制器144控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)13停止旋轉(zhuǎn),這樣驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131停止旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131上的第一驅(qū)動(dòng)元件1411停止運(yùn)動(dòng)，與第一驅(qū)動(dòng)元件1411嚙合的第二驅(qū)動(dòng)元件1412停止運(yùn)動(dòng)，安裝在第二驅(qū)動(dòng)元件1412上旋轉(zhuǎn)盤1422停止運(yùn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)盤1422上的裝片裝置12移動(dòng)，至裝片裝置12移動(dòng)至鍍膜流水線20上時(shí)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413啟動(dòng)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)元件1411轉(zhuǎn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)元件1411與第二驅(qū)動(dòng)元件1412通過齒輪嚙合，第一驅(qū)動(dòng)元件1411帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)元件1412旋轉(zhuǎn)，第二驅(qū)動(dòng)元件1412上固定的旋轉(zhuǎn)盤1422同時(shí)隨著第二驅(qū)動(dòng)元件1412旋轉(zhuǎn)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)盤1422旋轉(zhuǎn)了 14180度時(shí)，旋轉(zhuǎn)盤1422上的感應(yīng)棒1432旋轉(zhuǎn)180度，感應(yīng)棒1432與感應(yīng)信號(hào)元件1433之間的距離小于10mm，感應(yīng)信號(hào)元件1433發(fā)射信號(hào)給旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431，控制器144與旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器1431和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)1413連接，控制器144控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)13停止旋轉(zhuǎn),這樣驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131停止旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸14131上的第一驅(qū)動(dòng)元件1411停止運(yùn)動(dòng)，與第一驅(qū)動(dòng)元件1411嚙合的第二驅(qū)動(dòng)元件1412停止運(yùn)動(dòng)，安裝在第二驅(qū)動(dòng)元件1412上旋轉(zhuǎn)盤1422停止運(yùn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)盤1422回到初始位置，再次接收傳送流水線10上運(yùn)送的裝片裝置12。
[0246]圖10為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)門閥的示意圖；圖11為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)門閥中門閥的剖視圖；圖12為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中旋轉(zhuǎn)門閥的動(dòng)作示意圖。如圖10至圖12所示，鍍膜流水線20進(jìn)一步包括至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)門閥28，旋轉(zhuǎn)門閥28安裝在進(jìn)口腔室21和出口腔室27與傳送流水線10接觸的腔壁上，旋轉(zhuǎn)門閥28包括一門閥組件281和一門閥驅(qū)動(dòng)組件282，門閥驅(qū)動(dòng)組件282與門閥組件281 —端連接，通過門閥驅(qū)動(dòng)組件282驅(qū)動(dòng)門閥組件281旋轉(zhuǎn)。
[0247]為使門閥組件281的旋轉(zhuǎn)更平穩(wěn)，旋轉(zhuǎn)門閥28進(jìn)一步包括又一門閥驅(qū)動(dòng)組件282，兩門閥驅(qū)動(dòng)組件282分別與門閥組件281的兩端連接，兩門閥驅(qū)動(dòng)組件282同步驅(qū)動(dòng)門閥組件281旋轉(zhuǎn)。
[0248]門閥組件281包括一門閥2811、一旋轉(zhuǎn)軸2812和至少一個(gè)門閥連接件2813，門閥連接件2813連接門閥2811和旋轉(zhuǎn)軸2812 ;門閥驅(qū)動(dòng)組件282包括一氣缸2821和一驅(qū)動(dòng)器2822，驅(qū)動(dòng)器2822連接氣缸2821和旋轉(zhuǎn)軸2812，驅(qū)動(dòng)器2822進(jìn)一步包括一第一驅(qū)動(dòng)軸28221、一第二驅(qū)動(dòng)軸28222和一驅(qū)動(dòng)軸套28223，第一驅(qū)動(dòng)軸28221與氣缸2821連接，第二驅(qū)動(dòng)軸28222與旋轉(zhuǎn)軸2812連接，第一驅(qū)動(dòng)軸28221和第二驅(qū)動(dòng)軸28222安裝在驅(qū)動(dòng)軸套28223內(nèi)。門閥2811進(jìn)一步包括一門閥體28111和一墊圈槽28112，墊圈槽28112自門閥體28111上去除材料形成。
[0249]氣缸2821中包括一齒條(圖中未顯不)和一齒輪(圖中未顯不)，齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，齒輪與第一驅(qū)動(dòng)軸28221連接；氣缸2821中齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)的角度為O?180度，齒輪帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸28221的角度為O?180度。氣缸2821中齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)的角度優(yōu)選為O?180度，齒輪帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸28221的角度優(yōu)選為O?95度。
[0250]當(dāng)裝片裝置12從進(jìn)口腔室21進(jìn)入鍍膜流水線20或從出口腔室27移出鍍膜流水線時(shí)，兩組驅(qū)動(dòng)組件282的每個(gè)氣缸2821同一側(cè)充入空氣，驅(qū)使氣缸2821中的齒條帶動(dòng)齒輪運(yùn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)軸28221與齒輪同軸，齒輪旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸28221旋轉(zhuǎn)(記為正轉(zhuǎn))，第一驅(qū)動(dòng)軸28221帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸套28223旋轉(zhuǎn)；第一驅(qū)動(dòng)軸28221和第二驅(qū)動(dòng)軸28222安裝在驅(qū)動(dòng)軸套28223內(nèi)，驅(qū)動(dòng)軸套28223帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)軸28222旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)軸2812的兩端分別與兩組驅(qū)動(dòng)組件282中第二驅(qū)動(dòng)軸28222連接，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)軸28222旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸2812隨同第二驅(qū)動(dòng)軸28222同軸心轉(zhuǎn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)軸2812套入連接軸套28131內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸2812與門閥連接件2813連接在一起，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸2812旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸2812帶動(dòng)門閥連接件2813旋轉(zhuǎn)；門閥連接件2813與門閥2811連接，門閥連接件2813帶動(dòng)門閥2811連接旋轉(zhuǎn)；當(dāng)每個(gè)氣缸2821中的齒條受氣體壓力從一端部運(yùn)動(dòng)到另一端部時(shí)，齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)90度，門閥2811受驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)90度，此時(shí)閥門2811已完全打開。齒輪、第一驅(qū)動(dòng)軸28221、第二驅(qū)動(dòng)軸28222、旋轉(zhuǎn)軸2812和連接軸套28131為同向轉(zhuǎn)動(dòng)，將閥門2811打開記為正轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0251]當(dāng)裝片裝置12已進(jìn)口腔室21進(jìn)口腔或裝片裝置12已從出口腔室27移出時(shí)，兩組驅(qū)動(dòng)組件282的每個(gè)氣缸2821另外同一側(cè)充入空氣，驅(qū)使氣缸2821中的齒條帶動(dòng)齒輪反向運(yùn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)軸28221與齒輪同軸，齒輪旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸28221反向旋轉(zhuǎn)(記為反轉(zhuǎn))，第一驅(qū)動(dòng)軸28221帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸套28223反向旋轉(zhuǎn)；驅(qū)動(dòng)軸套28223反向旋轉(zhuǎn)時(shí),驅(qū)動(dòng)軸套28223帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)軸28222反向旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)軸2812的兩端分別與兩組驅(qū)動(dòng)組件282中第二驅(qū)動(dòng)軸28222連接，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)軸28222反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸2812隨同第二驅(qū)動(dòng)軸28222同軸心反向轉(zhuǎn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)軸2812套入連接軸套28131內(nèi)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸2812反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸2812帶動(dòng)門閥連接件2813反向旋轉(zhuǎn)；門閥連接件2813與門閥2811連接，門閥連接件2813帶動(dòng)門閥2811反向旋轉(zhuǎn)；當(dāng)每個(gè)氣缸2821中的齒條受氣體壓力驅(qū)動(dòng)從另一端部返回時(shí)，齒條帶動(dòng)齒輪反向旋轉(zhuǎn)90度，門閥2811受驅(qū)動(dòng)反向旋轉(zhuǎn)90度，此時(shí)門閥2811關(guān)閉。齒輪、第一驅(qū)動(dòng)軸28221、第二驅(qū)動(dòng)軸28222、旋轉(zhuǎn)軸2812和連接軸套28131為反向同軸心轉(zhuǎn)動(dòng)，將閥門2811關(guān)閉記為反轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0252]圖13為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的示意圖；圖14為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的主視圖；如圖13和圖14所示，鍍膜流水線20中進(jìn)一步包括多個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)29，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)29設(shè)置在鍍膜流水線20的各腔室內(nèi)，裝片裝置12在鍍膜流水線20的各腔室內(nèi)通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)29傳動(dòng)。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)29包括一主動(dòng)組件291、一從動(dòng)組件292和一磁耦合器293，主動(dòng)組件291和從動(dòng)組件292分別設(shè)置在磁耦合器293的兩側(cè)，主動(dòng)組件291受電驅(qū)動(dòng)，通過磁耦合器293將主動(dòng)組件291的運(yùn)動(dòng)傳遞給從動(dòng)組件292。從動(dòng)組件292位于鍍膜流水線20的各腔室內(nèi)，主動(dòng)組件291位于各腔室外，磁耦合器293貫穿密封于各腔室的箱體。
[0253]主動(dòng)組件291包括一主動(dòng)軸2911，從動(dòng)組件292包括一從動(dòng)軸2921和一傳動(dòng)輪2922，從動(dòng)軸2921帶動(dòng)傳動(dòng)輪2922轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)軸2911和從動(dòng)軸2921設(shè)置在磁耦合器293的兩側(cè)，磁耦合器293連接主動(dòng)軸2911和從動(dòng)軸2921。
[0254]主動(dòng)組件291進(jìn)一步包括一帶輪2912和一皮帶2913 (圖中未顯示)，帶輪2912設(shè)置在主動(dòng)軸2911上，皮帶2913連接鍍膜流水20中的電機(jī)和主動(dòng)軸2911上的帶輪2912，主動(dòng)軸2911受鍍膜流水20中電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
[0255]主動(dòng)軸2911包括一主動(dòng)軸第一端部29111、一主動(dòng)軸第二端部29112和一主動(dòng)軸體29113，從主動(dòng)軸第一端部29111向主動(dòng)軸第二端部29112延伸形成主動(dòng)軸體29113，主動(dòng)軸第二端部29112與磁力耦合器293接觸。
[0256]圖15為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的剖視圖A-A，帶輪12設(shè)置在主動(dòng)軸第一端部111通過鍵連接。如圖15所示，主動(dòng)組件291進(jìn)一步包括至少一個(gè)主動(dòng)軸鍵2914，主動(dòng)軸鍵2914設(shè)置在帶輪2912和主動(dòng)軸第一端部29111之間。主動(dòng)軸第一端部29111設(shè)有至少一個(gè)主動(dòng)軸鍵槽291111，主動(dòng)軸鍵槽291111的寬度與主動(dòng)軸鍵2914的寬度一致，帶輪2912上進(jìn)一步包括一帶輪內(nèi)孔29121和至少一個(gè)帶輪鍵槽29122，帶輪內(nèi)孔29121的內(nèi)徑與主動(dòng)軸第一端部29111的直徑一致，帶輪鍵槽29122自帶輪內(nèi)孔29121上去除材料形成，帶輪鍵槽29122的寬度與主動(dòng)軸鍵2914的寬度一致。
[0257]當(dāng)帶輪2912設(shè)置在主動(dòng)軸第一端部29111上時(shí)，主動(dòng)軸鍵槽291111與帶輪鍵槽29121連通，主動(dòng)軸鍵2914安置于主動(dòng)軸鍵槽291111與帶輪鍵槽29121之間，主動(dòng)軸鍵槽291111和帶輪鍵槽29121的深度不小于主動(dòng)軸鍵2914的厚度。當(dāng)帶輪2912受皮帶2913帶動(dòng)時(shí)，帶輪2912轉(zhuǎn)動(dòng)，帶輪2912中帶輪鍵槽29121內(nèi)的主動(dòng)軸鍵2914轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)主動(dòng)軸鍵2914處于主動(dòng)軸鍵槽291111內(nèi)，這樣主動(dòng)軸鍵2914轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)主動(dòng)軸2911轉(zhuǎn)動(dòng)，因此電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)通過皮帶2913將運(yùn)動(dòng)傳遞給主動(dòng)軸2911上的帶輪2912，帶輪2912帶動(dòng)主動(dòng)軸2911旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0258]主動(dòng)軸2911受真空鍍膜生產(chǎn)線中電機(jī)驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，主動(dòng)軸2911和從動(dòng)軸2921在磁力耦合器293的兩側(cè)，通過耦合力，將主動(dòng)軸2911的轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞給從動(dòng)軸2921。
[0259]真空鍍膜生產(chǎn)線用傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括一密封法蘭294，密封法蘭294設(shè)置在磁力耦合器293上，密封法蘭294進(jìn)一步包括一密封墊圈2941和一墊圈槽2942，密封墊圈2941放置在墊圈槽2942內(nèi)。密封法蘭294將磁力耦合器293安裝在真空鍍膜線中，防止磁力耦合器293脫落。
[0260]從動(dòng)軸2921進(jìn)一步包括一從動(dòng)軸第一端部29211、一從動(dòng)軸第二端部29212和一從動(dòng)軸體29213，從動(dòng)軸第一端部29211向從動(dòng)軸第二端部29212延伸形成從動(dòng)軸體29213，從動(dòng)軸第一端部29211與磁力耦合器2930連接。
[0261]圖16為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的剖視圖B-B;如圖16所示，傳動(dòng)輪2922設(shè)置在從動(dòng)軸2921上，傳動(dòng)輪2922和從動(dòng)軸2921通過鍵連接。
[0262]從動(dòng)組件292進(jìn)一步包括至少一個(gè)從動(dòng)軸鍵2923，從動(dòng)軸鍵2923設(shè)置在從動(dòng)軸2921和傳動(dòng)輪2922之間。從動(dòng)軸2921進(jìn)一步包括至少一個(gè)從動(dòng)軸鍵槽29214，從動(dòng)軸鍵槽29214自從動(dòng)軸第二端部29212去除材料形成，從動(dòng)軸鍵槽29214的寬度與從動(dòng)軸鍵2923的寬度一致。
[0263]傳動(dòng)輪2922進(jìn)一步包括一傳動(dòng)輪內(nèi)孔29221和至少一個(gè)傳動(dòng)輪鍵槽29222，傳動(dòng)輪鍵槽29222自傳動(dòng)輪內(nèi)孔29221上去除材料形成，傳動(dòng)輪內(nèi)孔29221的直徑與從動(dòng)軸第二端部29212的直徑一致，傳動(dòng)輪鍵槽29222的寬度與從動(dòng)軸鍵2923的寬度一致。
[0264]從動(dòng)組件292進(jìn)一步包括一傳動(dòng)輪固定座2924，傳動(dòng)輪固定座2924設(shè)置在從動(dòng)軸2921上，傳動(dòng)輪2922與傳動(dòng)輪固定座2924通過螺栓連接，防止傳動(dòng)輪2922從從動(dòng)軸2921上脫落。
[0265]當(dāng)傳動(dòng)輪2922安裝在從動(dòng)軸第二端部29212時(shí)，從動(dòng)軸2921上的從動(dòng)軸鍵槽29214與傳動(dòng)輪鍵槽29222連通，從動(dòng)軸鍵2923安置在從動(dòng)軸鍵槽29214與傳動(dòng)輪鍵槽29222之間，從動(dòng)軸鍵槽29214和傳動(dòng)輪鍵槽29214的深度不小于從動(dòng)軸鍵2923的厚度。當(dāng)從動(dòng)軸2921轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，從動(dòng)軸2921中從動(dòng)軸鍵槽29214內(nèi)從動(dòng)軸鍵2923轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)從動(dòng)軸鍵2923處于傳動(dòng)輪鍵槽29214內(nèi)，這樣從動(dòng)軸鍵2923帶動(dòng)傳動(dòng)輪2922轉(zhuǎn)動(dòng)，因此從動(dòng)軸2921帶動(dòng)傳動(dòng)輪2922轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0266]鍍膜流水線20中的電機(jī)啟動(dòng)，電機(jī)通過皮帶2913與主動(dòng)軸2911上帶輪12連接，帶輪2912受皮帶2913帶動(dòng)，帶輪2912轉(zhuǎn)動(dòng)，帶輪2912中帶輪鍵槽29121內(nèi)的主動(dòng)軸鍵2914轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)主動(dòng)軸鍵2914處于主動(dòng)軸鍵槽291111內(nèi)，主動(dòng)軸鍵2914轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)主動(dòng)軸2911轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)軸2911旋轉(zhuǎn)；主動(dòng)軸2911和從動(dòng)軸2921在磁力耦合器2930的兩側(cè)，通過耦合力，將主動(dòng)軸2911的轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞給從動(dòng)軸2921 ;從動(dòng)軸2921因磁力耦合器293的傳遞主動(dòng)軸2911的轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，從動(dòng)軸2921中從動(dòng)軸鍵槽29214內(nèi)從動(dòng)軸鍵2923轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)從動(dòng)軸鍵2923處于傳動(dòng)輪鍵槽29214內(nèi)，這樣從動(dòng)軸鍵2923帶動(dòng)傳動(dòng)輪2922轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)軸2921帶動(dòng)傳動(dòng)輪2922轉(zhuǎn)動(dòng)；鍍膜流水線20中裝片裝置12通過傳動(dòng)輪2922轉(zhuǎn)動(dòng)而在鍍膜流水線20中的各腔室中移動(dòng)。
[0267]圖17為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中管道耦合組件的結(jié)構(gòu)圖；圖18為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中管道耦合組件的開合時(shí)狀態(tài)圖；圖19為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中管道耦合組件的閉合時(shí)狀態(tài)圖。如圖17至19所示，為了使得該生產(chǎn)線檢測時(shí)分子泵或其他管道分離自動(dòng)化且易操作，該鍍膜流水線20進(jìn)一步包括一管道耦合組件201，該管道耦合裝201包括上耦合件2011和下耦合件2012，上下耦合件2011、2012活動(dòng)連接并密封，上下耦合件2011、2012分別固定連接同一管道；上下耦合件2011、2012耦合密封時(shí)，管道連通；上下耦合件2011、2012分離時(shí)，管道斷開。
[0268]上耦合件2011包括上固定法蘭20111和上管道接頭20112，其中上固定法蘭20111和上管道接頭20112固定連接相通，且連接處密封。下耦合件2012包括耦合法蘭
20121、波紋管20122、下固定法蘭20123和下管道接頭20124，其中耦合法蘭20121、波紋管
20122、下固定法蘭20123和下管道接頭20124依次連接相通，且各連接處均密封。波紋管20122與耦合法蘭20121通過壓塊固定。上耦合件10和下耦合件20中各連接處的密封優(yōu)選采用焊接密封方式。
[0269]上下耦合件2011、2012經(jīng)上固定法蘭20111與耦合法蘭20121耦合密封實(shí)現(xiàn)兩者
耦合密封。
[0270]下固定法蘭20123與一移動(dòng)組件相連，且在移動(dòng)組件作用下傳動(dòng)下固定法蘭20123使得下耦合件2012運(yùn)動(dòng)；其中移動(dòng)組件可采用現(xiàn)有技術(shù)中的轉(zhuǎn)軸或金屬臂等多種方式，在此不做贅述。
[0271]為了實(shí)現(xiàn)該管道耦合組件的自動(dòng)耦合或分離，管道耦合組件201進(jìn)一步包括至少一個(gè)氣缸2013，氣缸2013設(shè)置在耦合法蘭20121和下固定法蘭20123間使耦合法蘭20121的上下運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)耦合法蘭20121與上固定法蘭20111的分合。氣缸2013為兩個(gè)，分設(shè)于波紋管20122的兩側(cè)。氣缸2013優(yōu)選為薄型氣缸，波紋管20122優(yōu)選為可壓縮金屬波紋管。氣缸2013包括一氣管連接件20131，氣缸2013通過氣管連接件20131與耦合法蘭20121連接。耦合法蘭20121開口處設(shè)有濾網(wǎng)201211，以防止下耦合件2012內(nèi)落入異物堵塞管道。各連接處均設(shè)有密封墊圈。
[0272]當(dāng)真空鍍膜腔室的室門處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，氣缸2013向上運(yùn)動(dòng)，氣管連接件20131隨之向上運(yùn)動(dòng)，氣管連接件20131與耦合法蘭20121連接，帶動(dòng)耦合法蘭20121向上運(yùn)動(dòng)與上耦合件2011的上固定法蘭20111相閉合，此時(shí)整個(gè)管道耦合組件201連通，可從腔室內(nèi)抽出空氣，使腔室處于真空狀態(tài)。當(dāng)真空鍍膜腔室的門準(zhǔn)備開啟時(shí)，氣缸2013向下運(yùn)動(dòng)，氣管連接件20131隨之向下運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)耦合法蘭20121與上耦合件2011的上固定法蘭20111分離，此時(shí)整個(gè)管道耦合組件201斷開，向腔室內(nèi)注入空氣，腔室門才能打開。
[0273]圖20為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的互換門裝配示意圖；圖21為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的單個(gè)門體示意圖；圖22為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的鉸鏈件的立體圖；圖23為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的鉸鏈件的透視圖；圖24為本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線中門體結(jié)構(gòu)的緊鎖件的結(jié)構(gòu)圖。如圖20至圖24所示，為了改善該生產(chǎn)線的實(shí)用性和普適性，該鍍膜流水線20進(jìn)一步包括一門體結(jié)構(gòu)202，該門體結(jié)構(gòu)202配置于各功能腔室，包括室門2021和門框2022，室門2021的兩側(cè)均與門框2022活動(dòng)連接，各功能腔室配置的門體結(jié)構(gòu)尺寸及配置各功能腔室的方式均一致。
[0274]真空鍍膜生產(chǎn)線用門體結(jié)構(gòu)202進(jìn)一步包括多組密封組件2023，室門2021的兩側(cè)與門框2022通過多組密封組件2023與門框2022可拆卸活動(dòng)連接，優(yōu)選為螺接。室門2021兩側(cè)的密封組件2023位置對(duì)應(yīng)。
[0275]密封組件2023包括鉸鏈件202310和緊鎖件202320，鉸鏈件310連接真空鍍膜生產(chǎn)線中各功能腔室的室門2021與門框2022，室門經(jīng)鉸鏈件310開合，緊鎖件320安裝在門框2022上。
[0276]鉸鏈件202310包括第一鉸鏈件202311、第二鉸鏈件202312和輔助鉸鏈件202313，其中第一鉸鏈件202311與室門2021連接，第二鉸鏈件202312與門框2022連接，輔助鉸鏈件202313分別連接第一鉸鏈件202311和第二鉸鏈件202312 ;第一鉸鏈件202311進(jìn)一步包括第一鉸鏈座2023111和第一鉸鏈軸2023112，第二鉸鏈件202312包括第二鉸鏈座2023121和第二鉸鏈軸2023122，第一鉸鏈座2023111和輔助鉸鏈件202313同第一鉸鏈軸2023112轉(zhuǎn)動(dòng)，第二鉸鏈座2023121和輔助鉸鏈件202313同第二鉸鏈軸2023122轉(zhuǎn)動(dòng)，且第二鉸鏈座2023122與輔助鉸鏈件202313間設(shè)有軸承202314，優(yōu)選為平面軸承。
[0277]為了使得鉸鏈件202310結(jié)構(gòu)更為緊湊合理，第一鉸鏈座2023111依輔助鉸鏈件202313形狀去除材料成第一凹槽20231111，輔助鉸鏈件202313嵌入第一凹槽20231111內(nèi)與第一鉸鏈座2023111同第一鉸鏈軸2023112轉(zhuǎn)動(dòng)；相應(yīng)地，第二鉸鏈座2023121依輔助鉸鏈件202313形狀去除材料成第二凹槽20231211，輔助鉸鏈件202313嵌入第二凹槽20231211內(nèi)與第二鉸鏈座2023121同第二鉸鏈軸2023122轉(zhuǎn)動(dòng)；值得注意的是，第一凹槽20231111與第二凹槽20231211開口方向相反，二者的寬度與輔助鉸鏈件202313的寬度一致。
[0278]更優(yōu)選地，第一鉸鏈座2023111與第二鉸鏈座2023121等高等長，第一鉸鏈座2023111與第二鉸鏈座2023121不等寬，換言之，第二鉸鏈座2023121厚于第一鉸鏈座2023111 ;此厚度差可實(shí)現(xiàn)在真空鍍膜生產(chǎn)線腔室內(nèi)成真空狀態(tài)時(shí)，避免外界大氣壓將室門2021設(shè)有鉸鏈件202310的一側(cè)無法密閉均勻，使得整個(gè)室門2021的關(guān)合過程受力更為平均，室門2021密封性能好。
[0279]第一凹槽20231111設(shè)置在第一鉸鏈座2023111的中段，同樣地，第二凹槽20231211設(shè)置在第二鉸鏈座2023121的中段。
[0280]為了使得整個(gè)室門2021的關(guān)合過程受力更為平均，第一鉸鏈座2023111與輔助鉸鏈件202313間通過一螺栓固定，且該螺栓與室門2021連接，通過該螺栓調(diào)整輔助鉸鏈件202313，使輔助鉸鏈件202313在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中不左右擺動(dòng)，且在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中，限制室門2021隨著輔助鉸鏈件202313與第一鉸鏈座2023111的間隙擺動(dòng)，而是使室門2021隨著輔助鉸鏈件202313轉(zhuǎn)動(dòng)，該螺栓優(yōu)選為沉頭螺栓。
[0281]緊鎖件202320包括固定座202321、固定元件202322和一壓緊螺釘202323，固定座202321通過螺栓固定在鍍膜生產(chǎn)線各功能腔室的門框上，固定元件202322通過壓緊螺釘202323活動(dòng)安裝在固定座202321上。壓緊螺釘202323與固定元件202322之間活動(dòng)連接，固定元件202322經(jīng)壓緊螺釘202323安裝在門框上時(shí)可旋轉(zhuǎn)。當(dāng)室門2021閉合時(shí)，旋轉(zhuǎn)固定元件202322，使固定元件202322壓于室門2021上，再經(jīng)壓緊螺釘20223進(jìn)一步壓緊固定元件20222，實(shí)現(xiàn)室門2021更加緊貼門框2022。
[0282]固定元件202322可采用現(xiàn)有技術(shù)中的各種鎖片或鎖鏈結(jié)構(gòu)，作為一種優(yōu)選方案，固定元件202322為一去除材料的凸輪狀，固定元件202322通過一螺釘旋轉(zhuǎn)，當(dāng)固定元件202322去除材料側(cè)與門框2022重合時(shí)，室門2021可打開；當(dāng)固定元件202322未去除材料側(cè)緊貼室門2021時(shí)，室門2021鎖緊。
[0283]鍍膜生產(chǎn)線各功能腔室需要密封時(shí)，將室門2021關(guān)閉，第一鉸鏈件202311與室門2021連接，第二鉸鏈件202312與門框2022連接，輔助鉸鏈件202313分別連接第一鉸鏈件202311和第二鉸鏈件202312，這樣第一鉸鏈件202311隨著室門2021運(yùn)動(dòng)，輔助鉸鏈件202313與第二鉸鏈件202312的第二鉸鏈軸2023122連接，這樣室門2021連同輔助鉸鏈件202313以第二鉸鏈軸2023122為中心旋轉(zhuǎn)，直至室門2021關(guān)合；當(dāng)室門2021關(guān)合后，室門2021遠(yuǎn)離密封組件2023的一側(cè)緊貼門框2022，而緊貼密封組件2023的一側(cè)還留有間隙，推動(dòng)室門2021向靠近門框2022的一側(cè)運(yùn)動(dòng)，由于輔助鉸鏈件202313與第一鉸鏈件202311的第一鉸鏈軸2023112連接，在推動(dòng)室門2021向靠近門框2022的一側(cè)運(yùn)動(dòng)過程中，室門2021以第一鉸鏈件202311的第一鉸鏈軸2023112為中心旋轉(zhuǎn)，直至室門2021貼合門框2022。當(dāng)室門2021貼合門框2022后，旋轉(zhuǎn)緊鎖件202320中的固定元件202322，使固定元件202322未去除材料側(cè)緊貼室門2021，使室門2021鎖緊。
[0284]圖25為本實(shí)用新型提供的真空鍍膜生產(chǎn)線用陰極裝置的裝配示意圖；圖26為本實(shí)用新型提供的真空鍍膜生產(chǎn)線用陰極裝置的俯視剖視圖；圖27為本實(shí)用新型提供的真空鍍膜生產(chǎn)線用陰極裝置的左視剖視圖；圖28為本實(shí)用新型提供的真空鍍膜生產(chǎn)線用陰極裝置中移動(dòng)部分A-A的放大圖。如圖25至28所示，鍍膜流水線20中，鍍膜腔室24進(jìn)一步設(shè)有一移動(dòng)式陰極裝置241，該移動(dòng)式陰極裝置241的靶材轟擊軌道非固定，故而該陰極的磁場寬度增加，增加靶材刻蝕區(qū)域，提高靶材利用率。
[0285]該移動(dòng)式陰極裝置241包括陰極組件2411和平移組件2412，陰極組件2411與平移組件2412固定連接且隨平移組件2412的運(yùn)動(dòng)平動(dòng)，其中陰極為平面磁控濺射陰極；陰極組件2411與平移組件2412通過一絕緣件2413連接。
[0286]圖26為本實(shí)用新型提供的真空鍍膜生產(chǎn)線用陰極裝置的俯視剖視圖；圖27為本實(shí)用新型提供的真空鍍膜生產(chǎn)線用陰極裝置的左視剖視圖。如圖26和圖27所示，陰極組件2411由外至內(nèi)依次為靶材24111、靶背板24112、磁鐵24113和軛鐵24114，靶背板24112與磁鐵24113間設(shè)有絕緣墊24115，靶材24111固定連接靶背板24112，磁鐵24113固定于軛鐵24114上，且軛鐵24114連接絕緣件2413。當(dāng)靶背板24112濺射時(shí)進(jìn)入電為陰極，此時(shí)生產(chǎn)線中的鍍膜腔室24的箱體為陽極，該絕緣墊24115同現(xiàn)有技術(shù)中用于實(shí)現(xiàn)靶背板24112與箱體絕緣，且整個(gè)陰極裝置241中僅靶背板24112帶電。[0287]絕緣件2413和絕緣墊24115優(yōu)選采用的絕緣材料選自為聚四氟乙烯、有機(jī)玻璃或尼龍。
[0288]靶背板24112與磁鐵24113相對(duì)面開有一凹槽241121，磁鐵24113位于凹槽241121內(nèi)但不接觸所述靶背板24112。
[0289]磁鐵24113隨平移組件2412在凹槽241121內(nèi)平動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)陰極組件2411中磁場寬度增加，增加靶材刻蝕區(qū)域，提高靶材利用率，以克服現(xiàn)有技術(shù)中平面陰極的轟擊軌道固定這一缺陷；且通過將磁鐵陣在靶背板24112開有的凹槽241121內(nèi)平動(dòng)，即能維持原有平面陰極中的靶基距和靶面磁場強(qiáng)度，且使得該陰極裝置241空間結(jié)構(gòu)緊湊，整個(gè)陰極裝置241的厚度可與未改進(jìn)前接近，無需因?yàn)楸緦?shí)用新型的陰極裝置241而調(diào)整鍍膜腔室24乃至整個(gè)生產(chǎn)線；此外，該陰極裝置241中靶材24111仍為固定，從而可以避免由于靶材24111移動(dòng)帶來的不確定因素而導(dǎo)致生產(chǎn)線的不穩(wěn)定。
[0290]陰極組件2411中的磁鐵24113可選用現(xiàn)有技術(shù)中的各種磁鐵陣，或多個(gè)磁鐵排布而成，或定制成型磁鐵而成。靶材24111與靶背板24112的固定連接，磁條24113與軛鐵24114的固定連接通過沉頭螺栓實(shí)現(xiàn)。
[0291]圖28為本實(shí)用新型提供的真空鍍膜生產(chǎn)線用陰極裝置中移動(dòng)部分C-C的放大圖。如圖26至圖28所示，平移組件2412包括一移動(dòng)件24121、一滑軌件24122、一滾珠絲杠件24123、一安裝件24124和支撐件24125 ;滑軌件24122包括一滑塊241221和一滑軌241222，滑塊241221與滑軌241222配合，滑塊241221在滑軌241222上滑動(dòng)；滾珠絲杠件24123包括一螺母241231、一螺桿241232和一安裝座241233，螺桿241232安裝在安裝座241233上，螺桿241232與螺母241231配合，螺桿241232轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，螺母241231可沿螺桿241232移動(dòng)；移動(dòng)件24121上分別連接滑軌件24122中的滑塊241221和滾珠絲杠件24123的螺母241231，當(dāng)滾珠絲杠24123的螺母241231平動(dòng)時(shí)，移動(dòng)件24121平動(dòng)，移動(dòng)件24121與滑塊241221連接，這樣移動(dòng)件24121帶動(dòng)滑塊241221在滑軌241222上移動(dòng)；安裝件24124分別連接滑軌件24122中的滑軌241222和滾珠絲杠件24123的安裝座241233 ;移動(dòng)件24121在滑軌件24122和滾珠絲杠24123的共作用下平動(dòng)，其中滾珠絲杠件24123作為移動(dòng)件24121平動(dòng)的主驅(qū)動(dòng)，滑軌件24122作為移動(dòng)件24121平動(dòng)的從驅(qū)動(dòng)和成承重支撐。
[0292]絕緣件2413同時(shí)與陰極組件2411的軛鐵24114和平移組件2412的移動(dòng)件24121連接。優(yōu)選，絕緣件2413與陰極組件2411的軛鐵24114和平移組件2412的移動(dòng)件24121通過沉頭螺栓連接。
[0293]為了實(shí)現(xiàn)平移組件2412的自動(dòng)化運(yùn)動(dòng)，平移組件2412進(jìn)一步包括一電機(jī)24126，滾珠絲杠件24123電連接一電機(jī)24126，由電機(jī)24126驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠件24123中的螺桿241232轉(zhuǎn)動(dòng)，繼而使螺桿241232上的螺母241231平動(dòng)，繼而傳動(dòng)滑軌件24122中的滑塊241221，以實(shí)現(xiàn)陰極組件2411的平動(dòng)。電機(jī)24126優(yōu)選為一伺服電機(jī)，通過一同步帶傳動(dòng)滾珠絲杠件24123。
[0294]平移組件的滑軌件24122至少包括兩個(gè)滑軌件241222且分布于滾珠絲杠件24123的兩側(cè)。
[0295]平移組件2412還包括一光電感應(yīng)器24127，分設(shè)于滾珠絲杠件24123的螺桿241232的兩側(cè)，以實(shí)現(xiàn)螺母241221在螺桿241222上自動(dòng)往返平動(dòng)；具體通過由光電感應(yīng)器24127通過感應(yīng)螺母241221位置信號(hào)后控制螺桿241222的轉(zhuǎn)動(dòng)方向?qū)崿F(xiàn)。[0296]為了實(shí)現(xiàn)該陰極裝置易安裝于該生產(chǎn)線中，且可根據(jù)生產(chǎn)線需求配置所需的陰極，該陰極組件2411還包括一連接件24116，該連接件24116與真空鍍膜生產(chǎn)線中的鍍膜腔室的箱體活動(dòng)連接，且平移組件2412連接該連接件24116。該連接件24116與真空鍍膜生產(chǎn)線中的鍍膜腔室的箱體活動(dòng)連接，該活動(dòng)連接優(yōu)選為鉸接，具體可通過一鉸鏈24128實(shí)現(xiàn)。當(dāng)該陰極裝置為多個(gè)時(shí)，該連接件24116為同一連接件，此時(shí)，多個(gè)陰極裝置共連接于該連接件24116上，連接件24116優(yōu)選為一支撐板241161。作為一種較佳的實(shí)施方式，該支撐板241161與支撐件24125通過螺栓連接。值得注意的是，支撐板241161與支撐件24125之間的間隙與陰極濺射強(qiáng)度成正比，當(dāng)支撐板241161與支撐件24125之間的距離越大時(shí)，陰極濺射強(qiáng)度增強(qiáng)，當(dāng)支撐板241161與支撐件24125之間的距離越小時(shí)，陰極濺射強(qiáng)度減弱。因此，該陰極裝置可根據(jù)靶材的磁性強(qiáng)度微調(diào)支撐板241161與支撐件24125間距h從而保證生產(chǎn)線中的鍍膜均勻性和穩(wěn)定性，此外，當(dāng)靶材使用一段時(shí)間后，可通過減少h而不必更換靶材仍能維持靶材的所需的磁性強(qiáng)度，提升了靶材的利用率。
[0297]該陰極裝置的動(dòng)作過程為:電機(jī)24126驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠件24123中的螺桿241232轉(zhuǎn)動(dòng)，滾珠絲杠24123中的螺母241231沿著螺桿241232平移，螺母241231與移動(dòng)件24121連接，螺母241231帶動(dòng)移動(dòng)件24121移動(dòng)，移動(dòng)件24121通過絕緣件2413與陰極組件2411連接，這樣移動(dòng)件24121帶動(dòng)陰極組件2411移動(dòng)；由于滾珠絲杠件24123的螺母241231不能承受陰極組件2411的重量，移動(dòng)件24121上連接有滑軌件24122的滑塊241221，滑塊241221與滑軌241222配合，這樣當(dāng)螺母241231帶動(dòng)移動(dòng)件24121移動(dòng)時(shí)，移動(dòng)件24121上的滑塊241221沿著滑軌241222移動(dòng)，減輕螺母241231承受的重量。
[0298]整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線的工作過程是:通過調(diào)節(jié)裝片裝置12中調(diào)節(jié)梁1321和定位元件1322的位置將基片安裝在裝置13上，裝片裝置12通過傳送車112上的傳送裝置127將裝片裝置移動(dòng)至傳送車112上，傳送車112通過車輪1122在軌道111上滾動(dòng)而移動(dòng)；當(dāng)傳送車112將裝片裝置12運(yùn)送至旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14上，裝片裝置12移動(dòng)至旋轉(zhuǎn)盤1422上，旋轉(zhuǎn)盤1422轉(zhuǎn)動(dòng)180度后，受限位組件143限定旋轉(zhuǎn)角度后，裝片裝置12對(duì)準(zhǔn)鍍膜流水線20的進(jìn)口腔21的旋轉(zhuǎn)門閥28，旋轉(zhuǎn)門閥28受氣缸2821驅(qū)動(dòng)門閥2811，門閥2811打開至90度后，裝片裝置12進(jìn)入進(jìn)口腔21后，旋轉(zhuǎn)門閥28關(guān)閉，裝片裝置12經(jīng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)29在鍍膜流水線20的各腔室內(nèi)移動(dòng)，在鍍膜腔24經(jīng)鍍膜裝置241鍍膜后，從出口腔27的旋轉(zhuǎn)門閥28后從鍍膜流水線20移出，進(jìn)入傳送流水線10中卸下基片。
[0299]值得一提的是，整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線過程中，基片都保持豎直狀態(tài)。為使基片保持豎直狀態(tài)，且不對(duì)基片有任何損害，整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線進(jìn)一步包括一導(dǎo)向系統(tǒng)30，導(dǎo)向系統(tǒng)30安裝在傳送流水線10和鍍膜流水線20上，該導(dǎo)向系統(tǒng)30與基片無任何直接接觸。導(dǎo)向系統(tǒng)30包括一定位導(dǎo)向件31和一裝片導(dǎo)向件32，定位導(dǎo)向件31和裝片導(dǎo)向件32配合，裝片導(dǎo)向件32設(shè)置在裝片裝置12上，定位導(dǎo)向件31設(shè)置在傳送車112、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14和鍍膜流水線20的各腔室內(nèi)。
[0300]裝片導(dǎo)向件32設(shè)置在第一擋板1211上,裝片導(dǎo)向件32進(jìn)一步包括一第一導(dǎo)向兀件321、第二導(dǎo)向元件322和第三導(dǎo)向元件323，第二導(dǎo)向元件322與第一擋板1211連接，第一導(dǎo)向元件321與第二導(dǎo)向元件322活動(dòng)連接，第三導(dǎo)向元件323設(shè)置在第一導(dǎo)向元件321和第二導(dǎo)向元件322之間。
[0301]定位導(dǎo)向件31包括一導(dǎo)向支架311和一定位元件312，定位元件312設(shè)置在導(dǎo)向支架311上，導(dǎo)向支架311設(shè)置在傳送車112、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14和鍍膜流水線20的各腔室內(nèi)。
[0302]裝片導(dǎo)向件32與定位導(dǎo)向件31配合時(shí)，定位元件312與第三導(dǎo)向元件323配合。
[0303]定位元件312與第三導(dǎo)向元件323相排斥，定位元件與第三導(dǎo)向元件同為磁性元件且同磁極換句話說，兩磁性元件同為N極或同為S極。
[0304]定位元件312與第三導(dǎo)向元件323相吸引，定位元件312與第三導(dǎo)向元件323同為磁性元件且磁極相異。
[0305]定位元件312與第三導(dǎo)向元件323相吸引，定位元件312為磁性元件，第三導(dǎo)向元件323為鐵制材料制成。
[0306]定位元件312與第三導(dǎo)向元件323相吸引，第三導(dǎo)向元件323為磁性元件，定位元件312為鐵制材料制成。
[0307]此外，為了控制傳送車的速度以及指定傳送車停下裝載貨物的位置，在鍍膜生產(chǎn)線上設(shè)置有生產(chǎn)線監(jiān)控系統(tǒng)；該監(jiān)控系統(tǒng)，用于監(jiān)控鍍膜生產(chǎn)系設(shè)備的工作狀態(tài)；該系統(tǒng)包括顯示模塊、處理模塊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊、通訊接口模塊、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊、以及分布在生產(chǎn)線上的各監(jiān)控部件；所述顯示模塊連接所述處理模塊，所述處理模塊連接所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊，所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊通過所述通訊接口模塊與所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊連接；所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊通過現(xiàn)場總線，與分布在生產(chǎn)線上的各監(jiān)控部件通信；所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換模塊通過所述現(xiàn)場總線對(duì)所屬監(jiān)控部件中的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集，并進(jìn)行格式轉(zhuǎn)化，以形成統(tǒng)一的數(shù)據(jù)并通過所述通訊接口模塊發(fā)送至所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊；所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊用于存儲(chǔ)傳送來的數(shù)據(jù)；所述處理模塊讀取所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊中的數(shù)據(jù)并處理，然后發(fā)送至所述顯示模塊顯示。所述監(jiān)控部件主要包括位置監(jiān)控組件和速度監(jiān)控組件；所述位置監(jiān)控組件對(duì)至少一臺(tái)設(shè)備是否運(yùn)行到指定位置進(jìn)行判斷；所述速度監(jiān)控組件對(duì)至少一臺(tái)設(shè)備的運(yùn)行速度進(jìn)行識(shí)別判斷。所述位置監(jiān)控組件為光電信號(hào)感應(yīng)裝置。所述速度監(jiān)控組件為速度感應(yīng)器。
[0308]作為一種較佳的實(shí)施方式，所述監(jiān)控系統(tǒng)還包括一控制系統(tǒng)；所述控制系統(tǒng)與速度監(jiān)控系統(tǒng)無線連接，對(duì)反饋回來的速度信號(hào)經(jīng)過判斷識(shí)別后，傳給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)再發(fā)出相應(yīng)指令，監(jiān)控系統(tǒng)接受指令后對(duì)設(shè)備的運(yùn)行速度進(jìn)行控制。
[0309]光電信號(hào)裝置可選用紅外光電感應(yīng)器，識(shí)別裝置可以對(duì)其進(jìn)行紅外線識(shí)別；該感應(yīng)器分別安裝于上述七個(gè)腔室的進(jìn)、出口處，傳送車112上至少設(shè)有兩組不同的光電信號(hào)感應(yīng)裝置，分別作為傳送車減速控制，以及傳送車112停止控制。
[0310]該監(jiān)控系統(tǒng)的工作過程如下:當(dāng)傳送車112將需鍍膜的基片帶入該生產(chǎn)線時(shí)，分別通過相應(yīng)的光電信號(hào)感應(yīng)裝置實(shí)時(shí)獲得傳送車112所在生產(chǎn)線的具體位置，并且根據(jù)傳送車所在位置做出運(yùn)輸速度的調(diào)整，如在鍍膜腔室時(shí)，將使得傳送車112的速度極慢等；此夕卜，為了匹配相應(yīng)工位的操作需求，亦可在各工位增設(shè)相應(yīng)的停止信號(hào)發(fā)射器，當(dāng)傳送車112上的光電信號(hào)感應(yīng)裝置獲得相應(yīng)停止信號(hào)時(shí)，將有本監(jiān)控系統(tǒng)控制其自動(dòng)停止在相應(yīng)的工位。此外，其中鍍膜流水線尤其是鍍膜腔室在運(yùn)行時(shí)，將會(huì)勻速緩慢的裝片裝置12，此時(shí)光電感應(yīng)用于感應(yīng)基架位置的作用，而僅在裝片裝置12卡在或者掉下傳動(dòng)輪，裝片裝置12相撞時(shí)，進(jìn)行設(shè)備維修需要停止裝片裝置12運(yùn)行，其余時(shí)間鍍膜流水線光電僅感應(yīng)位置，由緩沖室的控制速度快慢的變化。
[0311]本實(shí)用新型提供的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的工作流程簡要說明如下:[0312]將所需鍍膜的基片裝入裝片裝置后，監(jiān)控系統(tǒng)檢測到裝片裝置已到達(dá)鍍膜流水線入口處，將控制入口處的旋轉(zhuǎn)門閥開啟，裝片裝置12將在傳動(dòng)機(jī)構(gòu)29驅(qū)動(dòng)下進(jìn)入鍍膜流水線20，此時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)將實(shí)時(shí)監(jiān)測基片所在的腔室的真空度及其他工藝指標(biāo)，并均測得的指標(biāo)調(diào)整相關(guān)參數(shù)；當(dāng)鍍膜結(jié)束后，已鍍膜的裝片裝置到達(dá)鍍膜流水線的出口處，此時(shí)同入口處的旋轉(zhuǎn)門閥，出口處的旋轉(zhuǎn)門閥開啟，基片移出鍍膜流水線20 ;可通過機(jī)械手或人工操作將基片放至旋轉(zhuǎn)平臺(tái)結(jié)構(gòu)14上，帶旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)14旋轉(zhuǎn)180°后，基片進(jìn)入傳送流水線10，繼而有傳送裝置11繼續(xù)運(yùn)輸基片，此時(shí)，可以檢測基片鍍膜的效果，如需再進(jìn)一步進(jìn)入鍍膜流水線20，可再通過旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)180°后再次進(jìn)入鍍膜流水線20 ;或鍍膜完畢，包裝出廠。
[0313]此處應(yīng)該注意的是，為了突出并簡化本實(shí)用新型提供的生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，省略了生產(chǎn)線中其他與現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)或設(shè)備，該生產(chǎn)線可根據(jù)鍍膜產(chǎn)品的需求靈活調(diào)整，與現(xiàn)有技術(shù)的各類標(biāo)準(zhǔn)片匹配使用，在此不作贅述。
[0314]靶材利用率及鍍膜穩(wěn)定性和均勻性檢測實(shí)驗(yàn)
[0315]采用金屬靶材-鈮靶為例，采用現(xiàn)有技術(shù)中計(jì)算靶材利用率的方法(趙嘉學(xué)等，常見磁控濺射靶材利用率及其計(jì)算方法的探討，核聚變與等離子體物理，2007年3月)，計(jì)算多個(gè)相同上述結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)線的陰極裝置中的同一靶材利用率及靶材更換周期，具體數(shù)據(jù)如表1所示:
[0316]表1
[0317]
【權(quán)利要求】
1.一種立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于，包括:一傳送流水線和一鍍膜流水線，鍍膜流水線與傳送流水線連接，傳送流水線傳送基片，鍍膜流水線包括進(jìn)口腔室、進(jìn)口過渡腔室、進(jìn)口緩沖腔室、鍍膜腔室、出口緩沖腔室、出口過渡腔室和出口腔室，所述進(jìn)口腔室、進(jìn)口過渡腔室、進(jìn)口緩沖腔室、鍍膜腔室、出口緩沖腔室、出口過渡腔室和出口腔室依次首尾連接，所述基片通過進(jìn)口腔室從傳送流水線進(jìn)入鍍膜流水線，通過出口腔室從鍍膜流水線移出。
2.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述傳送流水線與鍍膜流水線平行設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:鍍膜腔室中設(shè)有一移動(dòng)式陰極裝置，所述移動(dòng)式的陰極裝置的靶材轟擊軌道非固定。
4.如權(quán)利要求3所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述移動(dòng)式陰極裝置包括陰極組件和平移組件，所述陰極組件與平移組件固定連接且隨平移組件的運(yùn)動(dòng)平動(dòng)，其中陰極為平面磁控濺射陰極；所述陰極組件與平移組件通過一絕緣件連接。
5.如權(quán)利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:陰極組件包括靶材、靶背板、磁鐵和軛鐵，靶背板四周圍有絕緣墊，靶材固定連接靶背板，磁鐵固定于軛鐵上，且軛鐵連接絕緣件。
6.如權(quán)利要求5所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:陰極組件中的磁鐵可選用現(xiàn)有技術(shù)中的各種磁鐵陣，或多個(gè)磁鐵排布而成，或定制成型磁鐵而成。
7.如權(quán)利要求6所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:靶背板與磁鐵相對(duì)面開有一凹槽，磁鐵位于所述凹槽內(nèi)但不接觸所述靶背板。
8.如權(quán)利要求7所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述磁鐵隨平移組件在凹槽內(nèi)平動(dòng)。
9.如權(quán)利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述平移組件由外至內(nèi)依次為移動(dòng)件、滑軌件、安裝件和支撐件，其中移動(dòng)件分別與絕緣件和滑軌件中的滑塊連接，安裝件與滑軌件中的滑軌連接，且安裝件與支撐件連接。
10.如權(quán)利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述平移組件由外至內(nèi)依次為移動(dòng)件、滾珠絲杠件、安裝件和支撐件，其中移動(dòng)件分別與絕緣件和滾珠絲杠件中的螺母連接，安裝件與滾珠絲杠件中的固定件連接，且安裝件與支撐件連接。
11.如權(quán)利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述平移組件包括一移動(dòng)件、一滑軌件、一滾珠絲杠件、安裝件和支撐件；滑軌件包括一滑塊和一滑軌，滑塊與滑軌配合，滑塊在滑軌上滑動(dòng)；滾珠絲杠件包括一螺母、一螺桿和一安裝座，螺桿安裝在安裝座上，螺桿與螺母配合，螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，螺母沿螺桿平動(dòng)；移動(dòng)件上分別連接滑軌件中的滑塊和滾珠絲杠件的螺母，安裝件分別連接滑軌件中的滑軌和滾珠絲杠件的安裝座；此時(shí)移動(dòng)件在滑軌件和滾珠絲杠件的共作用下平動(dòng)。
12.如權(quán)利要求10或11所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:滾珠絲杠件電連接一電機(jī)，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠件中的螺母平動(dòng)。
13.如權(quán)利要求12所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:電機(jī)為一伺服電機(jī)，通過一同步帶傳動(dòng)滾珠絲杠件。
14.如權(quán)利要求11所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:平移組件至少包括兩個(gè)滑軌件且分布于滾珠絲杠件的兩側(cè)，以更好的承重陰極組件，使該陰極裝置平動(dòng)更為穩(wěn)定均勻。
15.如權(quán)利要求10或11所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:平移組件還包括一光電感應(yīng)器，分設(shè)于滾珠絲杠件的螺桿的兩側(cè)。
16.如權(quán)利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述陰極裝置還包括一連接件，該連接件與真空鍍膜生產(chǎn)線中的鍍膜腔室的箱體活動(dòng)連接，且平移組件連接該連接件。
17.如權(quán)利要求16所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述活動(dòng)連接為鉸接。
18.如權(quán)利要求16所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:當(dāng)該陰極裝置為多個(gè)時(shí)，該連接件為同一連接件，此時(shí)，多個(gè)陰極裝置共連接于該連接件上。
19.如權(quán)利要求16所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:連接件為一支撐板。
20.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述鍍膜流水線設(shè)有至少一個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于鍍膜流水線的各腔室，基片在鍍膜流水線的各腔室內(nèi)通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)輸。
21.如權(quán)利要求20所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一主動(dòng)組件、一從動(dòng)組 件和一磁耦合器，主動(dòng)組件和從動(dòng)組件分別設(shè)置在磁耦合器的兩側(cè)，主動(dòng)組件受電驅(qū)動(dòng)，通過磁耦合器將主動(dòng)組件的運(yùn)動(dòng)傳遞給從動(dòng)組件。
22.如權(quán)利要求21所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:從動(dòng)組件位于鍍膜流水線的各腔室內(nèi)，主動(dòng)組件位于各腔室外，磁耦合器貫穿密封于各腔室的箱體。
23.如權(quán)利要求21所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:主動(dòng)組件包括一主動(dòng)軸，從動(dòng)組件包括一從動(dòng)軸和一傳動(dòng)輪，從動(dòng)軸帶動(dòng)傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)軸和從動(dòng)軸設(shè)置在磁耦合器的兩側(cè)，磁耦合器連接主動(dòng)軸和從動(dòng)軸。
24.如權(quán)利要求23所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:主動(dòng)組件進(jìn)一步包括一帶輪和一皮帶，帶輪設(shè)置在主動(dòng)軸上，皮帶連接鍍膜流水線中的電機(jī)和主動(dòng)軸上的帶輪，主動(dòng)軸受鍍膜流水線中電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
25.如權(quán)利要求23所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:主動(dòng)軸包括一主動(dòng)軸第一端部、一主動(dòng)軸第二端部和一主動(dòng)軸體，從主動(dòng)軸第一端部向主動(dòng)軸第二端部延伸形成主動(dòng)軸體,主動(dòng)軸第二端部與磁力耦合器連接。
26.如權(quán)利要求25所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:帶輪設(shè)置在主動(dòng)軸第一端部通過鍵連接。
27.如權(quán)利要求25所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:主動(dòng)組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)主動(dòng)軸鍵，主動(dòng)軸鍵設(shè)置在帶輪和主動(dòng)軸第一端部之間。
28.如權(quán)利要求25所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:主動(dòng)軸第一端部設(shè)有至少一個(gè)主動(dòng)軸鍵槽，主動(dòng)軸鍵槽的寬度與主動(dòng)軸鍵的寬度一致，帶輪上進(jìn)一步包括一帶輪內(nèi)孔和至少一個(gè)帶輪鍵槽，帶輪內(nèi)孔的內(nèi)徑與主動(dòng)軸第一端部的直徑一致，帶輪鍵槽自帶輪內(nèi)孔上去除材料形成，帶輪鍵槽的寬度與主動(dòng)軸鍵的寬度一致。
29.如權(quán)利要求28所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:當(dāng)帶輪設(shè)置在主動(dòng)軸第一端部上時(shí)，主動(dòng)軸鍵槽與帶輪鍵槽連通，主動(dòng)軸鍵安置于主動(dòng)軸鍵槽與帶輪鍵槽之間，主動(dòng)軸鍵槽和帶輪鍵槽的深度不小于主動(dòng)軸鍵的厚度。
30.如權(quán)利要求28所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:主動(dòng)軸鍵槽的數(shù)量與主動(dòng)軸鍵的數(shù)量一致。
31.如權(quán)利要求23所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:從動(dòng)軸進(jìn)一步包括一從動(dòng)軸第一端部、一從動(dòng)軸第二端部和一從動(dòng)軸體，從動(dòng)軸第一端部向從動(dòng)軸第二端部延伸形成從動(dòng)軸體，從動(dòng)軸第一端部與磁力稱合器連接。
32.如權(quán)利要求31所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:傳動(dòng)輪設(shè)置在從動(dòng)軸上，傳動(dòng)輪和從動(dòng)軸通過鍵連接。
33.如權(quán)利要求31所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:從動(dòng)組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)從動(dòng)軸鍵，從動(dòng)軸鍵設(shè)置在從動(dòng)軸和傳動(dòng)輪之間。
34.如權(quán)利要求33所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:從動(dòng)軸進(jìn)一步包括至少一個(gè)從動(dòng)軸鍵槽，從動(dòng)軸鍵槽自從動(dòng)軸第二端部去除材料形成，從動(dòng)軸鍵槽的寬度與從動(dòng)軸鍵的寬度一致。
35.如權(quán)利要求34所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:傳動(dòng)輪進(jìn)一步包括一傳動(dòng)輪內(nèi)孔和至少一個(gè)傳動(dòng)輪鍵槽，傳動(dòng)輪鍵槽自傳動(dòng)輪內(nèi)孔上去除材料形成，傳動(dòng)輪內(nèi)孔的直徑與從動(dòng)軸第二端部的直徑一致，傳動(dòng)輪鍵槽的寬度與傳動(dòng)輪鍵的寬度一致。
36.如權(quán)利要求35所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:當(dāng)傳動(dòng)輪安裝在從動(dòng)軸第二端部時(shí)，從動(dòng)軸上的從動(dòng)軸鍵槽與傳動(dòng)輪鍵槽連通，從動(dòng)軸鍵安置在從動(dòng)軸鍵槽與傳動(dòng)輪鍵槽之間，從動(dòng)軸鍵槽和傳動(dòng)輪鍵槽的深度不小于從動(dòng)軸鍵的厚度。
37.如權(quán)利要求35所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:從動(dòng)組件進(jìn)一步包括一傳動(dòng)輪固定座，傳動(dòng)輪固定座設(shè)置在從動(dòng)軸上，傳動(dòng)輪與傳動(dòng)輪固定座通過螺栓連接，防止傳動(dòng)輪從從動(dòng)軸上脫落。
38.如權(quán)利要求28所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括一密封法蘭，密封法蘭設(shè)置在磁力耦合器上，密封法蘭進(jìn)一步包括一密封墊圈和一墊圈槽，密封墊圈放置在墊圈槽內(nèi)。密封法蘭將磁力耦合器安裝在真空鍍膜線中。
39.如權(quán)利要求38所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:該主動(dòng)軸和從動(dòng)軸采用磁性材料制成。
40.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述鍍膜流水線設(shè)有與各功能腔室數(shù)量匹配的門體機(jī)構(gòu)，所述門體結(jié)構(gòu)配置于各功能腔室，包括室門和門框，室門的兩側(cè)均與門框活動(dòng)連接，各功能腔室配置的門體機(jī)構(gòu)尺寸及配置各功能腔室的方式均一致。
41.如權(quán)利要求40所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述門體機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括多組密封組件，室門的兩側(cè)與門框通過多組密封組件與門框可拆卸活動(dòng)連接，優(yōu)選為螺接。
42.如權(quán)利要求41所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:室門兩側(cè)的密封組件位置對(duì)應(yīng)。
43.如權(quán)利要求41所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:密封組件包括鉸鏈件和緊鎖件，鉸鏈件連接室門與門框，室門經(jīng)鉸鏈件開合，緊鎖件安裝在門框上。
44.如權(quán)利要求43所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:鉸鏈件包括第一鉸鏈件、第二鉸鏈件和輔助鉸鏈件，其中第一鉸鏈件與室門連接，第二鉸鏈件與門框連接，輔助鉸鏈件分別連接第一鉸鏈件和第二鉸鏈件；第一鉸鏈件包括第一鉸鏈座和第一鉸鏈軸，第二鉸鏈件包括第二鉸鏈座和第二鉸鏈軸，第一鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第一鉸鏈軸轉(zhuǎn)動(dòng)，第二鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第二鉸鏈軸轉(zhuǎn)動(dòng)，且第二鉸鏈座與輔助鉸鏈座間設(shè)有軸承。
45.如權(quán)利要求44所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第一凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第一凹槽內(nèi)與第一鉸鏈座同軸轉(zhuǎn)動(dòng)；相應(yīng)地，第二鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第二凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第二凹槽內(nèi)與第二鉸鏈座同軸轉(zhuǎn)動(dòng)；第一凹槽與第二凹槽開口方向相反。
46.如權(quán)利要求44所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一鉸鏈座與第二鉸鏈座等高等長，第二鉸鏈座與第一鉸鏈座不等寬。
47.如權(quán)利要求45所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一凹槽設(shè)置在第一鉸鏈座的中段，同樣地，第二凹槽設(shè)置在第二鉸鏈座的中段。
48.如權(quán)利要求47所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述第一鉸鏈座與輔助鉸鏈件間通過一螺栓固定，且該螺栓與室門連接。
49.如權(quán)利要求43所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:緊鎖件包括固定座、固定元件和壓緊螺釘，固定座通過螺栓固定在鍍膜生產(chǎn)線各功能腔室的門框上，固定元件通過壓緊螺釘活動(dòng)安裝在固定座上。
50.如權(quán)利要求49所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:壓緊螺釘與固定元件之間活動(dòng)連接，固 定元件經(jīng)壓緊螺釘安裝在門框上時(shí)可旋轉(zhuǎn)。
51.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述鍍膜流水線中包括至少一個(gè)管道耦合組件，所述管道耦合組件包括上耦合件和下耦合件，上下耦合件活動(dòng)連接并密封，上下耦合件分別固定連接同一管道；上下耦合件耦合密封時(shí)，管道連通；上下耦合件分離時(shí)，管道斷開。
52.如權(quán)利要求51所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:上耦合件包括上固定法蘭和上管道接頭，其中上固定法蘭和上管道接頭固定連接相通，且連接處密封。
53.如權(quán)利要求52所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:下耦合件包括耦合法蘭、波紋管、下固定法蘭和下管道接頭，其中耦合法蘭、波紋管、下固定法蘭和下管道接頭依次連接相通，且各連接處均密封。
54.如權(quán)利要求53所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:波紋管與耦合法蘭通過壓塊固定。
55.如權(quán)利要求52或53所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:連接處經(jīng)焊接密封。
56.如權(quán)利要求53所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:上下耦合件經(jīng)上固定法蘭與耦合法蘭耦合密封實(shí)現(xiàn)兩者耦合密封。
57.如權(quán)利要求56所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:下固定法蘭與一移動(dòng)組件相連，且在移動(dòng)組件作用下傳動(dòng)下固定法蘭使得下耦合件運(yùn)動(dòng)。
58.如權(quán)利要求57所述的立式真空灘射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:管道耦合組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)氣缸，氣缸設(shè)置在耦合法蘭和下固定法蘭之間，使耦合法蘭的上下運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)耦合法蘭與上固定法蘭的分合。
59.如權(quán)利要求58所述的立式真空派射鍍膜生產(chǎn)線,其特征在于:氣缸為兩個(gè),分設(shè)于波紋管的兩側(cè)。
60.如權(quán)利要求58所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:氣缸為薄型氣缸。
61.如權(quán)利要求53所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:波紋管為可壓縮金屬波紋管。
62.如權(quán)利要求58所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:氣缸包括一氣管連接件，氣缸通過氣管連接件與耦合法蘭連接。
63.如權(quán)利要求53所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:耦合法蘭開口處設(shè)有濾網(wǎng)。
64.如權(quán)利要求52或53所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:各連接處均設(shè)有密封墊圈。
65.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線包括至少一個(gè)裝片裝置，所述裝片裝置包括一固定組件和一調(diào)節(jié)組件，調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)組件的位置安裝不同規(guī)格的基片。
66.如權(quán)利要求65所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:固定組件包括第一支撐桿、第二支撐桿、第一擋板和第二擋板，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一方形框架，第一支撐桿和第二支撐桿上分別設(shè)有至少兩個(gè)導(dǎo)槽區(qū)域；調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，調(diào)節(jié)組件包括至少兩個(gè)調(diào)節(jié)梁和至少一組定位件，定位件可拆卸的安裝在調(diào)節(jié)梁上，調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導(dǎo)槽區(qū)域上。
67.如權(quán)利要求66所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一導(dǎo)槽和一安置區(qū)，導(dǎo)槽設(shè)置在安置區(qū)內(nèi)，導(dǎo)槽呈豎直方向。
68.如權(quán)利要求67所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:安置區(qū)的長度不小于導(dǎo)槽的長度，安置區(qū)的寬度不小于導(dǎo)槽的寬度。
69.如權(quán)利要求67所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:導(dǎo)槽區(qū)域包括第一導(dǎo)槽區(qū)域和第二導(dǎo)槽區(qū)域，第一導(dǎo)槽區(qū)域的面積大于第二導(dǎo)槽區(qū)域。
70.如權(quán)利要求69所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一導(dǎo)槽區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿的兩端部，第二導(dǎo)槽區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿中間部位，第一導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一第一導(dǎo)槽和第一安置區(qū)，第一導(dǎo)槽呈豎直方向設(shè)置在所述第一安置區(qū)內(nèi)，第一安置區(qū)的長度不小于所述第一導(dǎo)槽的長度，第一安置區(qū)的寬度不小于第一導(dǎo)槽的寬度；第二導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一第二導(dǎo)槽和一第二安置區(qū)，第二導(dǎo)槽呈豎直方向設(shè)置在第二安置區(qū)內(nèi)，第二安置區(qū)的長度不小于第二導(dǎo)槽的長度，第二安置區(qū)的寬度不小于第二導(dǎo)槽的寬度，第一安置區(qū)的面積大于第二安置區(qū)，第一導(dǎo)槽的長度長于第二導(dǎo)槽。
71.如權(quán)利要求66所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:固定組件的第一支撐桿和第二支撐桿上進(jìn)一步分別設(shè)有中心安置區(qū)域，中心導(dǎo)位區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿中間，中心導(dǎo)位區(qū)域進(jìn)一步包括一中心安置孔和一中心安置區(qū)，中心安置孔設(shè)置在中心安置區(qū)的中心，中心安置區(qū)自第一支撐桿和第二支撐桿上去除材料形成，中心安置區(qū)的深度與安置區(qū)一致。
72.如權(quán)利要求71所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導(dǎo)槽區(qū)域和/或中心安置區(qū)域，調(diào)節(jié)梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于橫梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致。
73.如權(quán)利要求72所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一端部和第二端部的厚度與安置區(qū)的深度一致。
74.如權(quán)利要求72所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一端部上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔，調(diào)節(jié)孔的直徑與導(dǎo)槽的寬度一致。
75.如權(quán)利要求72所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第二端部上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽的長度大于調(diào)節(jié)孔的直徑，調(diào)節(jié)槽的寬度與導(dǎo)槽的寬度一致，這樣防止調(diào)節(jié)梁在真空鍍膜腔室中出現(xiàn)熱變形現(xiàn)象，導(dǎo)致裝片裝置上基片不能穩(wěn)固安裝。
76.如權(quán)利要求66所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:調(diào)節(jié)梁進(jìn)一步包括一第一凹槽、一第二凹槽和一間隔柱，第一凹槽和第二凹槽分列在間隔柱的兩側(cè)，第一凹槽和第二凹槽去除材料形成，第一凹槽和第二凹槽的深度與安置區(qū)的深度一致。
77.如權(quán)利要求66所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，第一定位元件拆卸安裝在一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件可拆卸安裝在另一調(diào)節(jié)梁上，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件。
78.如權(quán)利要求77所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一定位元件和第二定位元件通過螺釘安裝在調(diào)節(jié)梁上。
79.如權(quán)利要求77所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一定位元件為一彈性元件；第二定位元件為一卡槽。
80.如權(quán)利要求77所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:一組定位件可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁上時(shí)，第一定位元件安裝在一調(diào)節(jié)梁的第二凹槽上，第二定位元件安裝在另一調(diào)節(jié)梁的第一凹槽上；換句話說，一個(gè)調(diào)節(jié)梁上可同時(shí)安裝第一定位元件和第二定位元件，第一定位元件安裝在第二凹槽上，第二定位元件安裝在第一凹槽上；在同一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件安裝位置高于第一定位元件，然而在一組定位件時(shí)，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件。
81.如權(quán)利要求65所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第二擋板上設(shè)置有移動(dòng)軸，移動(dòng)軸與第二擋板活動(dòng)連接。
82.如權(quán)利要求81所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:移動(dòng)軸的長度不小于第二擋板的長度。
83.如權(quán)利要求81所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:移動(dòng)軸的長度與第二擋板的長度一致。
84.如權(quán)利要求65所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述鍍膜流水線包括至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)門閥，所述旋轉(zhuǎn)門閥安裝在進(jìn)口腔室和出口腔室與傳送流水線接觸的腔壁上，旋轉(zhuǎn)門閥包括一門閥組件和一門閥驅(qū)動(dòng)組件，門閥驅(qū)動(dòng)組件與門閥組件一端連接，通過門閥驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)門閥組件旋轉(zhuǎn)。
85.如權(quán)利要求84所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)門閥進(jìn)一步包括一門閥驅(qū)動(dòng)組件，兩門閥驅(qū)動(dòng)組件分別與門閥組件的兩端連接，兩門閥驅(qū)動(dòng)組件同步驅(qū)動(dòng)門閥組件旋轉(zhuǎn)。
86.如權(quán)利要求85所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:門閥組件包括一門閥、一旋轉(zhuǎn)軸和至少一個(gè)門閥連接件，門閥連接件連接門閥和旋轉(zhuǎn)軸；門閥驅(qū)動(dòng)組件包括一氣缸和一驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)器連接氣缸和旋轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動(dòng)器進(jìn)一步包括一第一驅(qū)動(dòng)軸、一第二驅(qū)動(dòng)軸和一驅(qū)動(dòng)軸套，第一驅(qū)動(dòng)軸與氣缸連接，第二驅(qū)動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)軸連接，第一驅(qū)動(dòng)軸和第二驅(qū)動(dòng)軸安裝在驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)。
87.如權(quán)利要求86所述的立式真空派射鍍膜生產(chǎn)線,其特征在于:氣缸中包括一齒條和一齒輪，齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，齒輪與第一驅(qū)動(dòng)軸連接；氣缸中齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)的角度為O~180度，齒輪帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸的角度為O~180度。
88.如權(quán)利要求87所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:氣缸中齒條帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)的角度為O~180度，齒輪帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)軸的角度為O~95度。
89.如權(quán)利要求87所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一驅(qū)動(dòng)軸和第二驅(qū)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)軸套活動(dòng)連接。
90.如權(quán)利要求87所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一驅(qū)動(dòng)軸和第二驅(qū)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)軸套通過鍵連接，第一驅(qū)動(dòng)軸通過驅(qū)動(dòng)軸套帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)。
91.如權(quán)利要求87所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:驅(qū)動(dòng)軸套進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)孔、兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽和兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵，驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)孔與兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽連通，兩驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸套的兩端部，驅(qū)動(dòng)軸套鍵槽的寬度與驅(qū)動(dòng)軸套鍵一致，驅(qū)動(dòng)軸套鍵設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)。
92.如權(quán)利要求8 6所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)一步包括一第一驅(qū)動(dòng)軸第一端部、一第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部和第一驅(qū)動(dòng)軸體，第一驅(qū)動(dòng)軸體連接第一驅(qū)動(dòng)軸第一端部和第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部，第一驅(qū)動(dòng)軸第一端部與氣缸連接，第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部套入驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)。
93.如權(quán)利要求86所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一驅(qū)動(dòng)軸第二端部設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)軸鍵槽，第一驅(qū)動(dòng)軸鍵槽的寬度與驅(qū)動(dòng)軸套鍵一致。
94.如權(quán)利要求86所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第二驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部、一第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部和第二驅(qū)動(dòng)軸體，第二驅(qū)動(dòng)軸體連接第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部和第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部，第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部套入驅(qū)動(dòng)軸套內(nèi)，第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部與旋轉(zhuǎn)軸連接。
95.如權(quán)利要求92所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第二驅(qū)動(dòng)軸第一端部設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)軸鍵槽，第二驅(qū)動(dòng)軸鍵槽的寬度與驅(qū)動(dòng)軸套鍵一致。
96.如權(quán)利要求95所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第二驅(qū)動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)軸活動(dòng)連接，第二驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。
97.如權(quán)利要求86所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)一步在兩端部分別設(shè)有一旋轉(zhuǎn)軸連接端，第二驅(qū)動(dòng)軸第二端部進(jìn)一步設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)軸連接端，旋轉(zhuǎn)軸通過兩端的旋轉(zhuǎn)軸連接端分別與兩組驅(qū)動(dòng)組件中第二驅(qū)動(dòng)軸的第二驅(qū)動(dòng)軸連接端連接。
98.如權(quán)利要求97所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)軸連接端為凹端部，第二驅(qū)動(dòng)軸連接端為凸端部，第二驅(qū)動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)軸通過第二驅(qū)動(dòng)軸連接端與旋轉(zhuǎn)軸連接端配合連接，旋轉(zhuǎn)軸連接端與第二驅(qū)動(dòng)軸連接端直徑一致。
99.如權(quán)利要求97所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:驅(qū)動(dòng)器進(jìn)一步包括一保護(hù)軸套，第二驅(qū)動(dòng)軸和旋轉(zhuǎn)軸套入保護(hù)軸套內(nèi)，保護(hù)軸套的內(nèi)徑與旋轉(zhuǎn)軸連接端和第二驅(qū)動(dòng)軸連接端直徑一致。
100.如權(quán)利要求86所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:門閥連接件進(jìn)一步包括一連接軸套和一門閥連接座，門閥連接座自連接軸套的一側(cè)外壁延伸形成，旋轉(zhuǎn)軸套入連接軸套內(nèi)。
101.如權(quán)利要求100所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)軸套入連接軸套內(nèi)通過鍵槽連接。
102.如權(quán)利要求100所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:門閥連接件進(jìn)一步包括一連接鍵，連接鍵設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸和連接軸套之間。
103.如權(quán)利要求102所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:連接軸套進(jìn)一步包括一連接軸套內(nèi)孔和一連接軸套鍵槽，連接軸套內(nèi)孔的孔徑與旋轉(zhuǎn)軸的直徑一致，連接軸套鍵槽與連接軸套內(nèi)孔連通，連接軸套鍵槽與連接鍵的寬度一致。
104.如權(quán)利要求102所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸鍵槽，旋轉(zhuǎn)軸鍵槽的寬度與連接鍵的寬度一致。
105.如權(quán)利要求86所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:門閥進(jìn)一步包括至少一個(gè)安裝槽，安裝槽自門閥上去除材料形成，門閥連接件的門閥連接座安裝在安裝槽內(nèi)。
106.如權(quán)利要求105所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:安裝槽的數(shù)量與門閥連接件的數(shù)量對(duì) 應(yīng)。
107.如權(quán)利要求105所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:安裝槽的大小與門閥連接座的大小一致。
108.如權(quán)利要求105所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:門閥連接座可拆卸安裝在安裝槽內(nèi)。
109.如權(quán)利要求86所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:驅(qū)動(dòng)組件進(jìn)一步包括一固定法蘭和一固定座，固定法蘭與氣缸連接，將氣缸固定在鍍膜流水線的進(jìn)口腔/出口腔的腔壁上，同時(shí)減少氣缸的漏氣情況，驅(qū)動(dòng)軸套設(shè)置在固定法蘭內(nèi)，固定座與固定法蘭連接，進(jìn)一步支撐氣缸，同時(shí)保持第一驅(qū)動(dòng)軸、第二驅(qū)動(dòng)軸和旋轉(zhuǎn)軸保持豎直同軸心。
110.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述傳送流水線包括至少一個(gè)傳送裝置所述傳送裝置包括軌道和至少一個(gè)傳送車，軌道帶電，傳送車包括至少兩個(gè)電極引入件，電極引入件與軌道電連接驅(qū)動(dòng)傳送車在軌道上運(yùn)行；裝片裝置安裝在傳送裝置上。
111.如權(quán)利要求110所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:軌道包括一陽極導(dǎo)軌和一陰極導(dǎo)軌，陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌分別電連接降壓器使其通電，兩個(gè)電極引入件分別與陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌連接形成一個(gè)回路。
112.如權(quán)利要求111所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:軌道進(jìn)一步包括兩絕緣座，兩絕緣座分別位于陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌下方，處于陽極導(dǎo)軌、陰極導(dǎo)軌與地面之間。
113.如權(quán)利要求111所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:傳送車在軌道上運(yùn)行，傳送車進(jìn)一步包括一車架、一車輪對(duì)、一電驅(qū)動(dòng)件和一升壓變壓器，車輪對(duì)在軌道上運(yùn)行，車架固定在車輪對(duì)上，電驅(qū)動(dòng)件與車輪對(duì)電連接，電驅(qū)動(dòng)件和升壓變壓器安裝在車架上。
114.如權(quán)利要求113所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:軌道上通有不高于36V電壓，兩電極引入件安裝在車架上，兩電極引入件的一端分別與陽極導(dǎo)軌和陰極導(dǎo)軌電連接，兩電極引入件的另一端與升壓變壓器電連接，升壓變壓器同時(shí)與電驅(qū)動(dòng)件電連接。
115.如權(quán)利要求114所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:車架包括相連的上車架和下車架裝片裝置安裝在上車架上，下車架與車輪對(duì)固定連接，電驅(qū)動(dòng)件與車輪對(duì)電連接，電驅(qū)動(dòng)件、升壓變壓器和電極引入件安裝在下車架上。
116.如權(quán)利要求115所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:下車架的質(zhì)量與裝片裝置裝載的基片質(zhì)量成正比。
117.如權(quán)利要求113所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:車輪對(duì)分為一主動(dòng)車輪對(duì)和一從動(dòng)車輪對(duì)，主動(dòng)車輪對(duì)與電驅(qū)動(dòng)件電連接，電驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)主動(dòng)車輪對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)輪對(duì)受主動(dòng)輪對(duì)牽引而轉(zhuǎn)動(dòng)。
118.如權(quán)利要求117所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:車輪對(duì)包括車輪和一絕緣內(nèi)襯,絕緣內(nèi)襯與車輪連接。
119.如權(quán)利要求117所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:傳送車上進(jìn)一步包括一傳送座，通過傳送座傳送裝片裝置，傳送座進(jìn)一步包括一傳送電機(jī)、至少兩個(gè)傳送元件和一傳送帶，傳送 電機(jī)與電驅(qū)動(dòng)件電連接，傳送電機(jī)與至少一個(gè)傳送元件電連接，且兩個(gè)傳送元件經(jīng)所述傳送帶傳送驅(qū)動(dòng)，傳送電機(jī)帶動(dòng)傳送元件同步運(yùn)動(dòng)。
120.如權(quán)利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:所述立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線還設(shè)有至少一基片識(shí)別組件，該基片識(shí)別組件安裝在裝片裝置和傳送裝置上，該基片識(shí)別組件包括:至少η個(gè)識(shí)別孔(n ^ I)和一識(shí)別器，識(shí)別孔設(shè)置在裝片裝置上，識(shí)別器安裝在傳送裝置上，識(shí)別器進(jìn)一步包括一紅外線發(fā)射單元、一紅外線接收單元和一轉(zhuǎn)換單元，轉(zhuǎn)換單元與紅外線接收單元連接，紅外線發(fā)射單元與識(shí)別孔的高度一致。
121.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:識(shí)別孔設(shè)置在裝片裝置的第二擋板上，識(shí)別器設(shè)置在傳送裝置車架上。
122.如權(quán)利要求121所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:紅外線發(fā)射單元和紅外線接收單元整合安裝。
123.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:紅外線發(fā)射單元和紅外線接收單元分別安裝在傳送裝置車架的兩側(cè)，紅外線發(fā)射單元和紅外線接收單元對(duì)應(yīng)，紅外線發(fā)射單元進(jìn)一步包括至少一個(gè)紅外線發(fā)射元件，紅外線接收單元進(jìn)一步包括一紅外線接收元件，紅外線發(fā)射元件和紅外線接收元件對(duì)應(yīng)，紅外線發(fā)射元件和紅外線接收元件組合在一起與識(shí)別孔對(duì)應(yīng)。
124.如權(quán)利要求121所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:識(shí)別孔進(jìn)一步分為開放識(shí)別孔和封閉識(shí)別孔，封閉識(shí)別孔與開放識(shí)別孔的直徑一致，封閉識(shí)別孔是通過將開放識(shí)別孔封閉形成。
125.如權(quán)利要求124所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:紅外線發(fā)射元件和紅外線接收元件對(duì)應(yīng)一開放識(shí)別孔或一封閉識(shí)別孔，當(dāng)紅外線發(fā)射元件對(duì)應(yīng)開放識(shí)別孔時(shí)，紅外線發(fā)射元件發(fā)射的紅外線通過開放識(shí)別孔，并通過紅外線接收元件接收紅外線，接收元件傳遞一種信號(hào)給轉(zhuǎn)換單元；當(dāng)紅外線發(fā)射元件對(duì)應(yīng)封閉識(shí)別孔時(shí)，紅外線發(fā)射元件發(fā)射的紅外線不能通過封閉識(shí)別孔，紅外線接收不到紅外線發(fā)射元件發(fā)射的紅外線，紅外線接收元件傳遞另一種類型信號(hào)給轉(zhuǎn)換單元。
126.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:轉(zhuǎn)換單元將紅外線接收元件接收到紅外線發(fā)射元件發(fā)出的紅外線發(fā)出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為“ I ”，轉(zhuǎn)換單元將紅外線接收元件未接收到紅外線發(fā)射元件發(fā)出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為“0”，對(duì)應(yīng)二進(jìn)制。
127.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:基片識(shí)別組件的識(shí)別基片類型的數(shù)量依據(jù)識(shí)別孔的數(shù)量確定。
128.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:基片識(shí)別組件識(shí)別基片類型的數(shù)量為2η，η>1。
129.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:基片識(shí)別組件識(shí)別基片類型的數(shù)量為2η，5≥η≥I。
130.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:基片識(shí)別組件進(jìn)一步包括一識(shí)別控制器，識(shí)別控制器與識(shí)別器的轉(zhuǎn)換單元無線連接，識(shí)別控制器接收轉(zhuǎn)換單元的信號(hào)匯總。
131.如權(quán)利要求120所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:基片識(shí)別組件進(jìn)一步包括一顯示器和一輸入鍵盤，顯示器與識(shí)別控制器連接，輸入鍵盤與控制器連接，通過輸入鍵盤將各種基片型號(hào)輸入控制器內(nèi)，便于通過顯示器顯示。
132.如權(quán)利要求1 所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線還設(shè)置有至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)，分別位于該立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線的兩側(cè)，用于傳送流水線與鍍膜流水線間的基片中轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)，連接傳送流水線和鍍膜流水線。
133.如權(quán)利要求132所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)包括一驅(qū)動(dòng)組件、一旋轉(zhuǎn)組件和一限位組件，旋轉(zhuǎn)組件與驅(qū)動(dòng)組件連接，限位組件固定在旋轉(zhuǎn)組件上，通過驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)，通過限位組件限定旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)角度。
134.如權(quán)利要求133所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:驅(qū)動(dòng)組件包括一旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)、一第一驅(qū)動(dòng)元件和一第二驅(qū)動(dòng)元件，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)與第一驅(qū)動(dòng)元件連接，第一驅(qū)動(dòng)元件與第二驅(qū)動(dòng)元件連接；旋轉(zhuǎn)組件包括一固定架和一旋轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤與第二驅(qū)動(dòng)元件連接，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)安裝在固定架上；限位組件包括一旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器、一感應(yīng)棒和至少一個(gè)感應(yīng)信號(hào)元件，旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器與感應(yīng)棒連接，感應(yīng)信號(hào)元件與電機(jī)連接，感應(yīng)信號(hào)元件設(shè)置在固定架上，旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器和感應(yīng)棒安裝在旋轉(zhuǎn)盤上。
135.如權(quán)利要求134所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)平臺(tái)電機(jī)進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸，第一驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸上。
136.如權(quán)利要求132所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括一控制器，控制器與旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器和電機(jī)連接。
137.如權(quán)利要求134所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第二驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤上，第一驅(qū)動(dòng)元件與第二驅(qū)動(dòng)元件通過齒輪嚙合連接，電機(jī)上的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)元件運(yùn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)元件帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)元件運(yùn)動(dòng)。
138.如權(quán)利要求134所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:第一驅(qū)動(dòng)元件優(yōu)選為一齒輪，第二驅(qū)動(dòng)元件為一回轉(zhuǎn)支承，第一驅(qū)動(dòng)元件與第二驅(qū)動(dòng)元件通過齒輪嚙合連接。
139.如權(quán)利要求134所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括基片傳送組件，基片傳送組件固定在旋轉(zhuǎn)盤上，當(dāng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)基片傳送組件隨同旋轉(zhuǎn)盤運(yùn)動(dòng)。
140.如權(quán)利要求134所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:基片傳送組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)傳動(dòng)座和一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，傳動(dòng)座與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)座傳動(dòng)。
141.如權(quán)利要求134所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)平臺(tái)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)盤的直徑不小于基片或基片架的直徑。
142.如權(quán)利要求134所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤的一端，感應(yīng)棒與感應(yīng)信號(hào)元件之間通過光電距離感應(yīng)，感應(yīng)信號(hào)元件圍繞旋轉(zhuǎn)盤的中心分布在固定架，感應(yīng)信號(hào)元件的分布位置與感應(yīng)棒隨旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的軌跡一致。
143.如權(quán)利要求142所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:感應(yīng)棒與感應(yīng)信號(hào)元件之間的距離不大于IOmm時(shí)，感應(yīng)信號(hào)元件發(fā)射信號(hào)給旋轉(zhuǎn)光電感應(yīng)器。
144.如權(quán)利要求142所述的立式真空濺射鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于:限位組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)導(dǎo)位槽，導(dǎo)位槽圍繞旋轉(zhuǎn)盤的中心分布在旋轉(zhuǎn)盤上，導(dǎo)位槽的分布位置與感應(yīng)棒隨旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的 軌跡一致，感應(yīng)棒安裝在導(dǎo)位槽內(nèi)。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK203807548SQ201320830793
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2013年12月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月16日
【發(fā)明者】黃國興, 孫桂紅, 祝海生, 黃樂, 梁紅, 吳永光 申請(qǐng)人:湘潭宏大真空技術(shù)股份有限公司