濺射鍍膜機(jī)構(gòu)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其中，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)包括艙室，所述艙室內(nèi)部的頂部固定有靶材機(jī)構(gòu)，所述艙室相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上分別設(shè)置有擋板機(jī)構(gòu)，且所述靶材機(jī)構(gòu)位于所述擋板機(jī)構(gòu)的上方，所述擋板機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、擋板和收集板，所述擋板的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接所述艙室內(nèi)側(cè)壁，使得所述擋板能以所述轉(zhuǎn)軸為支點(diǎn)上下翻轉(zhuǎn)，所述擋板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設(shè)置有收集板。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
濺射鍍膜機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及玻璃鍍膜設(shè)備，具體地，涉及濺射鍍膜機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]濺射設(shè)備是設(shè)計(jì)用于在平板建筑玻璃上鍍制低輻射膜、低輻射太陽(yáng)膜以及陽(yáng)光控制膜，玻璃板由水平輸送系統(tǒng)傳送至鍍膜室進(jìn)行處理，鍍膜室頂端設(shè)置有靶材機(jī)構(gòu)，傳統(tǒng)的鍍膜是利用靶材機(jī)構(gòu)直接將靶材粒子濺射至玻璃板上，由于靶材機(jī)構(gòu)的濺射范圍較大，如果不能控制靶材機(jī)構(gòu)的濺射范圍，會(huì)導(dǎo)致處于濺射范圍邊緣的粒子也沉積在玻璃板上，導(dǎo)致玻璃板上的鍍膜效果下降。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明的目的是提供一種濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)不能控制其靶材的濺射范圍，使得濺射不集中，影響玻璃板鍍膜質(zhì)量的問(wèn)題。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其中，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)包括艙室，所述艙室內(nèi)部的頂部固定有靶材機(jī)構(gòu)，所述艙室相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上分別設(shè)置有擋板機(jī)構(gòu)，且所述靶材機(jī)構(gòu)位于所述擋板機(jī)構(gòu)的上方，所述擋板機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、擋板和收集板，所述擋板的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接所述艙室內(nèi)側(cè)壁，使得所述擋板能以所述轉(zhuǎn)軸為支點(diǎn)上下翻轉(zhuǎn)，所述擋板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設(shè)置有收集板。
[0005]優(yōu)選地，所述艙室相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上還分別設(shè)置有貫穿的進(jìn)口和出口，且所述進(jìn)口和所述出口都位于所述擋板機(jī)構(gòu)的下方，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)還包括運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，且所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)依次穿過(guò)所述進(jìn)口和所述出口，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上放置有玻璃基片，所述玻璃基片可以在所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上依次從所述進(jìn)口滑移至所述出口。
[0006]優(yōu)選地，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)至少包括有多個(gè)順次設(shè)置的輥筒，且所述輥筒的表面上沿其軸向方向順次套接有多個(gè)橡膠圈。
[0007]優(yōu)選地，所述橡膠圈的數(shù)量為5-8個(gè)。
[0008]優(yōu)選地，所述艙室的外側(cè)壁上可移動(dòng)地設(shè)有第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)和第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)，所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于所述進(jìn)口的上方，且通過(guò)移動(dòng)所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)可以將所述進(jìn)口遮蔽，所述第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于所述出口的上方，且通過(guò)移動(dòng)所述第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)可以將所述出口遮蔽。
[0009]優(yōu)選地，所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)包括氣缸和蓋門(mén)，所述氣缸的一端固定在所述艙室的外側(cè)壁上，另一端連接蓋門(mén)，所述氣缸可以帶動(dòng)所述蓋門(mén)上下運(yùn)動(dòng)。
[0010]優(yōu)選地，所述蓋門(mén)的外表面包裹有密封橡膠套。
[0011 ]根據(jù)上述技術(shù)方案，本發(fā)明提供了一種濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其中，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)包括艙室，所述艙室內(nèi)部的頂部固定有靶材機(jī)構(gòu)，所述艙室相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上分別設(shè)置有擋板機(jī)構(gòu)，且所述靶材機(jī)構(gòu)位于所述擋板機(jī)構(gòu)的上方，所述擋板機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、擋板和收集板，所述擋板的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接所述艙室內(nèi)側(cè)壁，使得所述擋板能以所述轉(zhuǎn)軸為支點(diǎn)上下翻轉(zhuǎn)，所述擋板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設(shè)置有收集板，工作時(shí)，可以通過(guò)調(diào)整2塊擋板與艙室內(nèi)側(cè)壁的角度，來(lái)控制靶材濺射至玻璃板表面的范圍，使得處于濺射范圍邊緣的粒子落至收集板上，由于收集板是可拆卸地設(shè)置在擋板上，可以方便對(duì)收集板上收集的粒子進(jìn)行回收。
[0012]本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的【具體實(shí)施方式】部分予以詳細(xì)說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0013]附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0014]圖1是本發(fā)明提供的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本發(fā)明提供的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)中輥筒的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0017]1-艙室2-靶材機(jī)構(gòu)
[0018]3-收集板4-擋板
[0019]5-轉(zhuǎn)軸6-氣缸
[0020]7-蓋門(mén)8-玻璃基片
[0021]9-運(yùn)輸機(jī)構(gòu)10-棍筒
[0022]11-橡膠圈
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0024]如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供了一種濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其中，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)包括艙室I，所述艙室I內(nèi)部的頂部固定有靶材機(jī)構(gòu)2，所述艙室I相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上分別設(shè)置有擋板機(jī)構(gòu)，且所述靶材機(jī)構(gòu)2位于所述擋板機(jī)構(gòu)的上方，所述擋板機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸5、擋板4和收集板3，所述擋板4的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸5連接所述艙室I內(nèi)側(cè)壁，使得所述擋板4能以所述轉(zhuǎn)軸5為支點(diǎn)上下翻轉(zhuǎn)，所述擋板4中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設(shè)置有收集板3。工作時(shí)，可以通過(guò)調(diào)整2塊擋板4與艙室I內(nèi)側(cè)壁的角度，來(lái)控制靶材濺射至玻璃板表面的范圍，使得處于濺射范圍邊緣的粒子落至收集板上，由于收集板3是可拆卸地設(shè)置在擋板4上，可以方便對(duì)收集板3上收集的粒子進(jìn)行回收。
[0025]在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述艙室I相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上還分別設(shè)置有貫穿的進(jìn)口和出口，且所述進(jìn)口和所述出口都位于所述擋板機(jī)構(gòu)的下方，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)還包括運(yùn)輸機(jī)構(gòu)9，且所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)9依次穿過(guò)所述進(jìn)口和所述出口，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)9上放置有玻璃基片8，所述玻璃基片8可以在所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)9上依次從所述進(jìn)口滑移至所述出口，玻璃基片8從進(jìn)口進(jìn)入到艙室I內(nèi)，完成鍍膜后，再?gòu)乃龀隹诨觥?br>[0026]在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，為了使得玻璃基片8能與運(yùn)輸機(jī)構(gòu)9更為柔和的接觸，防止玻璃基片8在滑動(dòng)時(shí)產(chǎn)生劃痕，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)9至少包括有多個(gè)順次設(shè)置的輥筒10，且所述輥筒10的表面上沿其軸向方向順次套接有多個(gè)橡膠圈11，優(yōu)選的，所述橡膠圈11的數(shù)量為5-8個(gè)，當(dāng)然，這里橡膠圈11的數(shù)量可以根據(jù)本領(lǐng)域人員的需求進(jìn)一步調(diào)整。
[0027]在本發(fā)明的一種更為優(yōu)選的實(shí)施方式中，玻璃基片8在艙室I內(nèi)鍍膜時(shí)，為了保證艙室I的密封性，所述艙室I的外側(cè)壁上可移動(dòng)地設(shè)有第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)和第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)，所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于所述進(jìn)口的上方，且通過(guò)移動(dòng)所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)可以將所述進(jìn)口遮蔽，所述第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于所述出口的上方，且通過(guò)移動(dòng)所述第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)可以將所述出口遮蔽。
[0028]在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，為了使得更為方便的對(duì)進(jìn)出口進(jìn)行開(kāi)關(guān)閉合，所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)包括氣缸6和蓋門(mén)7，所述氣缸6的一端固定在所述艙室I的外側(cè)壁上，另一端連接蓋門(mén)7，所述氣缸6可以帶動(dòng)所述蓋門(mén)7上下運(yùn)動(dòng)。
[0029]為了進(jìn)一步增加蓋門(mén)7的密封效果，所述蓋門(mén)7的外表面包裹有密封橡膠套。
[0030]以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡(jiǎn)單變型，這些簡(jiǎn)單變型均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0031]另外需要說(shuō)明的是，在上述【具體實(shí)施方式】中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過(guò)任何合適的方式進(jìn)行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本發(fā)明對(duì)各種可能的組合方式不再另行說(shuō)明。
[0032]此外，本發(fā)明的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本發(fā)明的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明所公開(kāi)的內(nèi)容。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)包括艙室(I)，所述艙室(I)內(nèi)部的頂部固定有靶材機(jī)構(gòu)(2)，所述艙室(I)相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上分別設(shè)置有擋板機(jī)構(gòu)，且所述靶材機(jī)構(gòu)(2)位于所述擋板機(jī)構(gòu)的上方，所述擋板機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸(5)、擋板(4)和收集板(3)，所述擋板(4)的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸(5)連接所述艙室(I)內(nèi)側(cè)壁，使得所述擋板(4)能以所述轉(zhuǎn)軸(5)為支點(diǎn)上下翻轉(zhuǎn)，所述擋板(4)中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設(shè)置有收集板(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述艙室(I)相對(duì)的內(nèi)側(cè)壁上還分別設(shè)置有貫穿的進(jìn)口和出口，且所述進(jìn)口和所述出口都位于所述擋板機(jī)構(gòu)的下方，所述濺射鍍膜機(jī)構(gòu)還包括運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(9)，且所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(9)依次穿過(guò)所述進(jìn)口和所述出口，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(9)上放置有玻璃基片(8)，所述玻璃基片(8)可以在所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(9)上依次從所述進(jìn)口滑移至所述出口。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(9)至少包括有多個(gè)順次設(shè)置的輥筒(10)，且所述輥筒(10)的表面上沿其軸向方向順次套接有多個(gè)橡膠圈(Il)04.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述橡膠圈(11)的數(shù)量為5-8個(gè)。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述艙室(I)的外側(cè)壁上可移動(dòng)地設(shè)有第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)和第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)，所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于所述進(jìn)口的上方，且通過(guò)移動(dòng)所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)可以將所述進(jìn)口遮蔽，所述第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于所述出口的上方，且通過(guò)移動(dòng)所述第二閥門(mén)機(jī)構(gòu)可以將所述出口遮蔽。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一閥門(mén)機(jī)構(gòu)包括氣缸(6)和蓋門(mén)(7 )，所述氣缸(6)的一端固定在所述艙室(I)的外側(cè)壁上，另一端連接蓋門(mén)(7 )，所述氣缸(6)可以帶動(dòng)所述蓋門(mén)(7)上下運(yùn)動(dòng)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蓋門(mén)(7)的外表面包裹有密封橡膠套。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK105908141SQ201610266380
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年4月27日
【發(fā)明人】金海濤, 薛輝, 昌江, 任俊春
【申請(qǐng)人】蕪湖真空科技有限公司