1.一種微細(xì)機(jī)械加工用微主軸，包括箱體1、均壓板30、后端軸承支承件20、渦輪噴嘴18、前端軸承支承件17、主軸轉(zhuǎn)子16、微刀具15和安裝板11，其特征是：所述渦輪19直接在所述主軸轉(zhuǎn)子16中間加工而成，所述渦輪19上的葉片29為規(guī)則圓柱面形，且正對渦輪噴嘴18上的小孔7，所述渦輪噴嘴18設(shè)置有兩圈小孔7用以提供高速氣流驅(qū)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)子16高速旋轉(zhuǎn)，所述主軸轉(zhuǎn)子16前、后端分別采用前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承13、后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承4徑向支承安裝，所述主軸轉(zhuǎn)子16后端設(shè)置有擋板21，所述擋板21前、后端分別采用前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承3、后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承2軸向支承安裝，所述主軸轉(zhuǎn)子16后端還設(shè)置有后端軸承排氣道33用以排出氣流，所述前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承13安裝在前端軸承支承件17內(nèi)，所述前端軸承支承件17周向均布有4個(gè)前端氣流進(jìn)氣道10，所述后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承4與所述前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承3制成一體的“L”形，并安裝在后端軸承支承件20內(nèi)，所述后端軸承支承件20周向均布有4個(gè)后端氣流進(jìn)氣道5，所述后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承2通過均壓板30提供氣流，所述均壓板30、后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承2依次安裝在箱體1后端，所述后端軸承支承件20、渦輪噴嘴18、前端軸承支承件17依次安裝在箱體1內(nèi)，并通過安裝板11、螺釘12固定安裝，所述箱體1設(shè)置有后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承供氣口22及對應(yīng)的止推軸承進(jìn)氣道28、止推軸承排氣道32、止推軸承排氣口23、后端多孔質(zhì)靜壓氣體軸承供氣口6、渦輪后端排氣口24、噴嘴供氣口8、渦輪前端排氣口26，前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承供氣口9，所述主軸轉(zhuǎn)子16前端軸線處設(shè)置有軸向孔14，通過熱脹冷縮效應(yīng)夾持微銑刀、微鉆頭、微磨棒等微刀具15或其它微執(zhí)行機(jī)構(gòu)，且軸向孔14深度大于微刀具15刀柄長度，從而可調(diào)節(jié)微刀具15的懸伸長度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細(xì)機(jī)械加工用微主軸，其特征是：所述渦輪噴嘴18不限于設(shè)置兩圈小孔7，可根據(jù)輸出轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)矩要求設(shè)置單圈或多圈小孔7。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微細(xì)機(jī)械加工用微主軸，其特征是所述前端軸承支承件17不限于均布4個(gè)前端氣流進(jìn)氣道10，所述后端軸承支承件20不限于均布4個(gè)后端氣流進(jìn)氣道5，所述均壓板30也不限于均布4個(gè)均壓孔31，可根據(jù)需要均布設(shè)置其它數(shù)量的進(jìn)氣道或均壓孔。