2在導(dǎo)光體的上表面處進行反射之后，經(jīng)由光取出部142而向外部取出。
[0042]省略對于其他光束的光路的說明，通過半反射膜、光束移位器或者導(dǎo)光體端面來反復(fù)進行反射，最終取出八個光束。每一光束皆經(jīng)過三次(1呢#次)半反射膜的反射或者透過后而被取出。
[0043]如以上所說明的，根據(jù)本實施方式，能夠取出偏振狀態(tài)、光強度以及行進方向(出射角度)一致的多個光束。
[0044]2.第二實施方式
[0045]圖2是表示第二實施方式的分光裝置2的結(jié)構(gòu)的圖。以下，對與分光裝置I共用的要素省略說明。在分光裝置I中，在每一個光取出部中使用單獨的構(gòu)造體(例如三棱鏡)，與之相對，在分光裝置2中，在導(dǎo)光體的下表面的整面上設(shè)置構(gòu)造體。另外，在導(dǎo)光體的下表面處，在光取出部以外的部分，形成有用于使光束全反射的全反射膜(全反射膜151?154)。需要說明的是，全反射膜不需要在導(dǎo)光體的下表面上設(shè)置在光取出部以外的全部部分，只要設(shè)置在光取出部以外的部分的至少一部分(具體來說希望使光束全反射的部分)上即可。
[0046]根據(jù)本實施方式，能夠一體地形成構(gòu)成光取出部的構(gòu)造體，因此與在每一個光取出部中加工或者成形單獨的構(gòu)造體的情況相比較，能夠容易形成光取出部。例如能夠容易使用納米壓印等成形工序。
[0047]3.第三實施方式
[0048]圖3是表示第三實施方式的磁測定裝置10的結(jié)構(gòu)的圖。在該例中，磁測定裝置10是使用非線性磁光旋轉(zhuǎn)(Nonlinear Magneto-Optical Rotat1n,NM0R)的磁測定裝置。磁測定裝置10具有分光裝置3與傳感器陣列20。
[0049]分光裝置3具有與分光裝置I相同的結(jié)構(gòu)，但是在入射光從紙面的左右兩方向入射且將兩個入射光分別8分支這方面與分光裝置I不同。在該例中，一部分的光取出部為兩個入射光用。具體來說，在九個光取出部中，左端為來自左邊的入射光專用，右端為來自右邊的入射光專用，上述以外的光取出部共用于兩個入射光。
[0050]傳感器陣列20具有氣室陣列21與多個偏振計22。氣室陣列21具有多個氣室211。氣室211為在內(nèi)部具有空隙(內(nèi)部空間)的箱(單體)，在該空隙處封入有與磁場以及光相互作用的堿金屬原子(例如銫(Cs))。氣室211由石英玻璃或者硼硅玻璃等無機材料形成。封入氣室211中的堿金屬原子在測定時至少一部分氣化。為了延長后述的對準的緩和時間，也可以使稀有氣體等非活性氣體與堿金屬氣體混合，或者利用石蠟等對氣室211的內(nèi)壁進行涂層。
[0051]偏振計22設(shè)置于每一個氣室211。詳細來說，偏振計22具有偏振分離器以及兩個檢測器(皆省略圖示)。偏振分離器是將入射的光束分離成彼此正交的兩個偏振光成分(第一偏振光以及第二偏振光)的光束的兀件。偏振分離器例如為渥拉斯頓棱鏡或者偏振分光器。兩個檢測器是對兩個偏振光成分各自的光量進行檢測的元件。兩個檢測器的一方檢測第一偏振光的光量，另一方檢測第二偏振光的光量。這些檢測器例如為光電二極管。
[0052]從光源輸出的光(例如為激光束)通過分光裝置3而分支為八束。分支的光束分別向不同氣室211入射。在氣室211的內(nèi)部進行傳播的光束對封入到氣室211的堿金屬原子進行激發(fā)(光泵浦)。堿金屬原子與光束的偏振狀態(tài)相應(yīng)地進行自旋極化，與在此施加的磁場反應(yīng)，進一步使光束的光的狀態(tài)發(fā)生變化。其結(jié)果是，向氣室211入射的光束受到線性二色性等光學(xué)活性作用。在此，假定有與堿金屬原子的自旋極化的緩和時間相比拉莫爾旋進運動周期增長的程度的、比較低小的磁場。穿過氣室211的光束利用偏振分離器被分離為兩個偏振光成分的光束。兩個偏振光成分的光量通過兩個檢測器被分別檢測(測量)。需要說明的是，在分光裝置3的外部的光路上，也可以使用用于調(diào)整偏振狀態(tài)的偏光板、用于調(diào)整光路的反射板。
[0053]根據(jù)本實施方式，使用將從一個光源輸出的光束分支為多個的光束，能夠更準確地測定磁場的分布。
[0054]4.變形例
[0055]本發(fā)明并不限定于上述的實施方式，能夠進行各種變形實施。以下，說明幾個變形例。也可以將以下的變形例中的兩個以上組合使用。
[0056]圖4是表示變形例的分光裝置4的概要的圖。導(dǎo)光體、即構(gòu)成導(dǎo)光體的基板也可以不是平板。在圖4的例子中，導(dǎo)光體為彎曲板。但是在該例中，各基板的入射側(cè)的面與出射側(cè)的面也是平行的。根據(jù)該例，能夠呈放射狀射出均勻的光束。
[0057]圖5是表示其他變形例的分光裝置5的概要的圖。在上述的例子中，分支的光束從單一的面(在圖1?3中為導(dǎo)光體的下表面)出射。但是，分支的光束也可以從兩個以上的面出射。根據(jù)該例，能夠向不同方向射出均勻的光束。
[0058]從分光裝置射出的多個光束的間隔(距離)也可以并非恒定。另外，光取出部也可以在導(dǎo)光體的表面呈二維配置。在這種情況下，從光源射出的光束也可以首先利用I維的分光裝置而分支為I維排列的多個光束，然后利用二維的分光裝置，將這些光束各自進一步分支為I維排列的多個光束，從而整體射出二維排列的多個光束。
[0059]在分光裝置中使用的導(dǎo)光體并不限定于粘合多個基板而成的結(jié)構(gòu)。也可以將在單一基板內(nèi)部形成有半反射膜的結(jié)構(gòu)用作導(dǎo)光體。在這種情況下，例如在單一玻璃基板的內(nèi)部通過激光加工而形成半反射膜。
[0060]在實施方式中說明的分光裝置并不限定于磁測定裝置所使用的裝置。只要是使用光來測定物理量的空間分布，則可以應(yīng)用于任意裝置。該分光裝置例如也可以應(yīng)用于測定板狀構(gòu)件的變形、偏振薄膜的偏振波消光比或吸收率分布、或者氣體的折射率等空間分布的裝置?；蛘咴摲种аb置也可以應(yīng)用于顯示裝置。
[0061]附圖標記說明:
[0062]1...分光裝置、2...分光裝置、3...分光裝置、10...磁測定裝置、11...基板、
12...基板、13...基板、20...傳感器陣列、21...氣室陣列、22...偏振計、111...半反射膜、112...光束移位器、113...光束移位器、121...半反射膜、122...半反射膜、
123...光束移位器、131...半反射膜、132...半反射膜、133...半反射膜、134...半反射膜、141...光取出部、142...光取出部、143...光取出部、144...光取出部、145...光取出部、146...光取出部、147...光取出部、148...光取出部、151...全反射膜、152...全反射膜、153...全反射膜、154...全反射膜、211...氣室
【主權(quán)項】
1.一種分光裝置，其中， 該分光裝置具有: 導(dǎo)光體，其具有對入射的光進行反射的第一面以及第二面，使所述光在所述第一面與第二面之間傳播； 分光膜，其設(shè)于所述導(dǎo)光體的內(nèi)部，具有使所述光反射的特性與使所述光透過的特性；以及 多個光取出部，其設(shè)于所述第一面，使在所述分光膜處透過的光射出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光裝置，其特征在于， 所述導(dǎo)光體具有包含多層的層構(gòu)造， 所述分光膜設(shè)置在所述多層中的相鄰兩層之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分光裝置，其特征在于， 所述多層包含η層， 設(shè)置在所述η層中的第(i+1)層與第(i+2)層之間的分光膜的數(shù)量是設(shè)置在第i層與第(i+1)層之間的分光膜的數(shù)量的2倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的分光裝置，其特征在于， 該分光裝置具有光束移位器，其設(shè)于所述導(dǎo)光體的內(nèi)部，并使所述光的光路平行移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的分光裝置，其特征在于， 該分光裝置具有: 構(gòu)造體，其設(shè)于所述第一面的整面，將在所述導(dǎo)光體的內(nèi)部傳播的光束取出；以及 反射膜，其在所述第一面中設(shè)置于所述多個光取出部以外的部分的至少一部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的分光裝置，其特征在于， 所述多個光取出部分別由將在所述導(dǎo)光體的內(nèi)部傳播的光束取出的多個構(gòu)造體形成， 所述多個構(gòu)造體等間隔地配置。
7.—種磁測定裝置，其中， 該磁測定裝置具有: 導(dǎo)光體，其具有對入射的光進行反射的第一面以及第二面，使所述光在所述第一面與第二面之間傳播； 分光膜，其設(shè)于所述導(dǎo)光體的內(nèi)部，具有使所述光反射的特性與使所述光透過的特性； 多個光取出部，其設(shè)于所述第一面，使在所述分光膜處透過的光射出；以及多個氣室，其設(shè)于與所述多個光取出部對應(yīng)的位置，各自封入有與磁場以及從所述光取出部取出的光束相互作用的氣體。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種分光裝置，其使分支的光的光量變得比較均勻。分光裝置具有：導(dǎo)光體，其具有對入射的光進行反射的第一面以及第二面，使所述光在所述第一面與第二面之間傳播；分光膜，其設(shè)于所述導(dǎo)光體的內(nèi)部，具有使所述光反射的特性與使所述光透過的特性；以及多個光取出部，其設(shè)于所述第一面，使在所述分光膜處透過的光射出。
【IPC分類】G02B6-00, G01R33-032
【公開號】CN104635293
【申請?zhí)枴緾N201410584811
【發(fā)明人】長坂公夫
【申請人】精工愛普生株式會社
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2014年10月27日
【公告號】US20150123653