两个人的电影免费视频_国产精品久久久久久久久成人_97视频在线观看播放_久久这里只有精品777_亚洲熟女少妇二三区_4438x8成人网亚洲av_内谢国产内射夫妻免费视频_人妻精品久久久久中国字幕

一種多通道硅基波分復(fù)用高速光收發(fā)一體器件的制作方法

文檔序號(hào):11233224閱讀:1370來(lái)源:國(guó)知局
一種多通道硅基波分復(fù)用高速光收發(fā)一體器件的制造方法與工藝

本發(fā)明屬于光纖通信領(lǐng)域的集成光學(xué)結(jié)構(gòu)領(lǐng)域,特別是涉及一種多通道硅基波分復(fù)用高速光收發(fā)一體器件。



背景技術(shù):

近年來(lái),隨著智能設(shè)備(電腦、手機(jī)、智能穿戴設(shè)備)的普及,光纖通信網(wǎng)絡(luò)中的數(shù)據(jù)量呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng),40gb/s的光模塊已規(guī)模部署,100gb/s光模塊也已逐步批量部署,200gb/s的光器件也處于研發(fā)階段。為迎合市場(chǎng)需求,高速光通信器件往小尺寸,高集成度,低功耗,低成本方向發(fā)展勢(shì)在必行。在密集波分或者頻分復(fù)用系統(tǒng)中,需要在發(fā)射機(jī)或者接收機(jī)上布置多路激光器及探測(cè)器。目前,已經(jīng)提出利用多個(gè)光源實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)集成的40gb/s、100gb/s光收發(fā)器件方案。

現(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)存在的典型方案有:一、基于波分復(fù)用濾波片的自由光空間方案,這種方案多達(dá)數(shù)十個(gè)光無(wú)源器件,組裝工藝非常復(fù)雜,成本較高,尺寸較大,集成度較低,難以滿足速率更高的器件;二、基于二氧化硅的平面光波導(dǎo)技術(shù)的收發(fā)器件,這種方案把收發(fā)器件分開(kāi),收發(fā)器件各需要一個(gè)陶瓷氣密殼子,陶瓷氣密殼子通常較為昂貴,因此這種方案存在集成度較低,成本較高的劣勢(shì),且基于二氧化硅的平面光波導(dǎo)器件尺寸通常較大,不利于小型化,高集成度。

然而,上述光收發(fā)器件在具體應(yīng)用時(shí),容易存在以下缺點(diǎn):上述光收發(fā)器件的光源數(shù)量有限,且發(fā)射機(jī)和接收機(jī)分開(kāi)設(shè)計(jì),尺寸較大,集成度較低,封裝難度大,成本高昂,難以滿足用戶小型化的要求。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷,本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題為:增加光收發(fā)器件的發(fā)射、接收光波數(shù)量;將發(fā)射單元與接收單元通過(guò)平面波導(dǎo)器件的合波單元和分波單元集成于同一平面波導(dǎo)上。本發(fā)明涉及的器件集成度較高,成本較低,封裝較為容易,能滿足用戶的需求,具有很高的實(shí)用價(jià)值。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,按照本發(fā)明,提供一種多通道硅基波分復(fù)用高速光收發(fā)一體器件,其特征在于,該一體器件包括與平面光波導(dǎo)芯片耦合的發(fā)射單元、接收單元,所述平面光波導(dǎo)芯片上光刻有分波單元、合波單元,所述平面光波導(dǎo)芯片的輸入端、輸出端分別與輸入光纖、輸出光纖對(duì)應(yīng)耦合連接。

進(jìn)一步地,所述發(fā)射單元包括散熱熱沉,在所述散熱熱沉之上還依次沉積激光器驅(qū)動(dòng)器電芯片、激光器熱沉;所述激光器熱沉上依次沉積背光探測(cè)器、激光器。

進(jìn)一步地,所述激光器與所述平面光波導(dǎo)芯片通過(guò)聚光透鏡耦合或者直接耦合。

進(jìn)一步地,所述接收單元包括散熱熱沉,在所述散熱熱沉之上還依次沉積限幅放大器電芯片、跨阻放大器芯片;所述跨阻放大器芯片上設(shè)置有光電探測(cè)器及45°反光鏡,所述分波單元分波后的各路光波,經(jīng)透鏡匯聚,被所述45°反光鏡反射到所述光電探測(cè)器產(chǎn)生光電流信號(hào),所述光電流信號(hào)經(jīng)所述跨阻放大器芯片與所述限幅放大器電芯片轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)并放大輸出。

進(jìn)一步地,所述平面光波導(dǎo)芯片與輸出光纖、輸入光纖間接入環(huán)形器。

進(jìn)一步地,所述發(fā)射單元及所述接收單元的激光器數(shù)量和光電探測(cè)器數(shù)量大于或等于4。

進(jìn)一步地,所述合波單元、分波單元分別為波導(dǎo)陣列光柵、級(jí)聯(lián)馬赫澤德光波濾波器。

進(jìn)一步地,所述激光器為10g或25g高速分布式反饋激光器或電吸收調(diào)制分布式反饋激光器,不同所述激光器對(duì)應(yīng)不同的特定光波。

進(jìn)一步地,所述光電探測(cè)器為分立式或陣列式。

進(jìn)一步地,所述發(fā)射單元和所述光接收單元與所述平面光波導(dǎo)芯片的光波傳輸方式為:通過(guò)透鏡聚光或集成模斑轉(zhuǎn)換器或直接與光纖耦合對(duì)準(zhǔn)。

總體而言,通過(guò)本發(fā)明所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比,有益效果主要體現(xiàn)在如下方面:

采用了平面光波導(dǎo)基于硅光子技術(shù);平面光波導(dǎo)集合波單元、分波單元于一體,提高了集成度,簡(jiǎn)化了封裝工藝;發(fā)射單元激光器個(gè)數(shù)≥4,;發(fā)射激光器可以是激光器陣列;發(fā)射單元的激光器可借助透鏡或者直接與平面光波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)耦合;發(fā)射單元主要包括激光器驅(qū)動(dòng)器電芯片,激光器,背光光電探測(cè)器,熱沉等;能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)信號(hào)的高速處理;

在本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的方式中,對(duì)接收單元的情況也進(jìn)行了設(shè)置,接收單元的光電探測(cè)器數(shù)目≥4,各光電探測(cè)器用于接收輸入的光波;接收單元主要包括限幅放大器電芯片,跨阻放大器電芯片,光電探測(cè)器,45°反射鏡,聚光透鏡,熱沉等,接收單元的光電探測(cè)器可借助透鏡或者直接與平面光波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)耦合;

并且對(duì)光波導(dǎo)之間的光的耦合傳輸也進(jìn)行了相應(yīng)的限定,硅基平面光波導(dǎo)的輸入、輸出端口可借助聚光透鏡實(shí)現(xiàn)光在輸入、輸出光纖和平面光波導(dǎo)之間的轉(zhuǎn)換,也可在平面光波導(dǎo)的輸入、輸出端口集成模斑轉(zhuǎn)換功能,實(shí)現(xiàn)直接與輸入、輸出光纖的耦合對(duì)準(zhǔn),對(duì)一體化器件的整體化光學(xué)光路的傳輸提出了有效的耦合方案。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中一種多通道硅基波分復(fù)用高速光收發(fā)一體器件;

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中一種多通道硅基波分復(fù)用高速光收發(fā)一體器件的另外一種光接口形式;

圖3為按照本發(fā)明實(shí)施例一中發(fā)射單元的具體器件結(jié)構(gòu)組成示意圖;

圖4為按照本發(fā)明實(shí)施例二中發(fā)射單元的具體器件結(jié)構(gòu)組成示意圖;

圖5為按照本發(fā)明實(shí)施例三中發(fā)射單元的具體器件結(jié)構(gòu)組成示意圖;

圖6為按照本發(fā)明實(shí)施例一中接收單元的具體器件結(jié)構(gòu)組成示意圖;

圖7為按照本發(fā)明實(shí)施例二中接收單元的具體器件結(jié)構(gòu)組成示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。此外,下面所描述的本發(fā)明各個(gè)實(shí)施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。

本發(fā)明提出的多通道硅基波分復(fù)用高速光收發(fā)一體器件,包括發(fā)射單元和接收單元,平面光波導(dǎo)芯片的輸出端與輸出光纖相連,平面光波導(dǎo)芯片的輸入端與輸入光纖相連:發(fā)射功能通過(guò)發(fā)射單元、平面光波導(dǎo)的合波單元、隔離器、輸出光纖實(shí)現(xiàn);接收功能通過(guò)輸入光纖、平面光波導(dǎo)的分波單元、接收單元實(shí)現(xiàn);發(fā)射單元中的多路激光器輸出的激光入射到平面光波導(dǎo)的合波單元進(jìn)行合波并最終由輸出光纖輸出;每個(gè)探測(cè)器接收到的光為輸入光波經(jīng)平面光波導(dǎo)分波單元分波后的單路光波。

在上述方案的基礎(chǔ)上,發(fā)射單元還包括激光器驅(qū)動(dòng)電芯片,每路激光器對(duì)應(yīng)一種波分復(fù)用波長(zhǎng),傳輸一路數(shù)字信號(hào)。

在上述方案的基礎(chǔ)上,接收單元中的每個(gè)光電探測(cè)芯片通過(guò)一個(gè)跨阻放大器與一個(gè)限幅放大器連接。

在上述方案的基礎(chǔ)上,發(fā)射單元,接收單元的激光器數(shù)目和光電探測(cè)器數(shù)目≥4。

在上述方案的基礎(chǔ)上,發(fā)射單元,接收單元所用的激光器和光電探測(cè)器可以是陣列激光器和陣列光電探測(cè)器。

在上述方案的基礎(chǔ)上,激光器可以是10g或者25g高速分布式反饋激光器(dfb)或者電吸收調(diào)制分布式反饋激光器(eml-dfb),亦可以是更高速率。

在上述方案的基礎(chǔ)上,光電探測(cè)器可以是10g或者25g高速光電探測(cè)器,其中包含光電探測(cè)器(pin)和雪崩光電探測(cè)器(apd),亦可以是更高速率。

在上述方案的基礎(chǔ)上,平面波導(dǎo)的合波單元、平面波導(dǎo)的分波單元可以是采用波導(dǎo)陣列光柵(awg)和級(jí)聯(lián)馬赫澤德光波濾波器(mzi)設(shè)計(jì)制作的器件。

在上述方案的基礎(chǔ)上,發(fā)射單元可以采用分立激光器或者多波長(zhǎng)陣列激光器,接收單元可以采用分立光電探測(cè)器或者光電探測(cè)器陣列。

在上述方案的基礎(chǔ)上,激光器可以直接與平面光波導(dǎo)芯片對(duì)準(zhǔn)耦合,或者采用聚光透鏡將激光器發(fā)出的激光耦合對(duì)準(zhǔn)至平面光波導(dǎo)芯片的輸入端。

在上述方案的基礎(chǔ)上,光電探測(cè)器可以直接與平面光波導(dǎo)芯片的輸出端耦合對(duì)準(zhǔn),或者采用聚光透鏡將平面光波導(dǎo)輸出的光耦合對(duì)準(zhǔn)至光電探測(cè)器上。

在上述方案的基礎(chǔ)上,發(fā)射單元經(jīng)平面光波導(dǎo)合波后的光波可通過(guò)透鏡聚光到輸出光纖,也可在平面光波導(dǎo)的輸出端集成模斑轉(zhuǎn)換器,直接與光纖耦合對(duì)準(zhǔn),省去聚光透鏡;同樣,光接收單元可通過(guò)聚光透鏡將輸入光纖的光匯聚到平面光波導(dǎo)的輸入端,也可在平面光波導(dǎo)的輸入端集成模斑轉(zhuǎn)換器,直接與光纖耦合對(duì)準(zhǔn),省去聚光透鏡。

在上述方案的基礎(chǔ)上,隔離器可以是與輸出光纖分立的或者直接粘接在輸出光纖端面上。

在上述方案的基礎(chǔ)上,可在平面光波導(dǎo)芯片與輸出光纖、輸入光纖間加入環(huán)形器,使器件的光收發(fā)都集中在單根光纖中完成,有效提高光纖利用率。

參考圖1所示,本發(fā)明實(shí)施例中多通道硅光子波分復(fù)用的高速收發(fā)一體光器件,包含光發(fā)射單元102,接收單元101,平面光波導(dǎo)100,分波單元103,合波單元104,平面光波導(dǎo)的輸入端口105,平面光波導(dǎo)的輸出端口106,接收端聚光透鏡107,發(fā)射端聚光透鏡108,109為收發(fā)一體光器件用于與外界連接的輸入、輸出光纖端口,109包含輸入光纖,輸出光纖和隔離器。

含至少4路激光器的發(fā)射單元102將激光有效匯聚到合波單元104,經(jīng)合波單元合波后,由輸出端口106輸出,借助發(fā)端聚光透鏡108,將平面光波導(dǎo)的輸出端口106的輸出光匯聚到109單元中的輸出光纖,為減少傳輸鏈路中的返回光對(duì)激光器的影響,通常在靠近輸出光纖處會(huì)安裝一隔離器,隔離器的作用是阻斷傳輸鏈路中的返回光。

含至少4種光波長(zhǎng)的輸入光經(jīng)109單元中的輸入光纖入射,光波通過(guò)接收端聚光透鏡107后,被有效匯聚到平面光波導(dǎo)的105輸入端,后經(jīng)分波單元103分波,光波被接收單元中的光電探測(cè)器接收。

圖2所示為109單元的另一種形式,可實(shí)現(xiàn)發(fā)射光與接收光在單根光纖上傳輸,即為單纖雙向傳輸,這種方式能有效節(jié)約光纖資源。

圖3-5中所示為發(fā)射單元102的三種具體實(shí)施例子。左邊的實(shí)施例子:102包含1散熱熱沉,2激光器驅(qū)動(dòng)器電芯片,3背光探測(cè)器,4激光器,5聚光透鏡,6為激光器熱沉。器件前端電路板上的電信號(hào)通過(guò)激光器驅(qū)動(dòng)電芯片驅(qū)動(dòng)激光器工作,激光器4的前向輸出光經(jīng)透鏡5匯聚到平面光波導(dǎo)的合波單元,激光器4的后向輸出光經(jīng)背光探測(cè)器接收,用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)激光器的輸出光功率大小及工作狀態(tài)。在圖3的基礎(chǔ)上,如圖4所示,通過(guò)合理的設(shè)計(jì),可以將激光器直接與平面波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)耦合,避免使用透鏡,既能節(jié)省成本又能簡(jiǎn)化工藝。又如圖5所示,激光器也可以是陣列激光器,陣列激光器與平面光波導(dǎo)的對(duì)準(zhǔn)耦合工藝更易實(shí)現(xiàn),通過(guò)合理設(shè)計(jì),為了達(dá)到最優(yōu)的耦合效率,光波導(dǎo)與激光器的模斑尺寸要匹配,甚至可采用被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)方式,大大提高制作效率及成品率。

圖6-7所示為接收單元101的三種實(shí)施例子。圖6實(shí)施例子:1’為限幅放大器電芯片,2’為跨阻放大器芯片,3’為45°反光鏡,4’為聚光透鏡,5’為散熱熱沉,6’為光電探測(cè)器。經(jīng)過(guò)平面光波導(dǎo)分波后的各路光波,由透鏡4’匯聚,經(jīng)45°的反光鏡3’反射到光電探測(cè)器接收并產(chǎn)生光電流信號(hào),光電流信號(hào)經(jīng)跨阻放大器2’和限幅放大器電芯片1’轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)并放大,放大后的電壓信號(hào)輸入到外接電路板上作進(jìn)一步處理。在圖6的基礎(chǔ)上,可將分立的光電探測(cè)器用陣列光電探測(cè)器替代,且45°反光鏡也采用一體式的,這能有效的降低工藝難度。如圖7所示,將光電探測(cè)器陣列的接收面直接正對(duì)平面光波導(dǎo)的輸出波導(dǎo),可省去45°反射鏡和聚光透鏡,不僅節(jié)省了成本,還降低了工藝難度。

總之,按照本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的高速光收發(fā)一體器件,具有成本低,集成度高,兼容性好,尤其適用于更高速率器件的封裝設(shè)計(jì)。

本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解,以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

當(dāng)前第1頁(yè)1 2 
網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1
新巴尔虎右旗| 德令哈市| 郸城县| 渑池县| 灵川县| 小金县| 沙河市| 含山县| 德安县| 马公市| 吉安县| 新兴县| 伽师县| 德昌县| 沐川县| 明光市| 永修县| 原阳县| 通榆县| 峨山| 新疆| 镇康县| 建德市| 麻栗坡县| 福鼎市| 万盛区| 磐石市| 河北区| 连江县| 永泰县| 宿迁市| 陆良县| 日喀则市| 鹤庆县| 洛浦县| 麦盖提县| 论坛| 沙湾县| 杭锦旗| 井陉县| 白玉县|