專利名稱：一種用于擴(kuò)散工藝的防爆源瓶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片制備工藝中的液態(tài)源擴(kuò)散工藝使用的設(shè)備，具體地涉及一種用于擴(kuò)散工藝的防爆源瓶。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能、集成電路等半導(dǎo)體行業(yè)都需要使用液態(tài)POCl3做磷源擴(kuò)散來形成PN結(jié)。磷源置于擴(kuò)散源瓶中，通常所用源瓶的基本構(gòu)造是由出氣管、進(jìn)氣管、測(cè)溫管和源瓶組成；源瓶的底部為兩端略帶弧度、底部為平面的結(jié)構(gòu)，如圖1所示。源瓶?jī)?nèi)為液態(tài)的POCl3，將N2通入液態(tài)POCl3中，攜帶氣態(tài)的POCl3進(jìn)入擴(kuò)散爐完成磷擴(kuò)散過程。但是如果進(jìn)氣出氣管路接反，或者N2進(jìn)氣壓力過大，或者出氣管路有堵塞等現(xiàn)象，易導(dǎo)致源瓶?jī)?nèi)氣壓過大，會(huì)導(dǎo)致源瓶爆炸。而POCl3毒性較大，易揮發(fā)，對(duì)皮膚嚴(yán)重腐蝕，爆瓶泄露后危險(xiǎn)性極大。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用于擴(kuò)散工藝的防爆源瓶，可以避免瓶?jī)?nèi)壓力大導(dǎo)致源瓶破裂泄露，壓力超過閾值后可以自動(dòng)泄壓并報(bào)警。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是采用自動(dòng)泄壓和報(bào)警功能的設(shè)計(jì)，在源瓶上加裝泄壓裝置，泄壓采用類似高壓鍋的金屬塊泄壓，當(dāng)瓶?jī)?nèi)氣壓過大時(shí)，金屬塊被頂起泄壓，電路導(dǎo)通，蜂鳴器報(bào)警；當(dāng)氣壓恢復(fù)時(shí)，金屬塊落下，蜂鳴器停止報(bào)警。本實(shí)用新型的有益效果是實(shí)現(xiàn)了源瓶壓力過大時(shí)自動(dòng)泄壓，同時(shí)通過報(bào)警通知人員排查，成功地避免了源瓶爆炸帶來的危險(xiǎn)。

圖1傳統(tǒng)源瓶的效果圖圖中1表示進(jìn)氣管；2表示出氣管；3表示測(cè)溫管；4表示液態(tài)三氯氧磷圖2本實(shí)用新型提供的防爆源瓶的效果圖圖中A表示進(jìn)氣管；B表示出氣管；C表示金屬塊；D表示液態(tài)三氯氧磷；E表示測(cè)溫管；H表不蜂鳴器
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型專利的技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖2所示，一種用于擴(kuò)散工藝的防爆源瓶，包括進(jìn)氣管、出氣管、測(cè)溫管、金屬塊、蜂鳴器組成。當(dāng)進(jìn)氣管A通入氮?dú)鈺r(shí)，液態(tài)三氯氧磷D隨著攜帶源小氮從出氣管B進(jìn)入爐腔，開始擴(kuò)散反應(yīng)過程。在防爆源瓶的頂部安裝一金屬塊，當(dāng)瓶?jī)?nèi)氣壓過大時(shí)，金屬塊被頂起泄壓，電路導(dǎo)通，蜂鳴器報(bào)警；當(dāng)氣壓恢復(fù)時(shí)，金屬塊落下，蜂鳴器停止報(bào)警。最后所應(yīng)說明的是，以上實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的 權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求1.一種用于擴(kuò)散工藝的防爆源瓶，包括進(jìn)氣管、出氣管、測(cè)溫管、金屬塊和蜂鳴器，其特征在于采用自動(dòng)泄壓和報(bào)警功能的設(shè)計(jì)，在源瓶上加裝金屬塊泄壓裝置和蜂鳴器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于擴(kuò)散工藝的防爆源瓶，包括進(jìn)氣管、出氣管、測(cè)溫管、金屬塊、蜂鳴器，采用自動(dòng)泄壓和報(bào)警功能的設(shè)計(jì)，在源瓶上加裝金屬塊泄壓裝置，當(dāng)瓶?jī)?nèi)氣壓過大時(shí)，金屬塊被頂起泄壓，電路導(dǎo)通，蜂鳴器報(bào)警；當(dāng)氣壓恢復(fù)時(shí)，金屬塊落下，蜂鳴器停止報(bào)警。本實(shí)用新型的有益效果是實(shí)現(xiàn)了源瓶壓力過大時(shí)自動(dòng)泄壓，同時(shí)通過報(bào)警通知人員排查，成功地避免了源瓶爆炸帶來的危險(xiǎn)。
文檔編號(hào)C30B31/16GK202849593SQ20122049459
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月26日
發(fā)明者方智, 王慶錢 申請(qǐng)人:浙江鴻禧光伏科技股份有限公司