改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，屬于太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有技術(shù)中的一步擴(kuò)散法的太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率普遍偏低等技術(shù)問(wèn)題。本改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝包括A、低溫沉積；B、變溫沉積；C、高溫沉積；D、升溫；E、高溫推結(jié)；F、冷卻。利用本工藝制作出來(lái)的多晶太陽(yáng)能電池具有封裝損耗低、電池轉(zhuǎn)化率高的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】
改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明屬于太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域，設(shè)及一種改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝。
【背景技術(shù)】
[0002] 傳統(tǒng)多晶太陽(yáng)電池的生產(chǎn)工序主要為：制絨、擴(kuò)散、濕法刻蝕、鍛膜、烘干、印刷 背場(chǎng)、烘干、印刷背極、印刷正極、燒結(jié)和測(cè)試分選。擴(kuò)散工序直接影響著多晶太陽(yáng)電池的開(kāi) 路電壓，其主要影響因素為擴(kuò)散表面滲雜濃度，表面滲雜濃度高會(huì)引起重滲雜效應(yīng)。重滲雜 效應(yīng)會(huì)引起禁帶寬度收縮，影響本征載流子濃度，影響有效滲雜濃度和降低少子壽命。在娃 晶體中，由于重滲雜會(huì)引起能帶結(jié)構(gòu)的變化，在能帶的邊緣形成所謂的"帶尾"。禁帶寬度收 縮必然會(huì)導(dǎo)致開(kāi)路電壓的損失，最終導(dǎo)致效率的降低。另外重滲雜會(huì)使前表面的有效滲雜 濃度降低二個(gè)數(shù)量級(jí)，因此，減少了頂區(qū)表面處的開(kāi)路電壓，且在前表面區(qū)0.1微米左右的 范圍內(nèi)，越靠近表面，有效滲雜濃度也越低，形成一個(gè)衰退電場(chǎng)。運(yùn)種衰退電場(chǎng)阻止少子空 穴往P-N結(jié)邊界方向移動(dòng)。運(yùn)是重滲雜太陽(yáng)電池中頂區(qū)表面產(chǎn)生"死層"的一種原因。"死層" 處的復(fù)合速率非常高，會(huì)很大程度的降低載流子的壽命。為了獲得最佳的電池性能，必須選 擇適當(dāng)?shù)臄U(kuò)散頂區(qū)滲雜濃度，使運(yùn)一濃度不至于引起衰退電場(chǎng)。
[0003] 在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，采用現(xiàn)有技術(shù)中的一步擴(kuò)散法的太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率普遍 偏低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的第一個(gè)目的是針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問(wèn)題，提出了一種多晶太陽(yáng)電 池，該多晶太陽(yáng)電池具有封裝損耗低的特點(diǎn)。
[0005] 本發(fā)明的第一個(gè)目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種多晶太陽(yáng)電池，它包括呈 板狀的本體，所述本體的一側(cè)為正極，所述本體的另一側(cè)為負(fù)極，所述正極上均布有4條主 柵和90條細(xì)柵，所述主柵與細(xì)柵垂直設(shè)置且它們電連接，其特征在于，所述每條主柵之間的 間距為35-42毫米，所述主柵的寬度為0.8-1.2毫米，所述細(xì)柵間距為1.4-2.0毫米，所述 細(xì)柵的寬度為0.035-0.045毫米。
[0006] 采用W上結(jié)構(gòu)，采用4條主柵和90條細(xì)柵的密柵設(shè)計(jì)，使得成品開(kāi)路電壓比常規(guī)多 晶太陽(yáng)電池高，同時(shí)，避免了由于擴(kuò)散方阻提升而導(dǎo)致的串聯(lián)電阻上升，且在封裝組件時(shí)能 降低封裝損耗。
[0007] 所述的主柵由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置。
[000引所述每個(gè)主柵段的長(zhǎng)度為7-11暈米。
[0009] 所述細(xì)柵的長(zhǎng)度為152-158毫米。
[0010] 本發(fā)明的第二個(gè)目的是針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問(wèn)題，提出了一種改進(jìn)的多晶太 陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，該擴(kuò)散工藝具有多晶太陽(yáng)電池轉(zhuǎn)化率高的特點(diǎn)。
[0011] 本發(fā)明的第二個(gè)目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò) 散工藝，該工藝包括W下步驟：
[0012] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在750-790°C保持6-12 分鐘，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，所述大氮與氧氣體積 比為16:1，所述小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為12:100;
[001引B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在6-10分鐘內(nèi)提升至800-820°C，在該時(shí)間范圍 內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，所述大氮與氧氣體積比為18:1，所述小氮 和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為14:100;
[0014] C、高溫沉積:在825-835°C進(jìn)行1-4分鐘的保溫，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣和小氮的混合氣體，所述大氮與氧氣體積比為15:1，所述小氮和大氮與氧氣兩者混 合氣體的體積比為12:100;
[001引D、升溫:將8-10分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至845°C，升溫過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通 入大氮；
[0016] E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在850°C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在10-14分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入 大氮和氧氣的混合氣體，所述氧氣占上述混合氣體體積的36 % -38 % ;
[0017] F、冷卻:在12-14分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至770°C，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通 入大氮、氧氣的混合氣體，所述氧氣占上述混合氣體體積的34%-36%。
[0018] 所述擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定。
[0019] 所述擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為化/min-lOL/min。
[0020] 所述小氮流量為化/min~2.化/min，所述氧氣的流量為ο.化/min~ο .化/min，所 述大氮的流量為7.化/min~7.化/min。
[0021] 所述步驟A中所述小氮流量為化/min，所述氧氣的流量為0.化/min，所述大氮的流 量為 7.：3L/min。
[0022] 所述步驟B中所述小氮流量為2.化/min,所述氧氣的流量為0.化/min,所述大氮的 流量為7.化/min。
[0023] 所述步驟C中所述小氮流量為2.化/min,所述氧氣的流量為0.化/min,所述大氮的 流量為7.化/min。
[0024] 所述本體的方塊電阻為93-97 Ω/Π 。
[0025] 采用W上工藝，使得在不增加成本的情況下，可W提高多晶太陽(yáng)電池的轉(zhuǎn)換效率。
[0026] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有W下優(yōu)點(diǎn)：
[0027] 本發(fā)明采用4條主柵和90條細(xì)柵的密柵設(shè)計(jì)，使得成品開(kāi)路電壓比常規(guī)多晶太陽(yáng) 電池高，同時(shí)，避免了由于擴(kuò)散方阻提升而導(dǎo)致的串聯(lián)電阻上升，且在封裝組件時(shí)能降低封 裝損耗，封裝損耗低;采用該擴(kuò)散工藝，相比一次恒溫沉積擴(kuò)散可W在不增加成本的情況下 使生產(chǎn)的多晶太陽(yáng)電池獲得高的轉(zhuǎn)換效率，多晶太陽(yáng)電池轉(zhuǎn)化率高。
【附圖說(shuō)明】
[0028] 圖1是本多晶太陽(yáng)電池的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029] 圖2是本改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝的步驟示意圖。
[0030] 圖中，1、本體;2、主柵;3、細(xì)柵。
【具體實(shí)施方式】
[0031] W下是本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述， 但本發(fā)明并不限于運(yùn)些實(shí)施例。
[003^ 實(shí)施例一：
[0033] 如圖1所示，本多晶太陽(yáng)電池，它包括呈板狀的本體1，本體1的一側(cè)為正極，本體1 的另一側(cè)為負(fù)極，正極上均布有4條主柵2和90條細(xì)柵3，主柵2與細(xì)柵3垂直設(shè)置且它們電連 接，每條主柵2之間的間距為35毫米，主柵2的寬度為0.8毫米，細(xì)柵3間距為1.4毫米，細(xì)柵3 的寬度為0.035毫米。
[0034] 如圖1所示，主柵2由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置;每個(gè)主柵段的長(zhǎng)度為7毫 米;細(xì)柵3的長(zhǎng)度為152毫米。
[0035] 如圖2所示，本改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，該工藝包括W下步驟：
[0036] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在75(TC保持6分鐘，在該 時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為16:1，小氮 和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為12:100;步驟A中小氮流量為化/min,氧氣的流量為 0.化/min，大氮的流量為7.化/min;
[0037] B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在6分鐘內(nèi)提升至800°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散 爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為18:1，小氮和大氮與氧氣兩者 混合氣體的體積比為14:100;步驟B中小氮流量為2.化/min，氧氣的流量為0.化/min，大氮 的流量為7.化/min;
[0038] C、高溫沉積:在825°C進(jìn)行1分鐘的保溫，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和 小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為 12:100;步驟C中小氮流量為2.化/min，氧氣的流量為0.化/min，大氮的流量為7.化/min;
[0039] D、升溫:將8分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至845Γ，升溫過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮；
[0040] E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在850°C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在10分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮 和氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36 % ;
[0041] F、冷卻:在12分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至77(TC，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的34 %。
[0042] 擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定;擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為化/min-lOL/min;小氮流 量為化/min~2 .化/min，氧氣的流量為0 .化/min~0 .化/min，大氮的流量為7 .化/min~ 7.7L/min。
[0043] 本體的方塊電阻為93 Ω/Π 。
[0044] 下表為列出了本發(fā)明實(shí)施例一的多晶太陽(yáng)電池與常規(guī)多晶太陽(yáng)電池的電性能數(shù) 據(jù)：
[0045]
[0046] 本發(fā)明采用多溫度平臺(tái)變溫沉積高溫推結(jié)工藝，并且印刷正極過(guò)程中的正極印刷 圖形采用4條主柵和90條細(xì)柵的密柵設(shè)計(jì)，使得成品開(kāi)路電壓比常規(guī)多晶太陽(yáng)電池高2mv， 同時(shí)，避免了由于擴(kuò)散方阻提升而導(dǎo)致的串聯(lián)電阻上升，其多晶太陽(yáng)電池平均轉(zhuǎn)換效率高 于常規(guī)多晶太陽(yáng)電池，并且在封裝組件時(shí)能降低由于短波吸收損失而導(dǎo)致的封裝損耗。
[0047] 實(shí)施例二：
[0048] 如圖1所示，本多晶太陽(yáng)電池，它包括呈板狀的本體1，本體1的一側(cè)為正極，本體1 的另一側(cè)為負(fù)極，正極上均布有4條主柵2和90條細(xì)柵3，主柵2與細(xì)柵3垂直設(shè)置且它們電連 接，每條主柵2之間的間距為42毫米，主柵2的寬度為1.2毫米，細(xì)柵3間距為2.0毫米，細(xì)柵3 的寬度為0.045毫米。
[0049] 如圖1所示，主柵2由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置;每個(gè)主柵段的長(zhǎng)度為11毫 米;細(xì)柵3的長(zhǎng)度為158毫米。
[0050] 如圖2所示，本改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，該工藝包括W下步驟：
[0051] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在79(TC保持12分鐘，在 該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為16:1，小 氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為12:100;步驟A中小氮流量為化/min,氧氣的流量 為0.化/min，大氮的流量為7.化/min;
[0052] B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在10分鐘內(nèi)提升至820°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散 爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為18:1，小氮和大氮與氧氣兩者 混合氣體的體積比為14:100;步驟B中小氮流量為2.化/min，氧氣的流量為0.化/min，大氮 的流量為7.化/min;
[0053] C、高溫沉積:在835°C進(jìn)行4分鐘的保溫，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和 小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為 12:100;步驟C中小氮流量為2.化/min，氧氣的流量為0.化/min，大氮的流量為7.化/min;
[0054] D、升溫:將10分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至845Γ，升溫過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮；
[0055] E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在850°C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在14分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮 和氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的38% ;
[0056] F、冷卻:在14分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至770°C，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36 %。
[0057] 擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定;擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為化/min-lOL/min;小氮流 量為化/min~2 .化/min，氧氣的流量為0 .化/min~0 .化/min，大氮的流量為7 .化/min~ 7.7L/min。
[0化引本體的方塊電阻為97 Ω/Π 。
[0059]下表為列出了本發(fā)明實(shí)施例二的多晶太陽(yáng)電池與常規(guī)多晶太陽(yáng)電池的電性能數(shù) 據(jù)：
[0060]
[006。 實(shí)施例S:
[0062] 如圖1所示，本多晶太陽(yáng)電池，它包括呈板狀的本體1，本體1的一側(cè)為正極，本體1 的另一側(cè)為負(fù)極，正極上均布有4條主柵2和90條細(xì)柵3，主柵2與細(xì)柵3垂直設(shè)置且它們電連 接，每條主柵2之間的間距為38毫米，主柵2的寬度為1.0毫米，細(xì)柵3間距為1.7毫米，細(xì)柵3 的寬度為0.04毫米。
[0063] 如圖1所示，主柵2由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置;每個(gè)主柵段的長(zhǎng)度為9毫 米;細(xì)柵3的長(zhǎng)度為155毫米。
[0064] 如圖2所示，本改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，該工藝包括W下步驟：
[0065] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在770°C保持9分鐘，在該 時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為16:1，小氮 和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為12:100;步驟A中小氮流量為化/min,氧氣的流量為 0.化/min,大氮的流量為7.化/min;
[0066] B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在8分鐘內(nèi)提升至810°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散 爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為18:1，小氮和大氮與氧氣兩者 混合氣體的體積比為14:100;步驟B中小氮流量為2.化/min，氧氣的流量為0.化/min，大氮 的流量為7.化/min;
[0067] C、高溫沉積:在830°C進(jìn)行2分鐘的保溫，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和 小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為 12:100;步驟C中小氮流量為2.化/min，氧氣的流量為0.化/min，大氮的流量為7.化/min;
[0068] D、升溫:將9分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至845°C，升溫過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮；
[0069] E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在850°C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在12分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮 和氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的37 % ;
[0070] F、冷卻:在13分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至770°C，運(yùn)個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的35 %。
[0071 ]擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定;擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為化/min-lOL/min;小氮流 量為化/min~2 .化/min，氧氣的流量為0 .化/min~0 .化/min，大氮的流量為7 .化/min~ 7.7L/min。
[0072] 本體的方塊電阻為95 Ω/Π 。
[0073] 下表為列出了本發(fā)明實(shí)施例Ξ的多晶太陽(yáng)電池與常規(guī)多晶太陽(yáng)電池的電性能數(shù) 據(jù)：
[0074]
[0075] 由上面實(shí)施例得出，本發(fā)明方法使娃片的方塊電阻控制在93-97 Ω/□匹配4條主 柵和90條細(xì)柵正極網(wǎng)版，相比一次恒溫沉積擴(kuò)散可W在不增加成本的情況下使生產(chǎn)的多晶 太陽(yáng)電池獲得高的轉(zhuǎn)換效率。
[0076] 本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明精神作舉例說(shuō)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng) 域的技術(shù)人員可W對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類(lèi)似的方式替 代，但并不會(huì)偏離本發(fā)明的精神或者超越所附權(quán)利要求書(shū)所定義的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，該工藝包括以下步驟:A、低溫沉積:將本體置入普 通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在790 °C保持12分鐘，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、 氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為16:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體 積比為12:100 ;步驟A中小氮流量為2L/min，氧氣的流量為0.4L/min，大氮的流量為7.3L/ min； B、 變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在10分鐘內(nèi)提升至820°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi) 通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為18:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合 氣體的體積比為14:10 0;步驟B中小氮流量為2.8L/m i η，氧氣的流量為0.7 L/m i η，大氮的流 量為 7.5L/min; C、 高溫沉積:在835°C進(jìn)行4分鐘的保溫，這個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮 的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為12: 100;步驟C中小氮流量為2.5L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮的流量為7.3L/min; D、 升溫:將10分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至845°C，升溫過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮； E、 高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在850 °C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在14分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮和氧 氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的38% ; F、 冷卻：在14分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至770°C，這個(gè)過(guò)程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、 氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36 %。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，其特征在于，所述擴(kuò)散爐內(nèi) 的氣體流量恒定。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，其特征在于，所述擴(kuò)散爐內(nèi) 的氣體通入流量為7L/min-10L/min。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的改進(jìn)的多晶太陽(yáng)電池的擴(kuò)散工藝，其特征在于，所述小氮流量 為2L/min~2.8L/min，所述氧氣的流量為0.4L/min~0.8L/min，所述大氮的流量為7.2L/ min~7·7L/min〇
【文檔編號(hào)】H01L31/0224GK105870217SQ201610330027
【公開(kāi)日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2015年1月12日
【發(fā)明人】朱金浩, 蔣劍波, 王猛, 許布, 萬(wàn)光耀, 陳玨榮, 高非, 朱慶慶
【申請(qǐng)人】浙江光隆能源科技股份有限公司