改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有技術(shù)中的一步擴(kuò)散法的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率普遍偏低等技術(shù)問題。本改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，該工藝包括以下步驟：A、低溫沉積；B、變溫沉積；C、高溫沉積；D、升溫；E、高溫推結(jié)；F、冷卻。利用本擴(kuò)散工藝制作出來的太陽能電池片具有封裝損耗低、太陽能電池片轉(zhuǎn)化率高的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】
改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝
[0001 ] 本發(fā)明是屬于申請?zhí)枺?01510014375.8,申請日2015-01-12專利名稱:一種太陽能 電池片及其擴(kuò)散工藝的發(fā)明專利的分案申請。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002] 本發(fā)明屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝。
【背景技術(shù)】
[0003] 傳統(tǒng)多晶太陽電池的生產(chǎn)工序主要為：制絨、擴(kuò)散、濕法刻蝕、PE鍍膜、烘干、印刷 背場、烘干、印刷背極、印刷正極、燒結(jié)和測試分選。擴(kuò)散工序直接影響著多晶太陽電池的開 路電壓，其主要影響因素為擴(kuò)散表面摻雜濃度，表面摻雜濃度高會引起重?fù)诫s效應(yīng)。重?fù)诫s 效應(yīng)會引起禁帶寬度收縮，影響本征載流子濃度，影響有效摻雜濃度和降低少子壽命。在硅 晶體中，由于重?fù)诫s會引起能帶結(jié)構(gòu)的變化，在能帶的邊緣形成所謂的"帶尾"。禁帶寬度收 縮必然會導(dǎo)致開路電壓的損失，最終導(dǎo)致效率的降低。另外重?fù)诫s會使前表面的有效摻雜 濃度降低二個(gè)數(shù)量級，因此，減少了頂區(qū)表面處的開路電壓，且在前表面區(qū)0.1微米左右的 范圍內(nèi)，越靠近表面，有效摻雜濃度也越低，形成一個(gè)衰退電場。這種衰退電場阻止少子空 穴往P-N結(jié)邊界方向移動。這是重?fù)诫s太陽電池中頂區(qū)表面產(chǎn)生"死層"的一種原因。"死層" 處的復(fù)合速率非常高，會很大程度的降低載流子的壽命。為了獲得最佳的電池性能，必須選 擇適當(dāng)?shù)臄U(kuò)散頂區(qū)摻雜濃度，使這一濃度不至于引起衰退電場。
[0004] 在實(shí)際生產(chǎn)過程中，采用現(xiàn)有技術(shù)中的一步擴(kuò)散法的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率普遍 偏低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的第一個(gè)目的是針對現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問題，提出了一種太陽能電池 片，該太陽能電池片具有封裝損耗低的特點(diǎn)。
[0006] 本發(fā)明的第一個(gè)目的可通過下列技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種太陽能電池片，它包括呈 板狀的本體，所述本體的一側(cè)為正極，所述本體的另一側(cè)為負(fù)極，所述正極上均布有3條主 柵和96條細(xì)柵，所述主柵與細(xì)柵垂直設(shè)置且它們電連接，其特征在于，所述每條主柵之間的 間距為50-55毫米，所述主柵的寬度為1.2-1.5毫米，所述細(xì)柵間距為1.2-1.8毫米，所述 細(xì)柵的寬度為〇. 03-0.04毫米。
[0007] 采用以上結(jié)構(gòu)，采用3條主柵和96條細(xì)柵的密柵設(shè)計(jì)，使得成品開路電壓比常規(guī)太 陽能電池片高，同時(shí)，避免了由于擴(kuò)散方阻提升而導(dǎo)致的串聯(lián)電阻上升，且在封裝組件時(shí)能 降低封裝損耗。
[0008] 所述的主柵由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置。
[0009] 所述每個(gè)主柵段的長度為8-10毫米。
[0010] 所述細(xì)柵的長度為150-160毫米。
[0011]本發(fā)明的第二個(gè)目的是針對現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問題，提出了一種改進(jìn)的太陽能 電池片的擴(kuò)散工藝，該擴(kuò)散工藝具有太陽能電池片轉(zhuǎn)化率高的特點(diǎn)。
[0012] 本發(fā)明的第二個(gè)目的可通過下列技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò) 散工藝，該工藝包括以下步驟：
[0013] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在760-800°C保持5-10 分鐘，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，所述大氮與氧氣體積 比為15:1，所述小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為10:100;
[0014] B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在6-9分鐘內(nèi)提升至815-825°C，在該時(shí)間范圍 內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，所述大氮與氧氣體積比為15:1，所述小氮 和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為12:100;
[0015] C、高溫沉積:在815-825 °C進(jìn)行2-5分鐘的保溫，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣和小氮的混合氣體，所述大氮與氧氣體積比為15:1，所述小氮和大氮與氧氣兩者混 合氣體的體積比為11:100;
[0016] D、升溫:將10-12分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至835°C，升溫過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通 入大氮；
[0017] E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在835 °C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在10-12分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入 大氮和氧氣的混合氣體，所述氧氣占上述混合氣體體積的32 % - 36 % ;
[0018] F、冷卻:在10-15分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至790°C，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通 入大氮、氧氣的混合氣體，所述氧氣占上述混合氣體體積的32 % - 36 %。
[0019]所述擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定。
[0020 ]所述擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為8L/m i n - 11 L/m i n。
[0021 ] 所述小氮流量為2L/min~2.5L/min，所述氧氣的流量為0.5L/min~0.8L/min，所 述大氮的流量為7L/min~7.7L/minL/min。
[0022] 所述步驟A中所述小氮流量為2L/min，所述氧氣的流量為0.6L/min，所述大氮的流 量為 7L/min〇
[0023]所述步驟B中所述小氮流量為2.5L/min，所述氧氣的流量為0.6L/min，所述大氮的 流量為7L/min。
[0024]所述步驟C中所述小氮流量為2.2L/min，所述氧氣的流量為0.6L/min，所述大氮的 流量為7L/min。
[0025] 所述本體的方塊電阻為92-98 Q/口。
[0026] 采用以上工藝，使得在不增加成本的情況下，可以提高太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率。
[0027] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：
[0028] 本發(fā)明采用3條主柵和96條細(xì)柵的密柵設(shè)計(jì)，使得成品開路電壓比常規(guī)太陽能電 池片高，同時(shí)，避免了由于擴(kuò)散方阻提升而導(dǎo)致的串聯(lián)電阻上升，且在封裝組件時(shí)能降低封 裝損耗，封裝損耗低;采用該擴(kuò)散工藝，相比一次恒溫沉積擴(kuò)散可以在不增加成本的情況下 使生產(chǎn)的太陽能電池片獲得高的轉(zhuǎn)換效率，太陽能電池片轉(zhuǎn)化率高。
【附圖說明】
[0029] 圖1是本太陽能電池片的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030] 圖2是本改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝的步驟示意圖。
[0031]圖中，1、本體;2、主柵;3、細(xì)柵。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下是本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述， 但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例。
[0033] 實(shí)施例一：
[0034]如圖1所示，本太陽能電池片，它包括呈板狀的本體1，本體1的一側(cè)為正極，本體1 的另一側(cè)為負(fù)極，正極上均布有3條主柵2和96條細(xì)柵3，主柵2與細(xì)柵3垂直設(shè)置且它們電連 接，每條主柵2之間的間距為50毫米，主柵2的寬度為1.2毫米，細(xì)柵3間距為1.2毫米，細(xì)柵3 的寬度為0.03毫米。
[0035] 如圖1所示，主柵2由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置;每個(gè)主柵段的長度為8毫 米;細(xì)柵3的長度為150毫米。
[0036] 如圖2所示，本改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，該工藝包括以下步驟：
[0037] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在760°C保持5分鐘，在該 時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮 和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為10:100;步驟A中小氮流量為2L/min，氧氣的流量為 0.6L/min，大氮的流量為7L/min;
[0038] B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在6分鐘內(nèi)提升至815°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散 爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者 混合氣體的體積比為12:100;步驟B中小氮流量為2.5L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮 的流量為7L/min;
[0039] C、高溫沉積:在815°C進(jìn)行2分鐘的保溫，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和 小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為 11:100;步驟C中小氮流量為2.2L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮的流量為7L/min; [0040] D、升溫:將10分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至835°C，升溫過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮；
[00411 E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在835°C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在10分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮 和氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的32 % ;
[0042] F、冷卻:在10分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至790°C，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的32 %。
[0043]擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定;擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為8L/min-1 lL/min;小氮流 量為2L/min~2.5L/min，氧氣的流量為0.5L/min~0.8L/min，大氮的流量為7L/min~7.7L/ minL/min〇
[0044] 本體的方塊電阻為92 Q/口。
[0045] 下表為列出了本發(fā)明實(shí)施例一的太陽能電池片與常規(guī)太陽能電池片的電性能數(shù) 據(jù)：
[0046]
[0047] 本發(fā)明采用多溫度平臺變溫沉積高溫推結(jié)工藝，并且印刷正極過程中的正極印刷 圖形采用3條主柵和96條細(xì)柵的密柵設(shè)計(jì)，使得成品開路電壓比常規(guī)太陽能電池片高2mv， 同時(shí)，避免了由于擴(kuò)散方阻提升而導(dǎo)致的串聯(lián)電阻上升，其太陽能電池片平均轉(zhuǎn)換效率高 于常規(guī)太陽能電池片，并且在封裝組件時(shí)能降低由于短波吸收損失而導(dǎo)致的封裝損耗。 [0048] 實(shí)施例二：
[0049]如圖1所示，本太陽能電池片，它包括呈板狀的本體1，本體1的一側(cè)為正極，本體1 的另一側(cè)為負(fù)極，正極上均布有3條主柵2和96條細(xì)柵3，主柵2與細(xì)柵3垂直設(shè)置且它們電連 接，每條主柵2之間的間距為55毫米，主柵2的寬度為1.5毫米，細(xì)柵3間距為1.8毫米，細(xì)柵3 的寬度為0.04毫米。
[0050] 如圖1所示，主柵2由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置;每個(gè)主柵段的長度為10毫 米;細(xì)柵3的長度為160毫米。
[0051] 如圖2所示，本改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，該工藝包括以下步驟：
[0052] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在800°C保持10分鐘，在 該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小 氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為10:100;步驟A中小氮流量為2L/min，氧氣的流量 為0.6L/min，大氮的流量為7L/min;
[0053] B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在9分鐘內(nèi)提升至825°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散 爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者 混合氣體的體積比為12:100;步驟B中小氮流量為2.5L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮 的流量為7L/min;
[0054] C、高溫沉積:在825°C進(jìn)行5分鐘的保溫，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和 小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為 11:100;步驟C中小氮流量為2.2L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮的流量為7L/min; [0055] D、升溫:將12分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至835°C，升溫過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮；
[0056] E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在835°C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在12分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮 和氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36 % ;
[0057] F、冷卻:在15分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至790°C，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36 %。
[0058]擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定;擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為8L/min-1 lL/min;小氮流 量為2L/min~2.5L/min，氧氣的流量為0.5L/min~0.8L/min，大氮的流量為7L/min~7.7L/ minL/min〇
[0059] 本體的方塊電阻為98 Q/口。
[0060]下表為列出了本發(fā)明實(shí)施例二的太陽能電池片與常規(guī)太陽能電池片的電性能數(shù) 據(jù)：
[0062] 實(shí)施例三：
[0063]如圖1所示，本太陽能電池片，它包括呈板狀的本體1，本體1的一側(cè)為正極，本體1 的另一側(cè)為負(fù)極，正極上均布有3條主柵2和96條細(xì)柵3，主柵2與細(xì)柵3垂直設(shè)置且它們電連 接，每條主柵2之間的間距為50-52毫米，主柵2的寬度為1.3毫米，細(xì)柵3間距為1.5毫米，細(xì) 柵3的寬度為0.035毫米。
[0064] 如圖1所示，主柵2由若干段主柵段縱向排列均布設(shè)置;每個(gè)主柵段的長度為9毫 米;細(xì)柵3的長度為155毫米。
[0065] 如圖2所示，本改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，該工藝包括以下步驟：
[0066] A、低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在780°C保持7分鐘，在該 時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮 和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為10:100;步驟A中小氮流量為2L/min，氧氣的流量為 0.6L/min，大氮的流量為7L/min;
[0067] B、變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在7分鐘內(nèi)提升至820°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散 爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者 混合氣體的體積比為12:100;步驟B中小氮流量為2.5L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮 的流量為7L/min;
[0068] C、高溫沉積:在820°C進(jìn)行3分鐘的保溫，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和 小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為 11:100;步驟C中小氮流量為2.2L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮的流量為7L/min; [0069] D、升溫:將11分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至835°C，升溫過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮；
[0070] E、高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在835°C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在11分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮 和氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的34 % ;
[0071 ] F、冷卻:在12分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至790°C，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大 氮、氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的34 %。
[0072]擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體流量恒定;擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體通入流量為8L/min-1 lL/min;小氮流 量為2L/min~2.5L/min，氧氣的流量為0.5L/min~0.8L/min，大氮的流量為7L/min~7.7L/ minL/min〇
[0073] 本體的方塊電阻為95 Q/口。
[0074] 下表為列出了本發(fā)明實(shí)施例三的太陽能電池片與常規(guī)太陽能電池片的電性能數(shù) 據(jù)：
[0075]
[0076]由上面實(shí)施例得出，本發(fā)明方法使硅片的方塊電阻控制在92-98 Q/□匹配3條主 柵和96條細(xì)柵正極網(wǎng)版，相比一次恒溫沉積擴(kuò)散可以在不增加成本的情況下使生產(chǎn)的太陽 能電池片獲得高的轉(zhuǎn)換效率。
[0077]本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對本發(fā)明精神作舉例說明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng) 域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替 代，但并不會偏離本發(fā)明的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，該工藝包括以下步驟： A、 低溫沉積:將本體置入普通的擴(kuò)散爐中，擴(kuò)散爐中溫度在800°C保持10分鐘，在該時(shí) 間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和 大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為10:100;步驟A中小氮流量為2L/min，氧氣的流量為 0.6L/min，大氮的流量為7L/min; B、 變溫沉積:將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度在9分鐘內(nèi)提升至825°C，在該時(shí)間范圍內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi) 通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合 氣體的體積比為12:100;步驟B中小氮流量為2.5L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮的流 量為 7L/min; C、 高溫沉積:在825°C進(jìn)行5分鐘的保溫，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、氧氣和小氮 的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，小氮和大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比為11: 100;步驟C中小氮流量為2.2L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮的流量為7L/min; D、 升溫:將12分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度升至835°C，升溫過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮； E、 高溫推結(jié):待擴(kuò)散爐內(nèi)在835 °C溫度時(shí)穩(wěn)定后，在12分鐘內(nèi)向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮和氧 氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36% ; F、 冷卻：在15分鐘內(nèi)將擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度降至790°C，這個(gè)過程中向擴(kuò)散爐內(nèi)通入大氮、 氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36 %。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，其特征在于，所述擴(kuò)散爐內(nèi) 的氣體流量恒定。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，其特征在于，所述擴(kuò)散爐內(nèi) 的氣體通入流量為8L/min-llL/min。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的改進(jìn)的太陽能電池片的擴(kuò)散工藝，其特征在于，所述步驟A中 所述小氮流量為2L/min，所述所述氧氣的流量為0.6L/min，所述大氮的流量為7L/min;所述 步驟B中所述小氮流量為2.5L/min，所述氧氣的流量為0.6L/min，所述大氮的流量為7L/ min;所述步驟C中所述小氮流量為2.2L/min，所述氧氣的流量為0.6L/min，所述大氮的流量 為7L/min〇
【文檔編號】H01L31/18GK105957904SQ201610322851
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2015年1月12日
【發(fā)明人】朱金浩, 蔣劍波, 王猛, 許布, 萬光耀, 陳玨榮, 高非, 朱慶慶
【申請人】浙江光隆能源科技股份有限公司