本實用新型涉及石英舟技術領域，尤其涉及一種支撐腿可拆卸的石英舟。

背景技術：

石英舟是晶硅太陽能電池擴散工序中用于承載硅片的載具，具有耐高溫和較好的化學穩(wěn)定性的特點。目前，在生產(chǎn)過程中，用石英舟承載清洗制絨后的硅片進行擴散。在放置石英舟時，石英舟的支撐腳受瞬間力較大，容易導致支撐腳破裂，導致整個石英舟報廢，損失很大。此外，由于擴散工序潔凈度要求極高以及管式擴散爐爐管溫度較高，一般會使用舟叉和設置于石英舟上的套管配合搬運石英舟，舟叉和套管之間受力大、使用頻次高，容易導致套管的管口斷裂，更嚴重時導致石英舟之上承載的硅片掉落。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提出一種支撐腿可拆卸的石英舟，在支撐腿損壞后替換支撐腿即可，節(jié)約了成本。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種支撐腿可拆卸的石英舟，包括：承載部和支撐部，承載部用于承載硅片，支撐部位于所述承載部的底部，以支撐所述承載部，所述支撐部包括設置于所述承載部兩側的多條支撐腿，所述支撐腿與所述承載部可拆卸連接。

進一步的，所述承載部的底部和所述支撐腿的頂部中的一個設置有燕尾槽，另一個設置有燕尾榫，所述燕尾槽和所述燕尾榫插接配合。

進一步的，所述燕尾槽和所述燕尾榫上均設置有定位孔，所述燕尾槽和所述燕尾榫通過穿過所述定位孔的螺栓定位。

進一步的，所述承載部的底部和所述支撐腿的頂部均設置有固定孔，所述承載部和所述支撐腿通過穿過所述固定孔的螺栓固定。

進一步的，所述支撐腿的底面的面積大于頂面的面積。

進一步的，所述支撐腿的底部的側面從上到下呈外凸的弧面。

進一步的，所述承載部的頂部設置有套管，所述套管用于與舟叉配合搬運所述石英舟，所述套管的內(nèi)徑從一端到另一端保持一致，外徑從一端到另一端逐漸變大。

進一步的，所述套管的內(nèi)腔沿軸向設置有多個環(huán)形凹槽。

進一步的，所述承載部包括位于兩端的承載架，兩端的所述承載架之間連接有多根支撐桿，多根所述支撐桿包括位于底部的底部支撐桿和位于兩側的側部支撐桿。

進一步的，位于外側的所述底部支撐桿之間的距離大于硅片的底邊長度，位于中部的所述底部支撐桿以及側部支撐桿上均設置有用于對硅片限位的卡槽。

有益效果：本實用新型提供了一種支撐腿可拆卸的石英舟，包括承載部和支撐部，承載部用于承載硅片，支撐部位于所述承載部的底部，以支撐所述承載部，所述支撐部包括設置于所述承載部兩側的多條支撐腿，所述支撐腿與所述承載部可拆卸連接。當石英舟的支撐腿損壞后替換支撐腿即可，不需要報廢整個石英舟，節(jié)約了成本。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例1提供的石英舟的結構示意圖。

圖2是本實用新型實施例1提供的石英舟的燕尾槽和燕尾榫處的結構示意圖。

圖3是本實用新型實施例1提供的套管的結構示意圖。

圖4是本實用新型實施例2提供的石英舟的側視圖。

其中：

1-承載部，11-承載架，12-底部支撐桿，13-側部支撐桿，2-支撐腿，3-燕尾槽，4-燕尾榫，5-定位孔，6-固定孔，7-套管，71-環(huán)形凹槽。

具體實施方式

為使本實用新型解決的技術問題、采用的技術方案和達到的技術效果更加清楚，下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術方案。

實施例1

如圖1-圖3所示，本實施例提供了一種支撐腿可拆卸的石英舟，包括承載部1和支撐部，承載部1用于承載硅片；支撐部位于承載部1的底部，以支撐承載部1，支撐部包括設置于承載部1兩側的多條支撐腿2，一般為4條支撐腿2且分布在承載部1四個邊角上，支撐腿2與承載部1可拆卸連接。當石英舟的支撐腿2損壞后替換支撐腿2即可，不需要報廢整個石英舟，節(jié)約了成本。承載部1一般包括位于兩端的承載架11，兩端的承載架11之間連接有多根支撐桿，多根支撐桿包括位于底部的底部支撐桿12和位于兩側的側部支撐桿13。通過承載架11和支撐桿的組合形成的承載部1也便于拆卸，且與多塊承載板組合形成的承載部相比，重量更輕，使用方便。位于外側的底部支撐桿12之間的距離需要大于硅片的底邊長度，以對硅片沿長度方向的兩端移動，位于中部的底部支撐桿12以及側部支撐桿13上均設置有用于對硅片限位的卡槽，將硅片限制在卡槽中?？ú鄣臄?shù)量在800-1000左右，可以承載較多的硅片，提高生產(chǎn)效率。

具體而言，本實施例中，承載部1的底部設置有燕尾槽3，支撐腿2的頂部設置有燕尾榫4，燕尾槽3和燕尾榫4插接配合，將支撐腿2的頂部插入到承載部1的底部中，方便拆卸，且燕尾槽3和燕尾榫4配合可以有效固定支撐腿2和承載部1。為了進一步避免燕尾榫4從燕尾槽3中滑出，燕尾槽3和燕尾榫4上還均設置有定位孔5，燕尾槽3和燕尾榫4通過穿過定位孔5的螺栓定位。如圖2所示，定位孔5設置在燕尾槽3和燕尾榫4的側部，當燕尾榫4插入到燕尾槽3中后，螺栓從定位孔5中穿入定位。燕尾槽3和燕尾榫4上至少一個定位孔5是螺紋孔，和螺栓配合固定。

當然，燕尾槽3和燕尾榫4的位置也可以互換，即燕尾槽3設置于支撐腿2的頂部，燕尾榫4設置于承載部1的底部，也可以實現(xiàn)支撐腿2和承載部1之間的可拆卸連接。

為了減少支撐腿2的損壞，可以增大支撐腿2的底面積，使得支撐腿2的底面的面積大于頂面的面積，減少支撐腿2的壓強。一般而言，支撐腿2的底部的側面從上到下呈外凸的弧面或平面，以增大支撐腿2的底面積。支撐腿2的底部的側面從上到下可以優(yōu)選為呈外凸的弧面，在受到碰撞時，弧面能更好地分散受力，更好的保護支撐腿2，避免支撐腿2損壞。

本實施例的石英舟的承載部1的頂部設置有套管7，套管7用于與舟叉配合搬運石英舟。針對現(xiàn)有技術中套管7容易損壞的問題，本實施例中，套管7的內(nèi)徑從一端到另一端保持一致，為10-12mm，外徑從一端到另一端逐漸變大，一端的外徑為14-16mm，另一端外徑為20-22mm，即，套管7的厚度變厚。在使用時，舟叉從外徑比較大(即更厚)的一端插入，由于舟叉與套管7的插入部位的受力最大，接觸最頻繁，最容易損壞，因此，使用更厚的套管7可以提高耐用程度，減少損壞的概率。為了避免舟叉從套管7內(nèi)滑出，套管7的內(nèi)腔沿軸向設置有多個環(huán)形凹槽71。

實施例2

如圖4所示，在實施例1的基礎上，與實施例1不同的是，本實施例的支撐腿2和承載部1的可拆卸連接不通過燕尾槽和燕尾榫的插接實現(xiàn)，而是在承載部1的底部和支撐腿2的頂部均設置固定孔6，承載部1和支撐腿2通過穿過固定孔6的螺栓固定。當支撐腿2需要更換時，直接將支撐腿2和承載部1上的固定孔6對齊后，通過螺栓固定即可。當然，為了和螺栓配合，固定孔6需要設置成螺紋孔。

以上內(nèi)容僅為本實用新型的較佳實施例，對于本領域的普通技術人員，依據(jù)本實用新型的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，本說明書內(nèi)容不應理解為對本實用新型的限制。