擴散石英舟的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種擴散石英舟，其包括兩塊端框、至少一根底支撐桿以及多根側(cè)固定桿；兩塊端框豎直設(shè)置且沿一第一水平方向間隔排列；至少一根底支撐桿水平連接于兩塊端框的底部之間，底支撐桿的一上表面開設(shè)有多個沿第一水平方向間隔排列的第一卡槽；多根側(cè)固定桿包括至少一根左側(cè)固定桿及至少一根右側(cè)固定桿，左側(cè)固定桿水平連接于兩塊端框的左側(cè)之間；右側(cè)固定桿水平連接于兩塊端框的右側(cè)之間，側(cè)固定桿朝向端框的一側(cè)面開設(shè)有多個沿其延伸方向間隔排列的第二卡槽；其中，多個第一卡槽與多個第二卡槽共同界定出水平間隔分布的多個放置空間，以分別放置多塊硅片。本實用新型對擴散方阻的均勻性有較大的改善，同時提高了電池片的轉(zhuǎn)換效率。
【專利說明】
擴散石英舟
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種擴散石英舟。
【背景技術(shù)】
[0002]晶體硅太陽能電池生產(chǎn)的主要流程包括:制絨、擴散、濕法刻蝕、沉積減反射膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)。其中，擴散是在硅片(一般摻硼)表面形成P-N結(jié)，是太陽能電池片實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換的核心工序，而P-N結(jié)的結(jié)深、表面慘雜濃度以及P-N結(jié)的均勻性，對電池的轉(zhuǎn)換效率有著非常重要的影響，尤其是P-N結(jié)的均勻性，它會影響燒結(jié)工序，進而影響電池的串聯(lián)電阻Rs。
[0003]目前，晶體硅太陽電池擴散工藝中大都采用三氯氧磷(POCl3)液態(tài)源擴散法，其原理是:三氯氧磷被氮氣攜帶進入石英爐管內(nèi)，在高溫條件下分解為五氯化磷和五氧化二磷，五氯化磷與氧氣反應(yīng)生成五氧化二磷和氯氣，五氧化二磷又與硅片反應(yīng)生成磷單質(zhì)和二氧化硅，高溫下磷原子從硅片表面向內(nèi)部擴散，并形成N型區(qū)域，和基片一起構(gòu)成了 P-N結(jié)。利用此方法得到的P-N結(jié)結(jié)構(gòu)均勻，擴散層表面良好，并且生產(chǎn)效率高，有利于制作大面積太陽能電池，是目前應(yīng)用最多的擴散方法。
[0004]如圖1所示，上述擴散方法通常是在石英舟100上間隔均勻的插上清洗后的硅片200進行擴散，而該方法的弊端在于，一方面，由于擴散爐管的爐口熱量損失較大，使得爐口的擴散方阻偏大，而爐內(nèi)由于熱量損失較小，使?fàn)t內(nèi)的擴散方阻偏小，這樣就造成了擴散方阻管內(nèi)不均勻，這樣在石英舟100兩端就會產(chǎn)生許多方阻超標(biāo)的硅片200，不利于工藝的穩(wěn)定。
[0005]其次，目前擴散工藝中使用的石英舟100，硅片200均沿爐管方向垂直放置，工藝氣體從爐尾進入爐內(nèi)后，氣流垂直于硅片200表面，工藝氣體沿著硅片200周邊流向爐口，由于硅片200在石英爐管中距離很小(約2.5mm)，工藝氣體很難到達硅片200與硅片200之間的位置，因此硅片200的中心部位難以獲得與四周等量的磷源，從而導(dǎo)致硅片200中心部位雜質(zhì)濃度低、方阻偏高、電池片方阻均勻性差，從而影響電池轉(zhuǎn)換效率。
[0006]在生產(chǎn)過程中，石英舟100是一個整體，質(zhì)量較大，容易因使用不當(dāng)發(fā)生碎裂，而且一旦發(fā)生損壞，就需要整體更換，也不利于使用成本的降低。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]本實用新型的一個主要目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的至少一種缺陷，提供一種保證擴散方阻均勻性且產(chǎn)能較高的擴散石英舟。
[0008]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0009]根據(jù)本實用新型的一個方面，提供一種擴散石英舟，用于放置多塊硅片，其中，所述擴散石英舟包括兩塊端框、至少一根底支撐桿以及多根側(cè)固定桿;所述兩塊端框豎直設(shè)置且沿一第一水平方向間隔排列;所述至少一根底支撐桿水平連接于所述兩塊端框的底部之間，所述底支撐桿的一上表面開設(shè)有多個沿所述第一水平方向間隔排列的第一卡槽;所述多根側(cè)固定桿包括至少一根左側(cè)固定桿及至少一根右側(cè)固定桿，所述左側(cè)固定桿水平連接于所述兩塊端框的左側(cè)之間；所述右側(cè)固定桿水平連接于所述兩塊端框的右側(cè)之間，所述側(cè)固定桿朝向所述端框的一側(cè)面開設(shè)有多個沿其延伸方向間隔排列的第二卡槽;其中， 所述多個第一卡槽與所述多個第二卡槽共同界定出水平間隔分布的多個放置空間，以分別放置所述多塊硅片。
[0010]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，所述擴散石英舟包括兩根所述底支撐桿， 所述兩根底支撐桿間隔平行設(shè)置，且連接于所述兩塊端框底部的中間位置之間。
[0011]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，所述擴散石英舟包括相對設(shè)置的一根所述左側(cè)固定桿及一根所述右側(cè)固定桿，所述左側(cè)固定桿連接于所述兩塊端框左側(cè)的上部之間，所述右側(cè)固定桿連接于所述兩塊端框右側(cè)的上部之間。
[0012]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，每個所述放置空間由每根所述底支撐桿上的其中一個所述第一卡槽與每根所述側(cè)固定桿上的其中一個所述第二卡槽共同界定。
[0013]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，在共同界定一個所述放置空間的各所述第一卡槽和各所述第二卡槽中，所述第一卡槽的位置相對于所述第二卡槽的位置具有一沿所述第一水平方向的偏移值(D)，而使所述硅片放置于所述放置空間時，所述硅片具有一個朝向所述第一水平方向的傾斜角度。
[0014]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，所述偏移值(D)為小于3mm。
[0015]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，每根所述底支撐桿上的所述第一卡槽的數(shù)目與每根所述側(cè)固定桿上的所述第二卡槽的數(shù)目相等。
[0016]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，每根所述底支撐桿上的相鄰兩個所述第一卡槽的間距與每根所述側(cè)固定桿上的相鄰兩個所述第二卡槽的間距相等。
[0017]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，所述擴散石英舟還包括兩根舟叉插管;所述兩根舟叉插管沿所述第一水平方向設(shè)置且間隔排列，以與一舟叉配合;所述兩根舟叉插管的其中之一的兩端分別固定于所述兩塊端框左側(cè)的頂部，其中另一的兩端分別固定于所述兩塊端框右側(cè)的頂部。
[0018]根據(jù)本實用新型的其中一個實施方式，所述擴散石英舟還包括底座;所述底座連接于所述兩塊端框的底部之間，以與一石英舟底托配合。
[0019]由上述技術(shù)方案可知，本實用新型提出的擴散石英舟的優(yōu)點和積極效果在于:
[0020]本實用新型提出的擴散石英舟，通過各第一卡槽與各第二卡槽界定出多個放置空間，能夠使硅片能夠沿與工藝氣流平行的方向放置在上述放置空間，進而使擴散石英舟上的硅片和工藝氣流平行，使氣流能夠均勻地在硅片之間流動，對擴散方阻的均勻性有較大的改善，同時提高了電池片的轉(zhuǎn)換效率，降低了低效片的比例，節(jié)約了企業(yè)的成本。
[0021]另外，將多個本實用新型提出的擴散石英舟同向排列，能夠?qū)⒃械囊惑w式石英舟結(jié)構(gòu)設(shè)計成分段結(jié)構(gòu)，一方面減輕了石英舟自身的重量，降低了在使用過程中因操作不當(dāng)而發(fā)生事故的風(fēng)險；另一方面在單個石英舟出現(xiàn)異常而影響使用時，僅需更換發(fā)生異常的部分即可，這樣便進一步延長了石英舟的使用壽命，降低了設(shè)備使用成本?！靖綀D說明】

[0022]通過結(jié)合附圖考慮以下對本實用新型的優(yōu)選實施方式的詳細(xì)說明，本實用新型的各種目標(biāo)、特征和優(yōu)點將變得更加顯而易見。附圖僅為本實用新型的示范性圖解，并非一定是按比例繪制。在附圖中，同樣的附圖標(biāo)記始終表示相同或類似的部件。其中:
[0023]圖1是一種現(xiàn)有石英舟中，硅片擺放方式的示意圖；
[0024]圖2是根據(jù)一示例性實施方式示出的一種擴散石英舟的主視圖；
[0025]圖3是圖2示出的擴散石英舟的側(cè)視圖；
[0026]圖4是圖2不出的擴散石英舟的俯視圖；
[0027]圖5是圖2示出的擴散石英舟的使用狀態(tài)示意圖。[〇〇28] 其中，附圖標(biāo)記說明如下:[〇〇29]100.石英舟；200.硅片；300.擴散石英舟；310.端框；311.舟叉插管；320.端框；321.底座;330.底支撐桿;3301.第一卡槽;341.左側(cè)固定桿;342.右側(cè)固定桿;3401.第二卡槽;D.偏移值?！揪唧w實施方式】
[0030]體現(xiàn)本實用新型特征與優(yōu)點的典型實施例將在以下的說明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本實用新型能夠在不同的實施例上具有各種的變化，其皆不脫離本實用新型的范圍，且其中的說明及附圖在本質(zhì)上是作說明之用，而非用以限制本實用新型。
[0031]在對本實用新型的不同示例性實施方式的下面描述中，參照附圖進行，所述附圖形成本實用新型的一部分，并且其中以示例方式顯示了可實現(xiàn)本實用新型的多個方面的不同示例性結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)和步驟。應(yīng)理解，可以使用部件、結(jié)構(gòu)、示例性裝置、系統(tǒng)和步驟的其他特定方案，并且可在不偏離本實用新型范圍的情況下進行結(jié)構(gòu)和功能性修改。而且，雖然本說明書中可使用術(shù)語“頂部”、“底部”、“左側(cè)”、“右側(cè)”、“上部”等來描述本實用新型的不同示例性特征和元件，但是這些術(shù)語用于本文中僅出于方便，例如根據(jù)附圖中所述的示例的方向。本說明書中的任何內(nèi)容都不應(yīng)理解為需要結(jié)構(gòu)的特定三維方向才落入本實用新型的范圍內(nèi)。[〇〇32]參閱圖2,圖2中代表性地示出了能夠體現(xiàn)本實用新型的原理的擴散石英舟300的主視圖。在該示例性實施方式中，本實用新型提出的擴散石英舟300是以適用于晶體硅太陽電池擴散工藝的擴散石英舟300為例進行說明的。本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是，為將本實用新型提出的擴散石英舟300應(yīng)用于其他擴散系統(tǒng)或擴散工藝中，而對下述的【具體實施方式】做出多種改型、添加、替代、刪除或其他變化，這些變化仍在本實用新型提出的擴散石英舟300的原理的范圍內(nèi)。
[0033]配合參閱圖3至圖5，圖3為圖2示出的擴散石英舟300的側(cè)視圖；圖4為圖2示出的擴散石英舟300的俯視圖；圖5為圖2示出的擴散石英舟300的使用狀態(tài)示意圖。以下結(jié)合圖2至圖5,對本實用新型提出的擴散石英舟300的各主要結(jié)構(gòu)進行詳細(xì)說明。[〇〇34]如圖2至圖4所示，在本實施方式中，本實用新型提出的擴散石英舟300主要能夠用于放置多塊硅片。該擴散石英舟300主要包括兩塊端框310,320、兩根底支撐桿330以及兩根側(cè)固定桿。
[0035] 如圖2至圖4所示，在本實施方式中，端框310和端框320均豎直設(shè)置且兩者沿一第一水平方向間隔相對設(shè)置，且端框310和端框320均呈尺寸相同的矩形框狀結(jié)構(gòu)，而使端框 310和端框320均具有頂部、底部(上、下側(cè)邊)與兩側(cè)部(左、右側(cè)邊)。另外，在本實施方式中，兩塊端框310,320上設(shè)有兩根沿第一水平方向設(shè)置且間隔排列的舟叉插管311，用于與一舟叉配合，這兩根舟叉插管311的其中一根的兩端分別固定于所述兩塊端框310,320左側(cè)的頂部，其中另一根舟叉插管311的兩端分別固定于兩塊端框310,320右側(cè)的頂部。[〇〇36]本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是，為沿第一水平方向間隔相對地設(shè)置上述端框310 和端框320,使端框310和端框320之間能夠便于設(shè)置各底支撐桿330和側(cè)固定桿，而對上述的兩塊端框310,320的形狀或結(jié)構(gòu)做出多種改型、添加、替代、刪除或其他變化，這些變化仍在本實用新型提出的擴散石英舟300的原理的范圍內(nèi)。例如，在本實用新型的其他示例性實施方式中，端框310與端框320可以為形狀不同或尺寸不同的框狀結(jié)構(gòu)或板狀結(jié)構(gòu)。又如，端框310,320可以為多邊形、圓形或其他不規(guī)則形狀，而不具有明顯的前、后側(cè)邊和左、右側(cè)邊，然而通過底支撐桿330和側(cè)固定桿的設(shè)置，亦可界定出端框310和端框320的頂部、底部和側(cè)部。另外，為了便于描述，以下將兩塊端框310,320的上、下側(cè)邊稱為頂部和底部，并將兩塊端框310,320的左、右側(cè)邊稱為左側(cè)、右側(cè)，且無論“側(cè)”或“側(cè)邊”的描述，均僅意在說明端框310與端框320的相對方向，即不排除靠近該“頂部”、“底部”或“側(cè)部”的區(qū)域，而并非僅限于端框310和端框320的側(cè)邊。
[0037]如圖2至圖4所示，在本實施方式中，兩根底支撐桿330沿第一水平方向支撐于端框 310底部與端框320底部之間，且兩根底支撐桿330在與第一水平方向垂直的第二水平方向上間隔一定距離，而使兩根底支撐桿330共同支撐于端框310底部的中部與端框320底部的中部之間。其中，每根底支撐桿330的上表面開設(shè)有多個延第一水平方向間隔排列的第一卡槽3301，不同的底支撐桿330上的多個第一卡槽3301相互對應(yīng)。[〇〇38]本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是，為設(shè)置底支撐桿330,而使硅片放置于擴散石英舟 300時，硅片對應(yīng)于端框310或端框320底部的部分能夠得到第一^^槽3301的定位和承載，而對上述底支撐桿330的數(shù)量或設(shè)置位置做出多種改型、添加、替代、刪除或其他變化，這些變化仍在本實用新型提出的擴散石英舟300的原理的范圍內(nèi)。例如，在本實用新型的其他示例性實施方式中，底支撐桿330的數(shù)量不限于兩根，亦可為一根或多根。進一步地，當(dāng)?shù)字螚U 330為一根時，可優(yōu)選為設(shè)置在端框310底部的中部與端框320底部的中部之間，當(dāng)?shù)字螚U 330為多根時，可采用均勻間隔分布的方式設(shè)置于端框310底部與端框320底部之間，且可優(yōu)選為相對于端框310底部的中部與端框320底部的中部連線對稱分布。
[0039]如圖2至圖4所示，在本實施方式中兩根側(cè)固定桿包括一根左側(cè)固定桿341及一根右側(cè)固定桿342。左側(cè)固定桿341連接于端框310左側(cè)與端框320左側(cè)之間，右側(cè)固定桿342連接于端框310右側(cè)與端框320右側(cè)之間，兩根側(cè)固定桿均沿第一水平方向延伸，且左側(cè)固定桿341與右側(cè)固定桿342優(yōu)選地可以端框310的中心線對稱設(shè)置。其中，兩根側(cè)固定桿朝向端框310的側(cè)面(即相對向內(nèi)的側(cè)面)上均開設(shè)有多個楊第一水平方向間隔分布的第二卡槽 3401，左側(cè)固定桿341與右側(cè)固定桿342上的第二卡槽3401相互對應(yīng)。其中，多個第一卡槽 3301與多個第二卡槽3401共同界定出沿第一水平方向前后間隔分布的多個放置空間，以分別放置多塊硅片。具體而言，在本實施方式中，每根底支撐桿330上的第一^^槽3301的數(shù)目與每根側(cè)固定桿上的第二卡槽3401的數(shù)目相等，每根底支撐桿330上的相鄰兩個第一卡槽 3301的間距與每根側(cè)固定桿上的相鄰兩個第二卡槽3401的間距相等，且每個放置空間由每根底支撐桿330上的其中一個第一卡槽3301與每根側(cè)固定桿上的其中一個第二卡槽3401共同界定而成，即兩個第一卡槽3301與兩個第二卡槽3401大致位于同一豎直平面上而成為一組，共同承載一塊硅片的左側(cè)、右側(cè)和底部。并且，另外，由于端框310頂部與端框320頂部之間未設(shè)置固定桿或支撐桿的結(jié)構(gòu)，而使硅片可以由上方進入擴散石英舟300內(nèi)。
[0040]本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是，為設(shè)置側(cè)固定桿，而使硅片放置于擴散石英舟300 時，硅片對應(yīng)于端框310或端框320左、右側(cè)的部分能夠得到第二卡槽3401的定位，而對上述側(cè)固定桿的數(shù)目或設(shè)置位置做出多種改型、添加、替代、刪除或其他變化，這些變化仍在本實用新型提出的擴散石英舟300的原理的范圍內(nèi)。例如，在本實施方式中，以左側(cè)固定桿341 為例，其優(yōu)選地設(shè)置在端框310左側(cè)與端框320左側(cè)之間并靠近于端框310頂端與端框320頂端，而優(yōu)化硅片承載于放置空間時的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，右側(cè)固定桿342設(shè)置位置與左側(cè)固定桿 341對應(yīng)，不再贅述。在本實用新型的另一實施方式中，左側(cè)固定桿341亦可設(shè)置在端框310 左側(cè)的中部與端框320左側(cè)的中部之間，右側(cè)固定桿342亦然，并不以此為限。又如，在本實用新型的其他示例性實施方式中，側(cè)固定桿的數(shù)量不限于兩根，亦可為兩根以上，且左側(cè)固定桿341與右側(cè)固定桿342的數(shù)量不限于相等，當(dāng)左側(cè)固定桿341或右側(cè)固定桿342為多根時，各左側(cè)固定桿341或各右側(cè)固定桿342在豎直方向上上下間隔分布。
[0041]另外，在本實施方式中，考慮到現(xiàn)有硅片的尺寸及其對擴散石英舟300的結(jié)構(gòu)要求，可將第—^槽3301與第二卡槽3401的寬度優(yōu)選為1.6mm?1.7mm，且每兩個相鄰的第一卡槽3301或每兩個相鄰的第二卡槽3401之間的間距優(yōu)選為2.5mm。再者，基于上述尺寸或結(jié)構(gòu)要求，可將每根底支撐桿330上的第一卡槽3301的數(shù)量優(yōu)選地設(shè)計為45個，并將每根側(cè)固定桿上的第二卡槽3401的數(shù)量優(yōu)選地設(shè)計為45個，S卩，在本實施方式中，該擴散石英舟300 優(yōu)選地具有45個放置空間，而能夠放置45個硅片，并不以此為限。
[0042]在此應(yīng)注意，附圖中示出而且在本說明書中描述的擴散石英舟300僅僅是能夠采用本實用新型原理的許多種擴散石英舟300中的一個示例。應(yīng)當(dāng)清楚地理解，本實用新型的原理絕非僅限于附圖中示出或本說明書中描述的擴散石英舟300的任何細(xì)節(jié)或擴散石英舟 300的任何部件。
[0043]舉例來說，在本實用新型的其他實施方式中，在共同界定一個放置空間的各第一卡槽3301和各第二卡槽3401中，第一卡槽3301的在第一水平方向上的位置(水平中心線的位置)相對于第二卡槽3401的上述位置(水平中心線的位置)具有一沿第一水平方向的偏移值D，而使硅片放置于放置空間時，硅片具有一個朝向第一水平方向的傾斜角度，以優(yōu)化硅片的定位效果。進一步地，上述偏移值D可以優(yōu)選為小于3mm。[〇〇44]然而，并非在本實用新型的每一個實施方式中，都必須將同組的第一卡槽3301與第二卡槽3401的位置設(shè)計為具有上述偏移值D。例如，如圖5所示，在本實施方式中，上述偏移值D為0，即硅片放置于放置空間時保持豎直的狀態(tài)，且硅片的底邊優(yōu)選為沿第二水平方向延伸。又如，在本實用新型的另一實施方式中，上述偏移值D亦可不限于上述取值范圍，并不以此為限。[〇〇45]綜上所述，本實用新型提出的擴散石英舟300,通過各第一卡槽3301與各第二卡槽 3401界定出多個放置空間，能夠使硅片能夠沿與工藝氣流平行的方向放置在上述放置空間，進而使擴散石英舟300上的硅片和工藝氣流平行，使氣流能夠均勻地在硅片之間流動， 對擴散方阻的均勻性有較大的改善，同時提高了電池片的轉(zhuǎn)換效率，降低了低效片的比例， 節(jié)約了企業(yè)的成本。
[0046]另外，將多個本實用新型提出的擴散石英舟300同向排列，能夠?qū)⒃械囊惑w式石英舟結(jié)構(gòu)設(shè)計成分段結(jié)構(gòu)，一方面減輕了石英舟自身的重量，降低了在使用過程中因操作不當(dāng)而發(fā)生事故的風(fēng)險；另一方面在單個石英舟出現(xiàn)異常而影響使用時，僅需更換發(fā)生異常的部分即可，這樣便進一步延長了石英舟的使用壽命，降低了設(shè)備使用成本。
[0047]以上詳細(xì)地描述和/或圖示了本實用新型提出的擴散石英舟的示例性實施方式。 但本實用新型的實施方式不限于這里所描述的特定實施方式，相反，每個實施方式的組成部分和/或步驟可與這里所描述的其它組成部分和/或步驟獨立和分開使用。一個實施方式的每個組成部分和/或每個步驟也可與其它實施方式的其它組成部分和/或步驟結(jié)合使用。 在介紹這里所描述和/或圖示的要素/組成部分/等時，用語“一個”、“一”和“上述”等用以表示存在一個或多個要素/組成部分/等。術(shù)語“包含”、“包括”和“具有”用以表示開放式的包括在內(nèi)的意思并且是指除了列出的要素/組成部分/等之外還可存在另外的要素/組成部分/等。此外，權(quán)利要求書及說明書中的術(shù)語“第一”和“第二”等僅作為標(biāo)記使用，不是對其對象的數(shù)字限制。[〇〇48]雖然已根據(jù)不同的特定實施例對本實用新型提出的擴散石英舟進行了描述，但本領(lǐng)域技術(shù)人員將會認(rèn)識到可在權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)對本實用新型的實施進行改動。
【主權(quán)項】
1.一種擴散石英舟(300)，用于放置多塊硅片，其特征在于，所述擴散石英舟(300)包括: 兩塊端框(310，320)，豎直設(shè)置且沿一第一水平方向間隔排列； 至少一根底支撐桿(330)，水平連接于所述兩塊端框(310，320)的底部之間，所述底支撐桿(330)的一上表面開設(shè)有多個沿所述第一水平方向間隔排列的第一卡槽(3301);以及多根側(cè)固定桿，包括至少一根左側(cè)固定桿(341)及至少一根右側(cè)固定桿(342)，所述左側(cè)固定桿(341)水平連接于所述兩塊端框(310，320)的左側(cè)之間；所述右側(cè)固定桿(342)水平連接于所述兩塊端框(310，320)的右側(cè)之間，所述側(cè)固定桿朝向所述端框(310)的一側(cè)面開設(shè)有多個沿其延伸方向間隔排列的第二卡槽(3401); 其中，所述多個第一卡槽(3301)與所述多個第二卡槽(3401)共同界定出水平間隔分布的多個放置空間，以分別放置所述多塊硅片。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，所述擴散石英舟(300)包括兩根所述底支撐桿(330)，所述兩根底支撐桿(330)間隔平行設(shè)置，且連接于所述兩塊端框(310，320)底部的中間位置之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，所述擴散石英舟(300)包括相對設(shè)置的一根所述左側(cè)固定桿(341)及一根所述右側(cè)固定桿(342)，所述左側(cè)固定桿(341)連接于所述兩塊端框(310，320)左側(cè)的上部之間，所述右側(cè)固定桿(342)連接于所述兩塊端框(310，320)右側(cè)的上部之間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，每個所述放置空間由每根所述底支撐桿(330)上的其中一個所述第一卡槽(3301)與每根所述側(cè)固定桿上的其中一個所述第二卡槽(3401)共同界定。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，在共同界定一個所述放置空間的各所述第一卡槽(3301)和各所述第二卡槽(3401)中，所述第一卡槽(3301)的位置相對于所述第二卡槽(3401)的位置具有一沿所述第一水平方向的偏移值，而使所述硅片放置于所述放置空間時，所述硅片具有一個朝向所述第一水平方向的傾斜角度。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，所述偏移值小于3mm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，每根所述底支撐桿(330)上的所述第一卡槽(3301)的數(shù)目與每根所述側(cè)固定桿上的所述第二卡槽(3401)的數(shù)目相等。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，每根所述底支撐桿(330)上的相鄰兩個所述第一卡槽(3301)的間距與每根所述側(cè)固定桿上的相鄰兩個所述第二卡槽(3401)的間距相等。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，所述擴散石英舟(300)還包括: 兩根舟叉插管(311)，沿所述第一水平方向設(shè)置且間隔排列，以與一舟叉配合;所述兩根舟叉插管(311)的其中之一的兩端分別固定于所述兩塊端框(310，320)左側(cè)的頂部，其中另一的兩端分別固定于所述兩塊端框(310，320)右側(cè)的頂部。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散石英舟(300)，其特征在于，所述擴散石英舟(300)還包括: 底座(321)，連接于所述兩塊端框(310，320)的底部之間，以與一石英舟底托配合。
【文檔編號】H01L31/18GK205692809SQ201620628026
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年6月21日 公開號201620628026.5, CN 201620628026, CN 205692809 U, CN 205692809U, CN-U-205692809, CN201620628026, CN201620628026.5, CN205692809 U, CN205692809U
【發(fā)明人】鄒凱, 和江變, 周國華, 馬承鴻, 李健
【申請人】內(nèi)蒙古日月太陽能科技有限責(zé)任公司