專利名稱：硅單晶爐翻板閥室觀察窗的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅單晶爐翻板閥室，尤其涉及一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗。
背景技術：
硅單晶爐爐室部分由主室，翻板閥室和副室組成。翻板閥室在主室和副室之間，起聯通和隔斷作用。在晶體生長和取晶棒時都要經過翻板閥室，所以它有一個觀察窗，當爐內高溫時，由于熱輻射吸收使這個觀察窗發(fā)熱。與之相接觸的橡膠密封圈會過熱而失去密封作用，通常有兩個方案解決這個問題一是采用雙層(石英)玻璃，中間水冷。它的缺點是一旦玻璃碎了，水會涌入高溫爐室內，照成安全隱患。此外結構設計安裝都比較復雜。二是采用單層石英玻璃。為了減少過熱，將窗口尺寸減小很多。優(yōu)點是結構簡單，缺點是視野太小，觀察操作不便。

實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其具有結構簡單，安裝方便以及安全可靠性高的特點。本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃，其中，所述觀察玻璃位于翻板閥室室內的表面上鍍有反光層。特別地，所述反光層設置為環(huán)形結構，于觀察玻璃的中間位置留有透明的觀察小窗。特別地，所述觀察玻璃為石英玻璃，所述反光層為具有反光特性的金屬膜。特別地，所述觀察小窗為橢圓形或長圓形的任一種結構。本實用新型的有益效果為，所述硅單晶爐翻板閥室觀察窗的觀察玻璃位于翻板閥室室內的表面上鍍有環(huán)形的反光層，且于中間留有透明的觀察小窗，在起到觀察效果的同時，利用反光層反射掉爐內的輻射熱量，避免了與觀察玻璃接觸的膠密封圈會過熱而失去密封作用，不僅結構簡單，易于實現，而且安裝方便，安全可靠性高。

下面根據附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。圖1為本實用新型硅單晶爐翻板閥室觀察窗的結構示意圖。圖中1、觀察玻璃；2、反光層；3、觀察小窗。
具體實施方式
請參照圖1所示，圖1為本實用新型硅單晶爐翻板閥室觀察窗的結構示意圖，于本實施例中，一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃1，所述觀察玻璃1為石英玻璃，且所述觀察玻璃1位于翻板閥室室內的表面上鍍有反光層2，所述反光層2為具有反光特性的金膜，設置為環(huán)形結構，且于觀察玻璃1的中間位置留有透明的橢圓形結構的觀察小窗3。所述觀察小窗3用于對室內情況進行觀察，并利用反光層2反射掉爐內的輻射熱量，避免了與觀察玻璃接觸的膠密封圈會過熱而失去密封作用，不僅結構簡單，易于實現，而且安裝方便，安全可靠性高。 以上實施例只是闡述了本實用新型的基本原理和特性，可隨著反光層的形狀以及觀察小窗的形狀的改變而改變。本實用新型不受上述事例限制，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
權利要求1.一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃，其特征在于所述觀察玻璃位于翻板閥室室內的表面上鍍有反光層。
2.根據權利要求1所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述反光層設置為環(huán)形結構，于觀察玻璃的中間位置留有透明的觀察小窗。
3.根據權利要求1所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述觀察玻璃為石英玻璃。
4.根據權利要求1所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述反光層為具有反光特性的金屬膜。
5.根據權利要求2所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述觀察小窗為橢圓形或長圓形的任一種結構。
專利摘要本實用新型公開一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃，所述觀察玻璃位于翻板閥室室內的表面上鍍有反光層，所述反光層設置為環(huán)形結構，且于觀察玻璃的中間位置留有透明的橢圓形結構的觀察小窗，上述硅單晶爐翻板閥室觀察窗的觀察玻璃位于翻板閥室室內的表面上鍍有環(huán)形的反光層，且于中間留有透明的觀察小窗，在起到觀察效果的同時，利用反光層反射掉爐內的輻射熱量，避免了與觀察玻璃接觸的膠密封圈會過熱而失去密封作用，不僅結構簡單，易于實現，而且安裝方便，安全可靠性高。
文檔編號C30B35/00GK202054921SQ20112011893
公開日2011年11月30日 申請日期2011年4月21日 優(yōu)先權日2011年4月21日
發(fā)明者惠夢君 申請人:無錫市惠德晶體控制設備有限公司