專(zhuān)利名稱(chēng)：部件安裝裝置的頭位置的校正方法及虛設(shè)噴嘴的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及部件安裝裝置的頭位置的校正方法及適合于進(jìn)行該校正時(shí)使用的虛設(shè)(dummy)噴嘴。
背景技術(shù)：
例如在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了用于將IC、LSI、倒裝片、電阻片、片狀電容器等電子部件安裝在基板的預(yù)定位置的部件安裝裝置。該部件安裝裝置具有頭，所述頭具有真空吸附這些部件的噴嘴，組合該頭(具體講，為保持該頭的保持器)在X-Y方向(水平驅(qū)動(dòng))和Z軸方向(鉛直驅(qū)動(dòng))的移動(dòng)以及該頭自身的繞Z軸旋轉(zhuǎn)(θ驅(qū)動(dòng))組合，并將提供給加零件機(jī)(partsfeeder)的部件安裝在基板上，在這種部件安裝裝置中，若控制裝置所識(shí)別的X-Y平面上的噴嘴位置與實(shí)際的噴嘴位置偏離，則固然會(huì)使部件在基板上的安裝精度受損。頭(噴嘴)的位置可以根據(jù)一起安裝在搭載有該頭的保持器(保持架)上的基板識(shí)別用的照相機(jī)(本發(fā)明中的第二照相機(jī))的攝像結(jié)果進(jìn)行判斷，而該基板識(shí)別用的照相機(jī)和實(shí)際的頭之間存在預(yù)定距離(偏移量offset)，所以若因保持器自身的熱膨脹等導(dǎo)致該偏移量從預(yù)先假設(shè)的設(shè)定值發(fā)生變化，則作為結(jié)果，在控制裝置所識(shí)別的頭位置與實(shí)際的頭位置之間產(chǎn)生偏離。
因此，在該專(zhuān)利文獻(xiàn)1的部件安裝裝置中，以如下方式對(duì)該偏移量進(jìn)行校正。首先，可進(jìn)退移動(dòng)地構(gòu)成形成于安裝裝置的基座側(cè)的標(biāo)記，與芯片識(shí)別用照相機(jī)(本發(fā)明中的第一照相機(jī))的中心對(duì)齊。然后，使基板識(shí)別用的照相機(jī)從X-Y平面的原點(diǎn)移動(dòng)能夠預(yù)測(cè)為進(jìn)入基板識(shí)別用照相機(jī)的視場(chǎng)的設(shè)計(jì)上的預(yù)定值X1、Y1，用該基板識(shí)別用照相機(jī)進(jìn)行拍攝，得到標(biāo)記的實(shí)際的初始位置MX0、MY0。接著，還用芯片識(shí)別用照相機(jī)觀察該標(biāo)記，檢測(cè)初始位置MCX0、MCY0。之后，使標(biāo)記從芯片識(shí)別用照相機(jī)的視場(chǎng)退避，并將要校正的頭從原點(diǎn)移動(dòng)設(shè)計(jì)上的預(yù)定值X2、Y2，引導(dǎo)到芯片識(shí)別用照相機(jī)，得到噴嘴在芯片識(shí)別用照相機(jī)上的初始位置NX0、NY0。
進(jìn)行校正時(shí)，進(jìn)行與上述相同的操作，根據(jù)基板識(shí)別用照相機(jī)所得到的當(dāng)前位置MX1、MY1和芯片識(shí)別用照相機(jī)所得到的當(dāng)前位置NX1、NY1，得到各自的差ΔX1＝MX1-MX0、ΔX2＝NX1-NX0、ΔY1＝MY1-MY0、ΔY2＝NY1-NY0。ΔX＝ΔX1+ΔX2、ΔY＝ΔY1+ΔY2為所求得的校正量。
另外，在該專(zhuān)利文獻(xiàn)1中作為其它的實(shí)施方式還公開(kāi)了如下的結(jié)構(gòu)觀察位于當(dāng)初芯片識(shí)別用照相機(jī)中心的標(biāo)記在進(jìn)行了操作的判斷時(shí)偏離了多少(MCX0→MCX1)，將該變動(dòng)量(記載為“氣缸動(dòng)作的偏差引起的位置偏離”)附加到基板識(shí)別用照相機(jī)所觀察到的所述偏移ΔX、ΔY的運(yùn)算中。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特許第3129134號(hào)但是，在上述的專(zhuān)利文獻(xiàn)1的部件安裝裝置的頭位置的校正方法中，要考慮的位置關(guān)系的種類(lèi)非常多，而且，對(duì)于任何位置關(guān)系，都要構(gòu)成為通過(guò)觀察該時(shí)間變動(dòng)的操作來(lái)判斷校正量，所以其結(jié)果，操作前和判斷時(shí)的雙方需要多種類(lèi)的2組的信息，存在用于判斷的步驟復(fù)雜的問(wèn)題。
而且，利用芯片識(shí)別用的照相機(jī)觀察頭的噴嘴時(shí)，實(shí)際上準(zhǔn)確識(shí)別噴嘴的中心的做法是極其困難的操作，就從這一點(diǎn)來(lái)看，也不能說(shuō)能夠檢測(cè)出準(zhǔn)確的頭(的軸心)位置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有問(wèn)題而提出的，本發(fā)明的課題是提供以簡(jiǎn)單的步驟直接且準(zhǔn)確地識(shí)別基板識(shí)別用的照相機(jī)與實(shí)際的頭位置的偏移量，從而能夠進(jìn)行合適的校正的頭位置的校正方法以及在該校正方法中使用的虛設(shè)噴嘴。
本發(fā)明的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，所述部件安裝裝置利用裝配于在基座上沿X-Y方向可移動(dòng)的頭上的噴嘴來(lái)吸附部件，將該部件配置在基板上，所述部件安裝裝置具有配置在所述基座上的第一照相機(jī)和與所述頭一起在所述基座上可移動(dòng)地裝配的第二照相機(jī)，所述校正方法包括第一步驟(步驟54)，在所述頭上裝配所述噴嘴的虛設(shè)物即所述X-Y方向的自身的中心被標(biāo)記的檢查用夾具(虛設(shè)噴嘴)；第二步驟(步驟56)，利用所述第二照相機(jī)識(shí)別所述第一照相機(jī)的中心位置；第三步驟(步驟64)，考慮所述第二照相機(jī)與要校正的所述頭之間的設(shè)計(jì)上的偏移量，將該頭移動(dòng)到所述第二步驟中識(shí)別出的第一照相機(jī)的中心位置；以及第四步驟(步驟76)，利用所述第一照相機(jī)拍攝移動(dòng)后的位置上的所述檢查用夾具的所述標(biāo)記，從而將移動(dòng)后的該頭與所述第一照相機(jī)的中心的偏移檢測(cè)為所述第二照相機(jī)與所述頭之間的設(shè)計(jì)上的偏移量的校正量，由此解決上述問(wèn)題。
在本發(fā)明中，將最先標(biāo)記有自身的中心的檢查用夾具作為虛設(shè)噴嘴準(zhǔn)備。這是因?yàn)?，能夠更加?zhǔn)確地掌握頭(噴嘴)的中心。接著，利用與頭一起在所述基座上可移動(dòng)地裝配的第二照相機(jī)(后述的基板識(shí)別用照相機(jī)相當(dāng)于OCC照相機(jī))確認(rèn)配置于基座側(cè)的第一照相機(jī)(后述的芯片識(shí)別用照相機(jī)相當(dāng)于VCS照相機(jī))在該時(shí)刻的中心位置。然后，考慮第二照相機(jī)與作為校正對(duì)象的頭之間的(已知)設(shè)計(jì)上的偏移量，將該頭移動(dòng)到上述的步驟中識(shí)別出的第一照相機(jī)的中心位置。即，為了使作為校正對(duì)象的頭剛好來(lái)到第一照相機(jī)的中心，第二照相機(jī)移動(dòng)到根據(jù)該第二照相機(jī)自身所實(shí)際掌握的第一照相機(jī)的中心位置返算了設(shè)計(jì)上的偏移量的位置。第二照相機(jī)利用自身的鏡頭準(zhǔn)確地“實(shí)測(cè)”第一照相機(jī)的存在位置。因此，利用第一照相機(jī)拍攝虛設(shè)噴嘴時(shí)，若該虛設(shè)噴嘴的標(biāo)記從第一照相機(jī)的攝像中心偏離時(shí)，該偏離可以理解為實(shí)際偏移量相對(duì)于第二照相機(jī)與該頭之間的設(shè)計(jì)上的偏移量產(chǎn)生了偏離。因此，通過(guò)將該偏離檢測(cè)為校正量，能夠直接且準(zhǔn)確地識(shí)別第二照相機(jī)與頭在當(dāng)前時(shí)刻的偏移量。
能夠以簡(jiǎn)單的步驟直接且準(zhǔn)確地識(shí)別基板識(shí)別用的照相機(jī)與實(shí)際的頭位置的偏移量，能夠進(jìn)行適當(dāng)?shù)男Ｕ?br>

圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的一例的安裝裝置的頭位置的校正方法的控制流程的流程圖。
圖2是示出適用了上述校正方法的安裝裝置A的主要部分的概要方框圖。
圖3是實(shí)施上述校正方法時(shí)使用的虛設(shè)噴嘴的概要正視圖和仰視圖。
圖4是示出為了執(zhí)行上述校正方法的校正而確定觸發(fā)的控制流程的流程圖。
圖5是示出圖4的局部的改變例的主要部分控制流程的流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的一例。
如圖2所示，本發(fā)明所應(yīng)用的電子部件的安裝裝置A具有所謂臺(tái)架(gantry)型的XY驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述XY驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有X軸2、Y軸4，在基座10中保持器(保持架)12可在X-Y方向移動(dòng)。在保持器12上安裝有頭14(14-1、…14-4)，利用安裝在頭14上的噴嘴16(16-1、…16-4)吸附部件(未圖示)，能夠?qū)⒃摬考渲迷诔休d于基座10以上的基板18上的預(yù)定位置。在該實(shí)施方式中，在一個(gè)保持器12上安裝有4個(gè)頭14-1～14-4。為了方便起見(jiàn)，將作為校正對(duì)象的頭表示為14n、噴嘴表示為16n。
在安裝裝置A的基座10上設(shè)置有用于檢測(cè)部件的吸附狀態(tài)的VCS照相機(jī)(芯片識(shí)別用的照相機(jī)第一照相機(jī))20、噴嘴更換單元22以及校準(zhǔn)塊24。并且，在保持器12上除了所述頭14之外還安裝有OCC照相機(jī)(基板識(shí)別用照相機(jī)第二照相機(jī))26。在所述VCS照相機(jī)20上標(biāo)記有用于使OCC照相機(jī)26確認(rèn)所述VCS照相機(jī)20的位置的照相機(jī)標(biāo)記(VCS標(biāo)記)20a、20b。
在本實(shí)施方式中，在安裝裝置啟動(dòng)時(shí)，利用OCC照相機(jī)26拍攝設(shè)置于校準(zhǔn)塊(省略圖示)上的標(biāo)記(計(jì)測(cè)點(diǎn))，比較該拍攝所檢測(cè)出的各標(biāo)記的X-Y位置和預(yù)定的位置數(shù)據(jù)，從而求出該安裝裝置A的固有的位置偏離，存儲(chǔ)到未圖示的控制裝置中。對(duì)于利用了校準(zhǔn)塊的標(biāo)記的位置識(shí)別本身，利用現(xiàn)有公知的方法。
通過(guò)使用了該校準(zhǔn)塊的標(biāo)記的、由OCC照相機(jī)26進(jìn)行的識(shí)別操作，對(duì)保持器12相對(duì)于安裝在基座10上的各種單元(例如，VCS照相機(jī)20、噴嘴更換單元22等)的X-Y坐標(biāo)進(jìn)行校正。并且，用相同的OCC照相機(jī)26拍攝在應(yīng)承載的基板18上描繪的標(biāo)記18a、18b，從而校正保持器12相對(duì)于安裝坐標(biāo)的X-Y坐標(biāo)。從OCC照相機(jī)26看到的各個(gè)頭14的旋轉(zhuǎn)中心的(設(shè)計(jì)上的)相對(duì)距離(各頭14-1、…14-4相對(duì)于OCC照相機(jī)26的設(shè)計(jì)上的偏移量O1、…O4)被作為組裝時(shí)的參數(shù)預(yù)先取得，在將各頭14n(14-1～14-4中的任意一個(gè))定位于目標(biāo)坐標(biāo)的情況下，將所使用的頭14n相對(duì)于該OCC照相機(jī)26的偏移量On與OCC照相機(jī)基準(zhǔn)的X-Y坐標(biāo)值相加。然后，在后述的適當(dāng)時(shí)期，通過(guò)圖1所示的步驟，進(jìn)行該偏移量On的校正。
此處，將在該校正中使用的虛設(shè)噴嘴(檢查用夾具)32示于圖3。
該虛設(shè)噴嘴32構(gòu)成為與頭14n之間的拾取部(裝配機(jī)構(gòu))34與通常的噴嘴(省略圖示)的形狀相同，可采用與通常的噴嘴完全相同的方式裝配在頭14n上。但是，為了充分發(fā)揮作為夾具的作用，替代吸附口，在相當(dāng)于自身的X-Y方向的中心(即，頭14n的軸心)的位置描繪有鮮明的標(biāo)記36。并且，例如在其Z軸方向中央附近具有涂彩成綠色的檐部38，進(jìn)一步提高標(biāo)記36的視覺(jué)辨認(rèn)性。通常，噴嘴在吸附部件這一功能上，難以明確地確定其中心。未裝配噴嘴狀態(tài)的頭14n更難以確定其軸心。因此，在本發(fā)明中，特意將作為專(zhuān)用的夾具的虛設(shè)噴嘴32裝配在頭14n上，利用標(biāo)記36能夠容易地確定其中心。
接著，使用圖1詳細(xì)說(shuō)明偏移量的校正步驟。
首先，在步驟52(圖1中表示為S52，下面相同)，將保持器12移動(dòng)到存儲(chǔ)有噴嘴更換單元22的位置，此處將在此之前裝配在(要校正的)頭14n上的噴嘴卸下，從噴嘴更換單元22取出圖3所示的作為夾具的虛設(shè)噴嘴32進(jìn)行更換、裝配(步驟54)。該更換采用與通常的噴嘴更換相同的方式，根據(jù)來(lái)自未圖示的控制裝置的指示，自動(dòng)進(jìn)行。
裝配了虛設(shè)噴嘴32之后，利用保持器12上的OCC照相機(jī)26識(shí)別形成于VCS照相機(jī)20上的照相機(jī)標(biāo)記(VCS標(biāo)記)20a、20b的位置(步驟56)。在該安裝裝置A中，VCS照相機(jī)20的對(duì)角線上的2個(gè)位置分別標(biāo)記有VCS標(biāo)記20a、20b，所以O(shè)CC照相機(jī)26識(shí)別這2個(gè)VCS標(biāo)記20a、20b的位置，利用該中間點(diǎn)來(lái)識(shí)別、確定VCS照相機(jī)20的中心位置20c。接著，進(jìn)入步驟58，考慮設(shè)計(jì)上的偏移量On，將要校正的頭14n移動(dòng)到步驟56中識(shí)別的VCS照相機(jī)20的中心位置20c(步驟58)。
移動(dòng)后，在步驟60中，使頭14n沿Z軸(頭14n的軸心)下降，設(shè)定成能夠拍攝虛設(shè)噴嘴32的標(biāo)記36的高度。下降結(jié)束后，驅(qū)動(dòng)頭14n的θ軸，使其旋轉(zhuǎn)到0度的位置(步驟62)，利用VCS照相機(jī)20拍攝虛設(shè)噴嘴32的標(biāo)記36(步驟64)。然后，在步驟66～76中，在每隔90度，旋轉(zhuǎn)/停止頭14n的θ軸，在各個(gè)位置利用VCS照相機(jī)20拍攝標(biāo)記36。其結(jié)果，得到共計(jì)4張圖像，因此進(jìn)入步驟78，根據(jù)對(duì)標(biāo)記36得到的軌跡，運(yùn)算頭14n的旋轉(zhuǎn)中心(頭14n的實(shí)軸心)。其結(jié)果，即使在虛設(shè)噴嘴32裝配成相對(duì)于頭14n的實(shí)軸心稍微偏斜，也能夠可靠地求出頭14n的實(shí)軸心(步驟76)。
此處，OCC照相機(jī)26根據(jù)自身的攝像數(shù)據(jù)識(shí)別、確定VCS照相機(jī)20的實(shí)際的位置，將用于保持OCC照相機(jī)26的保持器12移動(dòng)到相對(duì)于該確定的位置偏離了設(shè)計(jì)上已知的、OCC照相機(jī)26與頭14n之間的偏移量On的位置，所以可以說(shuō)所求出的實(shí)軸心與VCS照相機(jī)20的中心的偏離直接反應(yīng)了與該(已知的)設(shè)計(jì)上的偏移量On的實(shí)際偏離。因此，在步驟90中，該偏離ΔOn為偏移量On的校正量，將On+ΔOn取得為實(shí)際偏移量OnR。
但是，本校正為了維持高的準(zhǔn)確性(校正精度)，在頭14n上裝配作為專(zhuān)用夾具的虛設(shè)噴嘴32。因此，用于校正的測(cè)定，需要在不對(duì)生產(chǎn)造成防礙時(shí)以盡可能少的定時(shí)進(jìn)行。從這一觀點(diǎn)出發(fā)，安裝裝置A除了在基板搬送中以外始終在頭14n上裝配預(yù)定的噴嘴，所以用于校正的測(cè)定在基板搬送中進(jìn)行，優(yōu)選盡可能在基板搬送中結(jié)束測(cè)定。但是，有時(shí)會(huì)在基板搬送中發(fā)生原本的噴嘴更換，所以很難一定都是在基板搬送中結(jié)束測(cè)定。所以，不是在每次搬送基板時(shí)每次都進(jìn)行測(cè)定，而是將按照特定的間隔所設(shè)定的從基準(zhǔn)時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間、上次的測(cè)定時(shí)起的基板的生產(chǎn)張數(shù)(處理張數(shù))、上次的測(cè)定時(shí)的特定位置或部件的溫度變化中的至少一個(gè)作為參數(shù)，在這些參數(shù)達(dá)到設(shè)定值以上時(shí)，執(zhí)行用于校正的所述程序。對(duì)于將哪個(gè)參數(shù)作為基準(zhǔn)開(kāi)始該程序，可以由用戶預(yù)先進(jìn)行設(shè)定。
圖4示出用于決定進(jìn)行該校正的測(cè)定定時(shí)的控制流程。在步驟100中，確認(rèn)到特定的基板的生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，開(kāi)始下一基板的搬送(步驟102)。與此同時(shí)，控制流程進(jìn)入步驟104，此處，判斷用戶所設(shè)定的基準(zhǔn)參數(shù)是否為“時(shí)間”。為時(shí)間基準(zhǔn)時(shí)，進(jìn)入步驟106，判斷從基準(zhǔn)時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間是否超過(guò)了設(shè)定值，在判斷為超過(guò)了設(shè)定值的時(shí)刻，進(jìn)入步驟108，取得頭14n的實(shí)際偏移量OnR。
另一方面，用戶所設(shè)定的基準(zhǔn)參數(shù)為“生產(chǎn)張數(shù)”時(shí)，從步驟104進(jìn)入步驟112，在步驟114判斷生產(chǎn)張數(shù)是否達(dá)到了設(shè)定值。在達(dá)到設(shè)定值之前，重復(fù)此前的流程，在達(dá)到了設(shè)定值的階段，進(jìn)入步驟116，取得頭14n的實(shí)際偏移量OnR。另外，在步驟118中，清除生產(chǎn)張數(shù)的計(jì)數(shù)。
用戶所設(shè)定的基準(zhǔn)參數(shù)為特定的位置或部件的“溫度”時(shí)，通過(guò)步驟104、112，進(jìn)入步驟120，此處判斷為溫度變化超過(guò)了設(shè)定值時(shí)，在步驟122取得頭14n的實(shí)際偏移量OnR。并且，在步驟124保存取得實(shí)際偏移量時(shí)的溫度。另外，將基準(zhǔn)參數(shù)設(shè)定為“溫度”時(shí)，在因某種理由溫度下降時(shí)，可以在相同溫度條件時(shí)再利用事先在特定的溫度下得到的偏移量。
圖5示出適用了該再利用的其它實(shí)施方式的例子。
圖5是進(jìn)一步考慮實(shí)用性，將圖4的步驟108、116、122的部分(圖4的框A1的部分)改變成框A2，框A1→框A2以外大部分與圖4的各步驟相同。因此，對(duì)實(shí)質(zhì)上與圖4的步驟相同的步驟賦予相同的步驟號(hào)。
在圖5的控制流程中，在步驟120判斷了溫度變化超過(guò)了設(shè)定值時(shí)(即，判斷為溫度變化相關(guān)的條件成立時(shí))，并不立即進(jìn)入偏離的檢測(cè)(實(shí)際偏移量OnR的取得)，而首先，在步驟170中，判斷對(duì)于偏離是否存在在相同條件下已經(jīng)取得的已檢測(cè)值。
不存在已檢測(cè)值時(shí)，在步驟122中，取得頭14n的實(shí)際偏移量OnR，并且，確認(rèn)到此時(shí)的溫度在實(shí)用溫度范圍內(nèi)(步驟172)，然后將所取得(檢測(cè))的實(shí)際偏移量OnR作為該溫度的實(shí)際偏移量OnR的已檢測(cè)值進(jìn)行存儲(chǔ)(步驟174)。
其結(jié)果，在步驟170中，判斷為存在相同溫度條件下的已檢測(cè)值時(shí)，不進(jìn)行再次的實(shí)際偏移量OnR的檢測(cè)，可再利用該已檢測(cè)值(跳過(guò)步驟122、172、174)。
另一方面，在步驟106判斷為從基準(zhǔn)時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間超過(guò)了設(shè)定值時(shí)、以及在步驟114中判斷為生產(chǎn)張數(shù)達(dá)到了設(shè)定值時(shí)，采用與先前的實(shí)施方式相同的方式，分別進(jìn)入步驟108、116，取得頭14n的實(shí)際偏移量OnR。但是，在該實(shí)施方式中，確認(rèn)到此時(shí)的溫度在實(shí)用溫度范圍內(nèi)(更新時(shí)為此次取得的實(shí)際偏移量OnR和該溫度下已取得的實(shí)際偏移量OnR(已檢測(cè)值)之差在正常范圍)之后(步驟180、182)，將所取得的實(shí)際偏移量OnR作為該溫度下的偏離的已檢測(cè)值而進(jìn)行新存儲(chǔ)或更新(重寫(xiě))。
通過(guò)進(jìn)行這種控制流程，在每次認(rèn)為妥當(dāng)?shù)臈l件下取得實(shí)際偏移量OnR時(shí)，數(shù)據(jù)作為該溫度下的已檢測(cè)值存儲(chǔ)或更新，能夠逐漸減少實(shí)際進(jìn)行偏離檢測(cè)的頻度。其結(jié)果，能夠逐漸減少對(duì)生產(chǎn)性的影響，并且，將數(shù)據(jù)本身依次替換成有很好的可靠性的最接近的數(shù)據(jù)。
另外，在該實(shí)施方式中，如步驟172、180、182所示，將所取得的實(shí)際偏移量OnR作為已檢測(cè)值存儲(chǔ)、保存時(shí)，將此時(shí)的溫度在實(shí)用溫度范圍內(nèi)作為條件。并且，更新(重寫(xiě))已檢測(cè)值時(shí)，將此次所取得的實(shí)際偏移量OnR和在該溫度下已經(jīng)取得的實(shí)際偏移量OnR(已檢測(cè)值)之差在正常范圍內(nèi)作為條件。這是因?yàn)椋乐挂驎簳r(shí)的干擾的影響而導(dǎo)致的保存“不合適的已檢測(cè)值”。但是，該確認(rèn)的步驟(S172、S180、S182)不是一定要設(shè)置的步驟。特別是在操作開(kāi)始后、已檢測(cè)值的存儲(chǔ)數(shù)量較少時(shí)，可以自由省略這些步驟，或放寬用于判斷正常范圍的閾值。
另外，在上述的實(shí)施方式中，使虛設(shè)噴嘴繞頭的軸心旋轉(zhuǎn)，求出該中心，從而即使在該虛設(shè)噴嘴被傾斜裝配時(shí)，也能夠準(zhǔn)確地求出頭1的軸心，但在本發(fā)明中，該步驟不是一定必要的，也可以不使虛設(shè)噴嘴旋轉(zhuǎn)，而直接讀取該標(biāo)記。并且，即使在旋轉(zhuǎn)的情況下，也無(wú)需每90度進(jìn)行讀取，只要在120度以下(3次以上)時(shí)，就可以進(jìn)行排出傾斜裝配的影響的確定頭14n的旋轉(zhuǎn)軸心。另外，自不必說(shuō)，攝像次數(shù)越多，越能夠得到準(zhǔn)確的信息。
進(jìn)一步，在上述實(shí)施方式中，對(duì)于在什么樣的條件齊備時(shí)進(jìn)行實(shí)際偏移量的測(cè)定，采用了用戶適當(dāng)選擇的結(jié)構(gòu)，而對(duì)于如何設(shè)定為進(jìn)行該校正用的測(cè)定的觸發(fā)，本發(fā)明沒(méi)有特別限定。也可以根據(jù)上述參數(shù)以外的參數(shù)設(shè)定觸發(fā)，還可以結(jié)合上述參數(shù)進(jìn)行設(shè)定，例如設(shè)定為處理張數(shù)為預(yù)定值以上且溫度變化超過(guò)了設(shè)定值時(shí)這樣的觸發(fā)。
能夠適用于為安裝各種部件用的安裝裝置的第二照相機(jī)與頭的偏移量的校正。并且，虛設(shè)噴嘴不限于本校正方法，在需要準(zhǔn)確地測(cè)定頭(噴嘴)的中心的情況下，隨時(shí)都可利用。
權(quán)利要求
1.一種部件安裝裝置的頭位置的校正方法，所述部件安裝裝置利用裝配于在基座上沿X-Y方向可移動(dòng)的頭上的噴嘴來(lái)吸附部件，將該部件配置在基板上，所述部件安裝裝置具有配置在所述基座上的第一照相機(jī)和與所述頭一起在所述基座上可移動(dòng)地裝配的第二照相機(jī)，所述部件安裝裝置的頭位置的校正方法的特征在于，所述校正方法包括第一步驟，在所述頭上裝配所述噴嘴的虛設(shè)物即所述X-Y方向的自身的中心被標(biāo)記的檢查用夾具；第二步驟，利用所述第二照相機(jī)識(shí)別所述第一照相機(jī)的中心位置；第三步驟，考慮所述第二照相機(jī)與要校正的所述頭之間的設(shè)計(jì)上的偏移量，將該頭移動(dòng)到所述第二步驟中識(shí)別出的第一照相機(jī)的中心位置；以及第四步驟，利用所述第一照相機(jī)拍攝移動(dòng)后的位置上的所述檢查用夾具的所述標(biāo)記，從而將移動(dòng)后的該頭的從所述第一照相機(jī)的中心起的偏離檢測(cè)為所述第二照相機(jī)與所述頭之間的設(shè)計(jì)上的偏移量的校正量。
2.如權(quán)利要求1所述的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，其中，所述第四步驟中，使所述頭繞其軸心旋轉(zhuǎn)，并沿圓周方向至少拍攝3次所述檢查用夾具的所述標(biāo)記，由根據(jù)該3次以上的攝像結(jié)果所得到的該標(biāo)記的軸心，檢測(cè)所述偏離。
3.如權(quán)利要求2所述的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，其中，在圓周方向上每隔90度共計(jì)進(jìn)行4次所述圓周方向上的攝像。
4.如權(quán)利要求1所述的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，其特征在于，將所述基板的生產(chǎn)張數(shù)、從基準(zhǔn)時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間、上次的測(cè)定時(shí)的特定的位置或部件的溫度變化之中的至少一個(gè)作為參數(shù)，在這些參數(shù)達(dá)到設(shè)定值以上的條件成立時(shí)，進(jìn)行所述偏離檢測(cè)。
5.如權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，其特征在于，至少上次的測(cè)定時(shí)的特定的位置或部件的溫度變化達(dá)到設(shè)定值以上的條件成立時(shí)，進(jìn)行所述偏離檢測(cè)，并且，該溫度變化相關(guān)的條件成立而進(jìn)行所述偏離檢測(cè)時(shí)，將該檢測(cè)出的偏離作為該溫度下的偏離的已檢測(cè)值進(jìn)行存儲(chǔ)，在之后的溫度條件相同時(shí)，不再次進(jìn)行偏離檢測(cè)，而再利用該已檢測(cè)值。
6.如權(quán)利要求5所述的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，其特征在于，安裝了在所述特定的位置或部件的溫度變化達(dá)到設(shè)定值以上的條件以外的預(yù)定條件成立時(shí)也進(jìn)行所述偏離檢測(cè)的程序，并在該預(yù)定條件成立時(shí)，無(wú)論所述已檢測(cè)值的存在與否，都進(jìn)行偏離檢測(cè)，并且該預(yù)定條件成立而進(jìn)行了所述偏離檢測(cè)時(shí)，將該檢測(cè)出的偏離作為該溫度下的偏離的已檢測(cè)值進(jìn)行新存儲(chǔ)，或用該檢測(cè)出的偏離更新已存儲(chǔ)的已檢測(cè)值。
7.如權(quán)利要求5所述的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，其特征在于，此時(shí)的溫度在實(shí)用溫度范圍內(nèi)的條件或已存儲(chǔ)的已檢測(cè)值和此次所取得的檢測(cè)值之差控制在預(yù)定值以內(nèi)的條件之中的至少一方成立時(shí)，進(jìn)行所述已檢測(cè)值的存儲(chǔ)。
8.如權(quán)利要求6所述的部件安裝裝置的頭位置的校正方法，其特征在于，此時(shí)的溫度在實(shí)用溫度范圍內(nèi)的條件或已存儲(chǔ)的已檢測(cè)值和此次所取得的檢測(cè)值之差控制在預(yù)定值以內(nèi)的條件之中的至少一方成立時(shí)，進(jìn)行所述已檢測(cè)值的存儲(chǔ)或更新。
9.一種虛設(shè)噴嘴，所述虛設(shè)噴嘴用于權(quán)利要求1的校正方法，所述虛設(shè)噴嘴的特征在于，所述虛設(shè)噴嘴可安裝在部件安裝裝置的頭上，所述部件安裝裝置利用裝配于在基座上沿X-Y方向可移動(dòng)的所述頭上的噴嘴來(lái)吸附部件，將該部件配置在基板上，所述虛設(shè)噴嘴具有表示自身在所述X-Y方向上的中心的標(biāo)記，并且具有作為用于識(shí)別所述頭在所述X-Y方向上的位置的檢查用夾具的功能。
全文摘要
本發(fā)明提供部件安裝裝置的頭位置的校正方法及虛設(shè)噴嘴，能以簡(jiǎn)單的步驟準(zhǔn)確地識(shí)別基板識(shí)別用照相機(jī)與頭位置的實(shí)際偏移量，進(jìn)行適當(dāng)?shù)男ＵＴ陬^(14n)上裝配虛設(shè)噴嘴(32)，用安裝有頭(14n)的保持器(12)所具備的OCC照相機(jī)(第二照相機(jī))(26)識(shí)別基座(10)側(cè)所具備的VCS照相機(jī)(第一照相機(jī))(20)的位置，根據(jù)OCC照相機(jī)(26)與頭(14n)的設(shè)計(jì)上的偏移量(On)，將該頭(14n)移動(dòng)到所識(shí)別的VCS照相機(jī)(20)的位置，用VCS照相機(jī)(20)拍攝移動(dòng)后的位置的虛設(shè)噴嘴(32)的標(biāo)記(36)，從而將移動(dòng)后的該頭(14n)從VCS照相機(jī)(20)的中心起的偏離(OnR)作為偏移量校正量求出。
文檔編號(hào)H05K13/00GK1960622SQ20061014279
公開(kāi)日2007年5月9日 申請(qǐng)日期2006年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月31日
發(fā)明者粟野元一郎 申請(qǐng)人:重機(jī)公司