專利名稱：InSt霍爾元件的電極的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種InSb霍爾元件的電極。
目前，InSb霍爾元件的電極均是整個電極與“十”字形敏感膜進行歐姆接觸，電極與基底間是經(jīng)InSb膜相接的，因此電極焊點對敏感膜有損傷，溫度應力大。
本實用新型的目的是提供一種電極焊點對敏感膜無損傷且溫度應力小的InSb霍爾元件的電極。
本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的InSb霍爾元件的電極包括有“十”字形敏感膜和電極，電極(1)一端與“十”字形敏感膜(2)呈歐姆接觸，另一端附著在基底上。
由于電極是部分與“十”字形敏感膜歐姆接觸，而焊點設于非歐姆接觸部分，所以電極焊點對敏感膜無損傷，另外，電極與基底接觸，溫度應力小。
以下結合附圖詳細敘述本實用新型的技術解決方案。


圖1為現(xiàn)有InSb霍爾元件的電極的結構示意圖。
圖2為本發(fā)明InSb霍爾元件的電極的結構示意圖。
圖3為現(xiàn)有InSb霍爾元件的電極的結構示意圖。
圖4為本發(fā)明InSb霍爾元件的電極的結構示意圖。
如圖，InSb霍爾元件的電極包括有“十”字形敏感膜和電極，電極L一端與“十”字形敏感膜2呈歐姆接觸，另一端附著在基底上。
權利要求1.一種InSb霍爾元件的電極，包括有“十”字形敏感膜和電極，其特征在于電極(1)一端與“十”字形敏感膜(2)呈歐姆接觸，另一端附著在基底上。
專利摘要一種InSb霍爾元件的電極包括有“十”字形敏感膜和電極，電極一端與“十”字形敏感膜呈歐姆接觸，另一端附著在基底上，這種電極在鍵合時對敏感膜無損傷，另外，電極與基底接觸，溫度應力小。
文檔編號H01L43/00GK2249967SQ9523168
公開日1997年3月19日 申請日期1995年7月13日 優(yōu)先權日1995年7月13日
發(fā)明者于成民, 孫仁濤, 馮桂華, 劉佩瑤, 王曉雯, 關杰, 孔海霞 申請人:機械工業(yè)部沈陽儀器儀表工藝研究所