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一種薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示裝置與流程

文檔序號:12820682閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實施例提供了一種薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示裝置,一方面,該薄膜晶體管包括:襯底基板,以及位于所述襯底基板上的柵極、漏極、源極和有源層,所述有源層包括溝道區(qū)域和位于所述溝道區(qū)域相對兩側(cè)的第一區(qū)域和第二區(qū)域,所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域分別電連接于對應(yīng)的所述源極和所述漏極,所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域均為氧化物半導(dǎo)體。本發(fā)明實施例的技術(shù)方案通過在溝道區(qū)域和源漏極之間設(shè)有氧化物半導(dǎo)體區(qū)域,利用氧化物半導(dǎo)體對光照和溫度的穩(wěn)定性,有效改善了TFT器件漏電流的問題。

技術(shù)研發(fā)人員:文亮
受保護的技術(shù)使用者:廈門天馬微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.16
技術(shù)公布日:2017.07.11
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