本發(fā)明屬于太陽能電池片領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽能電池片擴(kuò)散工藝。

背景技術(shù)：

太陽能電池，也稱光伏電池，是一種將太陽的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。由于它是綠色環(huán)保產(chǎn)品，不會(huì)引起環(huán)境污染，而且是可再生資源，所以在當(dāng)今能源短缺的情形下，太陽能電池是一種有廣闊發(fā)展前途的新型能源。目前的太陽能電池片的生產(chǎn)過程可以分為以下幾個(gè)主要步驟：

1、損傷層的去除及絨面制備，通過化學(xué)反應(yīng)除去硅片表面的切割損傷層，同時(shí)得到合理的粗糙表面，以增強(qiáng)光的吸收。

2、擴(kuò)散制作PN結(jié)，將P型的硅片放入擴(kuò)散爐內(nèi)，通過硅原子之間的空隙使N型雜質(zhì)原子由硅片表面層向硅片內(nèi)部擴(kuò)散，形成PN結(jié)，使電子和空穴在流動(dòng)后不再回到原處，這樣便形成電流，也就使硅片具有光伏效應(yīng)。

3、表面PSG(Phosphate Silicate Glass,即磷娃玻璃)的去除,去除娃片在擴(kuò)散的過程中表面生成的PSG，避免因玻璃層的存在而影響金屬電極與硅片的接觸，從而提高電池的轉(zhuǎn)換效率。

4、周邊PN的去除，去除擴(kuò)散過程中在硅片邊緣形成的將PN結(jié)短路的導(dǎo)電層。

5、減反射層的制備，在硅片表面沉積一層氮化硅減反射層，利用薄膜干涉原理，減少光的反射，起到鈍化作用，增大電池的短路電流和輸出功率，提高轉(zhuǎn)換效率。

6、金屬化過程，即背電極、背電場(chǎng)和正電極的印刷和燒結(jié)過程，采用銀漿印刷正電極和背電極，采用鋁漿印刷背電場(chǎng)，以收集電流并起到導(dǎo)電的作用，燒結(jié)是在高溫下使印刷的電極與硅片之間形成歐姆接觸。

其中，擴(kuò)散制作PN結(jié)是太陽能電池生產(chǎn)的關(guān)鍵步驟，PN結(jié)的質(zhì)量則直接決定著太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率?，F(xiàn)有的擴(kuò)散方法中(如圖1所示)，擴(kuò)散工藝采用一次擴(kuò)散和兩次擴(kuò)散的方法。如下是兩次擴(kuò)散實(shí)例：

1、將硅片放入擴(kuò)散爐。

2、將擴(kuò)散爐溫度升至第一溫度(750℃-820℃)，溫度穩(wěn)定后通入O₂、POCL₃，其中O₂為流量100-500sccm，POCL₃流量為800-1300sccm，保持第一時(shí)間(6-9min)。

3、將擴(kuò)散爐溫度升至第二溫度(800℃-900℃)，溫度穩(wěn)定后，保持第二時(shí)間(4-10min)。

4、停止通POCL₃，只通O₂流量為300-500sccm，將擴(kuò)散爐降溫退火(退火時(shí)間為30-60min)，取出硅片。具體流程見圖1。

缺點(diǎn)：1、PN結(jié)的方阻較大；

2、PN結(jié)表面與銀電極難以形成好的歐姆接觸，影響太陽能電池效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有太陽能電池片擴(kuò)散工藝中PN結(jié)的方阻較大、PN結(jié)表面與銀電極難以形成好的歐姆接觸，影響太陽能電池效率而提供的一種太陽能電池片擴(kuò)散工藝。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是：

一種太陽能電池片擴(kuò)散工藝，包括如下步驟：

步驟一，將硅片放入擴(kuò)散爐；

步驟二，將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第一溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第一溫度的范圍值后通入O₂、POCL₃，并保持設(shè)定的第一時(shí)間；

步驟三，將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第二溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第二溫度的范圍值后保持設(shè)定的第二時(shí)間；

步驟四，將擴(kuò)散爐溫度再進(jìn)行冷卻至第三溫度，待冷卻的溫度值穩(wěn)定在第三溫度的范圍值后通入O₂、POCL₃，并保持設(shè)定的第三時(shí)間；

步驟五，停止通入POCL₃，繼續(xù)通入O₂，然后將擴(kuò)散爐降溫退火，退火后取出硅片即可。

所述的步驟二中的第一溫度為750℃-820℃之間的任一數(shù)值，第一時(shí)間為6min-9min之間的任一數(shù)值，所述的步驟二中的O₂通入流量為100-500sccm，步驟二中POCL₃流量為800-1300sccm。

所述的步驟三中的第二溫度為800℃-900℃之間的任一數(shù)值，第二時(shí)間為4min-10min之間的任一數(shù)值。

所述的步驟四中的第三溫度為800℃-840℃之間的任一數(shù)值，所述的步驟四中的O₂通入流量為300-500sccm，步驟四中POCL₃流量為500-900sccm，第三時(shí)間為3min-8min之間的任一數(shù)值。

所述的步驟五中O₂通入流量為400-800sccm，退火時(shí)間為30-60min。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明在擴(kuò)散工藝中在步驟4中，雜質(zhì)P的擴(kuò)散深度較淺，從而使硅表面形成重?fù)诫s的N+區(qū)域，與銀電極易于形成好的歐姆接觸，增大電池片的短路電流，提高電池轉(zhuǎn)換效率。

附圖說明

圖1為背景技術(shù)的溫度及時(shí)間的折線圖；

圖2為本發(fā)明的溫度及時(shí)間的折線圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。

實(shí)施例

如圖2所示的一種太陽能電池片擴(kuò)散工藝，包括如下步驟：

步驟一，將硅片放入擴(kuò)散爐(擴(kuò)散爐為本領(lǐng)域內(nèi)通用的加熱爐，且與解決的技術(shù)問題沒有關(guān)系，因此在此不做詳細(xì)闡述)；

步驟二，將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第一溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第一溫度的范圍值后通入O₂(氧氣)、POCL₃(三氯氧磷)，并保持設(shè)定的第一時(shí)間；

步驟三，將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第二溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第二溫度的范圍值后保持設(shè)定的第二時(shí)間；

步驟四，將擴(kuò)散爐溫度再進(jìn)行冷卻至第三溫度，待冷卻的溫度值穩(wěn)定在第三溫度的范圍值后通入O₂、POCL₃，并保持設(shè)定的第三時(shí)間；

步驟五，停止通入POCL₃，繼續(xù)通入O₂，然后將擴(kuò)散爐降溫退火，退火后取出硅片即可。

所述的步驟二中的第一溫度為750℃-820℃之間的任一數(shù)值，第一時(shí)間為6min-9min之間的任一數(shù)值，所述的步驟二中的O₂通入流量為100-500sccm，步驟二中POCL₃流量為800-1300sccm。

所述的步驟三中的第二溫度為800℃-900℃之間的任一數(shù)值，第二時(shí)間為4min-10min之間的任一數(shù)值。

所述的步驟四中的第三溫度為800℃-840℃之間的任一數(shù)值，所述的步驟四中的O₂通入流量為300-500sccm，步驟四中POCL₃流量為500-900sccm，第三時(shí)間為3min-8min之間的任一數(shù)值。

所述的步驟五中O₂通入流量為400-800sccm，退火時(shí)間為30-60min。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本領(lǐng)域內(nèi)普通的技術(shù)人員的簡單更改和替換都是本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。