1.一種深紫外-可見(jiàn)區(qū)波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的納秒及皮秒脈沖激光器,其特征在于:所述脈沖激光器包括680-1040nm波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)脈沖基頻激光光源系統(tǒng)、二倍頻系統(tǒng)、三倍頻系統(tǒng)、四倍頻系統(tǒng)四部分;所述二倍頻系統(tǒng)的二倍頻激光由倍頻晶體Ⅰ倍頻基頻激光產(chǎn)生;所述四倍頻系統(tǒng)包括透鏡和倍頻晶體Ⅲ,由倍頻晶體Ⅰ倍頻輸出的二倍頻激光經(jīng)透鏡聚焦到倍頻晶體Ⅲ上,倍頻輸出170-240nm的四倍頻激光,所述倍頻晶體Ⅲ置于一抽真空或充氮?dú)獾墓鈱W(xué)腔中,所述倍頻晶體Ⅲ為KBBF晶體輸出170-240nm的四倍頻激光,或所述倍頻晶體Ⅲ為BBO晶體輸出206-240nm的四倍頻激光;所述脈沖激光器提供170-520nm、680-1040nm范圍內(nèi)波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的納秒及皮秒脈沖激光光源。
2.按權(quán)利要求1所述的脈沖激光器,其特征在于:將680-1040nm波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)脈沖基頻激光光源通過(guò)二倍頻系統(tǒng)后得到340-520nm范圍內(nèi)波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的二倍頻脈沖激光光源;二倍頻脈沖激光光源和基頻脈沖激光光源經(jīng)過(guò)三倍頻系統(tǒng)得到240-340nm范圍內(nèi)波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的三倍頻脈沖激光光源;二倍頻激光光源經(jīng)過(guò)四倍頻系統(tǒng)得到170-240nm范圍內(nèi)波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的納秒及皮秒四倍頻激光光源。
3.按權(quán)利要求1所述的脈沖激光器,其特征在于:每個(gè)倍頻系統(tǒng)均采用單個(gè)倍頻晶體組成激光倍頻系統(tǒng),或利用二塊晶體對(duì)稱(chēng)放置組成一套倍頻晶體系統(tǒng),以進(jìn)一步提高倍頻效率和倍頻光光束質(zhì)量,同時(shí)使倍頻后的激光輸出光路變化很小,以利于光路的調(diào)節(jié);所述二倍頻系統(tǒng)中的倍頻晶體Ⅰ為L(zhǎng)BO或BBO晶體;所述三倍頻系統(tǒng)中的倍頻晶體Ⅱ?yàn)锽BO或LBO晶體;所述四倍頻系統(tǒng)中的倍頻晶體Ⅲ為KBBF或BBO晶體。
4.按權(quán)利要求1所述的脈沖激光器,其特征在于:所述二倍頻系統(tǒng)為腔外二倍頻系統(tǒng),或腔內(nèi)二倍頻系統(tǒng),或折疊腔腔內(nèi)二倍頻系統(tǒng),或折疊腔腔內(nèi)二倍頻系統(tǒng)和腔外二倍頻系統(tǒng)的組合;所述二倍頻系統(tǒng)為腔外二倍頻系統(tǒng),包括透鏡和倍頻晶體Ⅰ,由激光輸出耦合鏡輸出的680-1040nm范圍內(nèi)所需波長(zhǎng)的基頻激光經(jīng)透鏡聚焦到倍頻晶體Ⅰ上,倍頻輸出340-520nm的二倍頻激光;或者,所述二倍頻系統(tǒng)為腔內(nèi)二倍頻系統(tǒng),包括透鏡和倍頻晶體Ⅰ,透過(guò)摻Ti藍(lán)寶石后的所需波長(zhǎng)的基頻光經(jīng)透鏡聚焦到倍頻晶體Ⅰ上進(jìn)行倍頻,再經(jīng)激光輸出耦合鏡輸出340-520nm的二倍頻激光和680-1040nm的基頻激光;或者,所述二倍頻系統(tǒng)為折疊腔腔內(nèi)二倍頻系統(tǒng),包括凹面反射鏡和倍頻晶體Ⅰ,透過(guò)摻Ti藍(lán)寶石后的所需波長(zhǎng)的基頻光經(jīng)凹面反射鏡聚焦到倍頻晶體Ⅰ上進(jìn)行倍頻,再經(jīng)激光輸出耦合鏡輸出340-520nm的二倍頻激光和680-1040nm的基頻激光;或者,所述二倍頻系統(tǒng)為折疊腔腔內(nèi)二倍頻系統(tǒng)和腔外二倍頻系統(tǒng)的組合,通過(guò)提拉或折疊或平移折疊腔腔內(nèi)二倍頻系統(tǒng)中的凹面反射鏡進(jìn)行折疊腔腔內(nèi)與腔外二倍頻系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換。
5.按權(quán)利要求1所述的脈沖激光器,其特征在于:680-1040nm波長(zhǎng)連續(xù)可 調(diào)脈沖基頻激光系統(tǒng)包括527nm納秒和/或527nm皮秒泵浦激光器,527nm納秒和/或527nm皮秒泵浦激光器發(fā)出的527nm激光經(jīng)527nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡反射至摻Ti藍(lán)寶石上,激發(fā)摻Ti藍(lán)寶石發(fā)射出680-1040nm的基頻光,基頻光透過(guò)527nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡后照射到光柵上,經(jīng)光柵選出所需波長(zhǎng)的基頻光,所需波長(zhǎng)的基頻光再透過(guò)527nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡和摻Ti藍(lán)寶石由激光輸出耦合鏡輸出680-1040nm范圍內(nèi)的所需波長(zhǎng)的基頻激光。
6.按權(quán)利要求1所述的脈沖激光器,其特征在于:所述三倍頻系統(tǒng)包括二個(gè)340-520nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡、半波片、透鏡、倍頻晶體Ⅱ,由倍頻晶體Ⅰ輸出的二倍頻激光和基頻激光照射到第一個(gè)340-520nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡上,分為二路,第一路是經(jīng)第一個(gè)340-520nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡反射的二倍頻激光再經(jīng)二個(gè)反射鏡反射至第二個(gè)340-520nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡的反射面上,第二路是透過(guò)第一個(gè)340-520nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡的基頻激光經(jīng)半波片和透鏡聚焦后透過(guò)第二個(gè)340-520nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡,第一路與第二路光于第二個(gè)340-520nm高反射680-1040nm高透射的反射鏡的反射面匯聚后再照射到倍頻晶體Ⅱ上進(jìn)行倍頻,輸出240-340nm的三倍頻激光。
7.按權(quán)利要求1所述的脈沖激光器,其特征在于:由倍頻晶體Ⅰ輸出的二倍頻激光和基頻激光經(jīng)可移動(dòng)反射鏡進(jìn)行二倍頻激光輸出、三倍頻系統(tǒng)激光輸入、四倍頻系統(tǒng)激光輸入三條光路間的切換。
8.按權(quán)利要求1所述的脈沖激光器,其特征在于:納秒、皮秒脈沖寬度的脈沖泵浦源的輸出波長(zhǎng)為400-600nm;激光光源的波長(zhǎng)和功率監(jiān)測(cè)通過(guò)光纖波長(zhǎng)光譜儀光纖探頭和自動(dòng)功率計(jì)實(shí)現(xiàn);通過(guò)計(jì)算機(jī)控制光柵轉(zhuǎn)動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)光柵和倍頻晶體的角度實(shí)現(xiàn)激光光源波長(zhǎng)的選擇。
9.按權(quán)利要求1、2、3、4、5、6、7或8所述脈沖激光器,其特征在于:提供脈沖激光光源,用于拉曼光譜、熒光光譜、紫外可見(jiàn)吸收光譜、圓二色光譜、光電子能譜、光電子發(fā)射顯微鏡或時(shí)間分辨光譜的研究。