一種激光器電極可調(diào)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及CO2射頻激光器設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光器電極可調(diào)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]射頻激勵(lì)擴(kuò)散冷卻板條波導(dǎo)CO2激光器被稱為第四代氣體激光器，以獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)如:體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便(可直接安裝在工業(yè)機(jī)器的臂上，門式切割機(jī)的橫梁上)、封離運(yùn)行、免維護(hù)、低成本、調(diào)制特性優(yōu)良、光電轉(zhuǎn)換效率搞、輸出光束質(zhì)量高、功率穩(wěn)定性優(yōu)異、運(yùn)行可靠性高和使用壽命長(zhǎng)等逐漸受到人們的青睞，市場(chǎng)對(duì)于高功率板條CO2激光器的需求也越來(lái)越大，因此關(guān)于板條波導(dǎo)CO2激光器的研究將成為氣體激光發(fā)展的重要?jiǎng)?chuàng)新方向。
[0003]目前的板條電極CO2射頻激光器的相關(guān)核心技術(shù)主要還是被國(guó)外相關(guān)機(jī)構(gòu)壟斷，目前可以生產(chǎn)穩(wěn)定0)2射頻激光器的公司在國(guó)際上只有四家，即相干、新銳、羅芬、宙斯。在CO2激光器的生產(chǎn)過程中，電極的設(shè)計(jì)至關(guān)重要，是激光器的核心部分，它的相關(guān)參數(shù)對(duì)最后激光器的性能至關(guān)重要，所以電極的設(shè)計(jì)可以說是CO2激光器設(shè)計(jì)過程中最重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)0)2射頻激光器電極在電極進(jìn)行精加工安裝后，電極之間的距離就無(wú)法再調(diào)整，而電極之間的距離直接關(guān)乎激光的產(chǎn)生，根據(jù)實(shí)際需要電極之間的距離可能需要進(jìn)一步優(yōu)化調(diào)整，這就需要重新拆裝激光器腔體，甚至有時(shí)要修改激光器中相關(guān)器件的尺寸參數(shù)，使用非常不方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種激光器電極可調(diào)裝置，從而克服目前市場(chǎng)上傳統(tǒng)的0)2射頻激光器電極在電極進(jìn)行精加工安裝后，電極之間的距離就無(wú)法再調(diào)整，當(dāng)電極需要優(yōu)化調(diào)整，則需要重新拆裝激光器腔體甚至要修改相關(guān)器件的尺寸參數(shù)，由于激光器腔體為真空腔體，屬于精密部件，上述調(diào)整方式不但需要借助專業(yè)器械和人員，而且會(huì)影響激光器腔體的精度。
[0005]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0006]一種激光器電極可調(diào)裝置，包括真空腔體(1)，真空腔體(I)內(nèi)設(shè)置有上電極(3)、下電極(4)，上電極(3)、下電極(4)之間通過匹配電感(5)連接，其特征在于:所述真空腔體
(1)兩側(cè)對(duì)稱固定設(shè)置有端蓋(2)，下電極(4)通過底板(6)與真空腔體(I)底部?jī)?nèi)壁固定，上電極(3 )設(shè)置有高度調(diào)節(jié)裝置(13 )。
[0007]本實(shí)用新型進(jìn)一步技術(shù)改進(jìn)方案是:
[0008]所述高度調(diào)節(jié)裝置(13)包括一組呈直角三角形設(shè)置的上調(diào)節(jié)滑塊(7)、下調(diào)節(jié)滑塊(8)，上調(diào)節(jié)滑塊(7)、下調(diào)節(jié)滑塊(8)的斜面相對(duì)設(shè)置，上調(diào)節(jié)滑塊(7)與下調(diào)節(jié)滑塊(8)的一側(cè)直角邊均設(shè)置有調(diào)節(jié)螺桿(10)，調(diào)節(jié)螺桿(10)與真空腔體(I)兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置的端蓋
(2)可調(diào)連接，下調(diào)節(jié)滑塊(8)底部?jī)蓚?cè)通過對(duì)稱設(shè)置的絕緣瓷片(9)與上電極(3)上表面連接，上電極(3 )沿長(zhǎng)度方向側(cè)端的中央位置設(shè)置有射頻信號(hào)連接座(11)。
[0009]本實(shí)用新型進(jìn)一步技術(shù)改進(jìn)方案是:
[0010]固定下電極(4)的所述底板(6)的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有用于固定輸出鏡、反射鏡的鏡片安裝架(12)。
[0011]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下明顯優(yōu)點(diǎn):
[0012]本實(shí)用新型真空腔體內(nèi)主要結(jié)構(gòu)由放電極板，底板，調(diào)節(jié)滑塊組成，放電結(jié)構(gòu)由兩個(gè)金屬鋁電極構(gòu)成，兩對(duì)上下極板沿長(zhǎng)度方向并行放置，上極板和下極板之間由絕緣瓷片如三氧化二鋁陶瓷隔開，構(gòu)成波導(dǎo)側(cè)壁，上電極和下電極的間距可以通過真空腔體兩側(cè)的調(diào)節(jié)螺桿進(jìn)行調(diào)節(jié)，配合相應(yīng)的諧振腔，形成矩形的放電增益空間，此種電極結(jié)構(gòu)十分方便腔體和電極的安裝，另外可以在腔體外部實(shí)現(xiàn)電極之間距離的調(diào)整。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]如圖1所示，本實(shí)用新型包括真空腔體1，真空腔體I內(nèi)設(shè)置有上電極3、下電極4，上電極3、下電極4之間通過匹配電感5連接，所述真空腔體I兩側(cè)對(duì)稱固定設(shè)置有端蓋2，下電極4通過底板6與真空腔體I底部?jī)?nèi)壁固定，上電極3設(shè)置有高度調(diào)節(jié)裝置13 ;所述所述的高度調(diào)節(jié)裝置13包括一組呈直角三角形設(shè)置的上調(diào)節(jié)滑塊7、下調(diào)節(jié)滑塊8，上調(diào)節(jié)滑塊7、下調(diào)節(jié)滑塊8的斜面相對(duì)設(shè)置，上調(diào)節(jié)滑塊7與下調(diào)節(jié)滑塊8的一側(cè)直角邊均設(shè)置有調(diào)節(jié)螺桿10，調(diào)節(jié)螺桿10與真空腔體I兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置的端蓋2可調(diào)連接，下調(diào)節(jié)滑塊8底部?jī)蓚?cè)通過對(duì)稱設(shè)置的絕緣瓷片9與上電極3上表面連接，上電極3沿長(zhǎng)度方向側(cè)端的中央位置設(shè)置有射頻信號(hào)連接座11 ;所述固定下電極4底板6的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有用于固定輸出鏡、反射鏡的鏡片安裝架12 ;所述上電極3、下電極4、上調(diào)節(jié)滑塊7、下調(diào)節(jié)滑塊8以及底板6均由鋁材料制成。
[0015]結(jié)合圖1所示，本實(shí)用新型在工作過程中，可通過高度調(diào)節(jié)裝置13的調(diào)節(jié)螺桿10對(duì)上電極3和下電極4的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而配合相應(yīng)的諧振腔，形成矩形的放電增益空間。
[0016]本實(shí)用新型方案所公開的技術(shù)手段不僅限于上述實(shí)施方式所公開的技術(shù)手段，還包括由以上技術(shù)特征任意組合所組成的技術(shù)方案。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種激光器電極可調(diào)裝置，包括真空腔體(1)，真空腔體(I)內(nèi)設(shè)置有上電極(3)、下電極(4)，上電極(3)、下電極(4)之間通過匹配電感(5)連接，其特征在于:所述真空腔體(I)兩側(cè)對(duì)稱固定設(shè)置有端蓋(2)，下電極(4)通過底板(6)與真空腔體(I)底部?jī)?nèi)壁固定，上電極(3 )設(shè)置有高度調(diào)節(jié)裝置(13 )。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光器電極可調(diào)裝置，其特征在于:所述高度調(diào)節(jié)裝置(13)包括一組呈直角三角形設(shè)置的上調(diào)節(jié)滑塊(7)、下調(diào)節(jié)滑塊(8)，上調(diào)節(jié)滑塊(7)、下調(diào)節(jié)滑塊(8)的斜面相對(duì)設(shè)置，上調(diào)節(jié)滑塊(7)與下調(diào)節(jié)滑塊(8)的一側(cè)直角邊均設(shè)置有調(diào)節(jié)螺桿(10)，調(diào)節(jié)螺桿(10)與真空腔體(I)兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置的端蓋(2)可調(diào)連接，下調(diào)節(jié)滑塊(8 )底部?jī)蓚?cè)通過對(duì)稱設(shè)置的絕緣瓷片(9 )與上電極(3 )上表面連接，上電極(3 )沿長(zhǎng)度方向側(cè)端的中央位置設(shè)置有射頻信號(hào)連接座(11)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種激光器電極可調(diào)裝置，其特征在于:固定下電極(4)的所述底板(6)的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有用于固定輸出鏡、反射鏡的鏡片安裝架(12)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種激光器電極可調(diào)裝置，包括真空腔體（1），真空腔體（1）內(nèi)設(shè)置有上電極（3）、下電極（4），上電極（3）、下電極（4）之間通過匹配電感（5）連接，其特征在于：所述真空腔體（1）兩側(cè)對(duì)稱固定設(shè)置有端蓋（2），下電極（4）通過底板（6）與真空腔體（1）底部?jī)?nèi)壁固定，上電極（3）設(shè)置有高度調(diào)節(jié)裝置（13），本實(shí)用新型的目的是提供一種激光器電極可調(diào)裝置，從而克服目前市場(chǎng)上傳統(tǒng)的射頻激光器電極在電極進(jìn)行精加工安裝后，電極之間的距離就無(wú)法再調(diào)整，當(dāng)電極需要優(yōu)化調(diào)整，則需要重新拆裝激光器腔體甚至要修改相關(guān)器件的尺寸參數(shù)，由于激光器腔體為真空腔體，屬于精密部件，上述調(diào)整方式不但需要借助專業(yè)器械和人員，而且會(huì)影響激光器腔體的精度。
【IPC分類】H01S3/038, H01S3/02
【公開號(hào)】CN204885805
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520645027
【發(fā)明人】魏東旭, 馮小飛, 馮小勤, 邊心田, 王晗
【申請(qǐng)人】淮陰師范學(xué)院
【公開日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年8月25日