撞片防護(hù)裝置、涂布平臺(tái)及其撞片防護(hù)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種撞片防護(hù)裝置、涂布平臺(tái)及其撞片防護(hù)方法，所述撞片防護(hù)裝置包括：至少一發(fā)射元件，用于發(fā)射至少一光束；至少一反射元件，用于反射所述光束；至少一接收元件，用于接收經(jīng)所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少經(jīng)過(guò)所述作業(yè)平臺(tái)一次；檢知感測(cè)器，連接于所述發(fā)射元件與所述接收元件，用于判斷所述接收元件所接收到的光束相對(duì)于所述發(fā)射元件發(fā)射的光束的衰減是否超過(guò)一設(shè)定值，若超過(guò)所述設(shè)定值，則發(fā)出一第一控制信號(hào)。本發(fā)明可避免破碎的玻璃發(fā)生第二次破壞。
【專利說(shuō)明】撞片防護(hù)裝置、涂布平臺(tái)及其撞片防護(hù)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種撞片防護(hù)裝置及具有該撞片防護(hù)裝置的涂布平臺(tái)和撞片防護(hù)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，發(fā)光二極管顯示面板制造需要用到涂布平臺(tái)(Coater stage) I,如圖1和圖5所示，涂布平臺(tái)I通常為大理石材質(zhì)，涂布平臺(tái)I兩側(cè)布設(shè)有用于噴嘴(nozzle) 8移動(dòng)的軌道2、3，噴嘴8可以往返移動(dòng)，如圖1中的箭頭所示。
[0003]如圖2所示，涂布平臺(tái)I上設(shè)置有升降支撐桿(lift pin)9，用于支撐玻璃7的升降。而涂布平臺(tái)I不斷使用后，易發(fā)生因靜電吸附而造成玻璃7在被升降支撐桿9托舉上升時(shí)升降支撐桿9將玻璃7頂破，破裂后的玻璃7會(huì)跌落在涂布平臺(tái)I上。
[0004]在破裂發(fā)生的瞬間，在來(lái)不及清理破裂的玻璃7之前，涂布平臺(tái)I下游端的自動(dòng)機(jī)械4 (robot,或稱機(jī)器人)的機(jī)械臂瞬間來(lái)取片時(shí)，如圖3所示，一沖撞時(shí)，易造成玻璃7的嚴(yán)重粉碎性的破懷，不但造成了涂布平臺(tái)I更嚴(yán)重的污染，如圖4所示，且也造成了升降支撐桿9嚴(yán)重的破壞，并且搬送手臂上的吸真空組件(即搬送手臂上的吸真空墊片，robotvacuum pad)也可能損壞,而往往在復(fù)歸時(shí)需要花費(fèi)相當(dāng)多的成本,如硬件的更換、人員的清潔，及產(chǎn)品的驗(yàn)證等…
[0005]而現(xiàn)有技術(shù)的涂布平臺(tái)，僅利用真空管路(vacuum line)進(jìn)行真空吸附，由吸附壓力的狀況，來(lái)判定是否有玻璃破片或缺角發(fā)生，但這樣的防護(hù)并不能監(jiān)控到因玻璃7上升時(shí)而發(fā)生的破片情況；由于這個(gè)位置要增加檢知非常困難，會(huì)受到噴嘴8及自動(dòng)機(jī)械4的干涉，因此并無(wú)廠商進(jìn)行開(kāi)發(fā)裝設(shè)。
[0006]綜上，當(dāng)發(fā)生因涂布機(jī)臺(tái)I吸附而造成破片時(shí)，因無(wú)檢測(cè)傳感器可以回饋給整個(gè)系統(tǒng)，告訴下游的自動(dòng)機(jī)械4不要進(jìn)行取片的動(dòng)作，所以常造成嚴(yán)重的第二次性的破壞。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本發(fā)明的目的為提供一種撞片防護(hù)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的撞片防護(hù)裝置無(wú)法有效檢測(cè)因靜電吸附造成的玻璃上升時(shí)升降支撐桿將玻璃頂破的技術(shù)問(wèn)題。
[0008]本發(fā)明的另一目的為提供一種具有本發(fā)明撞片防護(hù)裝置的涂布平臺(tái)，以解決現(xiàn)有技術(shù)的涂布平臺(tái)的撞片防護(hù)裝置無(wú)法有效檢測(cè)因靜電吸附造成玻璃上升時(shí)升降支撐桿將玻璃頂破的技術(shù)問(wèn)題。
[0009]本發(fā)明的再一目的為提供一種撞片防護(hù)方法。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0011]一種撞片防護(hù)裝置，用于涉及玻璃的作業(yè)平臺(tái)的撞片防護(hù)，所述撞片防護(hù)裝置包括:至少一發(fā)射兀件，用于發(fā)射至少一光束；至少一反射兀件，用于反射所述光束；至少一接收元件，用于接收經(jīng)所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少經(jīng)過(guò)所述作業(yè)平臺(tái)一次；檢知感測(cè)器，連接于所述發(fā)射元件與所述接收元件，用于判斷所述接收元件所接收到的光束相對(duì)于所述發(fā)射元件發(fā)射的光束的衰減是否超過(guò)一設(shè)定值，若超過(guò)所述設(shè)定值，則發(fā)出一第一控制信號(hào)。
[0012]本發(fā)明的涂布平臺(tái)，具有本發(fā)明的撞片防護(hù)裝置。
[0013]一種撞片防護(hù)方法，用于涉及玻璃的作業(yè)平臺(tái)的撞片防護(hù)，其特征在于，所述撞片防護(hù)方法包括步驟:步驟S1:由至少一發(fā)射元件，發(fā)射至少一光束；步驟S2:由至少一反射元件，反射所述光束；由至少一接收元件，接收經(jīng)所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少經(jīng)過(guò)所述作業(yè)平臺(tái)一次；步驟S3:由連接于所述發(fā)射元件與所述接收元件的檢知感測(cè)器，判斷所述接收元件所接收到的光束相對(duì)于所述發(fā)射元件發(fā)射的光束的衰減是否超過(guò)一設(shè)定值，若超過(guò)所述設(shè)定值，則發(fā)出一控制信號(hào)。
[0014]本發(fā)明的有益效果在于，本發(fā)明的撞片防護(hù)裝置及具有該撞片防護(hù)裝置的涂布平臺(tái)以及本發(fā)明的撞片防護(hù)方法，其可以在玻璃上升時(shí)升降支撐桿將玻璃頂破的狀態(tài)發(fā)生時(shí)，通過(guò)發(fā)射元件、反射元件、接收元件及檢知感測(cè)器，有效的檢知玻璃破片，及時(shí)發(fā)送控制信號(hào)給下游的自動(dòng)機(jī)械，使其停止進(jìn)行取片動(dòng)作，從而避免破碎的玻璃發(fā)生第二次破壞，將損失降低至最低，避免不必要的成本支出，可以加快涂布平臺(tái)的復(fù)歸時(shí)間。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的涂布平臺(tái)的示意圖；
[0016]圖2為現(xiàn)有技術(shù)的涂布平臺(tái)發(fā)生破片的示意圖；
[0017]圖3為現(xiàn)有技術(shù)的涂布平臺(tái)發(fā)生破片的瞬間自動(dòng)機(jī)械進(jìn)行取片動(dòng)作的示意圖；
[0018]圖4為現(xiàn)有技術(shù)的涂布平臺(tái)因自動(dòng)機(jī)械進(jìn)行取片動(dòng)作造成已被頂破的玻璃粉碎性破壞的示意圖；
[0019]圖5為本發(fā)明第一實(shí)施例的涂布平臺(tái)及本發(fā)明第一實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置的示意圖；
[0020]圖6為本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)方法的流程示意圖；
[0021]圖7為本發(fā)明第一實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置的另一光路示意圖；
[0022]圖8為本發(fā)明第三實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置及其光路示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0023]體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的典型實(shí)施例將在以下的說(shuō)明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本發(fā)明能夠在不同的實(shí)施例上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明的范圍，且其中的說(shuō)明及附圖在本質(zhì)上是當(dāng)作說(shuō)明之用，而非用以限制本發(fā)明。
[0024]本發(fā)明實(shí)施例的涂布平臺(tái)，可以利用本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)方法進(jìn)行撞片防護(hù)；本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置，可以用于本發(fā)明實(shí)施例的涂布平臺(tái)；本發(fā)明實(shí)施例的涂布平臺(tái)，具有本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置；本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)方法，可以利用本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置實(shí)現(xiàn)。
[0025]下面具體介紹本發(fā)明第一至第三實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置、涂布平臺(tái)及撞片防護(hù)方法。但本發(fā)明并不局限于這三個(gè)實(shí)施例。本發(fā)明各實(shí)施例的撞片防護(hù)方法和撞片防護(hù)裝置，均已涂布平臺(tái)為例進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明并不以此為限，只要是涉及玻璃的作業(yè)平臺(tái)，本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置及撞片防護(hù)方法均可應(yīng)用。
[0026]第一實(shí)施例:
[0027]如圖5所示，本發(fā)明第一實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置，包括發(fā)射元件(或稱發(fā)射器)5、反射鏡61、62、63以及檢知感測(cè)器(圖中未示出)，發(fā)射元件5同時(shí)也可以是接收元件(或稱接收器)，檢知感測(cè)器可以內(nèi)置于發(fā)射元件5，或者檢測(cè)感測(cè)器可內(nèi)置有發(fā)射元件5和接收元件。
[0028]發(fā)射兀件5用于發(fā)射光束,而反射鏡61、62、63均用于反射光束,接收兀件用于接收光路上最后一個(gè)反射鏡反射回的光束。為了能實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃撞片(或破片)情況的有效檢測(cè)，從發(fā)射元件5發(fā)出，并經(jīng)反射鏡61、62、63反射的光束，在反射回接收元件之前，至少要經(jīng)過(guò)涂布平臺(tái)I 一次。這里所說(shuō)的經(jīng)過(guò)涂布平臺(tái)1，是指以一定的高度(包括高度為0，即緊貼涂布平臺(tái)I的情形)通過(guò)涂布平臺(tái)I正上方的情形。
[0029]而檢知感測(cè)器，通過(guò)有線或無(wú)線的方式連接于發(fā)射元件5與接收元件，其作用是判斷接收元件所接收到的光束相對(duì)于發(fā)射元件5發(fā)射的光束的衰減是否超過(guò)一設(shè)定值。這個(gè)設(shè)定值例如可以是20%，即光強(qiáng)度衰減為原來(lái)的20%，如果完全沒(méi)有收到(即衰減100%)，則也屬于超過(guò)衰減的設(shè)定值。
[0030]對(duì)于發(fā)射元件5和接收元件，需避開(kāi)噴嘴8及自動(dòng)機(jī)械4的走行方向，在適當(dāng)且不干涉的位置裝設(shè)，由于噴涂平臺(tái)I靜電吸附最易發(fā)生的位置在玻璃四周(與放片有關(guān))，因此對(duì)撞片的檢知著重在涂布平臺(tái)I的四周，因此，對(duì)于矩形的涂布平臺(tái)1，發(fā)射元件5同時(shí)也是接收元件設(shè)置于涂布平臺(tái)I的其中一角部，而反射鏡61、62、63則是分別設(shè)置在涂布平臺(tái)I的其余三個(gè)角部。其中，在發(fā)射元件5對(duì)角設(shè)置的是反射鏡61，與反射鏡61短邊(涂布平臺(tái)I的矩形的短邊)相鄰的是反射鏡62，與反射鏡61長(zhǎng)邊(涂布平臺(tái)I的矩形的長(zhǎng)邊)相鄰的是反射鏡63。
[0031]如圖5所不,發(fā)射兀件5發(fā)出的光束依次經(jīng)反射鏡61、反射鏡62與反射鏡63反射而回到接收元件。從圖5可看出，從發(fā)射元件5發(fā)出的光束，并經(jīng)反射鏡61、62、63反射，回到接收元件所形成的光路中，包括兩個(gè)對(duì)角線的路徑，因此能夠以更多的機(jī)會(huì)經(jīng)過(guò)涂布平臺(tái)，所以可以增加檢知的準(zhǔn)確性。另外，上述光路最好是在同一平面內(nèi)，也能夠增加檢知的準(zhǔn)確率。且該平面最好是平行于涂布平臺(tái)I的平面，且該平面的高度是介于O到升降支撐桿9的頂點(diǎn)之間。
[0032]本發(fā)明第一實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置，對(duì)于發(fā)射兀件5發(fā)出光束的時(shí)機(jī)，即檢知時(shí)機(jī)(timing)，是升降支撐桿9上升至頂點(diǎn)位置時(shí)，控制涂布平臺(tái)I的可編程控制器(PLC)發(fā)送信號(hào)給檢知感測(cè)器，檢知感測(cè)器控制發(fā)射元件5發(fā)射光束，經(jīng)由反射鏡61、62、63，最后回到原來(lái)位置上的接收元件，確認(rèn)是否因破碎的玻璃7的干涉造成信號(hào)超過(guò)設(shè)定值的衰減或無(wú)法收到，判斷無(wú)異常后，再發(fā)送控制信號(hào)給前述PLC通知下游的自動(dòng)機(jī)械4可以進(jìn)行取片動(dòng)作。本發(fā)明中，控制信號(hào)并不局限于此。
[0033]下面簡(jiǎn)述一下本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)方法，如圖6所示，其包括以下步驟:
[0034]步驟1:涂布平臺(tái)I的升降支撐桿9上升至頂點(diǎn)時(shí)檢知感測(cè)器控制發(fā)射元件5發(fā)射一光束；
[0035]步驟2:所述光束經(jīng)反射鏡61、62、63依次反射；由接收元件接收反射回的光束，在上述光束的光路中，以對(duì)角線的路徑經(jīng)過(guò)涂布平臺(tái)I兩次；
[0036]步驟3:由檢知感測(cè)器判斷接收元件所接收到的光束相對(duì)于發(fā)射元件5發(fā)射的光束的衰減是否超過(guò)一設(shè)定值，若超過(guò)所述設(shè)定值，則發(fā)出停止自動(dòng)機(jī)械4的取片動(dòng)作的第一控制信號(hào)。
[0037]本實(shí)施例中，發(fā)射元件5發(fā)出的光束所經(jīng)的光路，并不局限于圖5所示，例如，可如圖7所示,依次經(jīng)反射鏡61、反射鏡63與反射鏡62反射而回到接收元件。
[0038]第二實(shí)施例:
[0039]本實(shí)施例與第一實(shí)施例相同的地方不再贅述，本實(shí)施例與第一實(shí)施例不同的地方在于，本實(shí)施例中，發(fā)射元件5發(fā)射至少兩光束，這些光束可以是相同方向，相同光路；也可以是不同方向，不同光路。對(duì)于接收元件來(lái)講，可以不區(qū)分所接收的是哪一光束，只要總的光束衰減量超過(guò)設(shè)定值，就說(shuō)明有破片發(fā)生?；蛘哒f(shuō)只有所有的光束都不發(fā)生超過(guò)設(shè)定值的衰減，才可以向下游的自動(dòng)機(jī)械4發(fā)出可以進(jìn)行取片動(dòng)作的指令。同時(shí)，本實(shí)施例中，如果接收元件能夠區(qū)分從不同光路發(fā)回的光束，則不僅可以判別撞片的發(fā)生，也可以進(jìn)一步的判斷撞片發(fā)生的位置。
[0040]本實(shí)施例中，光束的數(shù)量例如為兩個(gè)(同一發(fā)射元件5發(fā)射的)，則可分別經(jīng)兩不同光路而返回兩不同的接收元件。且兩光束的衰減均未超過(guò)設(shè)定值時(shí)，才可以發(fā)出自動(dòng)機(jī)械可以進(jìn)行取片動(dòng)作的信號(hào)。
[0041]本發(fā)明的撞片防護(hù)方法，其發(fā)射元件5也并不局限于一個(gè)，因此有以下的實(shí)施例。
[0042]第三實(shí)施例:
[0043]本實(shí)施例與上述第一和第二實(shí)施例相同的地方不再贅述，本實(shí)施例與第一、第二實(shí)施例不同的地方在于:
[0044]本實(shí)施例中，如圖8所示，發(fā)射元件有兩個(gè)，反射鏡有兩個(gè)，接收元件也有兩個(gè)。發(fā)射兀件包括第一發(fā)射兀件51 (同時(shí)也是第二接收兀件)和第二發(fā)射兀件52 (同時(shí)也是第一接收元件)，第一發(fā)射元件51發(fā)射的第一光束，經(jīng)第一光路而返回第一接收元件，第二發(fā)射元件52發(fā)射的第二光束，經(jīng)第二光路返回第二接收元件。
[0045]如圖8所示,本實(shí)施例中,第一光路是圖8中實(shí)線所示,先經(jīng)過(guò)反射鏡61,再經(jīng)過(guò)反射鏡62而反射回到第一接收元件。第二光路是圖8中虛線所示，先經(jīng)過(guò)反射鏡62，再經(jīng)過(guò)反射鏡61而反射回到第二接收元件。本實(shí)施例中，兩光束的衰減均未超過(guò)設(shè)定值時(shí)，才可以發(fā)出自動(dòng)機(jī)械可以進(jìn)行取片動(dòng)作的信號(hào)。
[0046]在上述各實(shí)施例中，可視需要增加發(fā)射元件、反射鏡、接收元件的數(shù)量及位置。且反射鏡也可以由分光鏡等反射元件來(lái)代替，反射鏡或分光鏡的數(shù)量例如可為2-5個(gè)。
[0047]上述各實(shí)施例中，發(fā)射元件所發(fā)射的光束,可為紅外光光束或激光光束。反射元件的選取需與光束的類型相匹配。
[0048]本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)裝置及本發(fā)明實(shí)施例的涂布平臺(tái)以及本發(fā)明實(shí)施例的撞片防護(hù)方法，其可以在玻璃7上升時(shí)升降支撐桿9將玻璃7頂破的狀態(tài)發(fā)生時(shí)，通過(guò)發(fā)射元件、反射元件、接收元件及檢知感測(cè)器，有效的檢知玻璃破片，及時(shí)發(fā)送控制信號(hào)給下游的自動(dòng)機(jī)械4，使其停止進(jìn)行取片動(dòng)作，從而避免破碎的玻璃7發(fā)生第二次破壞，將損失降低至最低，避免不必要的成本支出，可以加快涂布平臺(tái)I的復(fù)歸(恢復(fù)生產(chǎn))時(shí)間。
[0049]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)意識(shí)到在不脫離本發(fā)明所附的權(quán)利要求所揭示的本發(fā)明的范圍和精神的情況下所作的更動(dòng)與潤(rùn)飾，均屬本發(fā)明的權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種撞片防護(hù)裝置，用于涉及玻璃的作業(yè)平臺(tái)的撞片防護(hù)，所述撞片防護(hù)裝置包括: 至少一發(fā)射元件，用于發(fā)射至少一光束； 至少一反射元件，用于反射所述光束； 至少一接收元件，用于接收經(jīng)所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少經(jīng)過(guò)所述作業(yè)平臺(tái)一次； 檢知感測(cè)器，連接于所述發(fā)射元件與所述接收元件，用于判斷所述接收元件所接收到的光束相對(duì)于所述發(fā)射元件發(fā)射的光束的衰減是否超過(guò)一設(shè)定值，若超過(guò)所述設(shè)定值，則發(fā)出一第一控制信號(hào)。
2.如權(quán)利要求1所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述作業(yè)平臺(tái)為涂布平臺(tái)。
3.如權(quán)利要求2所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述涂布平臺(tái)為矩形，所述發(fā)射元件和所述接收元件設(shè)置于所述涂布平臺(tái)的其中一角部。
4.如權(quán)利要求1所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述反射元件為反射鏡或分光鏡，數(shù)量為2-5個(gè)。
5.如權(quán)利要求3所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述反射元件為反射鏡，數(shù)量為3個(gè)，分別設(shè)置在所述涂布平臺(tái)的其余三個(gè)角部。
6.如權(quán)利要求2所述的撞片防護(hù)裝置,其特征在于，所述光束為紅外光光束或激光光束。
7.如權(quán)利要求5所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，位于與所述發(fā)射元件對(duì)角的反射鏡為第一反射鏡，與所述第一反射鏡短邊相鄰的是第二反射鏡，與所述第一反射鏡長(zhǎng)邊相鄰的是第三反射鏡，所述光束依次經(jīng)所述第一反射鏡、第二反射鏡與第三反射鏡反射而回到所述接收元件。
8.如權(quán)利要求7所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述光束依次經(jīng)所述第一反射鏡、第二反射鏡與第三反射鏡反射形成的光路在同一平面內(nèi)。
9.如權(quán)利要求8所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述涂布平臺(tái)的升降支撐桿上升至頂點(diǎn)時(shí)所述檢知感測(cè)器控制所述發(fā)射元件發(fā)射所述光束。
10.如權(quán)利要求2所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述光束的衰減超過(guò)一設(shè)定值時(shí)，發(fā)出停止自動(dòng)機(jī)械的取片動(dòng)作的所述第一控制信號(hào)。
11.如權(quán)利要求1所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述發(fā)射元件發(fā)射兩光束，分別經(jīng)兩不同光路而返回兩不同的所述接收元件。
12.如權(quán)利要求1所述的撞片防護(hù)裝置，其特征在于，所述發(fā)射元件包括第一發(fā)射元件和第二發(fā)射元件，所述接收元件包括第一接收元件與第二接收元件，所述第一發(fā)射元件發(fā)射第一光束，經(jīng)第一光路而返回至所述第一接收元件，所述第二發(fā)射元件發(fā)射第二光束，經(jīng)第二光路而返回所述第二接收元件。
13.—種涂布平臺(tái)，其特征在于，所述涂布平臺(tái)具有權(quán)利要求1-12任一所述的撞片防護(hù)裝置。
14.一種撞片防護(hù)方法，用于涉及玻璃的作業(yè)平臺(tái)的撞片防護(hù)，其特征在于，所述撞片防護(hù)方法包括步驟: 步驟S1:由至少一發(fā)射元件,發(fā)射至少一光束； 步驟S2:由至少一反射元件，反射所述光束；由至少一接收元件，接收經(jīng)所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少經(jīng)過(guò)所述作業(yè)平臺(tái)一次； 步驟S3:由連接于所述發(fā)射元件與所述接收元件的檢知感測(cè)器，判斷所述接收元件所接收到的光束相對(duì)于所述發(fā)射元件發(fā)射的光束的衰減是否超過(guò)一設(shè)定值，若超過(guò)所述設(shè)定值，則發(fā)出一控制信號(hào)。
15.如權(quán)利要求14所述的撞片防護(hù)方法，其特征在于，在步驟SI中，所述發(fā)射元件發(fā)射兩光束，在步驟S2中，所述兩光束分別經(jīng)兩不同光路而返回至兩不同的所述接收元件。
16.如權(quán)利要求14所述的撞片防護(hù)方法，其特征在于，在所述步驟SI中，所述涂布平臺(tái)的升降支撐桿上升至頂點(diǎn)時(shí)所述檢知感測(cè)器控制所述發(fā)射元件發(fā)射所述光束。
17.如權(quán)利要求14所述的撞片防護(hù)方法，其特征在于，在所述步驟S3中，所述光束的衰減超過(guò)一設(shè)定值時(shí)，發(fā)出停止自動(dòng)機(jī)械的取片動(dòng)作的所述第一控制信號(hào)。
18.如權(quán)利要求17所述的撞片防護(hù)方法，其特征在于，在所述步驟S3中，還包括，各所述光束的衰減均未超過(guò)所述設(shè)定值時(shí)，發(fā)出自動(dòng)機(jī)械可以進(jìn)行取片動(dòng)作的一第二控制信號(hào)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104241162SQ201310231924
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2013年6月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月9日
【發(fā)明者】黃昱嘉, 楊靖哲 申請(qǐng)人:上海和輝光電有限公司