專(zhuān)利名稱(chēng)：太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中，擴(kuò)散工藝過(guò)程會(huì)產(chǎn)生殘余的廢氣，必須將其從尾管排出。當(dāng)P2O5經(jīng)過(guò)尾管伸出段時(shí)，由于溫度的驟降，與周?chē)乃麜?huì)發(fā)生反應(yīng)生成稠狀具腐蝕性的液體偏磷酸，化學(xué)反應(yīng)式為P205+H20 = 2HP03。隨著稠狀偏磷酸在尾管壁的聚集， 經(jīng)過(guò)的P2O5微晶顆粒有一部分會(huì)附著在稠狀偏磷酸上并聚集生長(zhǎng)，遇水汽時(shí)又會(huì)生成偏磷酸。不斷附著的I32O5顆粒和生成的稠狀HPO3形成類(lèi)似混凝土狀的大顆粒直至完全堵塞尾管，整個(gè)堵塞過(guò)程大概15至20天。同時(shí)在較高溫度下，HP03會(huì)腐蝕石英管壁，雖然過(guò)程緩慢，但長(zhǎng)期會(huì)導(dǎo)致尾管斷裂的現(xiàn)象?，F(xiàn)有技術(shù)中，尾管堵塞的方法主要是通過(guò)提高尾管伸出段的溫度，阻止此處偏磷酸的生成，如用石英棉包裹尾管，但是40天后尾管仍被堵塞，雖然延長(zhǎng)了被堵塞時(shí)間，但未能徹底解決試管堵塞問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容發(fā)明目的本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能保持尾管通暢、防止尾管管壁腐蝕的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置。技術(shù)方案為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾
氣排放裝置，其包括三通管和排風(fēng)管，三通管的第一支管與尾管相連，三通管的第二支管與排風(fēng)管相連。其中，優(yōu)選地，為了防止氣體逆流，起到更好的排放尾氣作用，在所述三通管的主管上設(shè)有單向閥。有益效果本實(shí)用新型提供的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置，在每次擴(kuò)散工藝后通過(guò)向該裝置三通管的主管中通入流速較高的反向氣流，尾氣隨氣流排出，從而起到疏通尾管，保證尾管通暢的作用，另外也防止了尾管管壁腐蝕。

附圖為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本實(shí)用新型。如附圖所示，本實(shí)用新型所述的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置，包括三通管1和排風(fēng)管2，三通管1的第一支管3與尾管6相連，三通管1的第二支管4與排風(fēng)管2 相連，三通管1的主管5上設(shè)有單向閥7。[0011]本實(shí)用新型在使用時(shí)，先連接裝置并調(diào)節(jié)、檢查裝置的氣密性至完好，在每次擴(kuò)散工藝后，向主管5中通入流速較高的反向氣流為保護(hù)性氣體氮?dú)猓捎谠O(shè)有單向閥7，氮?dú)獠粫?huì)回流，其經(jīng)過(guò)第一支管3，帶著尾氣經(jīng)過(guò)第二支管4從排風(fēng)管2中排出，從而能保持尾管通暢，另外也防止了尾管管壁腐蝕。上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的是讓熟悉該技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此來(lái)限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作出的等同變換或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置，其特征在于其包括三通管和排風(fēng)管， 所述三通管的第一支管與尾管相連，所述三通管的第二支管與所述排風(fēng)管相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置，其特征在于所述的三通管的主管上設(shè)有單向閥。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置，其包括三通管和排風(fēng)管，三通管的第一支管與尾管相連，三通管的第二支管與排風(fēng)管相連。本實(shí)用新型提供的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散用尾氣排放裝置，在每次擴(kuò)散工藝后通過(guò)向該裝置三通管的主管中通入流速較高的反向氣流，尾氣隨氣流排出，從而起到疏通尾管，保證尾管通暢的作用，另外也防止了尾管管壁腐蝕。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202142571SQ20112024166
公開(kāi)日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月11日
發(fā)明者沈少杰 申請(qǐng)人:蘇州矽美仕綠色新能源有限公司