專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)的廢熱利用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是能源回收利用的裝置，尤其涉及一種半導(dǎo)體芯片制造廠(chǎng)凈化 車(chē)間熱源回收利用的裝置和該裝置。
背景技術(shù)：
目前的半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間多為凈化車(chē)間，里面的生產(chǎn)設(shè)備容易產(chǎn)生大量的高溫氣體 而排放掉，例如廢熱設(shè)備(擴(kuò)散爐、烘箱、空壓機(jī)……)排放出來(lái)的高溫廢熱溫度一般可以 達(dá)到80°C左右，如果將這種高溫氣體直接排放到空氣中，那是一種極大的浪費(fèi)。而一般半導(dǎo) 體生產(chǎn)車(chē)間對(duì)溫度的要求比較高，目前通常使用空調(diào)來(lái)調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度，這樣生產(chǎn)成本也會(huì) 增加。當(dāng)前經(jīng)濟(jì)發(fā)展與資源環(huán)境的矛盾日趨尖銳，同時(shí)溫室氣體的排放使得全球氣候變 暖，進(jìn)一步加強(qiáng)節(jié)能減排工作，是對(duì)全球氣候變暖、節(jié)省能源的迫切需求，也是我們制造業(yè) 應(yīng)該承擔(dān)的責(zé)任。鑒于以上目前狀況，現(xiàn)在尋找一種既能避免能源浪費(fèi)，又能降低生產(chǎn)成本的方法 具有一定的研究意義。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)以上問(wèn)題，提供了一種能將生產(chǎn)環(huán)節(jié)中廢熱產(chǎn)生設(shè)備排放出的高 溫氣體進(jìn)行回收利用，并適用于需要特定溫度的生產(chǎn)凈化車(chē)間的半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)的廢熱利用
直ο本實(shí)用新型的技術(shù)方案是所述生產(chǎn)線(xiàn)包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間，它包括 排風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門(mén)一 三、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn)生廢熱的設(shè) 備、凈化車(chē)間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門(mén)一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門(mén)三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口處， 所述閥門(mén)二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器包括感應(yīng)器 一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感應(yīng)器二設(shè)在 所述凈化車(chē)間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門(mén)一 三和感應(yīng)器一 三分別連接控制器。本實(shí)用新型利用管路、閥門(mén)將熱源體有效進(jìn)行回收利用，采取回收管道吸取一定 的熱量，通過(guò)氣體閥門(mén)控制調(diào)整風(fēng)量，進(jìn)入凈化裝置系統(tǒng)進(jìn)行精密過(guò)濾，調(diào)節(jié)好所需溫度后 送入凈化車(chē)間，滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。在控制方面實(shí)現(xiàn)了智能化，能根據(jù)季節(jié)變化通過(guò)調(diào)節(jié)氣 體管道閥門(mén)的啟閉、開(kāi)合量實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)車(chē)間所需要的溫度。本實(shí)用新型將生產(chǎn)車(chē)間能源的循 環(huán)利用，提高資源利用率，降低生產(chǎn)制造成本，適應(yīng)低碳環(huán)保的生產(chǎn)要求。

圖1本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖1中1為閥門(mén)一，2為閥門(mén)二，3為閥門(mén)三。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型如圖1所示，所述生產(chǎn)線(xiàn)包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間，它包括排 風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門(mén)一 1、閥門(mén)二 2、閥門(mén)三3、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn) 生廢熱的設(shè)備、凈化車(chē)間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門(mén)一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門(mén)三設(shè) 在進(jìn)風(fēng)口處，所述閥門(mén)二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器 包括感應(yīng)器一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感 應(yīng)器二設(shè)在所述凈化車(chē)間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門(mén)一 三和感應(yīng)器一 三分別連 接控制器。具體應(yīng)用時(shí)，按照如圖所示方法設(shè)計(jì)管路結(jié)構(gòu)，其中生產(chǎn)設(shè)備包括凈化室外和凈 化室內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備及附屬設(shè)備，根據(jù)生產(chǎn)車(chē)間或者生產(chǎn)規(guī)模的不同，可以有多個(gè)排風(fēng)口、多 個(gè)進(jìn)風(fēng)口、多個(gè)凈化裝置、多個(gè)生產(chǎn)設(shè)備、甚至多個(gè)凈化車(chē)間。生產(chǎn)設(shè)備(空壓機(jī)、擴(kuò)散爐、烘箱……)排出的熱源溫度較高(80°C左右)，可以通 過(guò)管道的吸熱及調(diào)節(jié)氣體閥門(mén)的大小來(lái)控制生產(chǎn)車(chē)間所需要的溫度。此法方法適合在冬季使用，冬季天氣比較寒冷，凈化車(chē)間內(nèi)溫度較低，此時(shí)可把閥 門(mén)一 1關(guān)閉，打開(kāi)閥門(mén)二 2，關(guān)閉閥門(mén)三3，生產(chǎn)設(shè)備排放出的熱氣通過(guò)管路進(jìn)入凈化裝置， 凈化后進(jìn)入凈化車(chē)間，調(diào)節(jié)閥門(mén)二 2的大小可控制凈化車(chē)間內(nèi)的溫度。夏季凈化車(chē)間溫度偏高，此時(shí)可關(guān)閉閥門(mén)二 2，打開(kāi)閥門(mén)一 1使生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生的熱 氣從排風(fēng)口排出，打開(kāi)閥門(mén)三3使外界空氣進(jìn)入凈化裝置送入凈化車(chē)間，此時(shí)的閥門(mén)二 2處 于關(guān)閉狀態(tài)。
權(quán)利要求半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)的廢熱利用裝置，所述生產(chǎn)線(xiàn)包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間，其特征在于，它包括排風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門(mén)一~三、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備、凈化車(chē)間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門(mén)一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門(mén)三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口處，所述閥門(mén)二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器包括感應(yīng)器一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感應(yīng)器二設(shè)在所述凈化車(chē)間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門(mén)一~三和感應(yīng)器一~三分別連接控制器。
專(zhuān)利摘要半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)的廢熱利用裝置。本實(shí)用新型尤其涉及一種半導(dǎo)體芯片制造廠(chǎng)凈化車(chē)間熱源回收利用的裝置和該裝置。它包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間，其特征在于，它包括排風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門(mén)一~三、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備、凈化車(chē)間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門(mén)一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門(mén)三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口處，所述閥門(mén)二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車(chē)間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器包括感應(yīng)器一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感應(yīng)器二設(shè)在所述凈化車(chē)間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門(mén)一~三和感應(yīng)器一~三分別連接控制器。本實(shí)用新型利用管路、閥門(mén)將熱源體有效進(jìn)行回收利用，將生產(chǎn)車(chē)間能源的循環(huán)利用，提高資源利用率，降低生產(chǎn)制造成本，適應(yīng)低碳環(huán)保的生產(chǎn)要求。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201741671SQ20102018542
公開(kāi)日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2010年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月11日
發(fā)明者汪良恩 申請(qǐng)人:揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司