面向半導體生產(chǎn)線搬運系統(tǒng)的軌道與天車協(xié)調(diào)控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種面向半導體生產(chǎn)線的天車調(diào)度方法，具體的說是天車與軌道之間的協(xié)調(diào)控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導體產(chǎn)品加工生產(chǎn)中，產(chǎn)品的加工工藝過程復雜，有些產(chǎn)品需要幾十道工序可以加工完成，有些產(chǎn)品也許需要上百道加工工序才能完成，這些工序中一些對應不同的機臺設(shè)備，一些工序雖然相同，但加工的時期不同。機臺設(shè)備由于工藝要求、場地條件等限制，可能分布在廠區(qū)的位置，快速有效的對加工材料進行搬運能夠提高企業(yè)的生產(chǎn)效率。在半導體加工生產(chǎn)中采用人工或人工操作機械設(shè)備進行搬運對于物料的轉(zhuǎn)移是一件消耗人力及時間的方法，加工區(qū)域全部采用天車軌道方式能夠有效的提高搬運效率。采用岔道將多個加工區(qū)域連接在主環(huán)道的方法可以在有效的加工區(qū)內(nèi)盡量多的布置機臺設(shè)備，提高搬運效率。無岔軌的軌道鋪設(shè)區(qū)域只能是單一的閉合軌道，天車繞軌道行走一周時間長，很多搬運任務都要繞軌道一周，效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決如何使天車與軌道之間的配合動作更加安全有效的問題，本發(fā)明提出了一種面向半導體生產(chǎn)搬運系統(tǒng)的軌道與天車協(xié)調(diào)控制方法，使天車能夠更有效、安全的運行于軌道上。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:面向半導體生產(chǎn)線搬運系統(tǒng)的軌道與天車協(xié)調(diào)控制方法，在天車上安裝信號收發(fā)器，在與岔道各分支相連接的軌道上設(shè)置光發(fā)送/接收裝置；可編程邏輯控制器配合采集光發(fā)送/接收裝置信號的光通訊控制器，控制天車的運行，包括以下步驟:
[0005]天車根據(jù)下載的路徑關(guān)鍵點信息開始運行；服務器實時檢測天車在軌道中的運行位置是否為關(guān)鍵點；
[0006]如果不是則繼續(xù)監(jiān)控天車；如果是則判斷關(guān)鍵點是否為結(jié)束點，如果是結(jié)束點則任務結(jié)束，如果不是，則判斷關(guān)鍵點是否是入/出岔軌點；如果是，則光通訊控制器采集岔軌入口處設(shè)置的光發(fā)送/接收裝置的信號，配合可編程邏輯控制器控制天車的運行；如果不是則繼續(xù)監(jiān)控天車；監(jiān)控天車直至到達結(jié)束點。
[0007]所述關(guān)鍵點包括開始點、結(jié)束點、入彎軌點、出彎軌點、入岔軌點、出岔軌點。
[0008]所述光通訊控制器采集岔軌入口處設(shè)置的光發(fā)送/接收裝置的信號，配合可編程邏輯控制器控制天車的運行包括以下步驟:
[0009]當天車進入光發(fā)送/接收裝置的傳輸介質(zhì)范圍內(nèi)，光通訊控制器接收天車上信號收發(fā)器發(fā)送的信號，并發(fā)送給可編程邏輯控制器；可編程邏輯控制器同時檢測對應岔道的傳感器，判斷岔道是否變換到了指定的位置；
[0010]如果傳感器無信號，為導軌沒有變換到位，可編程邏輯控制器直接通過光通訊裝置發(fā)送停止信號至天車的信號收發(fā)器，并由天車的控制器控制天車停止運行并等待岔軌完成變換；
[0011]如果有信號，為導軌變換到位，則可編程邏輯控制器向服務器發(fā)送信息表示導軌變換完成；
[0012]服務器將下一段運行路徑關(guān)鍵點下載至天車，天車進入或離開岔軌軌道，系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)控天車。
[0013]本發(fā)明的有益效果及優(yōu)點:
[0014]1.本發(fā)明方法使搬運系統(tǒng)自動化程度大大提高，天車運行路徑采用分段下載至天車，可以使系統(tǒng)在天車的整體調(diào)度中更加的簡單、有效；
[0015]2.采用岔軌變化軌道，在軌道的進入端及天車上安裝光通訊裝置，光通訊裝置與可編程邏輯控制器配合，保證天車在在進入岔道前，軌道的變換完成，這使天車在軌道中運行時更加的安全可靠；
[0016]3.天車暫存區(qū)的使用避免了多天車調(diào)度可能會產(chǎn)生的擁堵；通過及時、快速、精確的道岔變換縮短天車運行時間，使多工序加工物料在設(shè)備間自動傳送，不需要人員參與。
【附圖說明】
[0017]圖1是本發(fā)明的搬運系統(tǒng)控制流程圖；
[0018]圖2是監(jiān)控天車控制流程圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。
[0020]參見附圖1，是本發(fā)明系統(tǒng)控制流程圖。一種面向半導體生產(chǎn)線搬運系統(tǒng)的軌道與天車協(xié)調(diào)控制方法，包括以下步驟:
[0021]天車運行的軌道由直軌、彎軌、岔軌、物料暫時存放區(qū)組成，其中直軌與岔軌上貼有能夠確定天車在軌道中位置的條形碼；軌道鋪設(shè)分為區(qū)內(nèi)軌道和區(qū)間軌道(區(qū)內(nèi)軌道是由軌道閉合連接組成的區(qū)域，在區(qū)內(nèi)軌道的范圍內(nèi)放置加工設(shè)備，以此確定某個工藝或流程的加工區(qū)；區(qū)間軌道是將彼此獨立的區(qū)內(nèi)軌道連接在一起的軌道，當物料需要由一個加工區(qū)域運送到另一個加工區(qū)域時，天車將搬運物料離開加工區(qū)域所在的區(qū)內(nèi)軌道，并進入?yún)^(qū)間軌道，再有區(qū)間軌道進入另一加工區(qū)域所在的區(qū)內(nèi)軌道)，岔軌用于天車由區(qū)間軌道進入?yún)^(qū)內(nèi)軌道，或由區(qū)內(nèi)軌道轉(zhuǎn)出到區(qū)間軌道時使用；與岔軌連接的直軌和天車都裝有光通訊裝置，與可編程邏輯控制器配合，用于天車通過岔道之前，岔道的軌道變換能夠完成，保證天車安全通過，天車暫時存放區(qū)用于存放運行中的天車，空出天車占用的軌道；
[0022]搬運系統(tǒng)在與岔道連接的直軌及天車上裝有光通訊裝置，光通訊裝置有投光器、接收器、傳輸介質(zhì)、臺車端信號收發(fā)器及光通訊控制器組成；傳輸介質(zhì)的兩端分別設(shè)有投光器和接收器，構(gòu)成光發(fā)送/接收裝置，安裝在岔軌3個分支的直軌上，其中，投光器和接收器均與光通訊控制器連接，光通訊控制器通過可編程邏輯控制器與服務器連接；臺車端信號收發(fā)器安裝在天車上，與天車的控制器連接，并與傳輸介質(zhì)同一高度，使天車通過傳輸介質(zhì)區(qū)域時其信號收發(fā)器能夠與傳輸介質(zhì)進行數(shù)據(jù)傳輸。
[0023]當天車要進入岔軌前，天車進入光通訊所在的區(qū)域即傳輸介質(zhì)區(qū)段，接收器向光通訊控制器發(fā)送信號，控制器將接收到信號傳送到可編程邏輯控制器中；可編程邏輯控制器接收到天車需要通過岔軌的信號后，檢測岔軌位置傳感器，確定岔軌是否變換完成，如果沒完成，可編程邏輯控制器將通過光通訊控制器向天車發(fā)送停止前進的命令，臺車端信號收發(fā)器通過控制天車的控制器使天車停止等待導軌變換完成。光通訊裝置屬于硬件對天車的直接控制，可以不經(jīng)過服務器端的控制，直接更安全高效的處理道岔變化。
[0024]光通訊裝置能夠使天車路過設(shè)有傳輸介質(zhì)區(qū)間的同時收發(fā)數(shù)據(jù)信息，在進入道岔的過程中能夠順利地運行。本實施例采用日本北陽(HOKUYO)電機株式會社的光通訊裝置，其中投光器采用PX1-LGP、接收器采用PX1-LGR、傳輸介質(zhì)采用LG80-S、臺車端信號收發(fā)器即臺車端數(shù)據(jù)傳送裝置型號為DMW-GFO-S，光通訊控制器采用ISG-SA1-S。
[0025]搬運系統(tǒng)涉及所述鋪設(shè)的軌道構(gòu)成的多個區(qū)內(nèi)軌道與一個區(qū)間軌道，區(qū)內(nèi)軌道通過岔軌連接在區(qū)間軌道上，搬運系統(tǒng)包括服務器、可編程邏輯控制器、軌道、多部搬運的天車及生產(chǎn)設(shè)備等所有硬件設(shè)備，生產(chǎn)設(shè)備包括離子注入機、光刻機、晶圓表面清