一種基于擴散爐的進出舟裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及擴散爐領(lǐng)域，具體涉及一種基于擴散爐的進出舟裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]擴散爐是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。擴散爐由控制系統(tǒng)、進出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。
[0003]擴散形成P-N結(jié)是太陽能電池片的關(guān)鍵工藝，而擴散爐是太陽能電池片生產(chǎn)的重大設備之一。在擴散工藝中引入對人體有毒害的氣體及產(chǎn)生有毒害尾氣，會對人體造成極大的危害，在保證工藝的條件下，建立太陽能電池片自動化生產(chǎn)線，提高設備的自動化程度，減少人工對設備的干預，是設備生產(chǎn)廠家的主要目標。
[0004]特別是進出舟系統(tǒng)，是實現(xiàn)擴散爐到插片機的過渡機構(gòu)，通過該機構(gòu)可以實現(xiàn)石英舟在擴散爐到插片機以及插片機到擴散爐的自由對接，從而形成自動一體化，提高生產(chǎn)效率。
[0005]然而現(xiàn)有的進出舟系統(tǒng)，設備存在整機和配件價格高昂、結(jié)構(gòu)復雜、維修不便等問題，故研制生產(chǎn)成本低廉、運行可靠、維護方便的進出舟系統(tǒng)是業(yè)內(nèi)亟待解決的技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種基于擴散爐的進出舟裝置，實現(xiàn)生產(chǎn)自動一體化，提高生產(chǎn)效率。
[0007]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:提供一種基于擴散爐的進出舟裝置，該進出舟裝置上安裝有用于放置硅片的石英舟，該石英舟通過進出舟裝置在擴散爐與插片機之間往返，該進出舟裝置包括:
[0008]載體，其包括底板和設置在底板上的定位件，該石英舟與定位件配合安裝，該石英舟通過定位件固定在底板上；
[0009]運輸平臺，其包括運輸軌道和動力機構(gòu)，該動力機構(gòu)設置在運輸軌道上，該載體放置在運輸軌道上，并通過動力機構(gòu)的帶動在運輸軌道上往返；
[0010]感應單元，其設置在運輸平臺上，其包括石英舟感應器和硅片感應器，該動力機構(gòu)根據(jù)石英舟感應器和硅片感應器的反饋信息帶動在運輸軌道上往返。
[0011]其中，較佳方案是:該運輸軌道包括左右兩側(cè)的導向條、若干用于將導向條固定連接的間距定位塊。
[0012]其中，較佳方案是:該動力機構(gòu)包括設置在導向條兩端的轉(zhuǎn)輪、用于連接兩端轉(zhuǎn)輪的運輸皮帶和用于帶動轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動的電機，該運輸皮帶覆蓋在導向條上，該載體放置在運輸皮帶上，并通過運輸皮帶的帶動在運輸平臺上往返。
[0013]其中，較佳方案是:該動力機構(gòu)還包括聯(lián)軸器，該聯(lián)軸器設置在同端的兩個轉(zhuǎn)輪之間。
[0014]其中，較佳方案是:該電機為三相可逆式電機。
[0015]其中，較佳方案是:還包括一控制單元，該控制單元分別與電機和感應單元連接。
[0016]其中，較佳方案是:該運輸軌道還包括設置在該導向條一端的限位件和設置在該導向條另一端的緩沖輪。
[0017]其中，較佳方案是:該運輸軌道還包括設置在限位件上的定位開關(guān)。
[0018]其中，較佳方案是:該定位件包括設置在底板兩端的擋板和設置在擋板上的支撐塊，該石英舟設置在擋板之間，并與支撐塊配合安裝。
[0019]其中，較佳方案是:該擋板上設有與石英舟抵觸的第一石英墊，該支撐塊上設有與石英舟抵觸的第二石英墊。
[0020]本實用新型的有益效果在于，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過設計一種基于擴散爐的進出舟裝置，石英舟通過運輸平臺將載體上，實現(xiàn)在擴散爐與插片機之間往返，從而形成生產(chǎn)自動一體化，提高生產(chǎn)效率；同時進出舟裝置結(jié)構(gòu)簡單，其具有生產(chǎn)成本低廉、運行可靠、維護方便等優(yōu)點。
【附圖說明】
[0021]下面將結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中:
[0022]圖1是本實用新型進出舟裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是本實用新型運輸平臺的結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0024]圖3是本實用新型運輸平臺的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；
[0025]圖4是本實用新型載體的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0026]現(xiàn)結(jié)合附圖，對本實用新型的較佳實施例作詳細說明。
[0027]如圖1所示，本實用新型提供一種進出舟裝置的優(yōu)選實施例。
[0028]—種基于擴散爐的進出舟裝置，進出舟裝置上安裝有用于放置硅片50的石英舟40，石英舟40通過進出舟裝置在擴散爐與插片機之間往返，實現(xiàn)生產(chǎn)自動化。其中，進出舟裝置包括載體10、運輸平臺20和感應單元30，具體是:
[0029]載體10包括底板11和設置在底板11上的定位件12，石英舟40與定位件12配合安裝，石英舟40通過定位件12固定在底板11上；
[0030]運輸平臺20包括運輸軌道21和動力機構(gòu)22，動力機構(gòu)22設置在運輸軌道21上，載體10放置在運輸軌道21上，并通過動力機構(gòu)22的帶動在運輸軌道21上往返；
[0031]感應單元30設置在運輸平臺20上，用于檢測、反饋石英舟40的位置信息和硅片50的放置情況信息，動力機構(gòu)22根據(jù)感應單元30的反饋信息帶動在運輸軌道21上往返。
[0032]如圖2和圖3所示，本實用新型提供一種運輸平臺的較佳實施例。
[0033]運輸平臺20包括運輸軌道21和動力機構(gòu)22。
[0034]對于運輸軌道21，運輸軌道21包括左右兩側(cè)的導向條211、若干用于將導向條211固定連接的間距定位塊212、設置在導向條211 —端的限位件213和設置在導向條211另一端的緩沖輪214。具體地，運輸軌道21包括平行設置的第一導向條2111和第二導向條2112 ;第一導向條2111和第二導向條2112之間通過間距定位塊212進行固定，確保第一導向條2111和第二導向條2112的穩(wěn)固及間距；限位件213分別設置在第一導向條2111和第二導向條2112的后端，用于防止載體10滑出；緩沖輪214分別設置在第一導向條2111和第二導向條2112的前端，防止載體10與運輸軌道21的接觸，提高運輸穩(wěn)定性。
[0035]其中，運輸軌道21還包括設置在限位件213上的定位開關(guān)225，載體10運輸?shù)较尬患?13時，載體10通過定位開關(guān)225進行定位，并在完成相關(guān)工藝操作后，定位開關(guān)225松開載體10，保證載體10在工藝操作過程中穩(wěn)定。
[0036]其中，導向條211優(yōu)選為50模組的軌道。
[0037]對于動力機構(gòu)22，動力機構(gòu)22包括設置在導向條211兩端的轉(zhuǎn)輪221、用于連接兩端轉(zhuǎn)輪221的運輸皮帶222和用于帶動轉(zhuǎn)輪221轉(zhuǎn)動的電機223，該載體10放置在運輸皮帶222上，并通過運輸皮帶222的帶動在運輸平臺20上往返。具體地，轉(zhuǎn)輪221包括設置在導向條211兩端的前端轉(zhuǎn)輪2211和后端轉(zhuǎn)輪2212 ;運輸皮帶222分別連接其中一條導向條211兩端的前端轉(zhuǎn)輪2211和后端轉(zhuǎn)