技術(shù)編號:10101998
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。擴(kuò)散爐由控制系統(tǒng)、進(jìn)出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。擴(kuò)散形成P-N結(jié)是太陽能電池片的關(guān)鍵工藝,而擴(kuò)散爐是太陽能電池片生產(chǎn)的重大設(shè)備之一。在擴(kuò)散工藝中引入對人體有毒害的氣體及產(chǎn)生有毒害尾氣,會對人體造成極大的危害,在保證工藝的條件下,建立太陽能電池片自動化生產(chǎn)線,提高設(shè)備的自動化程度,減少人工對設(shè)備的...
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