專利名稱：一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，可用于光伏建筑一體
化。

背景技術(shù)：
透光太陽(yáng)電 也組件美觀，應(yīng)用范圍廣，但封裝工藝尚存在技術(shù)瓶頸，國(guó)內(nèi)外 光伏公司所推出的透光太陽(yáng)電池組件，其生產(chǎn)成本、產(chǎn)品成品率以及產(chǎn)品耐侯性 能等方面仍不能與普通組件相競(jìng)爭(zhēng)。目前日本、德國(guó)一些公司采用灌膠方法封裝透 光太陽(yáng)電池組件，這種工藝相對(duì)成熟并能生產(chǎn)曲面玻璃組件，但工藝成本非常高不 適合大規(guī)模生產(chǎn)。
采用普通太陽(yáng)電池組件層壓封裝工藝進(jìn)行透光太陽(yáng)電池的封裝，由于使用了剛
性的玻璃替代了普通組件所用的柔性TPEATT作為組件的背板材料，組件層壓封裝 過程中由于兩層剛性玻璃的擠壓，很容易出現(xiàn)氣泡、移位、太陽(yáng)電池裂片、玻璃碎 裂現(xiàn)象，為此德國(guó)一家組件設(shè)備公司推出帶有冷卻系統(tǒng)的層壓設(shè)備，能解決透光太 陽(yáng)電池組件氣泡問題，但該工藝層壓周期長(zhǎng)，設(shè)備投資非常大。
近年國(guó)內(nèi)外光伏產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，國(guó)內(nèi)幾家太陽(yáng)電池組件封裝大廠也致力于透光 太陽(yáng)電池組件封裝研究，并在國(guó)內(nèi)的一些展會(huì)上推出透光太陽(yáng)電池組件，部分組件 在邊緣均有少量氣泡，且價(jià)格高，都還未能完全投入市場(chǎng)。
目前，也有部分專利提出了采用傳統(tǒng)組件封裝設(shè)備進(jìn)行透光晶體硅太陽(yáng)電池組 件封裝的方法，例如申請(qǐng)?zhí)枮?00710027966.4的專利"雙面玻璃晶體硅太陽(yáng)電池 組件的封裝方法"中，提出了一種采用兩層玻璃替代玻璃-TPE的結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)電 池組件透光的效果，該專利提出在組件層壓前對(duì)待層壓的電池結(jié)構(gòu)采用特定高分子材料進(jìn)行處理，以減少甚至消除組件中產(chǎn)生氣泡的現(xiàn)象，但未給出具體的實(shí)施手段,
在實(shí)施過程中難以達(dá)到預(yù)期的效果。本申請(qǐng)專利提出的透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的
創(chuàng)新性封裝方法，可以完全利用現(xiàn)有的普通太陽(yáng)電池組件封裝設(shè)備，達(dá)到較好的透
光組件的封裝效果，具有工藝簡(jiǎn)單，生產(chǎn)周期短，材料成本低的特點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種采用普通組件層壓機(jī)進(jìn)行透光晶體硅 太陽(yáng)電池組件的封裝方法，其工藝簡(jiǎn)單，效果明顯，成本相對(duì)較低。 本發(fā)明的目的通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)-
一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，包括以下步驟
(1) 對(duì)太陽(yáng)電池片進(jìn)行串并聯(lián)，形成太陽(yáng)電池串；所述太陽(yáng)電池串、EVA膠 膜與玻璃進(jìn)行層層疊加，形成玻璃一EVA膠膜一太陽(yáng)電池一EVA |^膜一玻璃的五層 疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件；
(2) 將上下兩層高分子聚酯膜置于步驟(1)五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件底 部和頂部，兩層高分子聚酯膜邊緣超出五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件邊緣；
(3) 設(shè)置太陽(yáng)電池組件層壓機(jī)的預(yù)熱溫度為60-8(TC，當(dāng)達(dá)到該溫度時(shí)將步驟 (2)的帶有兩層高分子聚酯膜的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)，對(duì)層壓機(jī)進(jìn)行抽真空
至低于200kPa，對(duì)組件進(jìn)行加壓；
(4) 設(shè)置太陽(yáng)電池組件層壓機(jī)的層壓溫度為130 150°C,在該溫度下對(duì)組件 層壓15 25min，層壓時(shí)間結(jié)束后，打開層壓機(jī)，得到被上下兩層高分子聚酯膜膠 封為一個(gè)封閉腔體的五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件。
所述步驟(1)中玻璃優(yōu)選為低鐵鋼化玻璃。 所述步驟(1)中EVA膠膜的厚度優(yōu)選為0.25 0.8mm。 所述步驟(2)的高分子聚酯膜為在步驟(4)中的層壓溫度下保持不融化，且 為柔性材料的聚酯膜。所述高分子聚酯膜為PC、 PE、 PVC、 PET或改性ABS膜。 所述步驟(1)的EVA膠膜上劃上橫豎多道痕，防止EVA膠膜單向收縮。由于采取上述技術(shù)方案，本發(fā)明的有益效果是
(1) 針對(duì)組件中產(chǎn)生氣泡這一情況，本發(fā)明首先改進(jìn)封裝工藝，封裝過程中 對(duì)五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件使用上下兩層高分子聚酯膜進(jìn)行包裹，兩層高分子
聚酯膜與組件邊緣多出的EVA膠膜在層壓過程中將組件膠封為封閉腔體，這樣封
裝好的雙面玻璃太陽(yáng)組件從層壓機(jī)取出來(lái)后，空氣無(wú)法進(jìn)入玻璃之間，從而有效地 避免氣泡的產(chǎn)生，這種方法工藝簡(jiǎn)單、效果好，適于工業(yè)化生產(chǎn)。
(2) 采用若干層適當(dāng)厚度的EVA膠膜進(jìn)行疊加，本發(fā)明能夠有效的減少殘留 在組件中央太陽(yáng)電池片之間的氣泡。在疊加封裝前EVA膠膜上劃上橫豎的若干刀 痕可以明顯避免EVA膠膜有方向性的收縮，控制組件中電池片發(fā)生位移。
(3) 在組件預(yù)熱時(shí)EVA尚未收縮，此時(shí)即對(duì)組件進(jìn)行加壓，這樣兩層玻璃緊 壓EVA與太陽(yáng)電池片，多次實(shí)驗(yàn)表明，這種方法優(yōu)化層壓工藝，增加電池片移位 的阻力，解決了太陽(yáng)電池片移位的問題，調(diào)節(jié)合適的加壓時(shí)間、并保持焊點(diǎn)均勻， 避免電池片碎片現(xiàn)象。
(5 )本發(fā)明采用低鐵鋼化玻璃來(lái)解決在透光太陽(yáng)電池組件層壓中出現(xiàn)裂紋的 情況，這種低鐵岡U化玻璃的特點(diǎn)是透過率高、抗沖擊能力強(qiáng)和使用壽命長(zhǎng)。
(6)本發(fā)明另一特點(diǎn)在于組件在高溫(140°C)層壓以后不需要進(jìn)行另外的固 化過程，其不僅降低了設(shè)織資，而且簡(jiǎn)化了工藝過程，有利于應(yīng)用推廣。


圖1是本發(fā)明透光太陽(yáng)電池組件的結(jié)構(gòu)圖；
具體實(shí)施例方式
為了更好的說(shuō)明本發(fā)明與普通太陽(yáng)電池組件封裝方法相比的優(yōu)越性，下面舉例 本發(fā)明的7個(gè)實(shí)施例對(duì)其實(shí)施步驟進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明的實(shí)施方法不限于此。 實(shí)施例l
如圖1所示，首先在臺(tái)面上平放一塊低鐵鋼化玻璃3，上面平鋪一層單層厚度 為0.25mm的EVA膠膜2，將串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1置于EVA膠膜2上面，在太陽(yáng)電池串1上面同樣依次平鋪一層單層厚度為0.25mm的EVA膠膜2和低鐵鋼化 玻璃3,使之形成低鐵鋼化玻璃3-EVA膠膜2-串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串l-EVA膠膜 2-低鐵鋼化玻璃3的五層疊加結(jié)構(gòu)；EVA膠膜2上劃上橫豎多道痕，以減少EVA 膠膜單向收縮。然后采用兩層高分子聚酯膜PC把五層疊加結(jié)構(gòu)包裹起來(lái)，PC膜的 邊緣需超出五層疊加結(jié)構(gòu)的邊緣；之后再設(shè)置層壓機(jī)預(yù)熱溫度為70。C時(shí)，當(dāng)層壓機(jī) 加熱板溫度達(dá)到此溫度時(shí)，將上述經(jīng)過處理的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)中，并合層 壓機(jī)上蓋，進(jìn)行層壓機(jī)下室抽真空，同時(shí)上室充氣，對(duì)疊加好的電池進(jìn)行加壓。在 預(yù)熱溫度下，EVA膜尚未收縮，加壓后可以使兩層玻璃緊壓EVA與太陽(yáng)電池片， 防止電池片發(fā)生位移；最后設(shè)置層壓機(jī)的層壓溫度為140°C，在該溫度下層壓時(shí)間 為20min,層壓時(shí)間結(jié)束后，層壓機(jī)下室充氣，上室抽真空，使放電池的下腔氣壓 與大氣壓平衡，打開層壓機(jī)上蓋取出已成型的太陽(yáng)電池組件。此時(shí)PC膜與高溫熔 融的EVA粘合在一起，把組件膠封為一個(gè)封閉的腔體，空氣無(wú)法iSA組件內(nèi)部， 防止氣泡的產(chǎn)生。待組件冷卻后，用刀片割除組件四周的PC膜和EVA即可。 實(shí)施例2
如圖1所示，首先在臺(tái)面上平放一塊低鐵鋼化玻璃3，上面平鋪層單層厚度為 0.25mm的EVA膠膜2，將串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1置于EVA膠膜2上面，在太陽(yáng) 電池串1上面同樣依次疊放兩層單層厚度為0.25mm的EVA膠膜2和低鐵鋼化玻璃 3，使之形成低鐵鋼化玻璃3- EVA膠膜2-串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1- EVA膠膜2-低 鐵鋼化玻璃3的五層疊加結(jié)構(gòu)；EVA膠膜2上劃上橫豎多道痕，以防止EVA膠膜 單向收縮。然后采用兩層高分子聚酯膜PC把五層疊加結(jié)構(gòu)包裹起來(lái)，PC膜的邊緣 需超出五層疊加結(jié)構(gòu)的邊緣；之后再設(shè)置層壓機(jī)預(yù)熱溫度為7(TC時(shí)，當(dāng)層壓機(jī)加熱 板溫度達(dá)到此溫度時(shí)，將以上經(jīng)過處理的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)中，并合層壓機(jī) 上蓋，進(jìn)行層壓機(jī)下室抽真空，同時(shí)上室充氣，對(duì)疊加好的電池進(jìn)行加壓；最后設(shè) 置層壓機(jī)的層壓溫度為145°C，在該溫度下層壓時(shí)間為20min，層壓時(shí)間結(jié)束后， 層壓機(jī)下室充氣，上室抽真空，使放電池的下腔氣壓與大氣壓平衡，打開層壓機(jī)上蓋取出已成型的太陽(yáng)電池組件，待組件冷卻后，用刀片割除組件四周的PC膜和EVA即可。
實(shí)施例3
如圖1所示，首先在臺(tái)面上平放一±央低鐵鋼化玻璃3，上面平鋪一層單層厚度 為0.25mm的EVA膠膜2，將串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1置于EVA ， 2上面，在 太陽(yáng)電池串1上面同樣依次疊方i^層單層厚度為0.25mm的EVA膠膜2和低鐵鋼化 玻璃3，使之形成低鐵鋼化玻璃3-EVA膠膜2-串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串l-EVA膠膜 2-低鐵鋼化玻璃3的五層疊加結(jié)構(gòu)；EVA膠膜2上劃上橫豎多道痕，以避免EVA 膠膜單向收縮。然后采用兩層高分子聚酯膜PC把五層疊加結(jié)構(gòu)包裹起來(lái)，PC膜的 邊緣需超出五層疊加結(jié)構(gòu)的邊緣；之后再設(shè)置層壓機(jī)預(yù)熱溫度為7(TC時(shí)，當(dāng)層壓機(jī) 加熱板M^達(dá)到此溫度時(shí)，將以上經(jīng)過處理的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)中，并合層 壓機(jī)上蓋，進(jìn)行層壓機(jī)下室抽真空，同時(shí)上室充氣，對(duì)疊加好的電池進(jìn)行加壓；最 后設(shè)置層壓機(jī)的層壓溫度為150°C，在該溫度下層壓時(shí)間為20min，層壓時(shí)間結(jié)束 后，層壓機(jī)下室充氣，上室抽真空，使放電池的下腔氣壓與大氣壓平衡，打開層壓 機(jī)上蓋取出已成型的太陽(yáng)電池組件，待組件冷卻后，用刀片害鵬組件四周的PC膜 和EVA即可。 實(shí)施例4
如圖1所示，首先在臺(tái)面上平放一塊低鐵鋼化玻璃3，上面，甫一層單層厚度 為0.6mm的EVA膠膜2，將串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1置于EVA膠膜2上面，在太 陽(yáng)電池串1上面同樣依次平鋪一層單層厚度為0.6mm的EVA膠膜2和低鐵鋼化玻 璃3，使之形成低鐵鋼化玻璃3-EVA膠膜2-串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1-￡￥八膠膜2-低鐵鋼化玻璃3的五層疊加結(jié)構(gòu)；EVA膠膜2上劃上橫豎多道痕，以避免EVA膠 膜單向收縮。然后采用兩層高分子聚酯膜PET把五層疊加結(jié)構(gòu)包裹起來(lái)，PET膜的 邊緣需超出五層疊加結(jié)構(gòu)的邊緣；之后再設(shè)置層壓機(jī)預(yù)熱溫度為7(TC時(shí)，當(dāng)層壓機(jī) 加熱板溫度達(dá)到此溫度時(shí)，將以上經(jīng)過處理的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)中，并合層壓機(jī)上蓋，進(jìn)行層壓機(jī)下室抽真空，同時(shí)上室充氣，對(duì)疊加好的電池進(jìn)行加壓；最 后設(shè)置層壓機(jī)的層壓溫度為140°C,在該溫度下層壓時(shí)間為20min，層壓時(shí)間結(jié)束 后，層壓機(jī)下室充氣，上室抽真空，使放電池的下腔氣壓與大氣壓平衡，打開層壓 機(jī)上蓋取出已成型的太陽(yáng)電池組件，待組件冷卻后，用刀片割除組件四周的PET膜 和EVA即可。 實(shí)施例5
如圖l所示，首先在臺(tái)面上平放一±央低鐵鋼化玻璃3，上面平鋪一層單層厚度 為0.6mm的EVA膠膜2,將串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1置于EVA膠膜2上面，在太 陽(yáng)電池串1上面同樣依次疊放兩層單層厚度為0.6mm的EVA膠膜2和低鐵鋼化玻 璃3，使之形成低鐵鋼化玻璃3-EVA膠膜2-串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串l-EVA膠膜2-低鐵鋼化玻璃3的五層疊加結(jié)構(gòu)；EVA膠膜2上劃上橫豎多道痕，以避免EVA膠 膜單向收縮。采用兩層高分子聚酯膜PET把五層疊加結(jié)構(gòu)包裹起來(lái)，PET膜的邊緣 需超出五層疊加結(jié)構(gòu)的邊緣；之后再設(shè)置層壓機(jī)預(yù)熱溫度為7(TC時(shí)，當(dāng)層壓機(jī)加熱 板溫度達(dá)到此溫度時(shí)，將以上經(jīng)過處理的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)中，并合層壓機(jī) 上蓋，進(jìn)行層壓機(jī)下室抽真空，同時(shí)上室充氣，對(duì)疊加好的電池進(jìn)行加壓；最后設(shè) 置層壓機(jī)的層壓溫度為145°C，在該溫度下層壓時(shí)間為20min，層壓時(shí)間結(jié)束后， 層壓機(jī)下室充氣，上室抽真空，使放電池的下腔氣壓與大氣壓平衡，打開層壓機(jī)上 蓋取出已成型的太陽(yáng)電池組件，待組件冷卻后，用刀片割除組件四周的PET膜和 EVA即可。 實(shí)施例6
如圖i所示，首先在臺(tái)面上平放一±央低鐵鋼化玻璃3，上面^li一層單層厚度
為0.6mm的EVA膠膜2,將串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串1置于EVA膠膜2上面，在太 陽(yáng)電池串1上面同樣依次疊放三層單層厚度為0.6mm的EVA膠膜2和低鐵鋼化玻 璃3，使之形成低鐵鋼化玻璃3-EVA膠膜2-串并聯(lián)好的太陽(yáng)電池串l-EVA膠膜2-低鐵鋼化玻璃3的五層疊加結(jié)構(gòu)；EVA膠膜2上劃上橫豎多道痕，以避免EVA膠膜單向收縮。采用兩層高分子聚酯膜PET把五層疊加結(jié)構(gòu)包魏來(lái)，PET膜的邊緣 需超出五層疊加結(jié)構(gòu)的邊緣；之后再設(shè)置層壓機(jī)預(yù)熱溫度為70'C時(shí)，當(dāng)層壓機(jī)加熱 板溫度達(dá)到此溫度時(shí)，將以上經(jīng)過處理的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)中，并合層壓機(jī) 上蓋，進(jìn)行層壓機(jī)下室抽真空，同時(shí)上室充氣，對(duì)疊加好的電池進(jìn)行加壓；最后設(shè) 置層壓機(jī)的層壓溫度為150°C，在該溫度下層壓時(shí)間為20min，層壓時(shí)間結(jié)束后， 層壓機(jī)下室充氣，上室抽真空，使放電池的下腔氣壓與大氣壓平衡，打開層壓機(jī)上 蓋取出已成型的太陽(yáng)電池組件，待組件冷卻后，用刀片割除組件四周的PET膜和 EVA即可。
在上述實(shí)施例l中，層壓后太陽(yáng)電池組件中間位置有較多氣泡生成，太陽(yáng)電池 串l幾乎沒有位移，但是有碎片出現(xiàn)。實(shí)施例2中，經(jīng)過相同的工藝過lgM壓后， 太陽(yáng)電池組件中間有少量氣泡生成，太陽(yáng)電池串l有輕微位移現(xiàn)象。實(shí)施例3中， 太陽(yáng)電池組件無(wú)氣泡產(chǎn)生，太陽(yáng)電池串l有明顯位移。實(shí)施例4中，層壓后太陽(yáng)電 池組件無(wú)氣泡產(chǎn)生，太陽(yáng)電池串l有輕微位移現(xiàn)象。實(shí)施例5中，太陽(yáng)電池組件無(wú) 氣泡產(chǎn)生，太陽(yáng)電池串l位移明顯。實(shí)施例6中，太陽(yáng)電池組件無(wú)氣泡產(chǎn)生，太陽(yáng) 電池串1位移較大。由實(shí)施例1 6可以看出，EVA膠膜2的厚度太薄易產(chǎn)生太陽(yáng) 電池串1裂片、整個(gè)太陽(yáng)電池組件中間產(chǎn)生氣泡，而太厚則易引起太陽(yáng)電池串1移 位。綜上所述，采用上下各一層單層厚度為0.6mm的EVA膠膜2的層壓效果尤佳。
權(quán)利要求
1、一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，其特征在于包括以下步驟(1)對(duì)太陽(yáng)電池片進(jìn)行串并聯(lián)，形成太陽(yáng)電池串；所述太陽(yáng)電池串、EVA膠膜與玻璃進(jìn)行層層疊加，形成玻璃—EVA膠膜—太陽(yáng)電池—EVA膠膜—玻璃的五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件；(2)將上下兩層高分子聚酯膜置于步驟(1)所述五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件底部和頂部，兩層高分子聚酯膜邊緣超出五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件邊緣；(3)設(shè)置太陽(yáng)電池組件層壓機(jī)的預(yù)熱溫度為60-80℃，當(dāng)達(dá)到該溫度時(shí)將步驟(2)的帶有兩層高分子聚酯膜的五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)，對(duì)層壓機(jī)進(jìn)行抽真空至低于200kPa，對(duì)組件進(jìn)行加壓；(4)設(shè)置太陽(yáng)電池組件層壓機(jī)的層壓溫度為130～150℃，在該溫度下對(duì)組件層壓15～25min，層壓時(shí)間結(jié)束后，打開層壓機(jī)，得到被上下兩層高分子聚酯膜膠封為一個(gè)封閉腔體的五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，其特征 在于，所述步驟(1)中玻璃為低鐵鋼化玻璃。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，其特征 在于，所述步驟(1)中EVA膠膜的厚度為0.25 0.8mm。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，其特征 在于所述步驟(2)的高分子聚酯膜為在步驟(4)中的層壓溫度下保持不融化， 且為柔性材料的聚酯膜。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，其特征 在于所述高分子聚酯膜為PC、 PE、 PVC、 PET或改性ABS膜。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法，其特征 在于所述步驟(1)的EVA膠膜上劃上橫豎多道痕，防止EVA膠膜單向收縮。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種透光晶體硅太陽(yáng)電池組件的封裝方法。該方法將上下兩層高分子聚酯膜置于五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件底部和頂部，兩層高分子聚酯膜邊緣超出五層疊加結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)電池組件邊緣；然后設(shè)置太陽(yáng)電池組件層壓機(jī)的預(yù)熱溫度為60-80℃，將五層疊加結(jié)構(gòu)放入層壓機(jī)，對(duì)層壓機(jī)進(jìn)行抽真空至低于200kPa，對(duì)組件進(jìn)行加壓；設(shè)置層壓機(jī)的層壓溫度為135～145℃，在該溫度下層壓時(shí)間為15～25min，層壓時(shí)間結(jié)束后，打開層壓機(jī)取出己成型的太陽(yáng)電池組件。得到的太陽(yáng)電池組件透光且美觀，解決透光電池組件在封裝過程產(chǎn)生的氣泡、移位、太陽(yáng)電池裂片、玻璃碎裂現(xiàn)象。
文檔編號(hào)H01L31/18GK101533873SQ200910038699
公開日2009年9月16日 申請(qǐng)日期2009年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月17日
發(fā)明者臻 張, 張正國(guó), 方玉堂, 磊 王, 高學(xué)農(nóng) 申請(qǐng)人:華南理工大學(xué)