專利名稱：平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，具體涉及一種具有將傳送室與負(fù)載固定室的功能相結(jié)合的、用于平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，在該傳送室中于傳送室中央位置旁設(shè)置有一個(gè)機(jī)械手，傳送室中還設(shè)置有一個(gè)驅(qū)動(dòng)時(shí)不受機(jī)械手干擾的緩沖器以及一個(gè)調(diào)節(jié)安裝于緩沖器上的基板位置的校準(zhǔn)器。
背景技術(shù)：
通常，使用三室型平板顯示器生產(chǎn)裝置。所述三室型平板顯示器生產(chǎn)裝置具有三個(gè)室一個(gè)負(fù)載固定室(load-lock chamber)、一個(gè)傳送室(transfer chamber)以及一個(gè)處理室(process chamber)。隨著基板尺寸的增大，這些室的尺寸也相應(yīng)成比例地增大。由于這些室的尺寸的增大有一定的限制，近來提出了一種二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置。在二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置中，負(fù)載固定室與傳送室結(jié)合成一個(gè)單一的傳送室。因此，二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置具有傳送室和處理室。因而，該二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置的體積得以減小。相應(yīng)地，安裝平板顯示器生產(chǎn)裝置的無塵室的體積也可得以減小。
與三室型平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室相同，二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置中的傳送室內(nèi)設(shè)有一個(gè)機(jī)械手。該機(jī)械手具有將待處理的基板攜至處理室并將處理好的基板從處理室攜出的功能。
如圖1和圖2所示，在傳送室200中安裝機(jī)械手300。機(jī)械手300包括一個(gè)機(jī)械手臂部320和一個(gè)與機(jī)械手臂部320一端相連接的機(jī)械手手部330，在機(jī)械手臂部320的一個(gè)預(yù)定部位處設(shè)有一個(gè)連接件310。機(jī)械手臂部320繞機(jī)械手軸340旋轉(zhuǎn)，將裝設(shè)于機(jī)械手手部330上的基板傳送至處理室100。因此，傳送室200需要具有至少確保機(jī)械手臂部320的旋轉(zhuǎn)半徑的體積。
另一方面，在使用二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置時(shí)，處理時(shí)間有賴于在真空和大氣壓力條件下注入和排出的時(shí)限。更具體來說，在一個(gè)待處理基板插入到處理室100中及完成處理過程之后，為了從傳送室200中取出處理好的基板，傳送室200必須維持處于大氣環(huán)境中。此外，在將處理好的基板從傳送室200中取出之后，一個(gè)新的待處理基板被插入處理室100，則傳送室200應(yīng)當(dāng)保持在真空環(huán)境下。真空和大氣壓力條件下進(jìn)行處理的處理時(shí)間隨著傳送室200中的內(nèi)部體積成比例增大。
因此，非常需要減少二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置中傳送室的內(nèi)部體積。
另一方面，在三室型平板顯示器生產(chǎn)裝置中，提供一個(gè)將基板裝載于負(fù)載固定室的緩沖器。因此，在待處理基板被預(yù)先裝設(shè)于緩沖器上后，安裝在傳送室中的機(jī)械手將待處理的裝設(shè)于緩沖器上的基板送至處理室。而且，機(jī)械手從處理室中取出處理好的基板并將處理好的基板裝載于緩沖器上。
然而，由于在二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置中沒有單獨(dú)的負(fù)載固定室，不可能在負(fù)載固定室中提供緩沖器。
因此，必須于傳送室中提供緩沖器。然而，在于傳送室中設(shè)置緩沖器時(shí)會(huì)出現(xiàn)這樣的問題，即緩沖器不得妨礙安裝于傳送室200中的機(jī)械手300的旋轉(zhuǎn)。
此外，在傳統(tǒng)的負(fù)載固定室中，提供一個(gè)校準(zhǔn)器來調(diào)節(jié)緩沖器及設(shè)于緩沖器上的基板的位置。因此，基板的位置可以準(zhǔn)確地進(jìn)行調(diào)整，同時(shí)安裝于傳送室的機(jī)械手可將準(zhǔn)確調(diào)整后的基板傳送至處理室。
最近，由于處理的基板的尺寸增大，平板顯示器生產(chǎn)裝置在無塵室中占據(jù)很大的空間。因此，需要通過將負(fù)載固定室和傳送室結(jié)合成一個(gè)單一的室實(shí)現(xiàn)二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置，以減少平板顯示器生產(chǎn)裝置的體積。
另外，存在這樣的問題，即在前述的三室型平板顯示器生產(chǎn)裝置中，用于負(fù)載固定室的校準(zhǔn)器不能用于二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置中的傳送室。另一方面，對(duì)于傳統(tǒng)校準(zhǔn)器來說是沿對(duì)角線方向移動(dòng)基板相對(duì)的角來調(diào)整基板的位置。然而，隨著處理的基板的尺寸增大，出現(xiàn)的另一個(gè)問題是傳統(tǒng)的校準(zhǔn)器調(diào)整方法可能損壞增大的基板。
因此，需要研發(fā)一種適用于二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置的校準(zhǔn)器。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種通過改變傳送室中機(jī)械手的安裝位置而減小傳送室內(nèi)部體積的平板顯示器生產(chǎn)裝置。
本發(fā)明的另一目的為，提供一種具有不妨礙機(jī)械手運(yùn)動(dòng)的緩沖器的平板顯示器生產(chǎn)裝置。
本發(fā)明的又一目的為，提供一種適用于二室型平板顯示器生產(chǎn)裝置的基板位置調(diào)整件。
本發(fā)明的再一目的為，提供一種能夠易于調(diào)整增大了的基板的位置的基板位置調(diào)整件。
本發(fā)明的目的還有，提供一種平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其上設(shè)有易于更換的密封件安裝部件。
為了達(dá)到前述目的，根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種用于平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其中在傳送室中央位置的旁邊設(shè)有一個(gè)機(jī)械手。
另外，所述平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室還可包括一個(gè)緩沖器，所述緩沖器包括具有多個(gè)緩沖指的緩沖板； 用于支持和驅(qū)動(dòng)部分緩沖指的第一驅(qū)動(dòng)單元；用于支持和驅(qū)動(dòng)其它緩沖指的第二驅(qū)動(dòng)單元；一個(gè)提供動(dòng)力以驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)單元和第二驅(qū)動(dòng)單元的動(dòng)力單元；和一個(gè)動(dòng)力傳輸設(shè)備，所述動(dòng)力傳輸設(shè)備用于連接動(dòng)力單元和第一及第二驅(qū)動(dòng)單元，將動(dòng)力單元提供的動(dòng)力傳輸至第一和第二驅(qū)動(dòng)單元。
此外，可在傳送室下部的預(yù)定位置設(shè)置供機(jī)械手軸穿過的機(jī)械手軸通孔，其中，機(jī)械手軸的上部設(shè)有具有預(yù)定形狀的凸緣，且設(shè)有密封件安裝位置的密封件安裝部件通過固定裝置固設(shè)于機(jī)械手軸通孔中。
另外，傳送室可以包括用于調(diào)節(jié)基片X方向運(yùn)動(dòng)的第一基板位置調(diào)整件及用于調(diào)節(jié)基板Y方向運(yùn)動(dòng)的第二基板位置調(diào)整件。


通過結(jié)合附圖對(duì)具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)描述，本發(fā)明上述和其他優(yōu)點(diǎn)將更為清楚。
圖1是傳統(tǒng)的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室和處理室的剖面圖，此時(shí)安裝在傳送室內(nèi)的機(jī)械手的手部放置在處理室中；圖2是傳統(tǒng)的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室和處理室的剖面圖，此時(shí)安裝在傳送室內(nèi)的機(jī)械手的手部自處理室中取出；
圖3是根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室和處理室的剖面圖，此時(shí)安裝在傳送室內(nèi)的機(jī)械手的手部放置在處理室中；圖4是根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室和處理室的剖面圖，此時(shí)安裝在傳送室內(nèi)的機(jī)械手的手部自處理室中取出；圖5是安裝于本發(fā)明平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室中的緩沖器的立體圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明的緩沖板結(jié)構(gòu)的立體圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明的第一驅(qū)動(dòng)單元結(jié)構(gòu)的立體圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明的第二驅(qū)動(dòng)單元結(jié)構(gòu)的立體圖；圖9是根據(jù)本發(fā)明的波紋管組件結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖10是安裝于本發(fā)明平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室內(nèi)的機(jī)械手和緩沖器的立體圖；圖11是設(shè)有密封件的本發(fā)明傳送室的豎直剖面圖；圖12是根據(jù)本發(fā)明的密封件安裝部件的立體圖；圖13是以螺栓為緊固裝置的密封件安裝部件結(jié)構(gòu)的立體圖；圖14是以螺紋線為緊固裝置的密封件安裝部件結(jié)構(gòu)的立體圖；圖15是設(shè)有基板位置調(diào)整件的本發(fā)明傳送室的立體圖；圖16是第一基板位置調(diào)整件結(jié)構(gòu)的立體圖；圖17是第一基板接觸件結(jié)構(gòu)的立體圖；圖18是第一基板接觸片結(jié)構(gòu)的立體圖；圖19是第一支撐件結(jié)構(gòu)的立體圖；圖20是第一驅(qū)動(dòng)單元結(jié)構(gòu)的立體圖；圖21是第一驅(qū)動(dòng)件結(jié)構(gòu)的立體圖；圖22是第一驅(qū)動(dòng)件和第一基板接觸件的連接結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖23是第一螺紋管組件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖24是設(shè)于第一驅(qū)動(dòng)單元的第一基板接觸件控制鈕的立體圖；圖25是第二基板位置調(diào)整件結(jié)構(gòu)的立體圖；圖26是第二驅(qū)動(dòng)單元結(jié)構(gòu)的立體圖；和圖27是設(shè)于第二驅(qū)動(dòng)件的第二基板接觸件控制鈕的立體圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明及其操作上的優(yōu)點(diǎn)可以通過參照?qǐng)D及其說明得以完全理解。
現(xiàn)在，結(jié)合附圖描述本發(fā)明的具體實(shí)施方式
來詳細(xì)說明本發(fā)明。在圖中，相同的標(biāo)號(hào)表示相同元件。
為了達(dá)到前述目的，根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種用于平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其中在傳送室中央位置的旁邊設(shè)有機(jī)械手。
另外，平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室還可包括一個(gè)緩沖器，所述緩沖器包括一個(gè)具有多個(gè)緩沖指的緩沖板；一個(gè)用于支持和驅(qū)動(dòng)部分緩沖指的第一驅(qū)動(dòng)單元；一個(gè)用于支持和驅(qū)動(dòng)其它緩沖指的第二驅(qū)動(dòng)單元；一個(gè)提供動(dòng)力用以驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)單元和第二驅(qū)動(dòng)單元的動(dòng)力單元；和一個(gè)動(dòng)力傳輸設(shè)備，所述動(dòng)力傳輸設(shè)備用于連接動(dòng)力單元和第一及第二驅(qū)動(dòng)單元，以將動(dòng)力單元提供的動(dòng)力傳輸至第一和第二驅(qū)動(dòng)單元。
現(xiàn)在，結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行描述。
首先，在本發(fā)明傳送室200中于傳送室200中央位置旁設(shè)置一個(gè)機(jī)械手300，所述機(jī)械手300包括一個(gè)機(jī)械手軸340、一個(gè)機(jī)械手臂部320和一個(gè)機(jī)械手手部330。
如圖3中所示，機(jī)械手軸340與安裝于傳送室200外的一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)相連接，且機(jī)械手軸340設(shè)于傳送室200中央位置的旁邊，而不象圖1的傳統(tǒng)傳送室200一樣，將機(jī)械手軸340設(shè)于傳送室200的中央位置。此外，機(jī)械手臂部320不是與機(jī)械手手部330的中央部位連接，而是與機(jī)械手手部330的端部連接。
在如圖1所示的傳統(tǒng)傳送室200中，由于機(jī)械手軸340設(shè)于傳送室200的中央位置，為確保機(jī)械手臂部320的旋轉(zhuǎn)半徑，傳送室200的體積增加。然而根據(jù)如圖3所示的傳送室200，在傳送室200中，由于機(jī)械手軸340設(shè)于傳送室200中央位置的旁邊，在確保機(jī)械手臂部320的旋轉(zhuǎn)半徑的同時(shí)，傳送室200的體積可相對(duì)地減少。
由于傳送室200的體積減小，在真空或大氣壓力處理下的注入或排出的時(shí)限可相對(duì)減少，因此可提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。
此外，在根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室200中，設(shè)有一個(gè)緩沖器400。緩沖器400包括一個(gè)緩沖板400、一個(gè)第一驅(qū)動(dòng)件420、一個(gè)第二驅(qū)動(dòng)件430、一個(gè)動(dòng)力單元440、和一個(gè)動(dòng)力傳輸設(shè)備450。
如圖6所示，緩沖板410包括多個(gè)緩沖指。具體來說，緩沖板410具有一個(gè)長(zhǎng)的緩沖器-緩沖指連接條412。優(yōu)選地，四個(gè)緩沖指414a、414b、414c和414d于兩端部及預(yù)定的中間部位處垂直地連接于緩沖器-緩沖指連接條412。優(yōu)選地，緩沖指414a、414b、414c和414d及緩沖器-緩沖指連接條412組成了一個(gè)平板結(jié)構(gòu)。如圖6中所示，緩沖指414a、414b、414c、和414d的長(zhǎng)度是不同的，以使緩沖板410能夠在不妨礙到傳送室200中的機(jī)械手300的情況下豎直運(yùn)動(dòng)。連接于緩沖器-緩沖指連接條412的兩端部的第一和第四緩沖指414a和414d是長(zhǎng)的。第二和第三緩沖指414b和414c是短的，以使機(jī)械手臂部不會(huì)與之搭接重疊。因此，第二和第三緩沖指414b和414c的長(zhǎng)度比第一或第四緩沖指414a和414d的長(zhǎng)度要短一個(gè)預(yù)定距離。
另外，如圖6中所示，在每個(gè)緩沖指414a、414b、414c和414d及緩沖器-緩沖指連接條412上以預(yù)定的間隔設(shè)有多個(gè)緩沖銷416。所述緩沖銷416與基板接觸，以在基板裝設(shè)于傳送室200內(nèi)的緩沖器400上時(shí)支持基板。
此外，如圖6中所示，每個(gè)緩沖指414a、414b、414c和414d具有一個(gè)波紋管接合孔418a、418b、418c和418d，以接合波紋管組件與各個(gè)緩沖指。
如圖6中所示，第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420和430的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元設(shè)于緩沖器400的前面和后面。第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420和430的具體部件是相同的。但是，由于不同的緩沖指與不同的驅(qū)動(dòng)單元相連接，第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420和430的具體部件的安裝部位是不相同的。為了便于說明，僅說明第一驅(qū)動(dòng)單元420的部件，而對(duì)于第二驅(qū)動(dòng)單元430僅說明其安裝位置。
第一驅(qū)動(dòng)單元420與第二和第三緩沖指414b和414c相連接，以支持第二和第三緩沖指414b和414c。第一驅(qū)動(dòng)單元420通過使用從動(dòng)力單元440中傳輸?shù)膭?dòng)力而豎直地移動(dòng)第二和第三緩沖指414b和414c。換句話說，如圖5所示，第一驅(qū)動(dòng)單元420與第二和第三緩沖指414b和414c相連接，也就是說，短的緩沖指和緩沖器-緩沖指連接條412的中間部分連接。第二驅(qū)動(dòng)單元430與第一和第四緩沖指414a和414d相連接，也就是，長(zhǎng)的緩沖指與緩沖器-緩沖指連條412的端部相連接。
如圖7所示，第一驅(qū)動(dòng)單元420包括兩個(gè)聯(lián)鎖導(dǎo)桿422、兩個(gè)波紋管組件424和一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸426。
該兩個(gè)聯(lián)動(dòng)導(dǎo)桿422設(shè)于第一驅(qū)動(dòng)單元420上的預(yù)定位置。每個(gè)聯(lián)動(dòng)導(dǎo)桿422包括一個(gè)長(zhǎng)的圓柱導(dǎo)軌422a和一個(gè)圍繞導(dǎo)軌422a豎直運(yùn)動(dòng)的引導(dǎo)圓筒422b。每個(gè)聯(lián)鎖導(dǎo)桿422的導(dǎo)軌422a是固定的，而其引導(dǎo)圓筒422b進(jìn)行豎直運(yùn)動(dòng)，從而可準(zhǔn)確地引導(dǎo)波紋管424和驅(qū)動(dòng)軸426豎直運(yùn)動(dòng)。
此外，驅(qū)動(dòng)軸426包括一個(gè)位于一預(yù)定部位的動(dòng)力傳輸設(shè)備連接件426b，和一個(gè)位于另一預(yù)定部位的第一驅(qū)動(dòng)件。驅(qū)動(dòng)軸426包括一個(gè)長(zhǎng)圓柱形驅(qū)動(dòng)軸柱體426a。在驅(qū)動(dòng)軸柱體426a的上部，設(shè)有動(dòng)力傳輸裝置連接件426b，該動(dòng)力傳輸裝置連接件426b與動(dòng)力傳輸設(shè)備450相連接。在動(dòng)力傳輸設(shè)備連接件426b的下部設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)件426c。第一驅(qū)動(dòng)件426c在其表面具有螺紋線，使第二驅(qū)動(dòng)件426d能夠隨著驅(qū)動(dòng)軸柱體426a的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行豎直運(yùn)動(dòng)。此外，第二驅(qū)動(dòng)件426d是一個(gè)其內(nèi)表面具有相應(yīng)螺紋線的圓筒，以圍繞第一驅(qū)動(dòng)件426c豎直運(yùn)動(dòng)。因此，由于第二驅(qū)動(dòng)件426c具有對(duì)應(yīng)的螺紋線，當(dāng)?shù)谝或?qū)動(dòng)件426c旋轉(zhuǎn)時(shí)，圍繞第一驅(qū)動(dòng)件426c的第二驅(qū)動(dòng)件426d能夠豎直運(yùn)動(dòng)。
而且，在第一驅(qū)動(dòng)單元420的預(yù)定部位設(shè)有兩個(gè)波紋管組件424。兩個(gè)波紋管組件424的上端與第二和第三緩沖指414b和414c連接。如圖9中所示，每個(gè)波紋管組件424包括一個(gè)長(zhǎng)的圓柱軸424a、一個(gè)與圓柱軸424a上部相連接的圓筒狀線性套管424b、一個(gè)與線性套管424b相連接并可縱向擴(kuò)展的波紋管424c、以及一個(gè)與圓柱軸424a的下部相連接的緩沖器平板平衡調(diào)節(jié)裝置424d。
現(xiàn)在，參照?qǐng)D9說明波紋管組件424的功能。穿過線性套管424b的圓柱軸424a豎直運(yùn)動(dòng)。圓柱軸424a的上部成形與波紋管424c的上部相似，因此，圓柱軸424a能夠在波紋管424c內(nèi)豎直運(yùn)動(dòng)。波紋管424c將波紋管424c的內(nèi)部與波紋管424c的外部隔開，使得當(dāng)波紋管424c的內(nèi)部和外部分別保持在大氣和真空環(huán)境中時(shí)，圓柱軸424a能夠豎直運(yùn)動(dòng)。此外，線性套管424b具有準(zhǔn)確調(diào)節(jié)圓柱軸424a豎直運(yùn)動(dòng)的功能。此外，一個(gè)螺栓連接于緩沖器平板平衡調(diào)節(jié)裝置424d的下部，使得連接于波紋管組件424的緩沖板410的高度可以通過用扳手等工具旋動(dòng)來進(jìn)行控制。
如圖7所示，在第一驅(qū)動(dòng)單元420上設(shè)有一個(gè)聯(lián)鎖板427。波紋管組件424的下部固定連接于聯(lián)鎖板427。驅(qū)動(dòng)軸426的第二驅(qū)動(dòng)件426d固定連接于聯(lián)鎖板427，且驅(qū)動(dòng)軸426和聯(lián)鎖導(dǎo)桿422固定相連接并穿過聯(lián)鎖板427，使得聯(lián)鎖板427能夠隨驅(qū)動(dòng)軸426的驅(qū)動(dòng)而聯(lián)鎖。換句話說，聯(lián)鎖板427通過驅(qū)動(dòng)軸426根據(jù)緩沖板410的聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)而豎直運(yùn)動(dòng)，這樣，第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420和430的具體部件可以準(zhǔn)確地運(yùn)動(dòng)。
此外，如圖7所示，在第一驅(qū)動(dòng)單元420中設(shè)有一個(gè)下板428。下板428與聯(lián)鎖導(dǎo)桿422和驅(qū)動(dòng)軸426的下部相連接，以將第一驅(qū)動(dòng)單元420固定于傳送室200。下板428具有支持第一驅(qū)動(dòng)單元420的具體部件的功能，所以這些具體部件能夠準(zhǔn)確地豎直運(yùn)動(dòng)。
此外，如圖7所示，在第一驅(qū)動(dòng)單元420內(nèi)設(shè)有一個(gè)上板429。上板429與聯(lián)鎖導(dǎo)板422和驅(qū)動(dòng)軸426的上部相連接。波紋管組件424連接穿過上板429上的預(yù)定部位。上板429設(shè)置為從傳送室200的內(nèi)部向外部延伸。上板429具有將第一驅(qū)動(dòng)單元420連接于傳送室200的功能。上板429的上部和下部分別位于傳送室200的內(nèi)部和外部。
第二驅(qū)動(dòng)單元430的具體部件與第一驅(qū)動(dòng)單元420的相同。然而，如圖8所示，由于第二驅(qū)動(dòng)單元430支撐第一和第四緩沖指414a和414d，兩個(gè)波紋管組件434設(shè)于第二驅(qū)動(dòng)單元430的兩端部，而兩個(gè)聯(lián)鎖導(dǎo)桿432設(shè)于第二驅(qū)動(dòng)單元430的中間位置。
如圖7所示，緩沖器400包括動(dòng)力單元440。動(dòng)力單元440為第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420供電。在本實(shí)施例中，在第一驅(qū)動(dòng)單元420的聯(lián)鎖板427的預(yù)定部位設(shè)置所述動(dòng)力單元440。動(dòng)力傳輸設(shè)備450將動(dòng)力單元440提供的動(dòng)力傳輸至第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420和430，使得緩沖器400能夠被驅(qū)動(dòng)。優(yōu)選地，動(dòng)力單元440是一個(gè)馬達(dá)。
此外，如圖5所示，在緩沖器400中，動(dòng)力傳輸設(shè)備450連接動(dòng)力單元440與驅(qū)動(dòng)軸426，以將動(dòng)力單元440提供的動(dòng)力傳輸?shù)津?qū)動(dòng)軸426。由于第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420和430通過動(dòng)力傳輸設(shè)備450相互連接，緩沖板能夠通過同步豎直移動(dòng)第一和第二驅(qū)動(dòng)單元420和430而豎直運(yùn)動(dòng)。
如圖10所示，在傳送室200中，傳送室200側(cè)邊的預(yù)定位置設(shè)有多個(gè)觀察口500，因此可以觀察到傳送室200的內(nèi)部。每個(gè)觀察口500具有一個(gè)較窄的外部窗口和一個(gè)較寬的內(nèi)部窗口，因此可更廣地觀察到傳送室200的內(nèi)部。
現(xiàn)在，說明安裝在本發(fā)明平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室中的機(jī)械手安裝位置的密封單元。
傳送室下部的預(yù)定位置處設(shè)有供機(jī)械手軸穿過的機(jī)械手軸通孔。在機(jī)械手軸的上部設(shè)有預(yù)定形狀的凸緣。此外，密封件安裝位置處設(shè)置的密封件安裝部件通過使用緊固裝置緊固在機(jī)械手軸通孔上。
此外，凸緣是從機(jī)械手軸上部的外表面突出的圓形或多邊形構(gòu)件。而且，凸緣的直徑比機(jī)械手軸通孔的直徑大，并且，機(jī)械手軸的直徑比機(jī)械手軸通孔的直徑小。
此外，在密封件安裝部件的中央設(shè)有機(jī)械手軸510能夠穿過的通孔，且密封件安裝部件包括一個(gè)小直徑的上圓柱部和一個(gè)大直徑的下圓柱部。
優(yōu)選地，緊固裝置為螺栓。
優(yōu)選地，密封件是O形環(huán)。密封件安裝位置設(shè)置在密封件安裝部件的上或下圓柱部上。
首先，如圖11所示，在本發(fā)明平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室400中，設(shè)置一個(gè)機(jī)械手軸通孔600、一個(gè)機(jī)械手500、及一個(gè)密封件安裝部件900。機(jī)械手軸通孔600是機(jī)械手500的一個(gè)機(jī)械手軸510能夠穿過的孔。在安裝機(jī)械手軸510穿過機(jī)械手軸通孔600之后，密封件安裝部件900緊固于機(jī)械手軸510和機(jī)械手軸通孔600之間，以隔開傳送室800的內(nèi)部和外部。
機(jī)械手軸通孔600設(shè)置于傳送室800下部的預(yù)定位置。優(yōu)選地，機(jī)械手軸通孔600具有圓形截面，該截面直徑足以供機(jī)械手軸510穿過。
如圖11所示，機(jī)械手500包括一個(gè)機(jī)械手軸510、一個(gè)機(jī)械手臂部530、一個(gè)凸緣520和一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)。機(jī)械手軸510支撐機(jī)械手臂部530，并連接機(jī)械手500與驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)。此外，機(jī)械手臂部530連接于機(jī)械手軸510的上部。機(jī)械手臂部530具有一個(gè)連接件以便旋轉(zhuǎn)。此外，凸緣520是一個(gè)從機(jī)械手軸510上部的外表面突出的圓形或多邊形構(gòu)件。機(jī)械手500安裝在傳送室800中時(shí)，凸緣520緊密地安裝在傳送室800的底部。
優(yōu)選地，凸緣520的直徑比機(jī)械手軸通孔600的直徑大，且機(jī)械手軸510的直徑比機(jī)械手軸通孔600的直徑小。
如圖12所示，密封件安裝部件900的中央設(shè)有一個(gè)通孔910，從而，機(jī)械手軸510可穿過通孔910。此外，密封件安裝部件900包括一個(gè)小直徑的上圓柱部920和一個(gè)大直徑的下圓柱部930。密封件安裝部件900通過使用緊固裝置940和950緊固于傳送室800中。優(yōu)選地，緊固裝置940是一個(gè)螺栓。
可選擇地，如圖14所示，緊固裝置950可以通過以下方式實(shí)現(xiàn)，即在上圓柱部920的外表面形成一螺旋線，并將所形成的螺旋線緊固于機(jī)械手軸通孔600的內(nèi)表面上形成的螺旋線上。
優(yōu)選地，圖11中所示的密封件700是O形環(huán)。密封件700安裝在形成于密封件安裝部件900上的密封件安裝位置960a和960b處。
在通過使用密封件安裝部件900將密封件700a和700b設(shè)置于傳送室800的情況下，通過僅僅移開緊固裝置940和950，可簡(jiǎn)單地將密封件安裝部件900從傳送室800分離，因此，可更換密封件700。
現(xiàn)在，說明設(shè)置在上述傳送室的預(yù)定部位的基板位置調(diào)整件的優(yōu)選實(shí)施例。
本發(fā)明傳送室包括用于調(diào)節(jié)基板的X方向運(yùn)動(dòng)的第一基板調(diào)整部件，和用于調(diào)節(jié)基板的Y方向運(yùn)動(dòng)的第二基板位置調(diào)整件。
現(xiàn)在，結(jié)合附圖詳細(xì)說明安裝于平板顯示器生產(chǎn)裝置中的基板位置調(diào)整件的優(yōu)選實(shí)施例。通過優(yōu)選實(shí)施例，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和功能能夠清楚地得以理解。
如圖15所示，本發(fā)明傳送室1200包括兩個(gè)用于調(diào)節(jié)基板的X方向運(yùn)動(dòng)的第一基板位置調(diào)整件1000和兩個(gè)用于調(diào)節(jié)基板的Y方向運(yùn)動(dòng)的第二基板位置調(diào)整件1100。
如圖16所示，每個(gè)第一基板位置調(diào)整件1000包括一個(gè)第一基板接觸件1010、一個(gè)第一支撐件1020和一個(gè)第一驅(qū)動(dòng)單元1030。
設(shè)置在傳送室1200兩側(cè)的兩個(gè)第一基板接觸件1010為長(zhǎng)條形狀，以跨過傳送室1200的兩側(cè)。如圖17所示，在第一基板接觸件1010上以預(yù)定的間隔設(shè)有多個(gè)第一接觸片1012。如圖18中所示，每個(gè)第一連接片1012能夠繞其軸線樞轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，第一接觸片1012與基板(圖中未示出)的圓周部分相接觸來移動(dòng)基板。優(yōu)選地，第一接觸片1012由一種工程塑料材料比如聚四氟乙烯制成。
如圖16所示，第一基板接觸件1010的一端部與第一支撐件1020相連接。如圖19所示，第一支撐件1020具有在X方向水平滑動(dòng)第一基板接觸件1010的結(jié)構(gòu)。設(shè)置第一接觸片1012穿過傳送室1200的壁，以使連接于第一支撐件1020的第一基板接觸件1010能夠在X方向上進(jìn)行水平滑動(dòng)。
第一基板接觸件1010的另一端與第一驅(qū)動(dòng)單元1030相連接。如圖20所示，第一驅(qū)動(dòng)單元1030具有在X方向上水平移動(dòng)第一基板接觸件1010的結(jié)構(gòu)。此外，設(shè)置第一驅(qū)動(dòng)單元1030穿過傳送室1200的壁。
如圖21所示，第一驅(qū)動(dòng)單元1030進(jìn)一步包括一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)第一基板接觸件1010的第一驅(qū)動(dòng)件1032。優(yōu)選地，第一驅(qū)動(dòng)件1032是一個(gè)馬達(dá)。如圖22所示，第一驅(qū)動(dòng)件1032通過一個(gè)第一波紋管組件1034與第一基板接觸件1010相連接。第一波紋管組件1034具有如下功能即當(dāng)安裝第一基板接觸件1010的傳送室1200的內(nèi)部和安裝第一驅(qū)動(dòng)件1032的傳送室1200的外部分別保持在大氣或真空環(huán)境下時(shí)，能夠使得第一基板接觸件在X方向水平運(yùn)動(dòng)。也就是說，如圖23所示，由于連接于第一驅(qū)動(dòng)件1032的驅(qū)動(dòng)軸1036由擴(kuò)展的波紋管組件1034圍繞，即使驅(qū)動(dòng)軸1036移動(dòng)也可保持真空環(huán)境。
優(yōu)選地，如圖24所示，第一驅(qū)動(dòng)件1032進(jìn)一步包括一個(gè)第一基板接觸件控制鈕1038。通過使用第一基板接觸件控制鈕1038，在第一接觸片1012與基板接觸前，第一接觸片1012能夠手動(dòng)向上移動(dòng)到基板附近。
如圖25所示，兩個(gè)第二基板位置調(diào)整件1100中每個(gè)都包括一個(gè)第二基板接觸件1110、兩個(gè)第二支撐件1120和一個(gè)第二驅(qū)動(dòng)單元1130。
第二基板位置調(diào)整件1100的具體部件與第一基板位置調(diào)整件1000相同。但是，第二基板位置調(diào)整件1000的具體部件的結(jié)構(gòu)和功能與第一基板位置調(diào)整件1000的不同?，F(xiàn)在，說明不同的結(jié)構(gòu)和功能。
所述兩個(gè)第二基板位置調(diào)整件1100設(shè)置在傳送室1200的兩側(cè)沒有設(shè)置第一基板位置調(diào)整件1000處。
如圖17所示，與第一基板接觸件1010相似，第二基板接觸件1110為長(zhǎng)條形，并在第二基板接觸件1110上以預(yù)定間隔設(shè)有多個(gè)第二接觸片1112。優(yōu)選地，如圖15所示，在第一基板接觸件1010的上表面設(shè)有第一接觸片1012，而在第二基板接觸件1110的下表面設(shè)有第二基板接觸片1112。這樣，安裝在傳送室120外部的部件的安裝位置可不重疊，所述部件如第一和第二基板位置調(diào)整件1000和1100的第一和第二驅(qū)動(dòng)件1032和1132。此外，第一和第二基板接觸件1010和1110的運(yùn)動(dòng)半徑可不重疊。
第二接觸片1112的結(jié)構(gòu)和材料與第一接觸片1012的相同。
第二支撐件1120a和1120b與第二基板接觸件1110的相應(yīng)端部相連接。與第二基板接觸件1110端部相連接的第二支撐件1120支撐于第二基板接觸件1110。設(shè)置第二支撐件1120a和1120b穿過傳送室1200的壁部，使得第二基板接觸件1110能夠在y方向上水平滑動(dòng)。
如圖25所示，第二驅(qū)動(dòng)單元1130與第二基板接觸件1110的中央部分相連接。設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)單元1130穿過傳送室1200的壁部，使得第二基板接觸件1110能夠在y方向上水平滑動(dòng)。如圖26所示，第二驅(qū)動(dòng)單元1130進(jìn)一步包括一個(gè)用于滑動(dòng)第二基板接觸件1110的第二驅(qū)動(dòng)件1132，。設(shè)置于傳送室外面的第二驅(qū)動(dòng)件1132與第二驅(qū)動(dòng)單元1130相連接。第二驅(qū)動(dòng)件1132與第二基板接觸件1110通過一個(gè)第二波紋管組件(圖中未示出)相連接，因此，當(dāng)傳送室1200內(nèi)部保持真空環(huán)境時(shí)，可驅(qū)動(dòng)第二基板接觸件1110。
優(yōu)選地，如圖27中所示，第二驅(qū)動(dòng)單元1030進(jìn)一步包括一個(gè)第二基板接觸件控制鈕1134。與第一基板接觸件控制鈕1138相似，通過使用第二基板接觸件控制鈕1134，在第二接觸片1112與基板接觸前，第二基板接觸片1112能夠被手動(dòng)向上移動(dòng)至基板附近處。
本發(fā)明已參照其示例性實(shí)施例進(jìn)行具體展示和說明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，在不偏離權(quán)利要求中所定義本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進(jìn)行多種形式或具體的改變。
權(quán)利要求
1.一種平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，包括一個(gè)具有機(jī)械手軸、機(jī)械手臂部和機(jī)械手手部的機(jī)械手，其特征在于，機(jī)械手設(shè)于所述傳送室中央位置的旁邊。
2.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述機(jī)械手臂部與所述機(jī)械手手部的一端部相連接。
3.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，還包括一個(gè)緩沖器，所述緩沖器包括一個(gè)具有多個(gè)緩沖指的緩沖板；一個(gè)用于支撐并驅(qū)動(dòng)某些所述緩沖指的第一驅(qū)動(dòng)單元；一個(gè)用于支撐并驅(qū)動(dòng)其它所述緩沖指的第二驅(qū)動(dòng)單元；一個(gè)用于提供驅(qū)動(dòng)所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元的動(dòng)力的動(dòng)力單元；和一個(gè)動(dòng)力傳輸設(shè)備，所述動(dòng)力傳輸設(shè)備用于連接所述動(dòng)力單元和第一及第二驅(qū)動(dòng)單元，以將動(dòng)力單元提供的動(dòng)力傳輸?shù)降谝患暗诙?qū)動(dòng)單元。
4.如權(quán)利要求3所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述緩沖板包括一個(gè)緩沖指連接條和四個(gè)與所述緩沖指連接條垂直連接的緩沖指。
5.如權(quán)利要求4所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述緩沖指中的第一和第四緩沖指與所述第二驅(qū)動(dòng)單元相連接并由后者支撐，且所述緩沖指中的第二和第三緩沖指與所述第一驅(qū)動(dòng)單元相連接并由后者支撐。
6.如權(quán)利要求5所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二緩沖指比第三緩沖指短一個(gè)預(yù)定距離，且所述第三緩沖指比所述第四緩沖指短一個(gè)預(yù)定距離。
7.如權(quán)利要求3至6中任一項(xiàng)所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，每個(gè)緩沖指上以預(yù)定的間隔突出多個(gè)緩沖銷。
8.如權(quán)利要求3所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，第一和第二驅(qū)動(dòng)單元中每一個(gè)都包括聯(lián)鎖導(dǎo)桿、波紋管組件和驅(qū)動(dòng)軸。
9.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)軸包括一個(gè)位于其預(yù)定部位的動(dòng)力傳輸設(shè)備連接件，和一個(gè)位于其另一預(yù)定部位的第一驅(qū)動(dòng)件。
10.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元中每一個(gè)的預(yù)定部位處都設(shè)有兩個(gè)聯(lián)鎖導(dǎo)桿。
11.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元中每一個(gè)的預(yù)定部位處都設(shè)有兩個(gè)波紋管組件，且每個(gè)波紋管組件的上部與相應(yīng)的緩沖指相連接。
12.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元中每一個(gè)都包括一個(gè)與所述聯(lián)鎖導(dǎo)桿和驅(qū)動(dòng)軸的上部連接的上板，所述波紋管組件相連接以自所述上板的預(yù)定位置處穿過所述上板；且所述上板由所述驅(qū)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)。
13.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元中每一個(gè)都包括一個(gè)與所述波紋管組件的下部連接的聯(lián)鎖板，所述驅(qū)動(dòng)軸和聯(lián)鎖導(dǎo)桿相連接并在所述聯(lián)鎖板的預(yù)定部位處穿過所述聯(lián)鎖板，且所述聯(lián)鎖板通過所述驅(qū)動(dòng)軸與所述緩沖板聯(lián)鎖。
14.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元中每一個(gè)都包括一個(gè)與聯(lián)鎖導(dǎo)桿及驅(qū)動(dòng)軸的下部連接的下板，且所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元中每一個(gè)都通過所述下板固定到所述傳送室。
15.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，每個(gè)波紋管組件的下部還連接有一個(gè)緩沖板平衡調(diào)節(jié)裝置。
16.如權(quán)利要求13所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述動(dòng)力單元設(shè)于聯(lián)鎖板上的一個(gè)預(yù)定部位處，從而與所述聯(lián)鎖板聯(lián)鎖。
17.如權(quán)利要求3所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述動(dòng)力單元是一個(gè)馬達(dá)。
18.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述動(dòng)力傳輸設(shè)備將所述動(dòng)力單元與驅(qū)動(dòng)軸連接，將所述動(dòng)力單元提供的動(dòng)力傳輸至所述驅(qū)動(dòng)軸。
19.如權(quán)利要求18所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述動(dòng)力傳輸設(shè)備是一個(gè)傳送帶。
20.如權(quán)利要求18所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述動(dòng)力傳輸設(shè)備與所述第一和第二驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸連接，從而同時(shí)驅(qū)動(dòng)第一和第二驅(qū)動(dòng)單元。
21.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述傳送室包括多個(gè)位于傳送室各側(cè)預(yù)定部位處的觀察口，且每個(gè)觀察口具有一個(gè)較窄的外部窗口和一個(gè)較寬的內(nèi)部窗口。
22.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，在所述傳送室下部一個(gè)預(yù)定部位處設(shè)有一個(gè)供所述機(jī)械手軸穿過的機(jī)械手軸通孔，在所述機(jī)械手軸的上部設(shè)有一個(gè)具有預(yù)定形狀的凸緣，且一個(gè)設(shè)于密封件安裝位置的密封件安裝部件通過使用緊固裝置固定在所述機(jī)械手軸通孔處。
23.如權(quán)利要求22所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述凸緣是一個(gè)從所述機(jī)械手軸上部的外表面突出的圓形或多邊形部件。
24.如權(quán)利要求23所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述凸緣的直徑比所述機(jī)械手軸通孔的直徑大，且所述機(jī)械手軸的直徑比機(jī)械手軸通孔的直徑小。
25.如權(quán)利要求22所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述可供機(jī)械手軸穿過的通孔設(shè)于所述密封件安裝部件的中心處；且所述密封件安裝部件包括一個(gè)小直徑的上圓柱部和一個(gè)大直徑的下圓柱部。
26.如權(quán)利要求22所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述緊固裝置是一個(gè)螺栓。
27.如權(quán)利要求22所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述密封件是一個(gè)O形環(huán)。
28.如權(quán)利要求22所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述密封件安裝位置設(shè)置于所述密封件安裝部件的上圓柱部和下圓柱部上。
29.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述傳送室包括用于調(diào)節(jié)基板在X方向運(yùn)動(dòng)的第一基板位置調(diào)整件和用于調(diào)節(jié)基板在Y方向運(yùn)動(dòng)的第二基板位置調(diào)整件。
30.如權(quán)利要求29所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，每個(gè)第一基板位置調(diào)整件包括一個(gè)第一基板接觸件；一個(gè)連接于所述第一基板接觸件一端部的第一支撐件；一個(gè)連接于所述第一基板接觸件另一端部的第一驅(qū)動(dòng)單元。
31.如權(quán)利要求29所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述傳送室的兩側(cè)設(shè)有兩個(gè)第一基板接觸件。
32.如權(quán)利要求30所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一支撐件連接成穿過所述傳送室的一個(gè)壁，且所述第一支撐件具有一個(gè)滑動(dòng)第一基板接觸件的結(jié)構(gòu)。
33.如權(quán)利要求30所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)單元設(shè)置為穿過所述傳送室的壁，且所述第一驅(qū)動(dòng)單元具有移動(dòng)第一基板接觸件的結(jié)構(gòu)。
34.如權(quán)利要求30所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)單元還包括一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)第一基板接觸件的第一驅(qū)動(dòng)件。
35.如權(quán)利要求34所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)件通過一個(gè)第一波紋管組件與所述第一基板接觸件連接。
36.如權(quán)利要求30所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一基板接觸件上以預(yù)定的間隔設(shè)有多個(gè)第一接觸片。
37.如權(quán)利要求36所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，每個(gè)第一接觸片繞其自身的軸線進(jìn)行樞轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。
38.如權(quán)利要求36所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一接觸片由工程塑料材料制成。
39.如權(quán)利要求38所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述工程塑料材料是聚四氟乙烯。
40.如權(quán)利要求30所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)件還包括一個(gè)第一基板接觸件控制件。
41.如權(quán)利要求29所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，每個(gè)第二基板位置調(diào)整件包括一個(gè)第二基板接觸件；連接于所述第二基板接觸件的兩端部的第二支撐件；和一個(gè)連接于所述第二基板接觸件的中央部位的第二驅(qū)動(dòng)單元。
42.如權(quán)利要求29所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述傳送室未設(shè)有所述第一基板位置調(diào)整件的兩側(cè)設(shè)有兩個(gè)第二基板位置調(diào)整件。
43.如權(quán)利要求41所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二支撐件設(shè)置為穿過所述傳送室的壁；且所述第二支撐件具有一個(gè)在Y方向水平滑動(dòng)所述第二基板接觸件的結(jié)構(gòu)。
44.如權(quán)利要求41所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)單元設(shè)置為穿過所述傳送室的壁，且所述第二驅(qū)動(dòng)單元具有一個(gè)滑動(dòng)所述第二基板接觸件的結(jié)構(gòu)。
45.如權(quán)利要求41所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)單元還包括一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)所述第二基板接觸件的第二驅(qū)動(dòng)件。
46.如權(quán)利要求45所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)件通過一個(gè)第二波紋管組件與所述第二基板接觸件連接。
47.如權(quán)利要求41所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二基板接觸件上以預(yù)定的間隔設(shè)有多個(gè)第二接觸片。
48.如權(quán)利要求47所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，每個(gè)第二接觸片都繞其自身軸線進(jìn)行樞轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。
49.如權(quán)利要求47所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二接觸片由工程塑料材料制成。
50.如權(quán)利要求49所述的平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述工程塑料材料是聚四氟乙烯。
51.如權(quán)利要求41所述的用于平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)件還包括一個(gè)第二基板接觸件控制件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，具體涉及一種具有傳送室和負(fù)載固定室組合功能的平板顯示器生產(chǎn)裝置傳送室，所述傳送室在其中央位置旁設(shè)置有一個(gè)機(jī)械手，所述傳送室中還設(shè)置有一個(gè)驅(qū)動(dòng)時(shí)不妨礙機(jī)械手的緩沖器以及一個(gè)用于調(diào)整裝設(shè)于緩沖器上的基板的位置的校準(zhǔn)器。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種平板顯示器生產(chǎn)裝置的傳送室，其在傳送室中央位置的旁邊設(shè)置機(jī)械手。此外，為了驅(qū)動(dòng)機(jī)械手，還設(shè)有一個(gè)用于密封傳送室預(yù)定位置處所形成孔的密封件、一個(gè)用于調(diào)節(jié)傳送室內(nèi)的基板位置的校準(zhǔn)器以及一個(gè)裝設(shè)基板的緩沖器。
文檔編號(hào)H01L21/687GK1616326SQ20041008890
公開日2005年5月18日 申請(qǐng)日期2004年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月4日
發(fā)明者許光虎, 崔浚泳, 李哲源, 李相伯 申請(qǐng)人:愛德牌工程有限公司