1.一種形成探針（3500，3600，3700，3800，3900，4000）的方法，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的至少一者還包含基部（3501-u，3501-l，3601-l，3801-u，3801-l，3901-u，3901-l，4001-u，4001-l），所述第一探針模塊和第二探針模塊的相應(yīng)的至少一個(gè)支架（3511-u，3611-u，3811-u，3911-u，4011-u；3511-l，3611-l，3811-l，3911-l，4011-l）連結(jié)至所述基部，其中所述基部（3501-u，3501-l，3601-l，3801-u，3801-l，3901-u，3901-l，4001-u，4001-l）位于所述第一探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u）的所述至少一個(gè)支架（3511-u，3611-u，3711，3811-u，3911-u，4011-u）與所述第二探針模塊（3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的所述至少一個(gè)支架（3511-l，3611-l，3711，3811-l，3911-l，4011-l）之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的連結(jié)包括選自由以下各項(xiàng)組成的組的要素：（1）將粘合材料施加至所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的至少一者，然后使用所述粘合材料將所述探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）連結(jié)至彼此；（2）在構(gòu)建相應(yīng)的探針模塊的逐層形成工藝期間將粘合材料施加至所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的至少一者，并且此后連結(jié)所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（3）使用超聲波焊接結(jié)合所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（4）使用激光焊接結(jié)合所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（5）使用硬釬焊工藝結(jié)合所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（6）使用軟釬焊工藝結(jié)合所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（7）使用所述第一探針模塊的特征與所述第二探針模塊的特征之間的摩擦至少暫時(shí)地將所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）連結(jié)至彼此；（8）使用選自由以下各項(xiàng)組成的組的至少一種運(yùn)動至少暫時(shí)地將所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）連結(jié)至彼此：（i）橫向運(yùn)動，（ii）縱向運(yùn)動，（iii）旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，以及（iv）這些運(yùn)動的組合，其中發(fā)生所述探針模塊的互鎖；（9）使用選自由以下各項(xiàng)組成的組的至少一種運(yùn)動至少暫時(shí)地將所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）連結(jié)至彼此：（i）橫向運(yùn)動，（ii）縱向運(yùn)動，（iii）旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，以及（iv）這些運(yùn)動的組合，其中所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的互鎖經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)凹入特征的接合而發(fā)生；（10）使用選自由以下各項(xiàng)組成的組的至少一種運(yùn)動至少暫時(shí)地將所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）連結(jié)至彼此：（i）橫向運(yùn)動，（ii）縱向運(yùn)動，（iii）旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，以及（iv）這些運(yùn)動的組合，其中所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的互鎖經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)干涉特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）的接合而發(fā)生；以及（11）使用選自由以下各項(xiàng)組成的組的至少一種運(yùn)動至少暫時(shí)地將所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）連結(jié)至彼此：（i）橫向運(yùn)動，（ii）縱向運(yùn)動，（iii）旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，以及（iv）這些運(yùn)動的組合，其中所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的互鎖經(jīng)由一個(gè)探針模塊上的彈性柔性元件與另一個(gè)探針模塊上的特征的接合而發(fā)生，其中所述接合選自由以下各項(xiàng)組成的組：（i）相互干涉的特征，（ii）相對于彼此凹入的特征，以及（iii）相互摩擦地接合的特征。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的一者上的至少一個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）接觸所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的另一者上的至少一個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063），從而提供所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的固定的相接位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的一者上的至少一個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）包括多個(gè)特征，并且所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的另一者上的至少一個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）提供這樣的多個(gè)特征，所述多個(gè)特征提供多個(gè)硬止動件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的每一個(gè)上的所述多個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）包括在所述第一探針模塊和第二探針模塊中的每一個(gè)上的至少三個(gè)特征，所述至少三個(gè)特征沿著相關(guān)坐標(biāo)系的所有三個(gè)軸配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊中的每一個(gè)上的所述至少三個(gè)特征包括在所述第一探針模塊和第二探針模塊中的每一個(gè)上的至少四個(gè)特征。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，提供多個(gè)硬止動件的所述多個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）沿著以下情形中的至少兩種提供對準(zhǔn)止動件：（1）至少一個(gè)橫向方向，（2）縱向方向，（3）在至少兩個(gè)分離點(diǎn)處的至少一個(gè)方向，所述至少兩個(gè)分離點(diǎn)與所述至少一個(gè)方向不成一線，（4）在至少三個(gè)分離點(diǎn)處的至少一個(gè)方向，所述至少三個(gè)分離點(diǎn)不共線并且沒有一對點(diǎn)與所述至少一個(gè)方向成一線，（5）至少兩個(gè)垂直的橫向尺寸，（6）兩個(gè)垂直的方向，（5）至少一個(gè)方向和一個(gè)旋轉(zhuǎn)，（6）至少兩個(gè)垂直的方向和至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)，（7）至少三個(gè)垂直的方向和至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)，（8）至少一個(gè)方向和至少兩個(gè)垂直的旋轉(zhuǎn)，以及（9）至少一個(gè)方向和三個(gè)垂直的旋轉(zhuǎn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的支架（3511-u，3611-u，3811-u，3911-u，4011-u；3511-l，3611-l，3811-l，3911-l，4011-l）包括至少一個(gè)特征，所述至少一個(gè)特征為互補(bǔ)的縱向、旋轉(zhuǎn)、以及徑向止動特征，在以相反的縱向取向連結(jié)所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）時(shí)，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的橫向和縱向?qū)?zhǔn)使所述特征接合。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一探針模塊（3800-u，3900-u，4000-u）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有接合狹槽（3862，3962，4062）的第一基部（3801-u，3901-u，4001-u），并且所述第二探針模塊（3800-l，3900-l，4000-l）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）的第二基部（3801-l，3901-u，4001-l），所述頂蓋結(jié)構(gòu)通過更狹窄的頸部區(qū)域附接至所述第二基部（3801-l，3901-u，4000-l），所述方法包括：第一橫向分離，以使所述第一探針模塊（3800-u，3900-u，4000-u）的第一基部（3801-u，3901-u，4001-u）與附接至所述第二探針模塊（3800-l，3900-l，4001-l）的第二基部（3801-l，3901-l，4001-l）的頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）分離；之后是縱向?qū)?zhǔn)，其中所述第一探針模塊（3800-u，3900-u，4000-u）定位于所述第二探針模塊（3800-l，3900-l，4001-l）上方，其中相應(yīng)的第一末端和第二末端（3831-u，3931-u，4031-u；3531-l，3631-l，3731，3831-l，3931-l，4031-l）彼此移位；以及額外的橫向移動，所述額外的橫向移動通過將附接至所述第二探針模塊（3800-l，3900-l，4000-l）的第二基部（3801-l，3901-l，4001-l）的頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）接合于所述第一探針模塊（3800-u，3900-u，4000-u）的第一基部（3801-u，3901-u，4001-u）的接合狹槽（3862，3962，4062）中而使所述第一探針模塊和第二探針模塊（3800-u，3900-u，4000-u；3800-l，3900-l，4000-l）橫向地對準(zhǔn)和配合，所述第一基部（3801-u，3901-u，4001-u）的接合狹槽（3862，3962，4062）具有多個(gè)對準(zhǔn)特征（3861-r1，3861-r2，3861-v2，3961-r1，3961-r2，3961-v2，4061-r1，4061-r2，4061-v2），并且所述頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）通過所述更狹窄的頸部區(qū)域與所述第二基部（3801-l，3901-l，4001-l）分離，以在所述頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）與所述第二基部（3801-l，3901-l，4001-l）之間形成底切區(qū)域，所述底切區(qū)域能夠通過將所述頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）插入于所述接合狹槽（3862，3962，4062）中而有效地接合并保持所述第一探針模塊（3800-u，3900-u，4000-u）的第一基部（3801-u，3901-u，4001-u）。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一探針模塊（3900-u）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有接合狹槽（3962）的第一基部（3901-u），并且所述第二探針模塊（3900-l）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有彈簧元件（3964）的第二基部（3901-l），所述彈簧元件通過更狹窄的頸部區(qū)域附接至所述第二基部（3901-l），所述方法包括：第一橫向分離以使所述第一探針模塊（3900-u）的第一基部（3901-u）與附接至所述第二探針模塊（3900-l）的第二基部（3901-l）的彈簧元件（3964）分離；之后是縱向?qū)?zhǔn)，其中所述第一探針模塊（3900-u）定位于所述第二探針模塊（3900-l）上方，其中相應(yīng)的末端（3931-u，3931-l）彼此移位；以及額外的橫向移動，所述額外的橫向移動通過將附接至所述第二模塊（3900-l）的第二基部（3901-l）的彈簧元件（3964）彈性地接合于所述第一探針模塊（3900-u）的第一基部（3901-u）的接合狹槽（3962）中而使所述第一探針模塊和第二探針模塊（3900-u，3900-l）橫向地對準(zhǔn)和配合。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述額外的橫向移動彈性地迫使所述第二探針模塊（3900-l）的彈簧元件（3964）與連接至所述第一探針模塊（3900-u）的第一基部（3901-u）的至少一個(gè)支架（3911-u）接觸。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3900-u，3900-l）中的至少一者進(jìn)一步包括額外的彈簧，所述額外的彈簧提供選自由以下各項(xiàng)組成的組的偏壓：（i）縱向偏壓；（ii）橫向偏壓或（iii）混合的縱向/橫向偏壓。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一探針模塊（4000-u）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有開口（4062）的第一基部（4001-u），并且所述第二探針模塊（4000-l）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有具有長圓形形狀的頂蓋特征（4063）的第二基部（4001-l），所述頂蓋特征通過更狹窄的頸部區(qū)域附接至所述第二基部（4001-l），所述方法包括：第一橫向分離以使所述第一探針模塊（4000-u）的第一基部（4001-u）與附接至所述第二探針模塊（4000-l）的第二基部（4001-l）的頂蓋結(jié)構(gòu)（4063）分離；之后是相對移動，其中所述第一探針模塊（4000-u）定位于所述第二探針模塊（4000-l）上方，其中相應(yīng)的末端（4031-u，4031-l）彼此移位，并且附接至所述第二探針模塊（4000-l）的第二基部（4001-l）的頂蓋結(jié)構(gòu)（4063）被插入于所述第一探針模塊（4000-u）的第一基部（4001-）的開口（4062）中，所述第一模塊（4000-u）的第一基部（4001-u）的開口（4062）具有與附接至所述第二探針模塊（4000-l）的第二基部（4001-l）的頂蓋特征（4063）互補(bǔ)且尺寸稍大的形狀，以容許所述頂蓋特征（4063）通過所述開口（4062）插入；以及旋轉(zhuǎn)移動，所述旋轉(zhuǎn)移動通過使附接至所述第二探針模塊（4000-l）的第二基部（4001-l）的頂蓋結(jié)構(gòu)（4063）的一部分與所述第一探針模塊（4000-u）的第一基部（4001-u）的環(huán)繞所述第一基部（4001-u）的開口（4062）的一部分重疊而使所述第一探針模塊和第二探針模塊（4000-u，4000-l）接合。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，所述第一和第二探針模塊（4000-u，4000-l）的旋轉(zhuǎn)移動使相應(yīng)的支架（4011-u，4011-l）縱向地對準(zhǔn)。
16.一種用于在兩個(gè)電子電路元件之間進(jìn)行接觸的探針，包括：
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的探針，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的至少一個(gè)探針模塊還包含基部（3501-u，3501-l，3601-l，3801-u，3801-l，3901-u，3901-l，4001-u，4001-l），所述至少一個(gè)探針模塊的相應(yīng)的至少一個(gè)支架（3511-u，3611-u，3811-u，3911-u，4011-u；3511-l，3611-l，3811-l，3911-l，4011-l）連結(jié)至所述基部，其中所述基部（3501-u，3501-l，3601-l，3801-u，3801-l，3901-u，3901-l，4001-u，4001-l）位于所述第一探針模塊（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u）的至少一個(gè)支架（3511-u，3611-u，3711，3811-u，3911-u，4011-u）與所述第二探針模塊（3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的至少一個(gè)支架（3511-l，3611-l，3711，3811-l，3911-l，4011-l）之間。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的探針，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）包括至少一個(gè)相應(yīng)的特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063），所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的特征之間的接觸提供所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的固定的相接位置。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的探針，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）包括沿著相關(guān)的坐標(biāo)系的至少一個(gè)軸配合的多個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的探針，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3700-l）的支架（3711-u，3711-l）包括至少一個(gè)特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2），所述至少一個(gè)特征為互補(bǔ)的縱向、旋轉(zhuǎn)、和徑向止動特征，當(dāng)以相反的縱向取向連結(jié)所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3700-l）時(shí)，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3700-u，3700-l）的橫向和縱向?qū)?zhǔn)使所述特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2）接合。
21.根據(jù)權(quán)利要求16所述的探針，其中，所述第一探針模塊（3800-u，3900-u，4000-u）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有接合狹槽（3862，3962，4062）的第一基部（3801-u，3901-u，4001-u），并且所述第二探針模塊（3800-l，3900-l，4000-l）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）的第二基部（3801-l，3901-l，4001-l），所述頂蓋結(jié)構(gòu)通過更狹窄的頸部區(qū)域附接至所述第二基部（3801-l，3901-l，4001-l），附接至所述第二探針模塊（3800-l，3900-l，4000-l）的第二基部（3801-l，3901-l，4001-l）的頂蓋結(jié)構(gòu)（3863，3963，4063）能夠通過插入至所述接合狹槽（3862，3962，4062）中而接合所述第一探針模塊（3800-u，3900-u，4000-l）的第一基部（3801-u，3901-u，4001-u）。
22.根據(jù)權(quán)利要求16所述的探針，其中，所述第一探針模塊（3900-u）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有接合狹槽（3962）的第一基部（3901-u），并且所述第二探針模塊（3900-l）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有彈簧元件（3964）的第二基部（3901-l），所述彈簧元件通過更狹窄的頸部區(qū)域附接至所述第二基部（3901-l），所述第一探針模塊和第二探針模塊（3900-u，3900-l）通過將附接至所述第二模塊（3900-l）的第二基部（3901-l）的彈簧元件（3964）彈性地接合于所述第一探針模塊（3900-u）的第一基部（3901-u）的接合狹槽（3962）中而被接合。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的探針，其中，所述第一探針模塊和第二探針模塊（3900-u，3900-l）中的至少一者進(jìn)一步包括額外的彈簧，所述額外的彈簧提供選自由以下各項(xiàng)組成的組的偏壓：（i）縱向偏壓；（ii）橫向偏壓或（iii）混合的縱向/橫向偏壓。
24.根據(jù)權(quán)利要求16所述的探針，其中，所述第一探針模塊（4000-u）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有開口（4062）的第一基部（4001-u），并且所述第二探針模塊（4000-l）包括位于其相應(yīng)的支架之間并且設(shè)置有具有長圓形形狀的頂蓋特征（4063）的第二基部（4001-l），所述頂蓋特征通過更狹窄的頸部區(qū)域附接至所述第二基部（4001-l），所述第一模塊（4000-u）的第一基部（4001-u）的開口（4062）具有與附接至所述第二探針模塊（4000-l）的第二基部（4001-l）的頂蓋特征（4063）互補(bǔ)且尺寸稍大的形狀，以容許所述頂蓋特征（4063）通過所述開口（4062）插入，所述第一探針模塊和第二探針模塊（4000-u，4000-l）通過使附接至所述第二探針模塊（4000-l）的第二基部（4001-l）的頂蓋結(jié)構(gòu)（4063）的一部分與所述第一探針模塊（4000-u）的第一基部（4001-u）的環(huán)繞所述第一基部（4001-u）的開口（4062）的一部分重疊而使所述第一探針模塊和第二探針模塊（4000-u，4000-l）接合。
25.根據(jù)權(quán)利要求16所述的探針，其中，所述至少一個(gè)第一柔性元件（3521-u，3621-u，3721，3821-u，3921-u，4021-u）和所述至少一個(gè)第二柔性元件（3521-l，3621-l，3721，3821-l，3921-l，4021-l）在未被偏壓時(shí)包括至少一個(gè)二維基本平面彈簧作為相應(yīng)的彈簧元件，以使得所述第一柔性元件和第二柔性元件在基本上垂直于平面構(gòu)造的方向上提供柔性。